CN100510159C - 喷孔片的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明是有关于一种喷孔片的制造方法，首先，提供一晶圆，再形成一可剥离层于该晶圆，接着，形成一光阻层于该可剥离层，进行一曝光显影步骤，使该光阻层形成为复数个栓柱，再以溅镀方式在该显露的可剥离层与该些栓柱上形成一含钛金属层，最后，移除该些栓柱，使得该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔，所制作出的喷孔片具有性质安定且其孔径可准确且一致地微小化。另本发明利用涂布一可剥离层于一晶圆的一表面，并在该剥离层上制造一喷孔片，在该喷孔片制造完成后，可去除该可剥离层，而有利于喷孔片由晶圆剥离。此外本发明的喷孔片具有最佳的生物相容性，其在与人体接触后不容易产生过敏或排斥的现象，从而更加适于实用。
Description
技术领域
本发明涉及一种喷孔片的制造方法，特别是涉及一种应用于生物医学领域具有含钛金属材质的喷孔片的制造方法。
背景技术
目前喷孔片是使用于微小化粒子的雾化喷涂，例如将喷孔片应用于喷墨印表机的喷嘴头或药物雾化设备，其是藉由喷孔片开孔控制该微小化粒子的粒径，以符合所需。
现有常见的喷孔片的制造方法，是使用电铸法(electroformed)制造具有微细喷孔片开孔的喷孔片，如中国台湾专利公告第410,271号所揭示的一种喷孔片的开口的制造方法，是以不锈钢片作为基板，并在基板上涂布一光阻层，再以微影蚀刻技术将喷孔片的图案形成在光阻层并移去不必要的光阻，最后，在基板上进行电铸程序，以形成具有开口的金属层，该金属层是为镍钛合金，具有反应活性，故不适用于生物医学领域。另外，在上述的喷孔片的制造方法中，藉由电铸或电镀制程中不易控制喷孔片开孔的孔径，因而造成喷孔片开孔的孔径大小不一，导致由该喷孔片喷出的物体其粒径大小不一，无法精确地控制流出物体的粒径。
由此可见，上述现有的喷孔片的制造方法在制造方法与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决喷孔片的制造方法存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般方法又没有适切的制造方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的喷孔片的制造方法，便成了当前业界极需改进的目标。
有鉴于上述现有的喷孔片的制造方法存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的喷孔片的制造方法，能够改进一般现有的喷孔片的制造方法，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的主要目的在于，克服现有的喷孔片的制造方法存在的缺陷，而提供一种新的喷孔片的制造方法，所要解决的技术问题是使其利用溅镀(sputtering)方法将一含钛金属层形成于一已形成有一可剥离层与复数个光阻层栓柱的晶圆，并移除该些栓柱使该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔，以制作出性质安定的喷孔片，其喷孔片开孔的孔径可以准确且一致地微小化，从而更加适于实用。
本发明的另一目的在于，提供一种新的喷孔片的制造方法，所要解决的技术问题是使其利用涂布一可剥离层于一晶圆的一表面，并在该剥离层上制造一喷孔片，在该喷孔片制造完成后，可去除该可剥离层，以利于该喷孔片由该晶圆剥离，从而更加适于实用。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种喷孔片的制造方法，该喷孔片具有一第一厚度，该制造方法包括以下步骤：提供一晶圆，其具有一表面；形成一可剥离层于该晶圆的该表面；形成一光阻层于该可剥离层，该光阻层具有一第二厚度，该第二厚度大于该第一厚度；曝光显影该光阻层，以使该光阻层形成为复数个栓柱；以溅镀方式形成一含钛金属层于该显露的可剥离层与该些栓柱上；以及移除该些栓柱，以使该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术措施来进一步实现。
前述的喷孔片的制造方法，其中所述的可剥离层是为光阻材料。
前述的喷孔片的制造方法，其中所述的含钛金属层的厚度是介于25～50微米。
前述的喷孔片的制造方法，其中所述的该些喷孔片开孔的孔径是介于3～5微米。
前述的喷孔片的制造方法，其中所述的含钛金属层是为纯钛或钛合金。
前述的喷孔片的制造方法，其另包括有一晶圆切割步骤。
前述的喷孔片的制造方法，其另包括有移除该可剥离层，使得该含钛金属层由该晶圆剥离。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，本发明的主要技术内容如下：为了达到上述目的，本发明提供了一种喷孔片的制造方法，首先提供一晶圆，其具有一表面，接着，形成一可剥离层于该晶圆的该表面，在该可剥离层形成一光阻层后，进行一曝光显影步骤，以将该光阻层形成为复数个栓柱，再以溅镀方式形成一含钛金属层于该显露的可剥离层与该些栓柱上，最后移除该些栓柱，以使该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔。
借由上述技术方案，本发明喷孔片的制造方法至少具有下列优点：
本发明利用溅镀(sputtering)方法将一含钛金属层形成于一已形成有一可剥离层与复数个光阻层栓柱的晶圆，并移除该些栓柱使该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔，以制作出性质安定的喷孔片，其喷孔片开孔的孔径可以准确且一致地微小化。
另外，本发明利用涂布一可剥离层于一晶圆的一表面，并在该剥离层上制造一喷孔片，在该喷孔片制造完成后，可去除该可剥离层，而有利于该喷孔片由该晶圆剥离，从而更加适于实用。
本发明的喷孔片具有最佳的生物相容性，其在与人体接触后不容易产生过敏或排斥的现象，从而更加适于实用。
综上所述，本发明特殊的喷孔片的制造方法，首先提供一晶圆，再形成一可剥离层于该晶圆，接着形成一光阻层于该可剥离层，进行一曝光显影步骤，使该光阻层形成为复数个栓柱，再以溅镀方式在该显露的可剥离层与该些栓柱上形成一含钛金属层，最后移除该些栓柱，使得该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔，所制作出的喷孔片具有性质安定且其孔径可准确且一致地微小化的功效。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类制造方法中未见有类似的设计公开发表或使用而确属创新，其不论在制造方法或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的喷孔片的制造方法具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1是依据本发明的一具体实施例，是一喷孔片的截面图。
图2A至图2E是依据本发明的一具体实施例，是该喷孔片在制造流程中的示意图。
10：喷孔片 11：含钛金属层
H1：第一厚度 12：喷孔片开孔
20：晶圆 21：表面
30：可剥离层 40：光阻层
H2：第二厚度 41：栓柱
42：上表面
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的喷孔片的制造方法其具体实施方式、制造方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。
请参阅图1所示，是依据本发明的一具体实施例，是一喷孔片的截面图。在本发明的一具体实施例中，一种喷孔片10具有一第一厚度H1，该第一厚度H1可介于25～50微米。该喷孔片10由一钛金属层11所构成，并具有复数个喷孔片开孔12，其孔径是介于3～5微米。
请参阅图2A至图2E所示，是依据本发明的一具体实施例，是该喷孔片10在制造流程中的截面示意图。依据本发明提出的喷孔片的制造方法，包括以下步骤：首先，请参阅图2A所示，提供一晶圆20，该晶圆20具有一表面21，在该表面21上形成一可剥离层30，其是以一光阻剂涂布至晶圆20的该表面21。在本实施例中，在形成该可剥离层30之后，可以另进行软烤(soft bake)步骤，以去除该可剥离层30中过多的溶剂，此外，其亦可增加可剥离层30与晶圆20的表面21的附着力。
请参阅图2B所示，形成一光阻层40于可剥离层30上，该光阻层40具有一第二厚度H2，其是大于上述喷孔片10的第一厚度H1(如图1所示)，较佳的，该光阻层40是为干膜(dry film)或厚光阻。请再参阅图2C所示，对该光阻层40进行一曝光显影(photolithography)步骤，以使其形成为复数个栓柱41，故该些栓柱41是可密集等距排列并且该些栓柱41的高度是能高于该喷孔片的第一厚度H1，且该些栓柱41的外径应介于3～5微米。该些栓柱41的上表面42是为平坦状，以利于含钛金属在溅镀(sputtering)方式中为非连续层沉积。
请参阅图2D所示，以溅镀方式形成一含钛金属层11于该显露的可剥离层30与该些栓柱41上，在溅镀过程中上述形成有可剥离层30以及该些栓柱41的晶圆20置于一溅镀机的正电极板，并将一含钛金属靶材(target)置于溅镀机的负电极板，由电浆轰击出的含钛金属粒子可沉积于该晶圆20上，以溅镀形成该含钛金属层11于显露的可剥离层30与该些栓柱41上，其中，该含钛金属层11是为纯钛或钛合金，该含钛金属层11的厚度是介于25～50微米。请参阅图2E所示，移除该些栓柱41及其上表面42的含钛金属层11，在该些栓柱41上的部分该含钛金属层11是为不必要的金属层而一起被移除。所形成的含钛金属层11是具有复数个喷孔片开孔12，其中，该些栓柱41的移除方式可为去离子水移除或是电浆移除等方法，该些喷孔片开孔12的孔径是介于3～5微米。
在进行上述移除该些栓柱41及其上表面42的含钛金属层11的步骤之后，可再藉由一晶圆切割步骤，以将上述含钛金属11切割成适当尺寸。之后，可另行移除可剥离层30，使得含钛金属层11由晶圆20剥离，以形成一具有复数个喷孔片开孔12的喷孔片10(如图1所示)。因此，可藉由该方法制作出性质安定的喷孔片10，且该喷孔片开孔12的孔径可以准确且一致地微小化。
因此，本发明的喷孔片具有最佳的生物相容性(biocompatible)，其在与人体接触后不容易产生过敏或排斥的现象。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (7)
1、一种喷孔片的制造方法，该喷孔片具有一第一厚度，其特征在于该制造方法包括以下步骤：
提供一晶圆，其具有一表面；
形成一可剥离层于该晶圆的该表面；
形成一光阻层于该可剥离层，该光阻层具有一第二厚度，该第二厚度大于该第一厚度；
曝光显影该光阻层，以使该光阻层形成为复数个栓柱；
以溅镀方式形成一含钛金属层于该显露的可剥离层与该些栓柱上；以及
移除该些栓柱，以使该含钛金属层具有复数个喷孔片开孔。
2、根据权利要求1所述的喷孔片的制造方法，其特征在于其中所述的可剥离层是为光阻材料。
3、根据权利要求1所述的喷孔片的制造方法，其特征在于其中所述的含钛金属层的厚度是介于25～50微米。
4、根据权利要求1所述的喷孔片的制造方法，其特征在于其中所述的该些喷孔片开孔的孔径是介于3～5微米。
5、根据权利要求1所述的喷孔片的制造方法，其特征在于其中所述的含钛金属层是为纯钛或钛合金。
6、根据权利要求1所述的喷孔片的制造方法，其特征在于其另包括有一晶圆切割步骤。
7、根据权利要求6所述的喷孔片的制造方法，其特征在于其另包括有移除该可剥离层，使得该含钛金属层由该晶圆剥离。
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