CN100508721C - 对基板作业系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种满足结构紧凑、便利、适应性强等各种要求的对基板作业系统。在系统基座(10，570～574)上，多个对基板作业装置(12)在基板输送方向上整列配置。此外，这些对基板作业装置(12)为(a)可沿着装置轨道移动、(b)可与系统基座(10)分离地模块化、(c)自身也可配置基板输送装置而模块化、(d)相互邻接配置、(f)装置宽度规格化的形式。另外，该系统成为可对跨越在2个以上的对基板作业装置(12)上的电路基板进行作业的形式。再者，对基板作业装置(12)为XY滑动型装置时，滑动装置成为多段式(伸缩式)形式。如此，成为可满足上述要求的系统。

Description

对基板作业系统

技术领域

本发明涉及一种在电子电路装配之际，用于进行对电路基板实施的对电路基板作业的对基板作业系统。

背景技术

电子电路的装配，即，将电子部件等的电路部件安装于印刷线路板等的电路基板上的作业一般通过电路部件安装线实现。电路部件的安装作业由多种类的作业例如在电路基板上印刷上焊锡膏的焊锡印刷作业、在电路基板上涂布粘接剂的粘接剂涂布作业、将电路部件安装到电路基板上的电路部件安装作业、通过将装有电路部件的电路基板加热以进行焊锡焊的焊锡焊作业、检查上述各作业中任意一项的作业结果的检查作业等(以下，将这些作业总称为“对电路基板作业”、或者大致简称为“对基板作业”)构成，一般的电路部件安装线由进行这些对电路基板作业的作为对基板作业机范围的、焊锡印刷机、粘接剂涂布机、部件安装机、软溶炉、检查机等构成。

在以往的安装线上，从考虑这些作业机各自的调整、维修等情况下的便利性等的观点出发，一般是将这些作业机间隔设置，将各作业机通过输送机等连接而成。在这样的安装线上，空间利用率有限，希望有一种结构紧凑的对基板作业系统。另外，在上述结构的安装线上，由于在变更安装线序列时，必须一个一个地移动对基板作业机，一个一个地进行定位，从变更安装线的观点考虑，也希望结构紧凑，另外，从快速实现安装线变更作业的便利性、或增宽安装线构成的形式宽度的观点考虑，希望有适应性强的对基板作业系统。再者，正如上述，也希望对基板作业系统在调整、维修等时具有良好的便利性。

发明内容

正如上述，对于对基板作业系统，要求结构紧凑、便利和适应性强等。为此，本发明的目的是提供一种可满足这些要求中的至少几个的对基板作业系统。根据本发明，可获得下述各形式的对基板作业系统。各形式与权利要求同样，以项区分，各项附上序号，根据需要，以引用其他项的序号的形式记载。这只是为了容易理解本发明，本说明书所记载的技术特征及其组合不应当解释为由以下各项所记载内容的限定。另外，多个事项记载于一项中的情况下，并不是始终要一同采用该多个事项。也可只选择和采用一部分事项。

(1)一种对支承电路部件以构成电子电路的电路基板进行预定的一种以上的对电路基板作业的对基板作业系统，包含有：

系统基座；输送电路基板的基板输送装置；以沿着由该基板输送装置输送电路基板的方向、即基板输送方向排列的状态配置于所述系统基座上，对至少一部分位于自身的作业区域内的电路基板分别进行规定的成对电路基板作业的多个对基板作业装置。

本项所述形式的对基板作业系统是在成为系统全体的基座的系统基座上设有多个对基板作业装置。可由一个系统进行几个对基板的作业，可获得几结构紧凑的对基板作业系统。另外，所配置的对基板作业装置的种类、配置方式等的参数将在以下项中详细说明。

系统基座要求至少具有作为载置多个对基板作业装置的台的功能。除了该功能外，可具有所配置的多个对基板作业装置中的2个以上或全部的装置可共用的共用装置、共用设备例如动作电源、正压、负压发生源或总控这些来自发生源的正压、负压供给通路、系统全体的控制装置、将各对基板作业装置间的控制信号、信息相互传递用的通信电缆、终端等，另外，还可具有专用于所配置的多个对基板作业装置任意一个的专用装置、专用设备例如专用的控制装置、动作电源等、和定位或固定各对基板作业装置用的定位装置、固定装置或者其中一部分等。通过系统中设有专用装置、专用设备，可使所配置的对基板作业装置紧凑，如采用具有共用装置、共用设备的话，可使系统基座自身进一步紧凑。作为最佳形式的一个为，系统基座至少可具有将电力、流体压力等驱动力向对基板作业装置供给的驱动力供给部。

基板输送装置优选地设成电路基板可通过系统全体即各对基板作业装置。基板输送装置在例如以输送机为主时，可具有根据所输送的电路基板的宽度能够变更其宽度的基板宽度对应宽度变更装置。另外，基板输送装置可在系统全体上形成一个输送线，另外，也可在遍布系统全体或系统的一部分上形成多个输送线。基板输送线的数量根据系统构成、基板的种类等可随时变更。基板输送装置可作为上述共用装置或专用装置设置在系统基座上，正如后述，可成为将其一部分或全部分割组装到对基板作业装置内，通过将这些对基板作业装置配置于系统基座的规定的配置位置上，以在系统内构筑的装置。

(2)按照(1)项所述的对基板作业系统，所述多个对基板作业装置包含有进行从下述作业中选定的至少一个作业的装置，所述作业包括在电路基板的表面涂布高粘性流体的高粘性涂布作业、将电路部件安装到电路基板表面上的电路部件安装作业、检查上述高粘性涂布作业和电路部件安装作业中至少一个作业的结果的检查作业。

上述例举的对电路基板作业是以往安装线上的对基板作业机的一般的作业，设有进行这些作业的对基板作业装置的对基板作业系统成为实用的系统。即使在所例举的作业中，电路部件安装作业由于在多种电路部件被装在一个电路基板上的情况下大多是在多个安装机上进行，因此，将多个电路部件安装装置作为主体配置的电路部件安装系统成为本系统的一个有效的形式。

在本发明的系统中，所配置的对基板作业装置的数量、种类并没有限定。例如，所有的对基板作业装置可成为进行一种对基板作业的装置，另外，也可配置进行相互不同的对基板作业的多种的装置。对基板作业装置进行的对基板作业并不限于上述例举例。例如，也可由进行前述加热作业的软溶炉装置(加热作业装置)，以电路基板的输送为主要目的的输送作业装置，将电路基板进行存储等待机作业的待机作业装置，进行使电路基板朝系统移送作业的移送作业装置、使电路基板从系统移出作业的移出作业装置等的辅助作业的对基板作业装置构成本系统。作为待机作业装置的一例，具有存储多个电路基板的存储作业装置。另外，作为进行上述以外的辅助作业的装置的例子，具有变更电路基板的输送路径的输送路径变更作业装置。以上述输送作业装置为首，存储作业装置和输送路径变更作业装置作为基板输送关联作业机的一种。通过包含有进行这样的辅助作业的对基板作业装置或者可在包含该装置的状态下构筑系统，可提高系统的适应性或便利性。

所配置的对基板作业装置可根据其进行的对基板作业而成。例如，在作为电路部件安装装置时，可由供给电路部件的部件供给装置、将电路基板固定并保持在确定的作业位置上的基板保持装置、具有吸附嘴等部件保持设备并且将电路部件从部件供给装置取出和保持同时将该电路部件安装到所保持的电路基板上的安装头、使安装头在部件供给装置与电路基板之间移动的安装头移动装置等构成。另外，在成为高粘性流体涂布装置的一种的焊锡膏印刷装置时，例如，可由基板保持装置、具有金属掩膜和涂刷器的涂布装置、将焊锡膏向涂布装置供给的供给装置等构成，作为另一种粘接剂涂布装置时，例如可由基板保持装置、具有注射器和分配器等的涂布装置等构成，在检查上述各种作业的结果的检查装置时，例如可由基板保持装置、CCD摄像机等的识别设备、处理图像处理单元等的识别数据的识别数据处理单元等构成。

(3)按照(1)项或(2)项所述的对基板作业系统，所述多个对基板作业装置中至少一个为可沿着在与所述基板输送方向交叉的方向上延伸的装置轨道，相对所述系统基座相对移动的可动装置。

在设有多个对基板作业装置的系统中，例如，在该系统的长度加长、配置许多装置而该装置间的间隔变窄的情况下，进行任意一种对基板作业装置的调整、维修等作业之际，会影响相邻的对基板作业装置的存在等，其作业会很难进行。如成为调整等作业的对象的装置能从装置布置中脱离地移动，则可提高该系统的便利性。本项所述的系统由于能够沿着基板输送方向、即在与对基板作业装置排列的方向交叉的方向上延伸的装置轨道，使某个对基板作业装置移动，因此，便利性优。

上述装置轨道的方向没有特别地限定，在对基板作业装置从系统正面看时为左右排列的情况下，可采用在上下方向、前后方向、前斜上方、后斜上方等各方向延伸的装置轨道。另外，装置轨道并不限于直线状，可为曲线状。成为可动装置的对基板作业装置的数量并没有限定，可以是只一部分装置成为可动装置，也可以是所有装置成为可动装置。在多个对基板作业装置成为可动装置时，鉴于这些装置可接近配置，希望这些装置的各自的装置轨道位于相互平行的各个平面内。可动装置可以是由规定的配置位置上只朝一方向移动的装置，也可以在一个的装置轨道上的中间位置上存在规定的配置位置，从该配置位置朝沿着其装置轨道的两个方向移动的装置。

对基板作业装置的移动可手动即人力进行，也可由例如在系统基座或成为可动装置的对基板作业装置上具备的电动马达、压力缸装置等的驱动源的驱动装置进行。可移动的范围并没有特别的限定，但如考虑调整、维修等作业之际的便利性，希望从平行于基板输送方向的方向看去时，以成为对象的装置和与之相邻的装置相互不重合，或者大半部分不重合的程度加宽可动范围。

(4)按照(3)项所述的对基板作业系统，所述装置轨道为垂直于所述基板输送方向的直线轨道。

(5)按照(3)项或(4)项任一所述的对基板作业系统，所述装置轨道大致水平延伸。

上述2项所述的形式是对装置轨道的方向、即成为可动装置的对基板作业装置的移动方向有关的限定。在(4)项所述的形式中，将成为移动对象的对基板作业装置移动时，容易成为使该装置和相邻的对基板作业装置不干涉地移动的形式，特别是，即使在相邻的装置与成为移动对象的装置邻接配置的状态下，也可不发生干涉现象。另外，在(5)项所述的形式中，即使在沿着装置轨道的任一方向上的移动，该移动方向上也几乎不包含向上的移动方向成分，所移动的可动装置的重量很难成为负载。因此，如采用作为容易移动机构的一种的车轮、滚轮等减少摩擦力机构，则通过人力就可容易地使可动装置沿着装置轨道移动。上述2项所述的形式是实用的形式，一同采用两者所述的限定事项的形式，则成为更实用的形式。

(6)按照(3)项～(5)项任一所述的对基板作业系统，该对基板作业系统具有容许所述可动装置沿着所述装置轨道移动的可动装置移动容许装置，和将所述可动装置固定到该装置轨道上的一定位置处的可动装置固定装置。

本项所述的形式为将对基板作业装置作为可动装置之际的一形式。如由装置轨道限制对基板作业装置的移动方向，同时，在装置轨道上的一定位置例如相对于系统基座上为一定的相对位置上固定，则成为实用的系统。上述固定装置进行的可动装置的在装置轨道上的固定位置可包含使系统运行之际的对基板作业装置在系统基座中的规定的配置位置，另外，还可包含只从该配置位置移动任意距离的位置。即，固定位置并不限于一个位置，例如，为了成为包含有上述规定的配置位置和与之不同另外设定的位置的形式时，可为多个位置。

(7)按照(6)项所述的对基板作业系统，所述可动装置移动容许装置具有位置固定地设置于所述系统基座和所述可动装置一方上、以形成所述装置轨道的装置轨道形成部，和位置固定地设置于所述系统基座和所述可动装置另一方上、可移动地与所述装置轨道形成部卡合的对轨道卡合部。

本项所述形式的可动装置移动容许装置具有装置轨道形成部和对轨道卡合部。例如，在系统基座上敷设有作为轨道形成部件的导轨，而在可动装置上附设有与该导轨卡合的卡合部件时，导轨相当于上述装置轨道形成部，而卡合部件相当于对轨道卡合部。此时，希望该卡合部件与导轨间产生的摩擦力较小，希望采用例如包含有通过轴承可自由回转的车轮的车轮装置、包含轴承等的滑动装置等。此外，也可相反，将导轨设置在可动装置侧，将上述卡合部件设置在系统基座侧。

(8)按照(6)项或(7)项所述的对基板作业系统，所述可动装置固定装置具有在所述装置轨道的延伸方向上的位置固定地设置于所述系统基座和所述可动装置的每个上，通过相互抵接，禁止所述可动装置的相对所述系统基座沿所述装置轨道的一方向移动的各抵接部；通过禁止解除该各抵接部彼此的抵接状态，以禁止所述可动装置相对所述系统基座沿所述装置轨道的另一方向的移动的抵接状态解除禁止部。

本项所述的形式为进行与可动装置固定装置有关的限定的形式。例如，在系统基座上设有止动件等卡止部件，在可动装置上设有由该卡止部件卡止的被卡止部件，在装置轨道上的一定位置上两者抵接时，这些卡止部件和被卡止部件分别相当于上述的抵接部。并且，例如，在系统基座或可动装置一方上设有包含压力缸等施力发生器的施力装置，对系统基座或可动装置另一方的一部分向卡止部件和被卡止部件相互继续抵接的方向上施力，则可维持可动装置相对系统基座的相对位置。即，可动装置固定到系统基座上。此时，包含该施力装置地构成抵接状态解除禁止部。通过解除所施力，卡止部件和被卡止部件相互的抵接可被解除，容许可动装置沿着装置轨道的移动。

另外，本项所述形式中的可动装置固定装置可以是，在可动装置和系统基座—方上设有朝向另一方突出的销，在另一方上设有与该销无间隙嵌合的嵌合孔，将该销嵌入该嵌合孔形式的装置。此时，销的外周面的一部分和嵌合孔的一部分相当于抵接部，销和嵌合孔自身具有作为抵接状态解除禁止部的功能。

(9)按照(3)项～(8)项任一所述的对基板作业系统，可形成与所述装置轨道不同的另一轨道的工作台装置在以该另一轨道延长所述装置轨道的状态下配置在所述系统基座附近的情况下，所述可动装置的至少一部分为了载置于所述工作台装置上而可沿着所述另一轨道移动。

如考虑作为一种紧凑型系统，在系统基座上配置多个对基板作业装置时，希望系统基座的大小相对对基板作业装置的配置空间不要过大。这样，例如，可动装置相对系统基座在横方向上移动的话，可动装置就成为从系统基座外伸的状态。本项所述的形式在如此场合是有效的，特别是，可动装置的装置轨道大致水平时是一种有效的形式。即，本项所述的工作台装置具有作为辅助基座的作用。另外，本系统中，尽管工作台装置不作为直接构成系统的构件，但也可作为包含工作台装置的系统。

工作台装置相对系统配置在规定位置上的情况下，具有该工作台装置的轨道延长了装置轨道。为此，上述另外的轨道可称作延长轨道。延长轨道可由与用于形成装置轨道的结构同样的结构构成。例如，可与前述的可动装置移动容许装置同样，在工作台装置和可动装置的关系上，以包含有装置轨道形成部和对轨道卡合部的工作台装置侧可动装置移动容许装置那样，构成工作台装置。此时，例如，可以是在工作台装置本体上敷设作为轨道形成部件的导轨，而在可动装置上附设与该导轨卡合的卡合部件的形式。另外，延长轨道尽管延长了装置轨道，但在采用上述那样的导轨时，导轨自身不一定必须位于一直线上。此时，例如，也可采用设有与系统基座侧的导轨卡合的卡合部件不同的另一卡合部件，并且该另一卡合部件与工作台装置侧的导轨卡合的形式。只要轨道被延长，即可动装置的移动方向维持在一定方向的状态下、装置轨道的移动范围被延长，则前述可动装置移动容许装置的构成部分和工作台装置侧可动装置移动容许装置的构成部分既可以为相互兼用的形式，也可以是相互不兼用的形式。

另外，在工作台装置侧也可设有前述的可动装置固定装置。在该工作台装置侧可动装置固定装置上的构成可依据前述可动装置固定装置的构成而定。另外，工作台装置可以载置一个可动装置，也可载置2个以上的可动装置。可载置多个可动装置形式的工作台装置例如将要在后面详细描述的那样，在必须同时移动相邻的2个以上的可动装置等情况下是一种便利的工作台装置。

(10)按照(9)项所述的对基板作业系统，通过将所述可动装置移送到所述工作台装置上，其对基板作业装置与所述系统基座分离。

例如，正如后述，在对基板作业装置模块化的情况下，该对基板作业装置可与系统基座分离。在如此形式的系统中，在该对基板作业装置进行与系统基座分离之际，可使用该工作台装置的形式相当于本项所述的形式。在本项所述的形式中，如成为可移动工作台装置的形式，则该工作台装置可兼作对基板作业装置搬运装置。例如，设置车轮装置等可成为靠人力就可移动的形式、工作台装置自身具有驱动源的可自行的形式等，可成为各种形式下的可动式工作台装置。另外，工作台装置例如设置提升装置等，也可提高便利性。

(11)按照(9)项或(10)项所述的对基板作业系统，所述系统基座具有连接部，该连接部为将所述工作台装置定位在所述另一轨道成为延长所述装置轨道状态下的位置上的构件。

可动装置的移动主要是在该可动装置的调整、维修等之际，或者系统变更时等情况下，在可动装置与系统基座分离之际进行。因此，系统运行时等的通常情况下，工作台装置处于与系统分离的场所，必要时，位于系统旁。此时，可获得方便地使具有工作台装置的轨道定置于延长装置轨道的位置上的作业的形式就是本项所述的形式。连接部以及工作台装置侧的连接部的具体结构并没有特别地限定，销和嵌合孔分别设置在相互的连接部的每个上，通过将其嵌合，可成为可定位的连接装置。

(12)按照(3)项～(11)项任一所述的对基板作业系统，所述多个对基板作业装置中相互邻接的2个以上的装置为所述可动装置，该2个以上的可动装置的所述装置轨道的延长方向相互平行，该对基板作业系统包括在至少该2个以上的可动装置相对所述系统基座同时相对移动之际，限制该2个以上可动装置的至少所述装置轨道的延长方向上的相互的相对移动的装置相互间相对移动限制装置。

正如后面将要详细说明的那样，存在着一个电路基板跨越2个以上的对基板作业装置定位，并且这些装置与该一个电路基板协同动作地作业的情况。在这种情况下，发生任何问题之际，有要求同时调整这些装置等的时候。在这些装置为可动装置时，也存在着例如，在保持电路基板的状态下，使这些装置同时从配置位置上移动以进行必要的调整作业的时候。此时，考虑到对跨越在这些装置上的电路基板等的影响，希望在维持这些装置间的相对位置关系的状态下，同时移动这些装置。本项所述的形式在如此情况下为一种有效的形式。即，本项所述的形式可以是一种具有相互平行的装置轨道并且将相邻的多个可动装置在维持这些装置间的相对位置关系的状态下一齐移动的形式。另外，装置相互间相对移动限制装置也可以是一种根据其利用的目的，只禁止相对位置有较大误差而容许有某种程度误差形式的装置。

另外，装置相互间相对移动限制装置并不限于同时移动可动装置的场合，而且，无论成为对象的对基板作业装置是否是可动装置，均可以作为使多个对基板作业装置的配置位置上的相互的相对位置关系正确的装置利用。

(13)按照(12)项所述的对基板作业系统，前述装置相互间相对移动限制装置为，在前述2个以上的可动装置中的一个和与之相邻的另一个上分别具有前述装置轨道的延长方向上的位置固定地设置并且相互卡合的各卡合部，限制这些卡合部的至少前述装置轨道的延长方向上的相互的相对位置。

本项为示出上述装置相互间相对移动限制装置的具体形式的项。能够有效地防止相邻的2个对基板作业装置的相对位置关系错位。本项形式具体为，例如，可采用在一方装置上设有可朝向另一方装置突出的销，而在另一方装置上设有与该销嵌合的嵌合孔，通过两者嵌合，限制双方装置的相对位置形式的装置相互间相对移动限制装置。该形式时，销和嵌合孔相当于上述各卡合部。容许某种程度的相对位置错位时销和嵌合孔的嵌合关系可以是未紧固的关系。另外，采用上述形式的装置相互间相对移动限制装置时，通过使销成为突出状态而与嵌合孔嵌合的状态，也可将销成为被突出状态的非嵌合状态。这样，能将2个卡合部在卡合状态和被卡合状态这两个状态间转换的装置相互间相对移动限制装置返过来，则在任意时期，成为解除2个可动装置的相对位置关系的限制的装置，具有装置相互间相对移动容许装置的功能。

(14)按照(1)项～(13)项任一所述的对基板作业系统，所述系统基座包括多个基座模块而构成。

本发明的对基板作业系统能够将其构成要素的几个模块化。本项所述的形式为，将系统基座由模块化的基座模块构成系统基座的形式。系统基座可将多个基座模块相互连接成一体，或者不连接，而通过相互配置于适当的位置上，而具有成一体功能的系统基座。此外，也可以将基座模块彼此连接的部分与不连接的部分混合而成一个系统基座。作为系统基座由基座模块构成的优点，例如，容易对应于随着系统构成变更使得系统基座长度的变更，在存在与所配置的对基板作业装置相对应的专用的基座模块时，能够包含该专用模块等，系统的适应性强。

(15)按照(14)项所述的对基板作业系统，对基板作业单元由前述多个基座模块的每个和配置在该每个上的前述多个对基板作业装置的一个以上的装置构成，并且该对基板作业单元设有多个。

采用系统基座时，也可由该基座模块和配置在其上的对基板作业装置构成例如作为单独的对基板作业机功能的单元。此时，在一个基座模块上配置2个以上的对基板作业装置以构成对基板作业单元时，该单元自身可成为(1)项那样的对基板作业系统。将一个基座模块上配置2个以上的对基板作业装置的单元与配置一个对基板作业装置的单元相比，在按单元移动等情况下，便利性优良。另外，在基座模块自身上如设有车轮装置等的易移动装置，则由该模块构成的对基板作业单元成为可容易移动的单元。通过单元化，可提高系统的通用性。

(16)按照(1)项～(15)项任一所述的对基板作业系统，所述多个对基板作业装置中至少1个装置为可与所述系统基座分离的模块化的模块化装置。

如可容易分离地将基板作业装置模块化，通过将几个模块化装置直接配置于系统基座上，可容易变更系统，提高了系统的通用性。如将所有的对基板作业装置均模块化，可实现具有更高适应性的系统。在作为对基板作业装置一种的电路部件安装装置中，可例如在装置模块本体上装入先前所述的部件供给装置、基板保持装置、安装头、安装头移动装置等并模块化。另外，也可例如装入控制这些装置的控制装置、识别基板表面的基板识别装置、将保持于安装头中的电路部件加以识别的部件识别装置等的装置并模块化。另外，如与“可分离”的程度有关的话，优选为不是例如通过许多紧固件进行的紧固等固定对基板作业装置，分离时需要较大劳力、时间的状态，而是通过比较简单的操作，可容易装脱的状态下配置对基板作业装置。

(17)按照(16)项所述的对基板作业系统，前述模块化装置中的至少一个可与另外准备的另一个模块化装置更换。

(18)按照(16)项或(17)项所述的对基板作业系统，前述多个对基板作业装置中至少2个以上的装置为前述模块化装置，该2个以上的模块化装置中至少2个以上的装置，其相互的配置位置可变更。

上述2项中，是对对基板作业装置的模块化程度进行了限定。在(17)项所述的形式中，是可与另外的模块化装置更换的形式，例如，在某个对基板作业装置发现异常时，容易将该对基板作业装置与正常动作的对基板作业装置更换，或者，容易根据系统进行的对基板作业的内容更换不同种类的对基板作业装置，可实现更换作业时损失少的系统。另外，在(18)项所述的形式中，能够容易地进行配置替换，系统变更中的便利性良好。此外，对于多个对基板作业装置全部模块化，并且任意一个模块化装置也可与其他装置更换的形式或者任意一个模块化装置也可任意地变更相互的配置位置的形式，从系统的便利性、通用性的规定来看，更加有利。

(19)按照(1)项～(18)项任一所述的对基板作业系统，所述对基板作业装置由在所述基板输送方向上可分离的模块化的多个基板输送模块构成。

如将基板输送装置其部分均模块化，则与基座的模块化同样，可容易与系统长度的变更相对应等，提高系统的通用性。可以是基板输送装置的所有部分均模块化，也可以是只一部分模块化。

(20)按照(16)项～(18)项任一所述的对基板作业系统，所述基板输送装置为包含有在所述基板输送方向上可分离地模块化的多个基板输送模块的结构，所述模块化装置中一个以上的装置为自身配备该多个基板输送模块中一个以上作为配备输送装置而模块化的输送装置配备模块化装置。

将基板输送装置的一部分模块化的基板输送模块配备于模块化的对基板作业装置中的形式为本项所述的形式。为系统高度模块化的形式。可以是在一个模块化装置中配备一个基板输送模块的形式，也可以是在一个模块化装置中配备2个以上基板输送模块的形式。

(21)按照(20)项所述的对基板作业系统，前述配备输送装置为与前述基板输送装置的与该配备输送装置相邻的部分协同动作，移送电路基板，使电路基板的至少一部分位于配备了该配备输送装置的输送装置配备模块化装置的作业区域的规定的作业位置上。

本项所记载的形式在让作为配备输送装置的基板输送模块兼作配备它的模块化装置中的基板保持装置等的情况下，是一种特别有效的形式。另外，协同动作的输送是在上游一侧、下游一侧的基板输送装置的部分(也可以是另外配备的输送装置)与配备输送装置之间的电路基板的交接，开始、停止电路基板的移动等时，将他们之间各自的起动、停止时刻，各自的输送速度等通过同时、同步等来实现。另外，例如，按照电路基板的宽度，可让上游侧、下游侧基板输送装置的输送部的宽度与配备输送装置的输送部的宽度(例如，在传送带装置情况下意味着传送带宽度等)相互对应进行变更来构成。另外，如后面进行说明的那样，也可以是根据电路基板的种类对一个电路基板由一个对基板作业装置进行作业的情况下的基板停止位置，与这两个装置协同动作对跨越相邻的两个对基板作业装置位置上的电路基板进行作业情况下的基板停止位置进行切换来构成。

(22)按照(21)项作记载的对基板作业的系统，上述基板输送装置是以传送带为主体的装置，上述配备输送装置带有与上述基板输送装置的其它部分相独立的传送带，该传送带在上述输送装置的配备模块化装置配置于上述装置基座上的情况下，处于与上述基板输送装置的相邻部分上存在的传送带呈一条线的位置上。

以带式传送器等传送带为主体的输送装置非常简便。另外，它同时还带有能够在基板输送方向上容易分离地模块化的特点。

(23)按照(21)项或(22)项所述的对基板作业系统，该对基板作业系统包括对上述配备输送装置的动作与上述基板输送装置的该配备输送装置相邻的部分的动作进行协调，进行上述基板输送装置的控制的基板输送协调控制部。

如早先说明的那样，各装置可协调地进行上游一侧、下游一侧的基板输送装置的部分与配备输送装置之间的电路基板的接收，使其向电路基板上任意的停止位置停止等的状态。例如，在配备输送装置将传送带作为主体的情况下，有它就会协调传送带的动作。更具体地说，分别在配备输送装置和与之相邻的基板输送装置的部分上，于一处以上的位置设置确认电路基板的一部分是否存在的基板检测器，基板输送协调控制部根据设置该基板检测器处的基板检测信号，进行使配备输送装置的动作和与之相邻的基板输送装置部分的动作协调控制，从而形成这种形式的系统。在以传送带为主体的装置的情况下，在该传送带起动、停止，输送速度的变更等过程中，最好实现同时、同步、时刻的精确化等。基板输送协调控制部也可以是构成该控制的中心的部分设置在系统基座等系统共同的部分上，另外，也可以分散到各对基板作业装置各自的控制装置等的内部。

此外，上述(21)项至(23)项中记载的特征在于，无论是否将基板输送模块作为配备输送装置配备在模块化装置中，均得到基板输送模块的特征。因此将(19)项中所称的“多个基板输送模块”中的一个以上的模块作为“目标基板输送模块”，将(21)项至(23)项的“配备输送装置”作为“目标基板输送模块”，通过上述(21)项至(23)项中记载的特征来限定(19)项，从而获得本发明的一个形态。

(24)按照(1)项～(23)项任一所述的对基板作业系统，作为上述多个对基板作业装置的至少一部分的多个装置中的每一个都是配置成相互邻接状态的相互邻接配置装置，该多个相互邻接配置装置配置成相互邻接状态而构成邻接装置群。

通过将对基板作业装置邻接配置，从而实现了紧凑的对基板作业系统。这里所称的“邻接”，意思是对基板作业装置外表面的至少一部分相互接近地配置。此外，相互连接的部件等特殊部件的表面已被从上述外表面上除去。一般而言，例如，构成邻接装置群的相互邻接配置的装置配置成在基板输送方向上几乎没有间隙的状态。在相互邻接配置的装置是上述可动装置等的情况下，允许存在一定程度的间隙，该间隙以在不与该装置的基板输送方向相交叉的方向上的移动相邻接的装置发生干涉的状态下能够进行为限。更具体地说，装置外表面的相互间隔，例如，最小的部分可以处于50mm以内，最好处于30mm以内，处于15mm以内则更好。此外，也可以采用多对基板作业装置的一部分构成邻接装置群的形式，另外，作为更紧凑的形态，还可以采用通过所有的对基板作业装置来构成邻接装置群的形态。

(25)按照(24)项所述的对基板作业系统，上述多个相互邻接配置的装置中的每个都是与上述系统基座可分离地模块化的，上述各个基板输送方向上的宽度都规格化为设定的单位宽度的大致整数倍。

在作为构成邻接装置群的对基板作业装置的相互邻接配置的装置模块化的情况下，通过将这些装置的宽度规格化，实现了紧凑并且灵活的系统。对基板作业装置的“宽度”是指对基板作业装置的基板输送方向上相反一侧的外表面部分间隔距离中的最大值。对于存在相互连接的部件等特殊部件部分的宽度，可以排除在外。例如，在将具有相同外形的对基板作业装置以基板输送方向整列的状态下相互紧贴状态配置在系统基座预定的配置位置的情况下，其配置的间距与该装置的宽度相等。如果宽度规格化的话，通过将邻接装置群的宽度规格化，在相互邻接的装置更换、配置变换等情况下，基座可以循环使用。

规格化的单位宽度，例如，可以是与最小宽度相互邻接的配置装置的宽度大致相当的宽度。在这种情况下，另外的相互连接配置的装置则可以是与其宽度相等的宽度、即其宽度1倍的宽度、或者2倍、3倍…的宽度。在相互邻接的装置为可动装置的情况等，考虑到配置更换等必须在装置之间设置一定间隙的情况下，装置的宽度不能严密地形成整数倍，但即使在这种情况下，该系统也包含在本项记载的形态中。

(26)按照(25)项所述的对基板作业系统，上述系统在至少配置上述邻接装置群的部分上，带有以上述基板输送方向中的上述单位宽度相等节距设置的确定上述多个相互邻接配置装置的至少每个的上述基板输送方向的配置位置的多个配置位置确定装置，上述多个相互邻接配置的装置中的每个都由这些配置位置确定装置中的至少一个来确定配置位置。

本项所记载的形式一般而言，例如，是将设置于系统基座上的配置位置确定装置规格化，将相互邻接配置装置的配置位置确定装置的位置关系规格化的状态。例如，在构成单位宽度的相互邻接装置群的邻接装置群的情况下，任意配置位置的确定装置如果可以将任意相互邻接配置装置配置在预定配置位置的话，即使在将这些相互邻接配置装置进行位置更替的情况下，也能够很容易地构成邻接装置群。另外，在单位宽度为大致2倍的相互邻接配置装置的情况下，假定配置有相互邻接的两个单位宽度的相互邻接配置装置，并且是将他们一体化的装置，则可以配置在与该假定的装置的配置位置相同的位置，来构成配置位置确定装置也是可以的。对于基本宽度大致3倍、大致4倍的装置也可以是相同的结构。根据上述结构，与构成邻接装置群的相互邻接配置的装置的配置更替、更换、增减等相对应，能够很容易地构筑带有多样的邻接装置群的系统。另外，还提高了系统的通用性。

(27)按照(26)项所述的对基板作业系统，上述配置位置确定装置带有确定上述相互邻接配置装置的上述基板输送方向的配置位置用的输送方向位置确定部，确定与上述基板输送方向相交叉的方向上的配置位置用的交差方向位置决定部。

本项所记载的形式中，可以进行上述两个方向的定位，构成一种实用的系统。对输送方向位置确定部以及交叉方向位置确定部的具体形态并没有限定，例如，在相互邻接的装置为可动装置的情况下，在上面所述的可动装置移动允许装置的装置轨道形成部设置于系统基座上时，该装置轨道形成部可以形成兼作输送方向位置确定部的形态。另外，可以形成上述可动装置固定装置的一部分兼作上述交叉方向位置确定部的形态。

(28)按照(1)项～(27)项任—所述的对基板作业系统，该对基板作业的系统具有对上述多个对基板作业装置中相互邻接的两个以上来构成的作业装置群，对大小为跨越构成该作业装置群的对基板作业装置的作业区域的电路基板进行对基板的作业。

本发明的对基板的作业系统将收容于各对基板作业装置的作业区域内的大的电路基板通过基板输送装置运送，依次停止在各对基板作业装置的作业区域内，因而可以采用通过各对基板作业装置进行基板作业的作业的形式。对此，本项记载的形态在将比较小的对基板作业装置对齐排列，对比较大的电路基板进行对基板作业时，使该电路基板处于跨越多个对基板作业装置的位置上，形成采用可对基板进行作业的作业形态的状态。具有可使对基板作业装置小型化的优点，还有可使系统整体小型化的优点。

上述作业装置群可以是由配备的对基板作业装置中的一部分构成的形态，另外，也可以是由全部基板作业装置构成的形态。另外，系统中的作业装置群的数目可以是1个，也可以是2个以上。包括将多个对基板作业装置的全部划分为多个作业装置群的形态。在这种情况下，例如，让基板输送方向的装置宽度相等的多个对基板作业装置全部邻接配置，作为相同数目的对基板作业装置构成的相互邻接的多个作业装置群，以包括每个作业装置群中相同种类的进行对基板作业的对基板作业装置的方式构成系统的话，这种系统便是一种实用的系统。

(29)按照(28)项所述的对基板作业系统，在对跨越构成上述作业装置群的对基板作业装置的作业区域的大小的电路基板进行对基板作业时，在上述基板输送装置中将电路基板作为该作业装置群的一个单位输送，在构成该作业装置群的对基板作业装置的每个上，通过在对位于该各个作业区域的电路基板部分区域进行该分别确定的一定的对基板作业，从而将对该电路基板的对基板作业一并进行，形成包括这种一并作业控制部的对基板的作业系统。

(30)按照(28)项所述的对基板作业系统，在对跨越构成上述作业装置群的对基板作业装置的作业区域的大小的电路基板进行对基板作业时，在上述基板输送装置中将电路基板依次输送到构成该作业装置群的每个对基板作业装置中，在构成该作业装置群的对基板作业装置的每个上，让每个作业的电路基板部分区域依次变更，从而对应于作业的部分区域依次进行确定的对基板作业，形成包括依次输送作业控制部的对基板的作业系统。

(31)按照(28)项所述的对基板作业系统，该对基板作业的系统包括：(a)在对跨越构成上述作业装置群的对基板作业装置的作业区域的大小的电路基板进行对基板作业时，在上述基板输送装置中将电路基板作为该作业装置群的一个单位输送，在构成该作业装置群的对基板作业装置的每个上，通过在对位于该各个作业区域的电路基板部分区域进行该分别确定的一定的对基板作业，形成让对该电路基板进行对基板作业一并进行的一并作业控制部，(b)在对跨越构成上述作业装置群的对基板作业装置的作业区域的大小的电路基板进行对基板作业时，在上述基板输送装置中将电路基板依次输送到构成该作业装置群的每个对基板作业装置中，在构成该作业装置群的对基板作业装置的每个上，让每个作业的电路基板部分区域依次变更，从而对应于作业的部分区域依次进行确定的对基板作业，形成包括依次输送作业控制部，并且还包括选择地进行通过上述一并作业控制部的控制，以及通过上述依次输送作业控制部的控制的作业形态选择控制部。

上述3种形态涉及到对跨越2个以上对基板作业装置的大小的线路板进行作业时的作业形态。一般而言，例如，在将电路基板的被作业区域分成几个区域的情况下，让其中一个区域的对基板作业由一个对基板作业装置来进行的形态是(29)项中记载的形态，让一个对基板作业装置对多个区域依次进行对基板作业的形态是(30)项中记载的形态。在这些形态中，可以由紧凑的对基板作业装置对比较大的电路基板进行对基板作业，形成更富方便性的系统。这样，(31)项记载的形态是对这2个作业形式进行选择而得到的形态，作业形式很宽广，构成了一种更加灵活的系统。此外，例如，将多个相同结构的对基板作业装置相互邻接配置，划分出通过相同数目的对基板作业装置构成的相互邻接的多个作业装置群，在这样的系统中，(30)项所记载的形态，电路基板的输送间隔可以是这些对基板作业装置的配置间隔等类似的间隔，另外，(29)项所记载的形态，则可以是在配置间隔上乘以构成作业装置群的对基板作业装置数目而得出的间隔。

(32)按照(1)项～(31)项任一所述的对基板作业系统，上述多个对基板作业装置中的至少一个是包括对电路基板进行主要作业动作的作业头部，以及具有使所述作业头部分别向垂直的两个方向移动的两个直线移动装置，并且使上述作业头部在一个平面内移动的头移动装置的作业头部平面型移动装置，该对基板作业系统包括对上述头移动装置进行控制的头部移动控制部。

本项所记载的形态是让对基板作业装置的至少一个带有所谓XY自动型移动装置的形态。例如，进行电路部件安装作业、焊接剂涂布作业、检查作业等的对基板作业装置是由本项中的作业头部平面移动型装置构成的。因此，在这些装置中，例如，在电路部件安装装置的情况下，是带有电路部件保持设备的安装头，在粘合剂涂布装置中，是带有喷射器、分配器等的涂布头，在检查装置的情况下，则是带有识别电路基板表面的基板识别设备等的检查头，它们相当于各自装置的作业头。

在头部移动装置是XY自动型移动装置的情况下，将作业头在X方向移动的X滑动装置、将作业头在Y方向移动的Y滑动装置分别与上述两个直线移动装置相当。例如，X滑动装置带有X轴方向导向器、沿X轴方向导向器移动的X滑动件、移动X滑动件的X滑动移动装置，同样地，Y滑动装置带有Y轴方向导向器、沿Y轴方向导向器移动的Y滑动件、移动Y滑动件的Y滑动移动装置，让X轴方向导向器与Y轴方向导向器中的一方固定设置于对基板作业装置的本体部分上，将X轴方向导向器与Y轴方向导向器中的另一方固定设置在沿着上述X轴方向导向器与Y轴方向导向器中的一方移动处的X滑动件与Y滑动件中的一方上，这样，通过将作业头保持在X滑动件与Y滑动件的另一方上，便能够构成作为作业头部平面移动型装置的XY自动型移动装置。

头部移动控制部可以设置在对基板作业系统的任何位置。例如，设置在带有形成作业头部平面移动型装置的对基板作业装置的控制装置内，设置在对基板作业装置之外的地方，例如系统基座，带有独立控制盘等的控制装置中也是可以的。另外，按每个部分在多个位置分散设置，从这些部分取回信息，形成进行综合控制的形态也是可以的。

(33)在对支承电路部件以构成电子电路的电路基板进行预定的对电路基板作业的对基板作业系统中，包含有：

包括(a)带有对电路基板进行主要作业动作的作业头，(b)带有使该作业头部分别向垂直的两个方向移动的两个直线移动装置、使上述作业头部在一个平面内移动的头部移动装置的作业头部平面型移动装置的对基板作业装置，

对该头移动装置进行控制的头部移动控制部。

(34)按照(33)项所述的对基板作业系统，上述对基板作业装置是从在电路基板表面上涂布高粘性流体的高粘性涂布作业，在电路基板表面上安装电路部件的电路部件安装作业，检查该高粘性涂布作业与电路部件安装作业中的至少一方作业结果的检查作业，进行从这些作业中选出的对电路基板作业中的至少一个作业的装置。

上述2项并不表示为识别本发明的形态，起到以下面揭示的项为前提的使用。换句话说，作为具体的示例，即使在作为(1)项所示的要件的“系统基座”、“基板输送装置”、“多个”对基板作业装置的要件不是必须的要件的对基板作业系统(例如，例如独立的对基板作业机等)中，由于附加有以下项中记载的技术特征的发明能够成立，为了对包含他们的本发明进行说明，以方便起见设置了上述两项。

(35)按照(32)项～(34)项任一所述的对基板作业系统，上述两个直线移动装置中的至少一方，带有本身形成与上述作业头的移动方向平行的第1轨道的第1轨道形成部，沿着该第1轨道移动、并且形成与该第1轨道平行的第2轨道的第2轨道形成部，保持上述作业头、沿着上述第2轨道移动的移动部，构成了多段式移动装置。

本项所记载的形态在对基板作业装置是头部平面移动型装置的情况下，是对有关带有头部移动装置的直线移动装置加上限定的形态。在头移动装置是XY自动型移动装置的情况下，X滑动装置与Y滑动装置中的至少一方，例如，是伸缩型(套筒型)滑动装置等多级式(多段式)移动装置的形态。在上述形态的系统中，在紧凑的对基板作业装置的基础上，还能够确保有大的作业区域。

例如，在将X滑动装置做成两级式移动装置的情况下，带有由第1X轴方向导向器构成的第1轨道形成部，在沿着其移动的第1X滑动件上固定设置与第1X轴方向导向器平行的第2X轴方向导向器构成的第2轨道形成部，由沿着第2X轴方向导向器移动的第2X滑动件构成的移动部。与将Y滑动装置做成两级式移动装置的情况相同，此外，在将直线移动装置做成3级以上的多级式移动装置的情况下，也可以采用同样的方式。

例如，Y轴方向导向器固定设置在装置本体部上，Y滑动件上固定设置着X轴方向导向器，这样，在X滑动件保持着作业头的情况下，既可以将X滑动装置做成多级式装置，也可以将Y滑动装置做成多级式装置，另外，还可以将两者都做成多级式结构。在将X滑动件做成多级式移动装置的情况下，上述移动部形成直接保持作业头的形态。对此，在将Y滑动装置做成多级式装置的情况下，移动部通过X滑动装置间接保持作业头。在本项记载的形态中，由此包含了让移动部通过一方直线移动装置间接保持作业头的形态。

多级式移动装置的伸缩率可以任意设定。例如，在让一方直线移动装置形成多级式装置的情况下，与假定第2轨道形成部一点不移动的情况下的作业区域相对应，通过移动第2轨道形成部，从而有望获得将其作业区域扩大5％以上的伸缩率。最好获得扩大10％以上的作业区域的收缩率，而更好的是获得扩大20％以上的作业区域的收缩率。

(36)按照(35)项所述的对基板作业系统，在上述第1轨道上的上述第2轨道形成部的移动范围内，设定有作为该第2轨道形成部的停止位置的多个轨道部停止位置，上述头移动控制部在该第2轨道形成部停止在上述多个轨道部停止位置中的任意一个位置的状态下，带有让沿着上述第2轨道的上述作业头移动的轨道部停止头移动控制部。

在是多级移动装置的情况下，相对于作业头暂时停止位置，可以任意选择移动部的第2轨道停止位置与第2轨道形成部的第1轨道上的停止位置的组合。在极端情况下存在着连续的无限组合，从其中根据任何规律都能够进行决定两者的停止位置的控制。在本项记载的形态中，首先设定几个第2轨道形成部的第1轨道上的停止位置，让轨道部停止头移动控制部在其设定位置中选择停止位置，在让第2轨道形成部停止于其选择的停止位置的状态下，让移动部移动。让第2轨道形成部的停止位置的选择按照一定的规律进行的话，容易进行作业头的停止位置的控制。也可以让一定的规律相应于状态进行变更，从而能够进行更富有针对性的控制。例如将作业头可移动的区域分割成几个分区，根据让作业头停止在某个分区中，能够进行控制确定第2轨道形成部的停止位置。此外，这里所称的“停止状态”，并不仅仅意味着让第2轨道形成部件停止后来移动作业头。在实际控制中，在第2轨道形成部的停止位置的变更时，一旦朝第2轨道形成部的停止位置移动，作业头相对于第2轨道形成部的移动也同时或者几乎无时间差地开始的情况。在这种情况下，会发生两者同时移动的现象(发生的频度不一定很高)。上述的“停止状态”意味着包含了这种现象。

(37)按照(35)项或(36)项所述的对基板作业系统，在由形成上述多级式移动装置的直线移动位置形成作为上述作业头移动方向的特定方向上，该直线移动装置的上述第1轨道形成部以及上述第2轨道形成部的长度不超过上述头平面移动型装置的装置区域宽度，上述头移动控制部通过让上述第2轨道形成部移动到上述第2轨道的一部分进入装置区域之外的位置上，从而可让上述作业头前出装置区域之外。

根据本项记载的形态，在带有收容于装置区域内的直线移动装置的对基板作业装置中，例如通过让第2轨道形成部的一部分露出装置区域，可以让作业区域扩大到装置之外。对于“装置区域”，意味着由对基板作业装置的装置本体部外表面划分出的内部空间。除了第2轨道形成部、作业头等的移动前出装置、设备、部件等，或者相互连接对基板作业装置的部件等特殊部件等外表面之外，还会确定出内部空间。此外，也可以用来让特定方向的装置区域一侧的作业头前出，另外，让两侧都前出也是可以的。

(38)按照(37)项所述的对基板作业系统，在作为与目标对象装置的上述头平面移动型装置不同的对基板作业装置以在上述特定方向上并排的状态下作为并设装置配置的情况下，通过前出控制部的控制，可以让该目标对象装置的上述作业头前出到该并列设置装置的装置区域中。

在本项之下的项目中，是存在有在特定方向上并排的对基板作业装置的情况的形态，以说明的中心一侧的对基板作业装置作为目标对象装置，在其上排列的对基板作业装置为并设装置。在本项记载的形态中，将作业区域扩大到了相邻配合的并列装置的装置区域中。作为对基板作业装置并列方向的特定方向，是目标对象装置的多级式移动装置的作业头移动方向，而系统在包含多个对基板作业装置，它们在基板输送方向上整齐排列的情况下，特定方向则也可以是基板的输送方向。本项以下的形态在特定方向是基板输送方向的情况下，是一种特别实用的对基板作业系统。

(39)按照(38)项所述的对基板作业系统，上述目标对象装置与上述并列设置装置可以相对于跨越两者位置上的电路基板协同动作进行作业。

如果目标对象装置的作业区域扩大到了并设装置的装置区域，装置的作业区域就有可能互相重复。在这种情况下，如果电路基板处于跨越两个装置的位置，在作业区域的重复部分中，就可能对该电路基板进行协同动作的作业。这样，作业区域中就不可能存在死区。另外，两个装置可以协同动作进行作业，会让作业形态更加丰富。协同动作的作业并不限于重复作业区域的有无，也包含了两个以上的对基板作业装置同时对1块电路基板进行作业的情况。在存在重复作业区域的情况下，例如，包括了让该重复作业区域中的两个装置的任意一个进行作业的形态。另外，例如，在重复作业区域中，仅目标对象装置的作业头在进行作业，在并设装置的作业区域里的不在重复作业区域的部分中并设装置进行作业的形态，换句话说，包括了将作业区域划分出分区，在每个分区的各自的区域中进行作业的形态。在这种形态中，可以让两个装置的作业负荷均匀化。此外，例如后面说明的那样，在重复作业区域中，避免了目标对象装置的作业头或者第2轨道形成部与并设装置组成部分的干涉，进行这种作业的形态也是进行协同动作的作业形态的一种。

(40)按照(38)项或(39)项所述的对基板作业系统，在上述并设装置是与上述目标对象装置结构相同的装置的情况下，允许带有该并设装置的上述作业头前出到该目标对象装置的装置区域。

对于并设装置的“结构相同”，意味着并设装置是平面移动型装置，至少一方的直线移动装置是多级式移动装置，并且可以让作业头前出到本身装置区域之外。通过让这种并设装置并列配置，让其作业头前出到目标对象装置的装置区域内，可以扩大重复作业区域，进而使作业形态的变化更为丰富。

(41)按照(40)项所述的对基板作业系统，上述目标对象装置与上述并设装置可以对跨越两者位置上的电路基板协同动作进行作业，上述头移动控制部在协同动作作业时，避免了上述目标对象装置的作业头等与上述并列设置装置的作业头等发生干涉，形成带有移动上述作业头的干涉避免控制部的对基板作业的系统。

这里的“作业头等”是目标对象装置与并设装置中的一方装置的组成部分，意味着以目标对象装置与并设装置可进入另一个装置的装置区域中的作业头为首的组成部分。如果两个对基板作业装置相互在独立控制下(无关系的控制)进行动作，其组成部分无论怎样都会发生干涉。更具体地说，在“作业头等”中包括有作业头和第2轨道形成部。如果避免了2个对基板作业装置的作业头等的干涉，就能够进行平稳的协同动作作业。更具体地说，例如在两装置作业头等可能同时相处的区域内，对两者的作业头等进行控制，使之不同时存在，这是本项记载的形态中的一种形态。

(42)按照(41)项所述的对基板作业系统，上述目标对象装置与上述并设装置的一方装置的上述作业头即使是处于该一方装置的上述第2轨道上的任意位置时，在该一方装置的上述作业头等处于上述目标对象装置与上述并列设置装置不进入另一方装置的装置区域状态的范围内，将上述一方装置的上述第2轨道形成部所处的上述第1轨道上的界限位置作为上述一方装置中的非进入界限位置，并且在上述另一方装置的上述作业头进入上述一方装置的装置区域最内部的状态下，即使上述一方装置的上述作业头处在上述第2轨道上的任意位置时，在上述一方装置的上述作业头等与上述另一方装置的上述作业头部为不相互干涉范围内，将上述一方装置的上述第2轨道形成部所处的上述第1轨道上的界限位置作为对上述一方装置中非干涉界限位置的情况下，上述干涉避免控制部第2轨道形成部位置控制部，在上述并设装置的上述第2轨道形成部处于不超越本身的上述非干涉界限位置状态的情况下，允许上述目标对象装置的上述第2轨道形成部处于超越本身的上述非进入界限位置，并且在上述并设装置的上述第2轨道形成部处于超越本身的上述非进入界限位置状态的情况下，禁止上述目标对象装置的上述第2轨道形成部处于超越本身的上述非干涉界限位置。

本项所记载的形态是避免两个对基板作业装置发生干涉的一个具体形态，是通过对第2轨道形成部的第1轨道上的位置进行管理，对避免两个装置的作业头等的干涉进行控制的形态。一般而言，例如对于第2轨道形成部的位置，是分别从本身的作业头等不进入本身装置区域的界限位置，以及例如相配合一侧作业头等进入时不与本身作业头等发生干涉的界限位置，针对各自的装置而确定的，通常控制成第2轨道形成部互相不超过前者的程度，在一方装置的第2轨道形成部超过后者的情况下，控制成另一方装置的第2轨道形成部允许超过前者，这种形式也包括在本项记载的形态中。

(43)按照(42)项所述的对基板作业系统，在上述第1轨道上的上述第2轨道形成部的移动范围内，作为该第2轨道形成部的停止位置，设定有存在于不超越上述非干涉界限位置的1个以上非干涉停止位置，以及超越上述非进入界限位置而存在的1个以上进入停止位置的多个轨道部停止位置，上述第2轨道形成部位置控制部在上述并设装置的上述第2轨道形成部处于不超越本身的上述非干涉界限位置状态的情况下，允许上述目标对象装置的上述第2轨道形成部停止在上述进入停止位置的任意一个位置上，并且在上述并设装置的上述第2轨道形成部处于超越本身的上述非进入界限位置状态的情况下，形成让上述目标对象装置的上述第2轨道形成部停止在上述非干涉停止位置中的任意一个位置上。

本项所记载的形态是将上述(42)项的形态和上述(36)项中说明的、在让第2轨道形成部停止于任意设定位置的状态下让移动部移动的形态相组合的一种形态。以上述非进入界限位置以及非干涉界限位置的关系设置多个轨道停止位置，通过对第2轨道形成部的相互停止位置进行管理，形成了进行控制避免2个对基板作业装置的作业头等发生干涉的形态。

以上所述是对本发明的对基板作业系统的各种形态的说明，在上述的说明中，将包含于系统中的对基板作业装置以“可动装置”、“模块化装置”、“输送装置配备模块化装置”、“相互邻接配置装置”、“模块化相互邻接配置装置”、“头平面移动型装置”、“目标对象装置”、“并设装置”这些各种功能名称分别称呼。这些名称只不过是为了显示该对基板作业装置的特性而使用的，本发明并不妨碍一个对基板作业装置带有对应于上述名称的多个功能的形态。换句话说，有的对基板作业装置是“可动装置”，是“模块化装置”，是“相互邻接配置装置”，并且是“头平面移动型装置”等形态，这些也都是本发明的一种形态。

附图简述

图1为示出电路部件安装系统的几个形式的全体立体图。

图2为示出基本形式的电路部件安装系统取下1个电路部件安装装置的外装部件后的立体图。

图3为示出构成基本形式的电路部件安装系统的系统基座的立体图。

图4为示出配置于电路部件安装装置中的线路板输送装置全体的立体图。

图5为从线路板输送装置的输送轨道之一的主视图和其一部分的剖视图。

图6为示出电路部件安装装置具有的安装头和头移动装置的立体图。

图7为示出头移动装置的X滑动装置的水平剖视图。

图8为示意地示出头移动装置的立体图。

图9为示出电路部件安装装置具有的安装头的立体图。

图10为示出X滑动装置进行的安装头的移动的示意图。

图11为示出在X滑动装置进行的安装头的移动中，将第1X滑块停止在规定的停止位置以使安装头移动的方法的示意图。

图12为电路部件安装装置的控制框图。

图13为基本形式的电路部件安装系统的右侧面局部剖视图。

图14为基本形式的电路部件安装系统的正面局部剖视图。

图15为示出在基本形式的电路部件安装系统中准备的工作台装置和该工作台装置的使用状态的立体图。

图16为示出连接基本形式的电路部件安装系统的系统基座与工作台装置的连接装置的立体图。

图17为示出电路部件安装系统的几个不同形式的全体立体图。

图18为示出配备有宽度不同的电路部件安装装置的电路部件安装系统的立体图。

图19为示出配备有宽度不同的电路部件安装装置的另一电路部件安装系统的立体图。

图20为示出可将单位宽度的电路部件安装装置配置成8整列的系统基座的立体图。

图21为以图20所示的系统基座为例，用于说明各种宽度的电路部件安装装置的配置方式的概念图。

图22为示出将主要进行线路板的输送作业的输送作业装置配置于电路部件安装装置间形式的电路部件安装系统的立体图。

图23为示出配置对基板作业的种类不同的各种对基板作业装置的对基板作业系统的立体图。

图24为示出在电路部件安装系统中，线路板输送装置成多个并列状态的示意图。

图25为示出电路部件安装系统中线路板的输送方法的第1例的示意图。

图26为示出电路部件安装系统中线路板的输送方法的第2例的示意图。

图27为示出电路部件安装系统中线路板的输送方法的第3例的示意图。

图28为示出在电路部件安装系统中，以一个电路部件安装装置作为目标对象装置、以其一侧邻接的电路部件安装装置作为并设装置的2个装置的安装头等的动作的示意图。

图29为示出在电路部件安装系统中，向电路部件安装作业供给的、跨越2个安装装置的线路板的示意图。

图30为示出在电路部件安装系统中，相对跨越2个电路部件安装装置的线路板进行电路部件安装作业时的一作业形态的示意图。

图31为示出在电路部件安装系统中，相对跨越2个电路部件安装装置的线路板进行电路部件安装作业时的另一作业形态的示意图。

图32为示出与电路部件安装系统的各电路部件安装装置所具备的安装装置控制装置有关的功能框图。

图33是主要表示设有进行线路板的存放作业的存放作业装置的电路部件安装系统的立体图。

图34是主要表示进行变更线路板的输送路径作业的输送路径变更作业装置的立体图。

实施发明的最佳形态

下面参照附图说明本发明具体的几种实施形态。但本发明不限于下述实施形态，可根据本领域技术人员的知识，对前述(本发明要解决的问题、解决问题的技术方案及其效果)各项中记载的形态进行各种变更、改进，构成上述实施形态以外的其它形态。

<基本形态的对基板作业系统>

i)系统的整体构成

图1(a)示出对基板作业系统的一个基本形态。图1(a)所示的系统是进行电路部件装配作业的电路部件安装系统，相同构成的两个电路部件安装装置(是对基板作业装置的一种，以下简称为“安装装置”)12相邻地同向配置在一个系统基座10上。下面为了便于说明，将安装装置12并列的方向称为左右方向，将与该方向垂直的水平方向称为前后方向。

ii)安装装置的构成概述

图2示出上述基本形态的系统中的一个安装装置12的外部部件的一部分被除去后的立体图。各个安装装置12都带有包含框架部14和架在框架部14上的梁部16地构成的装置本体18。此外，各安装装置12都带有电子部件供给装置22，该供给装置22在装置本体18的框架部14的前方部分上带有多个馈带器20，该馈带器20从使电路部件的一种、即电子部件带状化的电子部件包裹带中一个个地供给电子部件。该电子部件供给装置22是一种电路部件供给装置，图示的是以从缠绕在卷盘上的带状化电子部件中供给部件的供给器为主体构成的装置。下面将电子部件供给装置简称为“部件供给装置”。简单地说，部件供给装置22带有供馈带器20排列放置的平板架，该平板架可自由装卸地设在框架部14上。而且，各馈带器20相对于平板架也可以自由装卸，对应于电子部件的种类的任意的馈带器20可按照任意的顺序排列。

而且，在各安装装置12中分别装有线路板输送装置24，它在输送电路基板的一种、即印刷线路板(下面简称为“线路板”)的同时，还具有将线路板固定、保持在设定的位置上的基板保持装置的功能。在2个安装装置12位于所定的装配位置上的状态下，2个线路板输送装置24相互一致、可相互协动地输送线路板。本形态的系统中，线路板向安装装置12并列的方向，即左右方向输送。即，该方向成为本形态的系统中线路板的输送方向(也可以称为“基板输送方向”)。线路板输送装置24将在后面描述。

各安装装置12带有安装头26(是作业头的一种)，该安装头26从部件供给装置22中取出电子部件，并将该电子部件安装在保持于线路板输送装置24上的线路板上，安装头26在装在各梁部16上的XY机器人型的移动装置，即各安装头移动装置(下面简称为“头移动装置”)28的作用下，越过部件供给装置22和线路板输送装置24地移动。安装头26及头移动装置28将在后面详细说明。

各安装装置12中，在框架部14上装有部件摄像装置30，该摄像装置30在部件供给装置22与线路板输送装置24之间装有作为摄像设备的CCD照相机，该部件摄像装置30拍摄被安装头26抓住的电子部件的姿势等。此外，各安装装置12在外部部件的一种、即顶盖32的前方装有用作输入输出装置的操作面板34，本图中虽然省略了，但是各安装装置12还包含以计算机为主体的安装装置控制装置36(参照图12)、处理部件摄像装置30等获得的图像数据的图像处理单元38(参照图12)等，其中上述计算机用于控制部件供给装置22以及自己装配的各种装置。

各安装装置12分别带有部件供给装置22、安装头26、头移动装置28等，是制成模块化的模块化装置。而且，由于线路板输送装置24也装入安装装置12内，所以安装装置12被制成带有输送装置的模块化装置。各安装装置12可容易地与系统基座10分离，且可以相互替换，这将在后面详细说明。而且，各安装装置12是可移动装置，可相对于系统基座10向与线路板输送方向垂直、且大致水平的方向，即前后方向移动。实现这种移动的构造将在后面描述。

iii)系统基座的构成概述

图3示出了系统基座10的立体图。装有2个安装装置12的系统基座10带有包含框架50、外装板52、顶板54地构成的基座本体56。基座本体56的内部装有作为安装装置12的共用装置、共用设备的电源单元58、从外部正压、负压空气源中伸出的配管60，62等，由此构成向各安装装置12供给驱动力的驱动力供给部。虽然图中未示出，但是基座本体56的内部还设有用于在各安装装置12之间、及各安装装置12与总体控制系统的系统控制装置(后述)之间交换控制信号、信息的通讯缆线及其终端等。顶板54上设有用于维护的开口，并装有堵住该开口的盖子64。在靠近前部的上部处再设一个开口66，通过该开口66的基座本体56的内部设有带回收容器68，该回收容器68回收从部件供给装置22排出的电子部件包裹带的承载带、覆盖顶带等。虽然说明省略了，但实际上安装装置12设有切断承载带等的切断装置，被任意切断的承载带被排出到带回收容器68中。包含开口66、带回收容器68等地构成安装装置12的共用装置，即带回收装置。虽然图中未示出，但实际上被回收的那些包裹带可取出到系统基座10的外部。如前所述，使各安装装置12构成可移动装置的装置结构及实现可容易分离的装置结构将在后面描述。

iv)线路板输送装置的构成

图4示出了线路板输送装置24的整体。线路板输送装置24是输送装置，带有沿线路板输送方向(左右方向)延伸且位置相互平行的4个输送轨道(下面简称为“轨道”)100～106。位于最前方的轨道100与位于其后方的轨道102构成一对，彼此相对，位于再后方的轨道104与位于其后方的轨道106形成一对，彼此相对。该线路板输送装置24带有前输送部110和后输送部112两个输送部，轨道100和轨道102形成前输送部110，轨道104和轨道106形成后输送部112。总之，轨道100、轨道102分别起到前输送部110的各基准轨道、从属轨道的作用，轨道104、轨道106分别起到后输送部112的各基准轨道、从属轨道的作用。

轨道100是固定设置在基板114前方的固定轨道，轨道102、104、106是沿设在基板114上的2个导轨116可向前后方向移动的可动轨道。装置的右侧设有3个圆头螺钉118，它们与分别设置在3个可动轨道102、104、106上的螺母相啮合，而装置的后方设有3个电动马达(步进马达)，即轨道位置变更马达120(一个被遮住)，它们作为这些圆头螺钉118的驱动源，独立地驱动上述3个轨道位置变更马达120，可使3个可动轨道102、104、106独立地向前后方向移动。由此，前输送部110和后输送部112的输送宽度可任意改变。各轨道100～106上部的中央部设有基准标志122，采用与安装头26一起设置在头移动装置28上的标志摄像装置(后面描述)，拍摄各轨道在安装装置12中的位置，并基于其图像的识别结果调整输送宽度。即，该线路板输送装置24装有基板宽度对应变更装置，该变更装置对应于被输送的线路板的宽度(垂直于线路板输送方向的长度)，改变输送部110、112的宽度，该基板宽度对应变更装置是包含可动轨道102、104、106、轨道位置变更马达120等构成的。

线路板输送装置24在输送宽度较小的线路板时可使用前输送部110和后输送部112两个输送部。即，作为2行输送装置使用。此时，将后输送部112的基准轨道、即轨道104的位置固定在设定的位置上，分别调整2个输送部110、112的各自的输送宽度。与此相对，输送宽度较大的线路板时，仅使用前输送部110和后输送部112中的一个，可作为1行输送装置使用。此时，使轨道104向装置的后方或前方移动，调整使用的一个输送部的宽度。

以轨道102为例说明轨道100～106的构造。图5示出了轨道102。图5(a)是从正面看的图，图5(b)是沿A—A线所作的截面图。轨道102是包含2个托架130、横跨在2个托架130之间的轨道本体板132、设在轨道本体板132上部的导向杆134而形成的。驱动皮带轮136设置在一个托架130上。线路板输送装置24的左侧设有前后延伸的花键轴138(参照图4)，虽然图中未示出，但实际上驱动皮带轮136与花键轴138通过花键啮合，无论轨道102在前后方向上处于什么位置，花键轴138的旋转都能传递到驱动皮带轮136上。而且，托架130和轨道本体板132上可旋转地设有多个从动皮带轮140，传送带142如图所示地套在上述驱动皮带轮136和从动皮带轮140上。花键轴138连接到设在装置后方的电动马达(带有编码器的伺服马达)，即线路板输送马达(参照图4)144上，通过驱动线路板移送马达144，可使传送带142循环转动。由于其它轨道100，104，106的构造与此相同，因此省略对它们的说明。

线路板150被支撑在传送带142上方水平张紧的部分上，导向杆134限制其在前后方向的位置，同时随着传送带142的旋转，该线路板150向左右方向，即线路板输送方向移送。由于设在4个轨道100～106上的传送带142一起旋转，因此不能独立地控制前输送部110的输送动作与后输送部112的输送动作。

线路板输送装置24还起到将线路板150固定保持在为了进行电路部件装配作业而设定的位置上的基板保持装置的作用。线路板输送装置24带有2个支撑板152。在支撑板152的上面，带有备用销154的多个备用器件156可安装在任意位置上。通过使传送带142停止旋转，可使由传送带142支撑并移送来的线路板150根据线路板的种类和电路部件装配作业的形态等停止在设定的位置上。在此状态下，可通过图中未示出的支撑板升降装置158(参照图12)使支撑板152仅上升所定的距离(参照图5(a)中的双点划线)。这样，备用销154的前端接触到线路板150的里面，抬起该线路板150，解除了传送带142的支撑，同时，线路板150端部的表面以适当的力卡止在导向杆134的卡止部158上。总之，在此状态下，线路板150固定地保持在为进行电路部件装配作业而设定的位置上。

基于设在该线路板输送装置24、或连接在其上游侧、下游侧的输送装置上的作为线路板检测器(基板检测器的一种)的光电传感器160(在图4、图5中未示出，参照图12、图24)的检测信号，来控制传送带142的旋转的开始、停止。这将在后面详细说明。如前所述，该线路板输送装置24形成不能独立地控制前输送部110的输送动作和后输送部112的输送动作的构造，但是，当成为前输送部110和后输送部112中的一个上保持有上述线路板150的状态时，如果另一个执行输送动作的话，也可以进行使用2个输送部的效率更高的2行作业。

v)头移动装置的构成

图6示出安装头26和头移动装置28的立体图，图7示出X滑动装置(后述)的水平截面图，为了便于理解，图8示出了头移动装置28的示意的立体图。头移动装置28包含使安装头26向垂直的2个方向移动的2个直线移动装置。其中一个是向与线路板的输送方向垂直的水平方向，即前后方向(以下称为“Y轴方向”)的移动装置，即Y滑动装置200，另一个是向与线路板的输送方向平行的方向，即左右方向(以下称为“X轴方向”)的移动装置，即X滑动装置202。这两个直线移动装置使安装头26在一个平面内移动。即，安装装置12构成作业头平面移动型的装置。

Y滑动装置200包含Y滑动件214、设在梁部16上且沿Y轴方向延伸的Y圆头螺钉216、与Y圆头螺钉通过螺纹结合，可旋转且位置固定地设在Y滑动件214上的Y螺母218、设在后方并带有作为驱动源的使Y圆头螺钉216旋转的电动马达(带有编码器的伺服马达)，即Y轴马达220的Y轴驱动装置222，其中上述Y滑动件带有设在与Y轴方向平行的梁部16上的2个Y轴方向导轨(以下简称为“Y导轨”)210和沿Y导轨210滑动的4个滑动部件(线性轴承)212，并沿Y轴方向移动。

X滑动装置202是多段式的移动装置，即2段式移动装置，包含使安装头26在互相平行的方向移动的第一X滑动装置230、和第二X滑动装置232两个滑动装置。第一X滑动装置230包含带有与X轴方向平行的2个第一X轴方向导轨(以下简称为“X1导轨”)240的第一X滑动件242、固定设置在Y滑动件214上且在X1导轨240上滑动的4个滑动部件(线性轴承)244、设置在Y滑动件214上且沿X轴方向延伸的X1圆头螺钉246、与X1圆头螺钉246通过螺纹结合，可旋转且位置固定地设置在第一X滑动件242上的X1螺母248、设置在Y滑动件214上且带有作为驱动源的使X1圆头螺钉246旋转的电动马达(带有编码器的伺服马达)，即X1轴马达250的X1轴驱动装置252，第二X滑动装置232包含与X轴方向平行地设置在第一X滑动件242上的2个第二X轴方向导轨(以下简称为“X2导轨”)260、构成在X2导轨260上滑动的2个滑动部件(线性轴承)262的第二X滑动件264、设置在第一X滑动件242上且沿X轴方向延伸的X2圆头螺钉266、与X2圆头螺钉266通过螺纹结合，可旋转且位置固定地设在第二X滑动件264上的X2螺母268、设在X1滑动件244上且带有作为驱动源的使X2圆头螺钉266旋转的电动马达(带编码器的伺服马达)、即X2轴马达270的X2轴驱动装置272。

X滑动装置202是具有上述构成的多段式，详细地说是2段式直线移动装置。带有在X1导轨240上滑动的滑动部件244的Y滑动件214起到形成第一轨道的第一轨道形成部的作用，带有X2导轨260的第一X滑动件242起到沿第一轨道移动且形成与该第一轨道平行的第二轨道的第二轨道形成部的作用，沿X2导轨260移动的第二X滑动件264起到沿第二轨道移动的移动部的作用。即，X滑动装置202构成伸缩型(套筒型)移动装置。由此，安装头26保持在其移动部，即第二X滑动件264上。如果将多段式移动装置的朝向安装头26的移动方向定为特定方向，则安装装置12中X轴方向指向该特定方向。通过控制Y轴马达220、X1轴马达250、X2轴马达270的旋转，可使安装头26在一个平面内移动，并定位在作业区域内的任意位置上。

vi)安装头的构成

图10示出了安装头26的立体图。保持在第二X滑动件264上的安装头26带有将多个，更详细地说是将8个作为电路部件保持设备的吸附嘴288固定在前端部的装配单元290。各吸附嘴288虽然在图中未示出，但是它通过正负压选择供给装置292(参照图12)，与负压空气、正压空气通路连通，以负压将电子部件吸附固定在前端部，只要稍稍供给正压，被固定的电子部件即可脱落。大致呈轴状的装配单元290以等角度间距，轴向垂直的状态保持在间歇旋转的单元保持体294的外周部上。而且，各装配单元290可自转且可轴向移动。带有电动马达(带有编码器的伺服马达)、即保持体旋转马达296的单元保持体旋转装置298驱动单元保持体294，逐次地间歇旋转与装配单元290的配设角度间距相等的角度，从而使装配单元290间歇旋转。间歇旋转中，在装配单元290的一个停止位置，即单元升降机位(位于最前方的机位)，带有作为驱动源的电动马达(带有编码器的伺服马达)、即单元升降马达300的单元升降装置302使位于该机位的装配单元290升降。从部件供给装置22中取出电子部件的动作、及将电子部件装在被固定在线路板输送装置24上的线路板上的动作是由位于该升降机位的装配单元290完成的，此时使装配单元290下降设定的距离。另一个停止位置成为单元自转机位，在该机位，为了调整被吸附保持的电子部件的装配方位等目的，带有作为驱动源的电动马达(带有编码器的伺服马达)，即单元自转马达304的单元自转装置306使其自转。以上是安装头26的主要构成。第二X滑动件264的下部处设有用于拍摄线路板表面上的基准标志等的装置，即包含作为摄像设备的CCD摄像机的标志摄像装置308(参照图6)。

vii)X滑动装置使安装头移动

图10示意地示出了X滑动装置206使安装头26移动。图中仅示出了作为第一轨道形成部的Y滑动件214、作为第二轨道形成部的第一X滑动件242、被保持在作为移动部的第二X滑动件264上的安装头26。用实线表示的AA是表示安装装置12侧面的线，AA—AA表示安装装置12的装置区域。Y滑动件214在X轴方向不移动，保持在特定方向，即X轴方向的装置区域的中央位置，只向Y轴方向移动。允许第一X滑动件242沿由Y滑动件214形成的第一轨道，向X轴方向在一定范围内移动。安装头26沿由第一X滑动件形成的第二轨道，在第一X滑动件的整个范围内移动。

Y滑动件214和第一X滑动件在特定方向，即X轴方向上的长度都比装置的宽度小。在图中实线所示的状态下，第一X滑动件242位于X轴方向的中央位置，在该状态下，第一X滑动件242处于装置区域AA—AA内。安装头26可沿第二轨道移动，直到其端部大致位于第一X滑动件242的端部。虽然图中未示出，在第一X滑动件242位于中央位置的状态下，即使使安装头26移动，安装头26的端部也只能到达距离装置侧面AA保留一定程度间隔的位置。使第一X滑动件242从中央位置仅移动所定距离，从而使第一X滑动件242与装置侧面AA对齐地位于装置侧面AA附近，由此，可将安装头26的可移动范围扩大至其端部不超出装置侧面AA的范围。在该扩大的状态下，可在图示的WA1—WA1的范围内进行装配作业。如果再移动第一X滑动件242使其离开中央位置，则第一X滑动件242的端部就会在装置区域外进入。由此，安装头26也在装置区域外进入，安装头26的可移动范围超出装置区域AA—AA，进一步扩大到WA2—WA2的范围。这样，通过采用多段式移动装置，安装装置12结构紧凑而且作业区域增大。

头移动装置28的实际控制过程中，第一X滑动件242在第一轨道上的移动范围内设定了多个停止位置(第二轨道形成部的停止位置，相当于轨道部停止位置)，使第一X滑动件242停止在这些停止位置中的任意一个上，并使安装头26沿由第一X滑动件形成的第二轨道移动。图11示意地示出了使第一X滑动件242停止在所定的停止位置，并使安装头26移动。X滑动装置202中，设定了4个第一X滑动件242在第一轨道上的停止位置。各停止位置用符号ST1～ST4表示。如图11(b)、(c)所示，第一X滑动件242位于ST2、ST3的状态是分别在右方向、左方向上第一X滑动件242不在装置区域外进入的状态，是即使令安装头26位于第二轨道上的任何位置，安装头26也不会在装置区域外进入的状态。与此相对，如图11(a)、(d)所示，第一X滑动件242位于ST1、ST2的状态是分别在右方向、左方向上第一X滑动件242在装置区域外进入的状态，是相应的安装头26可在装置区域外进入的状态。

下面说明在超出安装装置12的装置区域的线路板上进行电路部件装配作业时的情况，例如，在位于线路板的装配区域内的装配位置上安装电子部件时，其装配位置位于装置中央的右侧时，使第一X滑动件242停止在ST2的停止位置，当其装配位置位于装置中央的左侧时，使第一X滑动件242停止在ST3的停止位置上，并进行控制使安装头26移动。当在位于线路板的装置区域外的装配位置上安装电子部件时，其装配位置位于装置区域外的右侧时，使第一X滑动件242停止在ST1的停止位置上，当其装配位置位于装置区域外的左侧时，使第一X滑动件242停止在ST4的停止位置上，并进行控制使安装头26移动。这样，与装配位置在哪里的各种情况相对应，将安装头26的可移动区域划分为多个区域，基于安装头26停止在哪个划分区域，进行控制以确定第一X滑动件242的停止位置。基于X1轴马达250具备的编码器的信号，由后述安装装置控制装置36来决定第一X滑动件242的位置。

关于安装头26的移动，安装装置12对头移动装置28进行上述头移动控制。具体地说，头移动控制是在使第二轨道形成部，即第一X滑动件242停止在任意一个停止位置上的状态下，使安装头26沿第二轨道移动的轨道部停止头移动控制，而且，是使第一X滑动件242移动到第二轨道的一部分在装置区域外进入的位置，从而使安装头26可在装置区域外进入的进入控制。

如上所述，进行使第一X滑动件242和安装头26可从装置侧面进入的装配作业时，无论安装装置12侧面的外装板320的右侧面还是左侧面都设有带侧线路板输送装置24的部分开口322，安装头26在装置区域外进入时，通过该开口322，使第一X滑动件242和安装头26在装置区域外进入(参照图1(a))。本安装装置12中，安装头26的可移动区域扩大到装置区域外是作为进行电子部件的安装动作的情况，进行从部件供给装置22中取出电子部件的动作等时，使第一X滑动件242位于ST2、ST3或者设在它们中间的其它停止位置，并使安装头26在装置区域内移动。

viii)安装装置控制装置

图12表示以本发明重要的部分为中心的安装装置12的控制框图。基本形式的电路部件安装系统具有2个安装装置12，它们各自装有安装装置控制装置36。图12是以一个安装装置12和包含该安装装置12的安装装置控制装置36为中心的框图。安装装置控制装置36是以计算机350为主体的控制装置，计算机350带有CPU(处理单元)352、ROM354、RAM356、输入输出接口358、将它们彼此连接的总线360。输入输出接口358通过安装装置控制装置36具备的各驱动电路362分别与部件供给装置22的各馈带器20、线路板输送装置24的3个轨道位置变更马达120、线路板移送马达144、支撑板升降装置158、安装头26的正负压选择供给装置292、保持体旋转马达296、单元升降马达300、单元自转马达304、头移动装置28的Y轴马达220、X1轴马达250、X2轴马达270连接。而且，部件摄像装置30和标志摄像装置308通过从由它们获得的摄像数据直到得到各种识别结果为止进行数据处理的图像处理单元38相连。进而，输入输出接口358与线路板输送装置24中的光电传感器160相连。

2个安装装置12中的一个与另一个的动作相关联地动作。基本形式的系统包括与系统基座10和安装装置12分别的总体控制系统整体的系统控制装置370(图1、图2等中省略)。由此，输入输出接口358通过通讯电缆372与另一个安装装置12及系统控制装置370相连。系统控制装置370与本系统其它的对基板作业系统连接，进而构成大的系统时，系统控制装置370兼用作其它对基板作业系统的系统控制装置。而且，安装装置12模块化，可设置在其它别的系统内。此时，本安装装置控制装置36也可与其它系统中带有其它对基板作业装置的控制装置、其它系统的系统控制装置连接。

在ROM354上，记忆着安装装置12的基本动作程序等，另外，在RAM356上记忆着有关对应于作业形态的动作控制、与其它对基板作业装置的协调动作、协同动作控制等的动作程序，对应于线路板保持位置移位、部件吸附保持位置的移位等安装位置修正程序等应用程序，进行电路部件安装作业的对应线路板设定的安装顺序数据、安装位置数据，安装的电路部件相关的部件固有数据，哪个电子部件是从哪个馈带器20供给的这样的部件供给装置相关数据等各种数据。

ix)电路部件安装作业概要。

下面将一个安装装置12的电路部件安装作业以对收容在该安装装置12的装置区域内的大小的线路板的作业作为例子进行简单说明。从上游一侧移送来的线路板通过线路板输送装置24停止在装置区域内设定的作业位置上。停止的线路板在该位置上，通过让支撑板升降装置158上升而由线路板保持装置24固定保持。接着，通过头移动装置28让标记摄像装置308移动到附在线路板上的基准标记的上方，摄取基准标记。从该摄像数据检测出保持的线路板保持位置的移位。此外，在后面说明的两个安装装置12协同动作作业的情况下，各安装装置12具有的线路板保持装置24分别协同动作，将一块线路板固定保持住。在这种情况下，将各安装装置12的安装区域内存在的基准标记分别由安装装置12的标记摄像装置308摄像，通过相互接收摄像数据处理的结果，来分别检测出安装装置12的线路板保持位置的移位。

接着，安装头26移动到部件供给装置22的上方，按照设定的取出顺序，将电子部件吸附保持在吸附嘴228上。更详细地说，位于升降位置上的安装组件290位于供给作为保持对象的电子部件的馈带器20的部件取出部上方，在该位置让安装组件290下降，向保持于前端上的吸附嘴288供给负压，从而将该电子部件吸附保持。这样，安装组件290间歇旋转，在下一个安装组件290上进行同样的部件取出动作。这样，在带有安装头26的安装组件290中，依次进行部件取出动作(大多数情况是8次)。

接着，保持着电子部件的安装头26移动到部件摄像装置30的上方。在该位置上，部件摄像装置30将保持的电子部件收录到一个视野内。根据所获得的摄像数据检测出各个电子部件保持位置的移位。安装头26移动到了线路板的上方，在其移动的中途，位于组件自转位置的安装组件29根据设定在其保持的电子部件上的安装方位、检测出的线路板保持位置的移位量、电子部件的保持位置而自转到正确的旋转位置上。该自转动作是反复进行安装组件290的间歇旋转，直到最初安装的保持电子部件的安装组件290处于升降位置，在该间歇旋转期间对位于组件自转位置上的安装组件20进行的。对于不位于自转位置的安装组件290，其安装动作在间歇旋转时进行。

接着，安装头26移动到了线路板的上方，按照设定的安装顺序，安装保持于线路板表面上的电子部件。更详细地说，首先，让处于组件升降位置的安装组件290处于正确的安装位置的上方。这时，根据检测出的线路板保持位置的移位量、电子部件保持位置的移位量，让安装头26的移动位置正确化。在该位置上，让安装组件290下降预定距离，在吸附嘴288上供入正压，将保持的电子部件安装到线路板表面上。接着安装组件290间歇旋转，进行与下一个安装组件290有关的相同的部件安装动作。这样，对于保持着电子部件的安装组件290依次进行部件的安装动作。

直到预定的所有电子部件的安装完成，安装头26都在部件供给装置22和线路板之间往返，反复进行着部件取出动作、部件安装动作。所有电子部件的安装完成后，让线路板输送装置24的支撑板升降装置158下降，解除对线路板的固定保持。该线路板通过线路板保持装置24朝下游一侧移送。这样，该线路板上预定的电路部件安装作业便完成了。对于说明中省略的由线路板输送装置24进行的线路板的输送将在后面进行详细说明。此外，配置于基本形态的系统上的两个安装装置12对于横跨两方的大的线路板也能够进行电路部件的安装作业。对此将在后面描述。

<安装装置相对于系统基座的移动等>

i)允许安装装置移动的装置。

如图3所示，在系统基座10的上部，设置有在一直线上并列多条导轨470构成的4条轨道列472(在图1、图2等中省略)。从前方看左右外侧的轨道列472分别由两根导轨470构成，内侧的两列轨道列472则分别由3根导轨470构成。4条轨道列472相互平行配置。4条轨道列472可以分成两个轨道对。由右侧的两列轨道列472构成的轨道对与右侧安装装置12有关，由左侧的两列轨道列472构成的轨道对与左侧安装装置有关。此外，两个轨道对相互构成各自轨道对的轨道列472的间隔是相等的。

在图13中示出了上述基本形态的系统右侧面的部分剖视图，在图14中示出了除部件供给装置22之外的状态下的正面部分剖视图。安装装置12在框架部14下部带有将各4个的两列并列的共计8个车轮474通过轴承可自由旋转地保持住的车轮装置，该车轮474作为卡合部件与成对的分别构成轨道列472的作为轨道形成部件的导轨470相卡合。由此，安装装置12可以相对于系统基座10在前后方向上相对移动。换句话说，安装装置12是可以沿前后方向延伸的装置轨道移动的可动装置。装置轨道是与作为线路板输送方向的左右方向相垂直交叉的直线轨道，并且沿水平延伸。另外，本系统带有作为构成允许可动装置的安装装置12进行上述移动的可动装置移动允许装置的两个安装装置移动允许装置，各安装装置移动允许装置包含位置固定在设在系统基座10上的作为装置轨道形成部的成对的轨道列472，以及位置固定地设置在安装装置12上、可相对于导轨470移动卡合的作为对轨道卡合部的车轮装置。此外，在安装装置12移动到前方的情况下，在1条轨道列472中，会出现在不存在导轨470的部位(轨道间隙)有车轮474的情况，在这种情况下，多个车轮474也卡合在构成成对的轨道列47的任一导轨470上。车轮装置具有作为让可动装置容易移动的机构的功能，安装装置12可很容易地通过人力移动。

此外，如图14所示，车轮474的外周部是平的，构成一对轨道列472的导轨470制成左右方向外侧的部分为防止车轮脱轨而朝上方突出的形状，通过这样，使作为可动装置的安装装置12不会脱离装置轨道。导轨470以及车轮474相互卡合的部分的形状并不限于上述形状。例如让带有平板状上部形状的导轨与设置有防止脱轨的缘部的车轮相卡合(与铁路车辆中的轨道与车轮关系相似)，让带有山字形断面的导轨与带有与之相吻合的V字形断面形状的槽的车轮相卡合，让一对导轨的上面形成相互反向的倾斜(例如形成“八”字形的倾斜)，同时，采用带有与之相吻合的锥形外周面的车轮，这些形态都是可以的。

ii)安装装置的固定装置。

如图3所示，在系统基座10上，在上部后方的两对轨道对各自中间部上分别设置有一个作为卡止部件的挡块482，该卡止部件卡止固定地设置在安装装置12下部后方上的作为被卡止部件的接触部件480。在沿着装置轨道移动安装装置1的情况下，接触部件480的一部分与挡块482的一部分相接触，禁止其朝安装装置12的更后方移动。另外，在系统基座10上，在前后方向中央部附近构成轨道对的两条轨道列472的中间部上分别相对于两条轨道对设置有施压装置490，该施压装置带有作为压力产生器件的液压缸装置486，通过连杆机构可对固定设置在安装装置12下部的被压部件488施压。在图3中，示出了带有施压装置490的施压设备492处于非施压位置的状态，在图13中，示出了施压设备492突出到顶板54上方地转动状态，即处于施压位置的状态。通过在上述接触部件480与挡块482相接触的状态下由施压装置490将被压部件488朝后方施压，维持住接触部件480与挡块482的接触状态，阻止朝安装装置12的前方移动。换句话说，本系统带有将可动装置固定在装置轨道的一定位置上的作为可动装置固定装置的安装装置固定装置，接触部件480以及挡块482具有禁止沿着安装装置12的装置轨道朝一个方向移动的设置于安装装置12以及系统基座10的每一个上的接触部的功能，施压装置490以及被压部件488具有禁止解除上述接触部的接触状态的接触状态解除禁止部的功能，构成了包括这些接触部以及接触状态解除禁止部的安装装置固定装置。该安装装置固定装置的安装装置12的固定位置是安装装置12相对于系统基座10的预定配置位置。

iii)工作台装置。

在解除对安装装置固定装置的固定，让安装装置12沿着装置轨道移动到前方的情况下，将安装装置12由系统基座10悬吊起来，从而可以移动，但在移动距离大的时候，存在着安装装置12从系统基座10上落下的可能性。在本系统中，备有可载置安装装置12的至少一部分的工作台装置。在图15中示出了工作台装置，以及使用该工作台装置的状态。工作台装置500是以具有比安装装置12左右方向的宽度(线路板输送方向的宽度)要大一些的宽度，与安装装置12前后方向的长度大致相同的长度，与系统基座10的上表面大致相同高度的上表面的台面部502作为主体构成的。在台面部502的上面设置着带有与上述导轨470相同断面形状的两条导轨504。两条导轨504相互平行配置，它们的间隔与构成上述一个轨道对的两条轨道列472的间隔是相等的。工作台装置500处于分别让两条导轨504移动，让与安装装置卡合的成对的轨道列472分别延长的状态，定位配置在系统基座10前方的旁边。

在配置工作台装置500之后，操作上述安装装置的固定装置，解除安装装置12的固定，让该安装装置12移动到前方。在移动了一定距离的状态下，安装装置12的一部分载置于工作台装置500上。更详细地说，安装装置12的多个车轮474的一部分与工作台装置500所带有的导轨504相卡合。在该状态下，移动的安装装置12的一部分处于相对于邻接的一方安装装置12偏移到前方的状态，从而使维护、调整等作业可以容易进行。换句话说，工作台装置500具有系统中辅助基座单元的功能。这样，通过让该安装装置12移动到前方，使该安装装置12处于移载到工作台装置500上的状态。图15中示出了这种移载的状态。此外，图15中点划线所示的状态是安装装置12的一部分载置于工作台装置500上的状态。在安装装置12载置于工作台装置500上的状态下，使该安装装置12处于离开系统基座10的状态。通过将工作台装置500用于本系统，包括作为延长轨道形成部件的导轨504，作为与之卡合的卡合部件的车轮474而构成工作台装置一侧可动装置移动允许装置。

工作台装置500上，于作为台面部502上面前方部的两条导轨中间部上，设置有作为工作台侧固定部件的挡块506。另外，还带有与设置于系统基座10上的施压装置490相类似结构的施压装置508。挡块506卡止不同于上述的固定设置于安装装置12上的另外的接触设备(图中省略)，另外，施压装置508对不同于上述的固定设置于安装装置12上的另外的被压部件(图中省略)施压。换句话说，包括挡块506、施压装置508等，构成了工作台装置一侧可动装置固定装置。由于它具有与先前说明的系统一侧安装装置固定装置相同的功能，因而在此省略其说明。通过该工作台侧固定装置，安装装置12固定到延长轨道上的一定位置。在该工作台装置500中，安装装置12可以固定在离开系统基座10而移载到的工作台装置500状态下的位置上。

另外，工作台装置500在下部具有作为容易移动的机构的脚轮510，形成可以很容易地由人力移动的可动式工作台。通过在将安装装置12载置于上面的状态下移动工作台装置，可以将该安装装置12搬运到例如组装线之外的维修区域等中。换句话说，工作台装置500实现了搬运配置于系统基座10中的对基板作业装置的对基板作业装置搬运装置的功能。

在本系统中，为了容易将工作台装置50定位于延长装置轨道的位置上，采用了连接系统基座10与工作台装置500的连接装置。在图16中示出了该连接装置。如图16(a)所示，在系统基座10的前面，设置有一对作为基座侧连接部的连接块520，它设置在一个安装装置12的附近(图中示出了其中一个)。另外，如图16(b)所示，在工作台装置500上朝向系统基座10的前面的面上，设置有一对让嵌合销522朝着上方突出的销突出装置524，它对应于一对连接块520设置(图中示出了其中一个)。在工作台装置500移动到大致位置的状态下，如果按下各自的销突出装置524的杆526，各自的嵌合销522就会分别嵌入各自的连接块520的嵌合孔528中，在该状态下，工作台装置500的导轨504与系统基座10的轨道列472就会处于一条直线上，从而确定出工作台装置500的位置。形成这样的状态时，使连接部的相互位置正确化。此外，即使在移动两个安装装置12中的任何一个的情况下，也可以使用相同的工作台装置，因而在本系统基座10上，连接块520与双方的安装装置12分别对应地设置两对。

iv)装置相互间相对移动的限制装置。

在作为基本形态示例的本系统中，两个安装装置12中的任意一个是可动装置，可以相对于系统基座10单独移动，另外，还可以单独分开。此外，在本系统中，由于两个安装装置12的装置轨道相互平行，因而可让它们一齐移动、一齐分开。换句话说，将两个安装装置12的相对位置维持大致一定，从而可以对应于系统基座10相对移动。在这种情况下，也可以取代上述的工作台装置500，采用可载置两个安装装置12的工作台装置，更详细地说，采用有相互平行的两对导轨的工作台装置。

作为维持两个安装装置12相对位置关系，让它们一齐移动情况下的有效手段，在本系统中，每个安装装置12具有限制安装装置12相对移动的装置相互间相对移动控制装置设置。下面参照图13及图14对其进行说明。在安装装置12上的其前方部分，更详细地说，设置框架部14的部件供给装置22的部分的下部上，设置着使嵌合销540从装置左侧面突出的销突出装置542，另外，在对应的装置框架部14的右侧面部分上设置着嵌入嵌合销540的嵌合孔544。销突出装置542以液压缸装置546为主体。嵌合销540通过位于框架部14左侧面部分上所设的支撑孔548，朝着左右方向延伸，并以前后、上下方向不能移动，而左右方向上可以移动的方式支撑住。嵌合销540的后端部连接在液压缸装置546的杆的前端部上，通过操作液压缸装置546，可以让嵌合销540在从安装装置12左侧面突出和不突出的状态进行有选择的切换。

在图13中示出了设置于右侧安装装置12上的销突出装置542，如该图所示，如果两个安装装置12处于同时位于预定配置位置时的突出状态，嵌合销540的前端则处于嵌入到左侧安装装置12的嵌合孔544中的状态。换句话说，嵌合销540具有作为一方的安装装置12的卡合部的功能，嵌合孔544则具有作为另一方的安装装置12的卡合部的功能。嵌合销540的尺寸只有相对于嵌合孔544的内部尺寸具有一定间隙那么大(考虑到安装装置12的嵌合销540以及嵌合孔544的配合精度)。在一方的安装装置12的嵌合销540与另一方的安装装置12的嵌合孔544相互卡合的状态下，装置轨道延伸方向上的两个安装装置12的相对移动被限制住，维持了两者的相对位置关系不变，从而可以让两者沿着装置轨道一齐移动。反之，在嵌合销540处于不突出的情况下，则没有对安装装置12相对位置的限制，任何安装装置12均可单独地沿着装置轨道移动。

在作为基本形态示例的本系统中，将两个安装装置12的位置交换，换句话说，可以将右侧的配置在左侧，左侧的配置在右侧。在本系统中的两个安装装置12的每个上设置着销突出装置542以及嵌合孔544，在将两个安装装置12的位置交换的情况下，通过使用没交换状态下不用的那一侧的销突出装置542及嵌合孔544，可以在维持两个安装装置12的两者相对位置关系的状下移动。

这将在后面进行详细说明，安装装置12与相邻的安装装置12协同动作，可以对跨越两者的位置的一个线路板进行电路部件的安装作业。在这种情况下，例如在协同动作作业中任何安装装置12上发生故障的情况下，在两个装置具有的线路板输送装置24上仍保持着一块线路板，必须移动安装装置12。在出现这种需要的情况下，装置相互间相对移动限制装置成为了有效的手段。

<对基板作业系统的变化>

对基板作业系统并不限于上述基本形态的电路部件安装系统，从它开始可以有很多富于变化的种类。下面将对一些进行说明。

i)与对基板作业装置配置数目有关的变化。

图1(b)-(d)表示的是安装装置12的配置数目不同的各自的电路部件安装系统。在图1(a)所示的基本形态的系统中，安装装置12有两个，而在图1(b)所示的中有四个安装装置12，在图1(c)所示的中则有六个安装装置12，而在图1(d)所示的中有八个安装装置12，是一种分别在线路板输送方向的左右方向整列配置的系统。此外，安装装置12的结构与图1(a)-(d)中任何一个的结构是相同的。各个系统相应于安装装置12的配置数目，其系统基座的宽度(线路板输送方向上的长度)是不同的，图1(b)、(c)、(d)中所示的系统的各自的系统基座570、572、574分别是图1(a)所示的系统的系统基座10的大约2倍、3倍、4倍的宽度。

图1中所示的每个安装装置12也是上述的可动装置，在系统基座570、572、574的上面，配置着与先前说明的图1(a)所示基本形态相同的轨道列472，它们与安装装置12的数目相对应，分别配置4对、6对、8对。由这些轨道列472形成的装置轨道每条都与线路板的输送方向垂直交叉，沿前后方向水平延伸。换句话说，对于所有的安装装置12，都设有上述的安装装置移动允许装置。另外，与上述结构相同的安装装置固定装置也相应于安装装置12的配置数目设置多个。而且，每个安装装置12上也设有装置相互间相对移动限制装置，一个安装装置12可以单独地朝着系统前方移动，或者，维持住相互邻接的两个以上安装装置12相对的位置关系，朝着系统的前方移动。

ii)系统基座的模块化和对基板作业组件。

图17中示出了对于电路部件安装系统的与上述形态不同的几个形态。图17(a)-(c)所示的系统是将多个图1(a)所示的基本形态的系统在线路板输送方向上整列排列的系统。如图13及图14所示，基本形态的系统其系统基座10带有多个脚轮580，系统本身可以很容易地移动。另外，系统的设置利用了起重装置182、184，能够调整高度，设置在任意位置。图17(a)-(c)所示的系统是将基本形态的系统分别配置两个、三个、四个，从外观上与图1(b)-(d)的系统相近似。不同之处是前者将相同的系统基座10并列设置多个，而后者则由宽度不同的一个系统基座570、572、574来构成。换句话说，在图17所示形态的系统中，具有让系统基座10一个一个模块化的基座模块的功能，这些系统可以当成一种带有让该基座模块多个集合而构成的系统基座590、592、594的系统。这样，在对基板作业系统中，系统基座可以是带有多个基座模块构成的。例示的系统基座590、592、594也可以仅将作为基座模块的系统基座10并列设置，另外，采用专用连接装置将它们连成一体也是可以的。

在图17所示形态的情况下，可以看作包括作为基座模块的一个系统基座10，以及配置在其上的两个安装装置12而构成电路部件安装组件(对基板作业组件的一种)。换句话说，上述的基本形态的系统在此可作为一个电路部件安装组件处理。作为电路部件安装组件的基本形态的系统能够由其本身独立移动，另外，由于其组件的更换也可以自由进行，因此提高了系统的通用性。

iii)与对基板作业装置的安装宽度有关的变化。

下面对配置与上述安装装置12不同的安装装置的电路部件安装系统进行说明。图18(a)所示的是在先前基本形态系统中所用的系统基座10上配置与线路板输送方向的装置宽度不同的安装装置600的系统。更具体地说，具有大约是安装装置12的两倍的装置宽度。安装装置600上配备的线路板输送装置602具有与装置宽度对应的安装装置12上配备的线路板输送装置24大约两倍的输送长度(线路板输送方向的装置长度)。这样，就可以让比安装装置12的装置区域内收容的线路板要大的线路板(大约两倍的长度)设置在装置区域内，安装电路部件。另外，部件供给装置604与安装装置12的部件供给装置22相比较，也能够搭载数目很多的馈带器20，安装装置600可以安装更多品种的电路部件。安装头以及头移动装置与先前说明的安装装置12的结构相同，而随着装置的宽度变大，X轴方向(线路板输送方向)的头可移动的区域也变大。其它的配备装置等也与安装装置12的结构相同。

图18(b)所示的电路部件安装系统是将图18(a)所示的系统作为一个电路部件安装组件，让该组件同形成与之不同的组件的前述基本形态的系统并列配置来构成的系统。两个系统基座10形成各自的基座模块，与图17(a)所示的相同，构成了一个系统基座590。该系统是在其系统基座590上沿线路板输送方向整列配置两个安装装置12和一个安装装置600构成的系统。这将在后面详细说明，两个安装装置12相对于跨越两者位置上的线路板可以协同动作地进行安装作业。这样，能够让线路板从上游侧向下游侧(左右任何一侧作为上游侧都可以)输送，以任意顺序依次进行使线路板位于安装装置200的安装区域，1个安装头进行的电路部件安装作业，以及使线路板位于跨越两个安装装置12，两个安装头进行的电路部件的安装作业。从而构成了这样的系统，例如由两个安装装置12安装品种少、量多的电子部件，由安装装置600安装品种多、量少的电子部件，就可以构成灵活运用的极富适应性的系统。

图19中示出配置了装置宽度不同的安装装置的电路部件安装系统的另一个形态。图19(a)中所示的是在可以配置6个基本形态系统中所用的安装装置12的系统基座572(与图1(c)中所示的系统的相同)上，以四整列配置该安装装置12，与它们相互邻接，配置了上述安装装置12的大约两倍宽度的安装装置600的系统。另外，图19(b)中所示的是在可以配置8个安装装置12的系统基座574(与图1(d)中所示的系统的相同)上，以三整列配置该安装装置12，与它们相互邻接，配置了上述安装装置12的大约两倍宽度的安装装置600的系统，与它们相互邻接，配置了上述安装装置12的大约三倍宽度的安装装置610的系统。这样，就可以采用将线路板输送方向的宽度不同的安装装置整列配置的形态。

iv)对基板作业装置的模块化。

自此列举的各个形态的电路部件安装系统都是配置有多个安装装置的，并将全部这些安装装置模块化。换句话说，系统由于是通过配置相对系统基座可分离的模块化装置来构成的，例如即使出现一个模块化装置发生故障等情况，如果准备了与该装置结构相同的另外的模块化装置，就能够在很短的时间内将这些装置更换，从而很容易地将系统进行复原。另外，系统结构的变更，例如安装装置配置位置的变更，也可以在更换时迅速处理。特别是图1及图17中所示的系统是由一种安装装置构成的系统，由于是由单一的模块化装置来构成的，因而是一种更为便利的系统。

任何的安装装置都以配备有部件供给装置、线路板输送装置、安装头、安装头移动装置等各种装置的形式模块化。而且，在上述系统中，让对这些配置装置进行控制的控制装置(与上述安装装置控制装置36相当)在每个安装装置上都有，形成也配备有这种控制装置的模块化系统。另外，在系统基座上配备了如上面所述那样的各安装装置的各种通用装置、专用装置等。在模块化的安装装置固定在预定配置位置的情况下，让这些通用装置、专用装置等与安装装置的连接规格化，从而获得了一种更为便利的系统。例如连接安装装置与系统基座的电源线，正压、负压供电电路，控制装置之间信号存取的信号线等在系统的背面一侧经由可简单连接、分离的接头进行连接(图中省略)。

V)对基板作业装置的邻接配置和装置宽度的规格化

在上述各形态的系统中，多个安装装置相互邻接地设置。也就是说，安装装置的每个成为相互邻接配置装置，这些装置构成相互邻接配置的邻接装置群。结果，实现紧凑的系统。各安装装置在线路板输送方向的侧面(左右侧面)大致平坦，以各装置间几乎无间隙的状态配置各安装装置。在上述各形态的系统中，构成邻接装置群的各安装装置成为装置宽度规格化的模块化装置。将在前述基本式样的系统中使用的安装装置12的装置宽度作为单位宽度，只是具有的装置宽度为该单位宽度的大致整数倍的装置而构成邻接装置群。例如，如以图19(b)所示系统为例进行说明的话，安装装置12的装置宽度大致为单位宽度的1倍，则安装装置600成为装置宽度约为单位宽度的2倍、而安装装置610的装置宽度约为单位宽度的3倍的装置。通过将如此装置宽度规格化的模块化装置构成邻接装置群，该邻接装置群全体的宽度在上述式样的系统情况下是系统全体的宽度规格化。

在上述系统中，除了安装装置的宽度规格化外，安装装置的配置位置、配置方式也规格化。图20示出单位宽度的安装装置12可配置成8列的系统基座574，图21示出了以该系统基座574为例、说明各种宽度的安装装置的配置方式的示意图。在系统基座574上，为了能够使单位宽度的安装装置12邻接配置，相互平行的轨道列472成对构成的轨道对(具有与前述基本式样的系统中同样的结构)相互平行地设有8个。构成轨道对的2个轨道列472的间隔在任意一个轨道对中均是相同的，并且，8个轨道对以等于单位宽度的节距设置。

在单位宽度的安装装置12的情况下，如图21(a)所示，设置成安装装置12的车轮474卡合。对此，在配置单位宽度的约2倍的安装装置600的情况下，如图21(b)所示，安装装置600的车轮474与构成相互并排设置的2个轨道对的每个的4个轨道列472中外侧的2个轨道列472卡合。同样，配置单位宽度的约3倍的安装装置610时，如图21(c)所示，安装装置610的车轮474与构成相互并排设置的3个轨道对的每个的6个轨道列472中外侧的2个轨道列472卡合。无论是哪一种安装装置，均要在确定沿线路板输送方向的装置宽度处的装置的两侧面分别位于相邻的轨道对彼此的大致中央地设置车轮474，并使之规格化，即使在将任意的安装装置并排设置，也可在装置侧面相互几乎无间隙的状态下，使相邻的安装装置相互邻接。另外，即使是装置宽度约为单位宽度的4倍以上的安装装置，其只要是大致整数倍的安装装置，就可以同样的方式邻接配置。在此说明的安装装置的任意一种也是车轮474与位于左右外侧的2个轨道列472卡合的结构，但在安装装置的宽度为单位宽度的2倍以上时，也可以是位于安装装置下部的其他的轨道列472的一部分或全部与车轮474卡合的结构。

在构成1个轨道对的2个轨道列472的中间部分别设有如先前说明的、构成安装装置固定装置的止动件482、施力装置490。尽管详细的说明省略了，但在宽度约为单位宽度的2倍以上的安装装置时，在该安装装置的下方存在多个止动件482、施力装置490等。此时，可通过这些止动件482等的任意一个以上确定前后方向的配置位置。

从以上说明能够理解，本系统具有将成为相互邻接配置装置的安装装置的配置位置加以确定的多个配置位置确定装置。该配置位置确定装置含有确定在线路板输送方向上的配置位置的输送方向位置确定部，和确定交叉于线路板输送方向的方向上的配置位置的交叉方向位置确定部，输送方向位置确定部包含安装装置移动允许装置的1对轨道列472而构成，而交叉方向位置确定部包含安装装置固定装置的止动件482而构成。此外，构成邻接装置群的安装装置均为可动装置，任意一个安装装置均可沿着垂直于配线输送方向的方向移动。这些安装装置尽管是相互邻接配置的，但这些安装装置中1个以上的安装装置任意移动且不干涉邻接的安装装置。另外，在成为相互邻接配置装置的安装装置的每个上可规格化地设置前述的装置相互间相互移动限制装置。

vi)设有进行辅助作业的对基板作业装置的系统

至此所例示的电路部件安装系统的结构为，只是安装装置配置于系统基座上。除了这些式样外，对于进行线路板的输送、运进、运出、待机、存放、输送方向和路径的变更、线路板方向的变更这些基板输送关联作业中的至少一个的作业的装置也可作为辅助作业装置配置。以下以辅助作业装置为例加以说明。

vi-i)输送作业装置

图22为辅助作业装置的例子，示出主要进行线路板输送作业的输送作业装置配置于安装装置间式样的电路部件安装系统。该系统是在图1(d)所示的系统中，替换从右起第3个安装装置12，在该位置设置以线路板的输送作业为主要目的的输送作业装置620。输送作业装置620以配置在安装装置12中的线路板输送装置24为主的配备装置，是除去安装头26、头移动装置28、部件供给装置22等配备装置的装置。这样的输送作业装置220例如可方便地灵活运用于安装装置12任意一个出现故障时。此时，分配给所配置的安装装置12的电路部件安装作业如由其他的安装装置12分担等，可避免系统的大幅度的运行损耗。同样，将安装装置12作为预备储备件，也可避免运行损耗，但输送作业装置620的装置是结构简单，比安装装置12成本低的装置，因此具有可使设备全体的成本变低的优点。另外，输送作业装置620不仅是在故障等情况下，而且是能够在系统基座上形成不配置安装装置的空间隔地构筑系统之际，可作为填补该空间隔的装置加以利用。如该输送作业装置220那样的基板输送关联作业装置成为有利于系统的适应性、便利性提高的装置。

vi-ii)存放作业装置

图33为辅助作业装置的另一例，示出进行作为基板输送关联作业的线路板的存放作业的存放作业装置800的立体图。将前述的单位宽度的对基板作业装置可以3个邻接配置的系统基座804上，邻接配置2台安装装置12和1台存放作业装置800。另外，该图省略了存放作业装置800的盖件一部分的视图，该装置的主要部分示意地示出。存放作业装置800具有升降台810，在该升降台810上设有线路板收纳装置812。线路板收纳装置812可简单地认为配备于前述安装装置12上的线路板输送装置24不具有基板保持功能(从下方上推线路板以加以固定的功能)，而具有多个输送轨道。

线路板收纳装置812具有前收纳部814和后收纳部816，能够分别收纳多个线路板。前收纳部814具有由一对第1轨道支持部件820支承的多个输送轨道824和由一对第2第2轨道支持部件822支承的多个输送轨道826，由一对支承处的高度相等并且相对的输送轨道824、826形成一个输送部828，由这一个输送部收纳一个线路板。在本线路板收纳装置812中，在前收纳部814上具有6个输送部828，线路板收纳装置812的前收纳部814中最多可收纳6个线路板。后收纳部816同样，多个输送轨道834、836相互相对地分别由多个第3轨道支持部件830和第4轨道支持部件832支承，由这些输送轨道834、836成对而成的输送部838分别收纳线路板，最多可收纳6个。

输送部828、838每个均具有输送线路板的输送带(图中未示出)和驱动该输送带的电机(图中未示出)。各输送轨道824、826、834、836(以下，称作“输送轨道824～836”)上一一设有这些输送带和电机，通过设置在形成一个输送部828、838的一对输送轨道824～836上的2个电机相互同步地回转，设置在一对输送轨道824～836上的2个输送带被同步驱动以输送线路板。另外，属于任意的输送部828、838的一对输送带可被相互同步地驱动。

通常，线路板的移入或移出由多个输送部828、838中位于固定高度的输送部828、838进行。通过其他的对基板作业机，线路板被输送通过成为图中多个直线H所示的高度方向的位置的输送高度位置，在线路板收纳装置812中，由位于该输送高度位置的输送部828、838，进行线路板的移入或移出。在存放作业装置800中具有使升降台810升降的升降装置840，通过该升降装置840，线路板收纳装置812与升降台810一同升降，以改变线路板收纳装置812的高度位置。进行线路板的移入或移出之际，多个输送部828、838中进行移入或移出的输送部828、838位于输送高度位置上。

另外，线路板收纳装置810具有3个电机842，能够分别转动与第2、第3、第4轨道支持部件822、830、832的每个分别螺纹连接的3根螺杆，能够分别改变这些轨道支持部件在前后方向的位置。也就是说，与配置于前述的安装装置12上的线路板输送装置24同样，可分别改变在前收纳部814中的输送机宽度和在后收纳部816中的输送机宽度。

本存放作业装置800具有控制装置850，通过该控制装置850，可控制上述的线路板收纳装置810的升降、输送机宽度的变更、各输送部828、838的驱动等。在该控制装置850的控制下，本存放作业装置800暂时地收纳邻接于本机上游侧的对基板作业机或从系统外输送来的多个线路板，在接受或输入要求移出的信号之际，能够将收纳于本机中的线路板搬运到邻接于本机下游侧的对基板作业机中或搬运到系统外。另外，移入或移出线路板的输送部828、838的顺序可自由设定，例如，可从最上或最下顺序、或者以与移入和移出的顺序相同的顺序进行等。

通过将本存放作业装置800配置于对基板作业机系统中，能够提高对基板作业机系统的适应性或便利性。例如，本存放作业装置800可用于如下目的加以使用，即在对配置于本机的下游侧的对基板作业机进行工程安排变更期间，将通过配置于本机上游侧的对基板作业机进行作业的线路板加以存放，之后，在进行上游侧的工程安排变更期间，存放的线路板向下游侧搬运。

vi-iii)输送路径变更作业装置

作为辅助作业装置的另外例，图34示出了进行变更线路板的输送路径等的基板输送关联作业的输送路径变更作业装置900的立体图。输送路径变更作业装置900具有在前后方向细长的支承台910，该支承台910向系统基座10的后方伸出。在该支承台910的上面设有输送装置移动装置912，该输送装置移动装置912具有Y工作台914、2根导轨916、螺杆918和电机920。Y工作台914具有滑动部件(包含轴承)，该滑动部件与导轨916卡合，通过这2根导轨916，Y工作台914的移动方向限制在前后方向。另外，Y工作台914具有未图示的螺母(包含轴承)，该螺母与螺杆918螺纹连接，通过该螺杆918由电机920带动回转，使Y工作台914在前后方向移动。

输送路径变更作业装置900具有线路板输送装置930，和固定在Y工作台914上以支承该线路板输送装置930的输送装置回转装置932。输送装置回转装置932可在水平面内回转线路板输送装置930，能够任意改变线路板输送装置930的方向。线路板输送装置930能够考虑不具有配备于前述的安装装置12上的线路板输送装置24的基板保持功能(从下方上推线路板固定的功能)，只单纯具有1个输送部。线路板输送装置930也可改变2个输送轨道的间隔。

输送装置移动装置912可将线路板输送装置930与输送装置回转装置932一同移动到支承台910的后端部。线路板输送装置930在位于支承台910的后端部的状态下，可在左右方向进行线路板的移入或移出。另外，在支承台910的后端部，线路板输送装置930由于不与邻接于输送路径变更作业装置900的其他的对基板作业机发生干涉，通过输送装置回转装置932，可使线路板输送装置930回转，在任意的回转位置可进行线路板的移入或移出。例如，不仅在系统中的作为输送方向的左右方向而且可在前后方向进行线路板的移入或移出。在本实施例中，输送路径变更作业装置900具有作为输送方向变换装置的功能。另外，在线路板移入、移出时，输送装置等可同时设置在支承台910的后部。

本输送路径变更作业装置900与其他的对基板作业机邻接设置，可将输送来的线路板朝与成对线路板作业系统的输送方向垂直的方向移动，从而移出。为此，在邻接于上游侧或下游侧的对基板作业机具有带多个输送部的线路板输送装置时，线路板能够从上游侧的任一输送部移入，从下游侧的任一输送部移出。例如，与本输送路径变更作业装置900的上游侧和下游侧邻接的对基板作业机如具有带有2个前和后输送部的线路板输送装置，则可从上游侧的前输送部或后输送部向与下游侧的前或后输送部不同侧的输送部输送。另外，本输送路径变更作业装置900具有控制装置940，各装置由该控制装置940控制，进行上述的线路板的移入或移出、线路板输送装置930的移动或回转等的动作。

通过将本输送路径变更作业装置900配置于对基板作业机系统中，可提高对基板作业机系统的适应性或便利性。例如，在配置于输送路径变更作业装置900上游侧的对基板作业机的作业速度变快，配置于下游侧的对基板作业机的作业速度变慢时，通过本输送路径变更作业装置900，由上游侧的对基板作业机进行作业的线路板可分配至其他的对基板作业系统中。另外，例如，相对某个线路板的对基板作业有问题时，也可将该线路板作为不良品向系统外排出。

vii)有关对基板作业的种类的变化

至此所例示的系统为进行电路部件安装作业的系统，但也可构筑进行其他种类的对基板作业的系统。图23示出配置有对基板作业的种类不同的各种对基板作业装置的对基板作业系统。本系统的系统基座630由2个基座模块构成。其中一个为可将单位宽度的对基板作业装置以8个邻接配置的系统基座574，另一个为可将单位宽度的对基板作业装置以2个邻接配置的系统基座10。系统基座574位于上游侧(左侧)，系统基座10位于下游侧(右侧)，相互邻接配置。在系统基座574上，从上游侧顺序地相互邻接配置着相对线路板进行作为高粘性涂布作业的1种的钎焊糊印刷作业的钎焊印刷装置632，进行作为其他的高粘性涂布作业的一种的粘接剂涂布作业的粘接剂涂布装置634，先前说明的单位宽度的2个安装装置12和安装装置600，进行电路部件的安装结果的检查的安装结果检查装置636相互邻接地配置。除了2个安装装置12外的其他装置为具有装置宽度的约2倍的装置。如改变看法，本系统由(A)包含系统基座574和配置在其上的钎焊印刷装置632、粘接剂涂布装置634、2个安装装置12和安装装置600的第1对基板作业单元，和(B)包含系统基座10和配置在其上的安装结果检查装置636的第2对基板作业单元构成。另外，第1对基板作业单元和第2对基板作业单元分别单独成为对基板作业系统。

viii)其他

线路板相对上述例示的各种对基板作业系统的移入，例如是将配置于上游侧的对基板作业装置上的线路板输送装置与移入机(例如以移入输送机等为主体的设备)相连，通过该移入机进行该移入工作，而从系统中的移出例如是将配置于下游侧的对基板作业装置上的线路板输送装置与移出机(例如以移出输送机等为主体的设备)相连，通过该移出机进行移出作业。移入装置、移出装置作为系统所具有的对基板作业装置的一种而模块化等，也可设置在系统基座上。另外，上述对基板作业系统通过与其他系统、对基板作业机等连接使用，以可以承担安装线一部分的式样加以使用。

<线路板的输送>

以下，以图1所示的、装置宽度为单位宽度的安装装置相互邻接配置式样的电路部件安装系统为例说明线路板的输送。

i)系统输送装置的结构

在本式样的电路基板安装系统中，多个安装装置12相互邻接配置。线路板输送装置24具有与安装装置12的装置宽度大致相等的宽度(输送长度为在线路板输送方向上的长度)，在多个安装装置12配置于规定的配置位置时，配置于各安装装置12上的各线路板输送装置24相互邻接设置。另外，线路板输送装置24配置于安装装置12内的一定位置上，在多个安装装置12配置于规定的配置位置时，各线路板输送装置24成为在一直线上并排设置的状态。通过各线路板输送装置24相连地并排设置，构成遍布于系统全体上的、输送线路板的装置。该装置成为系统中的基板输送装置，为了区别于各线路板输送装置，称作“系统输送装置”。该系统输送装置能够考虑部分分别模块化的输送模块相连的结构。即，作为配置于各安装装置12上的输送装置设置的线路板输送装置24的每一个相当于系统输送装置中的输送模块。另外，各安装装置12由于也是配置输送装置、模块化的装置，可称作输送装置配置模块化装置。另外，对线路板输送装置24的结构参照先前的说明，在此省略对其说明。

本实施例的电路部件安装系统为只配置单位宽度的安装装置12的系统。正如前述，也存在配置着具有装置宽度的2倍以上的大致整数倍的装置宽度的安装装置的系统。此时，配置于该安装装置上的线路板输送装置如成为与上述装置宽度相应的宽度的装置，可构成同样的系统输送装置。另外，在具有上述单位宽度的2倍以上的大致整数倍的装置宽度的安装装置内，通过将在单位宽度的安装装置12中使用的线路板输送装置24只根据装置宽度的数目直列并排设置，可获得同样的系统输送装置。

ii)线路板存在位置的识别

上述系统输送装置为，相互邻接的线路板输送装置24互相配合动作以输送线路板的同时，将至少线路板的一部分位于安装装置12的作业区域的规定的作业位置上的装置。例如，协调各线路板输送装置24的输送机动作地进行输送。即，进行输送协调控制。作为进行输送协调控制的前提是，必须把握线路板目前存在于哪一个位置。本系统输送装置对于每个线路板输送装置24，均具有作为该线路板检测器的光电传感器160，根据该光电传感器160的检测结果，识别线路板的存在位置。以下，对该线路板的存在位置的识别方法加以说明。正如前述(参照图4)，在本例的电路部件安装系统中，尽管可由前述前输送部110和后输送部112这两者来输送线路板，但在以下的说明中，为了便于理解，只说明前输送部110。另外，作为输送动作意思为以线路板的输送、停止等为目的的输送带142(参照图5)的循环的开始、循环的停止、循环速度的变更等，为了简化说明，将这些简单地称作输送机的启动、停止、速度变更。

图24示意地示出本方案的系统中，构成系统输送装置的线路板输送装置24并列设置多个的状态。在图中，示出了多个线路板输送装置24中的4个，这些线路板输送装置24从上游侧(左侧)顺序编号，称作装置[X]。在图中，从上游侧开始顺序为装置[1]，装置[2]，装置[3]，装置[4]。在作为基准轨道的轨道100(参照图4)的上游端部和下游端部，分别设有作为线路板检测器(基板检测器的一种)的反射型的光电传感器160。光电传感器160(以下简单地称作“传感器”)可发出线路板的检测信号，与线路板输送装置24的序号[X]相关地，分别将上游侧的光电传感器称作传感器[X]U，下游侧的光电传感器称作[X]L。装置[X]上游侧的装置[X—1]的下游侧传感器[X—1]L在线路板150的下游端部通过该传感器[X—1]L的位置时成为ON状态(检测状态)。由此，识别出线路板350进入该装置[X]。另外，该装置[X]下游侧装置[X+1]的上游侧传感器[X+1]U在线路板150的上游端部通过该传感器[X+1]U的位置时成为OFF状态(非检测状态)。由此，识别出线路板150从该装置[X]中输出。通过这些识别结果，可获得在该装置[X]中线路板350的至少一部分是否存在的线路板有无信息。线路板存在与否的管理由设置在具有作为对象的装置[X]的安装装置12上的控制装置36进行，来自上游侧装置[X—1]的传感器的识别信号和来自下游侧装置[X+1]的传感器的识别信号、线路板有无信息等在配备这些装置的安装装置12上配备的安装装置控制装置36之间传递。

iii)收纳于一个安装装置的装置区域内的线路板的输送

图25示意地示出线路板输送方法的第1例。本例的输送方法适用于输送长度(在线路板输送装方向上的长度)比线路板输送装置24的宽度短的线路板，换言之，适用于输送可收纳于一个安装装置12的装置区域内大小的线路板(实际上，在装置的构造上，为只比装置宽度短规定长度的线路板)的方法。首先，图25(a)所示的状态为，线路板150固定并保持在装置[1]的线路板输送方向上的中央位置上，以向配备装置[1]的安装装置12进行的电路部件安装作业供给的状态。在该电路部件安装作业结束时，解除线路板的固定。接着，确认装置[2]上不存在线路板后，装置[1]的输送机启动。在线路板150移动到达图25(b)所示位置时，传感器[1]L接通(ON)，装置[2]的输送机启动。另外，装置[1]的输送机速度与装置[2]的输送机速度相等。接着，线路板150到达图25(c)所示位置时，传感器[2]U接通，开始以该时刻作为始点的输送距离的控制。输送距离的控制由前述的电机344的回转量(回转角度)的控制进行。以通过把握线路板350的长度，将线路板350的下游端从传感器[2]U的位置移动到设定的距离的方式控制上述回转量。通过这种控制，可将线路板150停止在任意的位置上。另外，在本例中，线路板150的中心设定成停止在线路板输送方向的中心位置上。接着，线路板150到达图25(d)所示的位置时，传感器[2]U断开(OFF)，装置[1]的输送机停止。然后，如图25(e)所示，线路板150直到到达上述设定的位置时，装置[2]的输送机停止的同时，结束上述输送距离的控制。在该位置，线路板150被固定和保持着，以开始配备装置[2]的安装装置12进行的电路部件安装作业。

各线路板输送装置24顺序地反复进行以上的输送，线路板150在各安装装置12上顺序移动。在许多场合，各安装装置12并行地实施电路部件安装作业，线路板150存在于位于系统内的线路板输送装置24每个中。因此，在实际的输送中，首先，下游侧的线路板输送装置24成为空状态(不存在线路板150的状态)，由该上游侧移送线路板以填入该空状态的一个输送动作是从下游侧向上游侧顺序地进行，进行所有位于系统输送装置中的线路板150的输送。作为其他的方法，是将所有的线路板输送装置24的输送动作一同进行，可同时输送系统输送装置内的线路板。另外，朝系统内的移入(朝位于最上游的线路板输送装置的移入)、从系统中的移出(从位于最下游的线路板输送装置24的移出)也可在系统外部的输送装置前设有前述的光电传感器160等，采用与上述同样的方法，进行协同动作的输送动作。另外，根据上述光电传感器160的检测信号或者根据设有的另外的光电传感器的检测信号，通过变更输送带142的周转速度，也可进行变更线路板的移送速度方式的输送协调控制。

iv)跨越多个安装装置的线路板的输送方法1

图26示意地示出线路板输送方法的第2例。本例的输送方法为，适用于输送长度比线路板输送装置24的宽度长的线路板，即输送大小为跨越多个安装装置的线路板的输送方法。跨越在相互邻接的多个安装装置12上的线路板在这些安装装置12相互协同动作以进行电路部件安装作业时是有效的。在本例中，对输送大小为跨越在2个安装装置12上的线路板的场合加以说明。

首先，在图26(a)所示的状态下，线路板150成为其中心刚好位于装置[1]与装置[2]的中间位置并且线路板由这两个装置固定和保持着，分别向配备这两个装置的2个安装装置12进行的电路部件安装作业供给的状态。在该电路部件安装作业结束时，解除两装置对线路板的固定。接着，确认装置[3]和装置[4]上不存在线路板后，装置[1]和装置[2]的输送机开始动作。在线路板150移动到达图26(b)所示位置时，传感器[2]L接通，装置[3]的输送机启动。之后，线路板150到达图26(c)所示的位置时，传感器[2]U断开，装置[1]的输送机停止。然后，在线路板150到达图26(d)所示位置时，传感器[3]L接通，装置[4]的输送机启动。接着，在线路板150到达图26(e)所示位置时，传感器[4]U接通，开始以该时刻作为始点的输送距离的控制(进行与前述的控制同样的动作)。接下来，在线路板150到达图26(f)所示位置时，传感器[3]U接通，装置[2]的输送机停止。然后，如图26(g)所示，线路板150的中心到达装置[3]和装置[4]的中间位置时，装置[3]和装置[4]的2个输送机同时停止，同时，结束输送距离的控制。在该位置，线路板150被固定和保持着，分别配备装置[3]和装置[4]的2个安装装置12开始电路部件安装作业。

在本例的输送方法中，线路板150一次只输送宽度为线路板输送装置24的2个程度的线路板。系统内存在多个线路板的输送方法、线路板朝系统的移入、线路板从系统移出的方法、移送速度等的变更等可与前述第1例同样地进行。另外，正如先前所例示的，具有装置宽度约为单位宽度2倍的安装装置位于任意一个位置上的情况下，在该部分，可适用根据上述2个输送方法类推的同样的输送方法(具体说明被省略)。在利用本例的输送方法的情况下，在本方案的系统中，装置[1]和装置[2]构成一个作业装置群，而装置[3]和装置[4]构成另外一个作业装置群。采用本例的输送方法的话，可实现将这些作业装置群作为一单位的线路板的输送。该输送形态称作群单位输送形态。

vi)跨越多个安装装置的线路板的输送方法2

图27示意地示出线路板的输送方法的第3例。本例的输送方法与前述第2例同样，为适用于输送长度比线路板输送装置24的宽度长的线路板、即大小为跨越多个安装装置的线路板的输送方法。跨越着相互邻接的多个安装装置12的线路板在这些安装装置12相互协同动作以进行电路部件安装作业的场合是有效的。在本例中，对大小为跨越2个安装装置12的线路板进行输送的场合加以说明。

首先，在图27(a)所示的状态下，线路板150成为其中心刚好位于装置[1]与装置[2]的中间位置并且线路板由这两个装置固定和保持着，分别向配备这两个装置的2个安装装置12进行的电路部件安装作业供给的状态。在该电路部件安装作业结束时，解除两装置对线路板150的固定。接着，确认装置[3]上不存在线路板后，装置[1]和装置[2]的输送机启动。在线路板150移动到达图27(b)所示位置时，传感器[2]L接通，装置[3]的输送机启动。之后，线路板150到达图27(c)所示的位置时，传感器[3]U接通，开始以该时刻作为始点的前述输送距离的控制。接着，在线路板150到达图27(d)所示位置时，传感器[2]U断开，装置[1]的输送机停止。然后，如图27(e)所示，线路板150的中心到达装置[2]和装置[3]的中间位置时，装置[2]和装置[3]的2个输送机同时停止，同时，结束输送距离的控制。在该位置，线路板150被固定和保持着，分别配备有装置[2]和装置[3]的2个安装装置12开始电路部件安装作业。

在本例的输送方法中，与前述第2例不同，线路板150只由输送装置24一个一个地输送。系统内存在多个线路板时的输送方法、线路板朝系统的移入、线路板从系统移出的方法、移送速度等的变更、配置装置宽度约为单位宽度的约2倍的安装装置时的输送等可与前述第2例同样地进行。利用本例的输送方法时，在本方案的系统中，装置[1]和装置[2]构成一个作业装置群，而装置[3]和装置[4]构成另一个作业装置群。如换个角度，可认为装置[2]和装置[3]构成一个作业装置群。采用本例的输送方法的话，不是将这些作业装置群作为一单位的线路板的输送，而是可实现将构成作业装置群的一个安装装置作为一个单位的送进。即，在安装装置每个中顺序地送进。该输送形态称作装置单位输送形态。在本方案的系统中，可根据本系统的作业形态，选择性地采用该装置单位输送形态和前述的群单位输送形态。

<多个安装装置的协同动作作业>

以下，以图1所示范围内的、装置宽度为单位宽度的安装装置12相互邻接配置方式下的电路部件安装系统为例，对多个安装装置的协同动作作业加以说明。本系统中，多个安装装置12邻接配置，相对于跨越在这些相邻的多个安装装置的装置区域上的线路板，所述多个安装装置可协同动作地进行电子部件的安装。安装装置12的每个均具有相同的结构，对于跨越在任意的安装装置12上的线路板，在与该安装装置12相邻的任一安装装置12之间，可进行协同动作作业。在以下的说明中，涉及电子部件向跨越2个安装装置12的线路板的安装，特别是，以为了消除在通常的安装头26的移动动作中存在的位于2个安装装置12的边界部分的线路板安装区域中的不灵敏区的安装头26的移动动作为中心进行。另外，对于安装头26和头移动装置28的结构及其动作，适于参照使用图10、图11进行的前述说明。

i)不超过装置区域的安装头的移动和特定区域

图28示意地示出以一个安装装置作为目标对象装置、与其一侧邻接的安装装置作为并设装置的2个装置的安装头等的动作。在图中，左侧的安装装置12为目标对象装置，右侧的安装装置12为并设装置。目标对象装置为装置[M]，并设装置为装置[N]。线路板保持在线路板输送方向上的中心位于装置[M]与装置[N]中央的位置上。另外，装置[M]与装置[N]配置成各自的作为第1X滑块的移动方向的X轴方向、即各装置中特定方向相互成同一方向。

正如先前所说明的，头移动装置28在作为第2轨道形成部的第1X滑块242停在第1轨道上的ST1～ST4任一站的状态下，使安装头26移动。如图11所示，第1X滑块242位于ST2和ST3时，安装头26乃至第1X滑块242不能从自身的装置区域进入。因此，将一个线路板收纳于自身的装置区域内，以进行电路部件安装作业时，通常，通过使第1X滑块242位于ST2或ST3处，使安装头26移动，可安装上电子部件。

图28(a)示出装置[M]的第1X滑块242位于ST2处、装置[N]的第1X滑块242位于ST3处的状态。在该状态下，各自的安装头26即使位于第2轨道上的任意位置，两个装置的安装头26乃至第1X滑块242相互也不干涉(以下，将这些可干涉的某个安装装置的构成部分简称作“安装头等”)。可是，在该状态下，在线路板的安装区域(与装有电子部件的部件安装位置有关的区域)内，存在着两个装置的安装头26的任意一个也成为不能安装的不灵敏区的特定区域666(图中斜线区域)。由于该特定区域666的存在，在上述的通常的安装头26的移动动作下，不能满足协同动作作业。

ii)超过装置区域的安装头的移动和干涉回避控制

在此，在本系统中，为了扩大装置[M]和装置[N]两者的头可移动区域即作业区域，安装头26可相对相互的装置区域进入，允许相互相对侧的安装头26朝自身的装置区域进入。此时，进行避免两个装置的作业头等干涉，同时使相互的安装头26移动的干涉回避控制。对于作为目标对象装置的装置[M]来说，具体如图28(b)所示，作为并设装置的装置[N]的第1X滑块242位于ST2时，通过使装置[M]的第1X滑块242位于ST1处，在避免各自的安装头等干涉的同时，可将电子部件朝装置[M]的特定区域666安装。相反，如图28(c)所示，装置[N]的第1X滑块242位于ST4处或想要位于ST4处时，通过使装置[M]的第1X滑块242位于ST3处，在避免相互的安装头等干涉的同时，可将电子部件朝装置[N]的特定区域666安装。

更详细地说明如下。即使在一方装置的安装头26位于第2轨道上的任一位置上的情况下，该一方装置为作业头等不向另一方装置的装置区域进入状态的范围内，使该一方第1X滑块242定位的第1轨道上的临界位置作为一方装置的非进入临界位置确定。并且，装置[M]的ST1，装置[N]的ST4，在两个装置的关系上，作为进入停止位置设定，该进入停止位置为超过上述非进入临界位置设定的停止位置。另外，另一方装置为作业头等在一方装置的装置区域内最进入状态下，其一方装置的作业头26即使位于第2轨道上的任意位置上时，该一方装置为作业头等与另一方装置的作业头等相互不干涉状态的范围内，使一方装置的第1X滑块242定位的第1轨道上的临界位置作为一方装置的非干涉临界位置确定。并且，装置[M]的ST3，装置[N]的ST2，在两个装置的关系上，作为存在于不超过非干涉临界位置的位置上的一个以上非干涉停止位置设定。

干涉回避控制主要控制作为第2轨道形成部的第1X滑块242的位置。对于作为目标对象装置的装置[M]来说，在装置[N]的第1X滑块242成为位于不超过非干涉临界位置范围内的状态下，容许装置[M]的第1X滑块242超过非进入临界位置设置。即，装置[M]的第1X滑块242容许停止在作为进入停止位置的ST1上。另外，在装置[N]的第1X滑块242成为位于超过非进入临界位置范围内的状态下，禁止装置[M]的第1X滑块242超过非干涉临界位置设置。即，装置[M]的第1X滑块242停止在作为非干涉停止位置的ST3上。对于作为并设装置的装置[N]，也进行与装置[M]的关系中同样的控制。如此，在本方案的系统中，在干涉回避控制中，进行第1X滑块242位置的控制、即第2轨道形成部的位置控制。

在本方案的系统中，存在作为目标对象装置的装置[M]在图中的左侧也配置安装装置12的情况。此时，在与该左侧的安装装置12之间，进行上述干涉回避控制。在与左侧的安装装置12的关系中，由装置[M]设定的ST4成为上述进入停止位置，ST2成为上述非干涉停止位置。干涉回避控制可只在相邻的一方安装装置12之间进行，也可以同步地在相邻的两侧安装装置12之间进行。

<跨越多个安装装置的线路板的作业形态>

图1所示为装置宽度为单位宽度的安装装置12相互邻接配置形式下的电路部件安装系统的例子，下面，对在跨越多个安装装置的线路板上进行电路部件安装作业之际的作业形态加以说明。

i)线路板与作业装置群

图29示意地示出在电路部件安装作业中供给的线路板。图示线路板150具有跨越2个安装装置12的大小，为了便于说明，表示成装有2种电子部件690。2种电子部件中的1种为部件a，为了方便起见，从线路板150的左侧顺序地标以部件a1～a9序号。同样，另一种电子部件为部件b，为了方便起见，从线路板150的左侧顺序地标以部件b1～b8序号。如在大致中央将线路板150的作为被作业区域的安装区域分成2部分，则部件a1～a5和部件b1～b4位于左侧的部分区域694中，而部件a6～a9和部件b5～b8位于右侧的部分区域694中。另外，部件a5，a6和部件b4，b5装在前述的特定区域666中。电路部件安装系统构成由多个安装装置12中的、相互邻接的2个安装装置构成的作业装置群。通过安装装置12的配置数目，该系统具有的作业装置群的数目尽管不同，但以其中一个作业装置群加以说明。因此，上述的电子部件690是在该一个作业装置群中安装。在本电路部件安装系统中，可选择2个作业形态，以上述内容作为前提，顺序地说明这2个作业形态。

ii)成批作业控制的作业形态

图30示意地示出两个作业形态中的一个作业形态。在图中，线路板从作为上游侧的左侧向作为下游侧的右侧输送。构成作业装置群的2个安装装置12分别以上游侧的安装装置作为装置[A]，将下游侧的安装装置作为装置[B]。另外，安装装置只图示出输送机，其他部分被省略。在本作业形态中，线路板150以作业装置群作为一单位的方式输送。详细地说，在装置[A]和装置[B]上不存在先前的线路板150的状态下，线路板150从装置[A]的上游侧移送，中心停在装置[A]和装置[B]的中间位置上，在该位置上，装上电子部件690后，在装置[A]和装置[B]上不存在该线路板150地向装置[B]的下游侧移送。具体为，进行前述的线路板的输送形态中的群单位输送形态下的输送。另外，在此说明的作业形态称作成批作业形态，执行该形态的作业的控制称作成批作业控制。

图30(a)示出安装电子部件690前的状态，图30(b)示出安装电子部件690后的状态。在本作业形态中，相对前述的左侧的部分区域694，由装置[A]一同装上部件a，部件b，而相对右侧的部分区域696，由装置[B]一同装上部件a，部件b。具体为，由装置[A]装上部件a1～a5，部件b1～b4，由装置[B]装上部件a6～a9，部件b5～b8(参照图29)。此外，电子部件相对特定区域666的安装通过使用前述的进入控制和干涉回避控制使安装头26移动而实现的。在如此进行的本作业形态中，由装置[A]，装置[B]分别确定的电路部件安装作业成为一定的作业。也就是说，装置[A]，装置[B]各自作业的线路板150的安装区域和安装的电子部件690在每个装置中是一定的。

另外，在上述的成批作业形态中，以694，696作为一个图案来设定部分区域。也可以代之以使部分区域为与安装的电子部件的种类等相应的多个图案。也就是说，例如，在每种电子部件690中，也可以将各装置作业的安装区域加以变更的形式，进行电路部件安装作业。在成批作业形态中，各种类的电子部件690遍布于线路板的安装区域的整个区域安装时，必须按照多个安装装置12的每一个准备各种类的电子部件。即，必须将供给相同种类的电子部件690的馈带器20配置于各安装装置12具备的部件供给装置22中。这样，尽管存在若干缺点，但与下面要说明的作业形态相比，本作业形态能够缩短线路板输送的时间，具有能够迅速地进行电路部件安装作业的优点。

iii)顺序输送作业控制的作业形态

图31示意地示出2个作业形态以外的另一个作业形态。线路板的输送方向、作业装置群和与构成上述内容的安装装置12有关的名称是与上述的成批作业形态相同的。在本作业形态中，线路板150按照构成作业装置群的安装装置顺序地输送。更详细地说，首先，线路板150被从上游侧输送，停止在装置[A]的装置区域内、接收线路板150的下游侧的大致一半程度的位置上。在该位置，与该线路板150相对的装置[A]所致的电子部件690的安装结束后，移送该线路板150，使之停止在中心成为装置[A]与装置[B]的中间位置的位置上。接着，在该位置，由装置[A]和装置[B]进行的相对该线路板150的安装结束后，移送该线路板150，使之停止在装置[B]的装置区域内、接收线路板150的上游侧的大致一半程度的位置上。在该位置，装置[B]进行的对该线路板150的安装结束后，将该线路板150移送到装置[B]的下游侧。具体为，进行以先前说明的线路板输送形态中的装置单位输送形态中的输送。实际上，几个线路板150成排输送，线路板150的下游侧的大致一半程度位于装置[A]的装置区域内的情况下，先前的线路板150的上游侧的大致一半程度位于装置[B]的装置区域内。图31(a)，(b)示出其状态，图31(c)，(d)示出线路板150停止在其中心成为装置[A]装置[B]的中间位置的位置上的状态。另外，将在此说明的作业形态称作顺序输送形态，将执行该形态的作业的控制称作顺序输送作业控制。

图31(a)，(c)示出安装电子部件690前的状态，图31(b)，(d)示出安装电子部件690后的状态。下面将对1个线路板150进行的作业顺序地说明。首先，如图31(a)，(c)所示，相对线路板150右侧的部分区域696，由装置[A]装上部件a6～a9(部件序号参照图29，以下同样)。此时，部件a6朝特定区域666上的安装由前述的进入控制和必要场合由干涉回避控制实现。接着，将线路板150输送一个装置的程度后，如图31(c)，(d)所示，由装置[A]将部件a1～a5安装到线路板150的左侧的部分区域694上，由装置[B]将部件b5～b8安装到右侧的部分区域696上。部件a5和部件b5朝特定区域666上的安装与成批作业形态时同样，通过前述的进入控制和干涉回避控制，移动安装头26而进行。然后，使线路板150进一步输送一个装置的程度后，如图31(a)，(b)所示，由装置[B]将部件b1～b4安装到线路板150左侧的部分区域694上。同样，部件a6朝特定区域666的安装通过前述的进入控制和必要时的干涉回避控制实现。此时，在装置[A]中，进行相对下一个线路板150右侧的部分区域696的安装。

在前述的成批作业形态中，由装置[A]，装置[B]各自确定的电路部件安装作业成为一定的作业。对此，在本作业形态中，无论是装置[A]还是装置[B]，相对线路板150的电路部件安装作业每次均变更。即，在本形式中，两个装置均以不同的2个电路部件安装作业顺序地反复进行而变更。其两个电路部件安装作业在成为对象的线路板150的安装区域也顺序变更，对此，安装在该区域的电子部件690的种类和其安装位置也不同。(注：在本例中，为了简化起见，只示出2种电子部件，一个安装装置只装有一种部件。为此，在外观上，尽管安装装置每个上装有同种电子部件，然而，安装上的电子部件并不一定相同。)另外，部分区域不是作为一个图案而是可变更为多个而进行作业可与前述成批作业形态的情况相同。

在本作业形态中，在装置[A]与装置[B]的关系上，是只有装置[A]安装部件a，只有装置[B]安装部件b。因此，在装置[B]上不必准备部件a，而在装置[A]上不必准备部件b。即，可以构筑出只将供给部件a的馈带器20配置于装置[A]的部件供给装置22上，只将供给部件b的馈带器20配置于装置[B]的部件供给装置22上形式的系统。其不仅与系统所具有的馈带器20的数量的减少有关，也可减少系统自身的线路板输送方向中的宽度，降低成本。

<与电路部件安装系统的控制有关的功能程序>

以上，对电路部件安装系统中电路部件安装作业的几个形态，和以与上述形态相对应的安装装置12为中心的动作进行了说明。上述的电路部件安装系统正如先前所述，作为控制装置包含有将系统全体汇总控制的系统控制装置376，和各安装装置12中具备的作为对基板作业装置控制装置的安装装置控制装置36。上述电路部件安装系统进行分散型的控制，主要是，各安装装置控制装置36利用通信相互传递信息、信号等，通过进行各安装装置12的控制，实现系统全体的控制。为此，下面对与作为控制中心存在的安装装置控制装置36有关的功能进行说明。

图32示出了作为本发明主要部分的安装装置控制装置36的功能框图。安装装置控制装置36具有对配置于安装装置12上的各种配备装置等进行控制的控制部。其中之一为进行安装头26的移动控制、即进行头移动装置28的控制的头移动控制部710。头移动控制部710具有轨道部停止头控制部712，进入控制部714，和干涉回避控制部716，其中，干涉回避控制部716具有第2轨道形成部位置控制部718。分别为进行与前述的安装头26的移动有关的各种控制的部分，若简单地对其进行说明，轨道部停止头控制部712为在使作为第2轨道形成部的第1X滑块242停止在第1轨道上的规定的停止位置上的状态下进行使安装头26移动的控制的部分，进入控制部714为进行使第1X滑块242进入于自身的装置区域外、以使安装头26处于装置区域外的控制的部分。干涉回避控制部716为控制相邻的安装装置12的作业头等与自身的作业头等不干涉的部分，第2轨道形成部位置控制部718为在干涉回避控制中控制第1X滑块242的位置的部分。这些控制部相互配合地管理安装头26的移动。

另外，安装装置控制装置36具有控制作为基板输送模块的线路板输送装置24的线路板输送控制部720。线路板输送装置24以输送机为主体，通过各线路板输送装置24协调动作，使作为基板输送装置的遍布于系统全体上的系统输送装置动作。具体地说，正如先前所述，进行使各输送机的启动和停止等协调的输送协调控制。进行该输送协调控制的部分是作为具有线路板输送控制部720的基板输送协调控制部的线路板输送协调控制部722。

在上述的电路部件安装系统中，正如先前所述，可相对跨越多个安装装置12的线路板选择作业形态。作为其中之一的作业形态，具有成批作业形态，安装装置控制装置36作为进行成批作业控制时的控制部，具有成批作业控制部724。该成批作业控制部724作为总括控制头移动控制部710和线路板输送控制部720的部分存在。同样，作为另一个作业形态，具有顺序输送作业形态，作为进行顺序输送作业控制时的控制部具有顺序输送控制部726。顺序输送控制部726也同样作为总括控制头移动控制部710和线路板输送控制部720的部分存在。此外，安装装置控制装置36作为选定成批作业控制还是顺序输送作业控制、并对所选定一方执行控制的部分，具有作业形态选择控制部728。

Claims (11)

1、一种对支承电路部件(690)、构成电子电路的电路基板(150)进行预定的一种以上的对电路基板作业的对基板作业系统，包含有：系统基座(10，570～574，590～594)；输送电路基板(150)的基板输送装置(24)；以沿着由该基板输送装置(24，602)输送电路基板(150)的方向、即基板输送方向排列的状态配置于所述系统基座(10，570～574，590～594)上，对至少一部分位于自身的作业区域内的电路基板(150)分别进行所述一种以上的对电路基板作业中的一种的多个对基板作业装置(12，600，610，620，632～636)，其特征在于，

所述多个对基板作业装置(12，600，610，620，632～636)中至少一个为可沿着在与所述基板输送方向交叉的方向上延伸的装置轨道(472)，相对所述系统基座(10，570～574，590～594)相对移动的可动装置(12，600，612，620，632～636)。

2、按照权利要求1所述的对基板作业系统，其特征在于，所述装置轨道(472)为垂直于所述基板输送方向的直线轨道。

3、按照权利要求1所述的对基板作业系统，其特征在于，所述装置轨道(472)水平延伸。

4、按照权利要求1所述的对基板作业系统，其特征在于，该对基板作业系统具有容许所述可动装置(12，600，610，620，632～636)沿着所述装置轨道(472)移动的可动装置移动容许装置(472，474)，和将所述可动装置固定到该装置轨道上的一定位置处的可动装置固定装置(480，482，490，488)。

5、按照权利要求4所述的对基板作业系统，其特征在于，所述可动装置移动容许装置(472，474)具有位置固定地设置于所述系统基座(10，570～574，590～594)和所述可动装置(12，600，610，620，632～636)一方上、以形成所述装置轨道(470)的装置轨道形成部(472)，和位置固定地设置于所述系统基座和所述可动装置的另一方上、可移动地与所述装置轨道形成部卡合的对轨道卡合部(474)。

6、按照权利要求4所述的对基板作业系统，其特征在于，所述可动装置固定装置(480，482，490，488)具有在所述装置轨道(472)的延伸方向上位置固定地设置于所述系统基座(10，570～574，590～594)和所述可动装置(12，600，610，620，632～636)的每一个上，通过相互抵接，禁止所述可动装置相对所述系统基座沿所述装置轨道的一方向移动的各抵接部(480，482)；和通过禁止解除各抵接部彼此的抵接状态，以禁止所述可动装置相对所述系统基座沿所述装置轨道的另一方向移动的抵接状态解除禁止部(490，488)。

7、按照权利要求1所述的对基板作业系统，其特征在于，在形成与所述装置轨道(472)不同的另一轨道(504)的工作台装置(500)，以该另一轨道(504)延长所述装置轨道(472)的状态，配置在所述系统基座(10，570～574，590～594)附近的情况下，所述可动装置(12，600，610，620，632～636)的至少一部分为了载置于所述工作台装置(500)上而可沿着所述另一轨道(504)移动。

8、按照权利要求7所述的对基板作业系统，其特征在于，通过将所述可动装置移送到所述工作台装置(500)上，其可动装置与所述系统基座(10，570～574，590～594)分离。

9、按照权利要求7所述的对基板作业系统，其特征在于，所述系统基座(10，570～574，590～594)具有连结部(520)，该连结部将所述工作台装置(500)定位在所述另一轨道(504)成为延长所述装置轨道(472)的状态的位置。

10、按照权利要求1所述的对基板作业系统，其特征在于，所述多个对基板作业装置(12，600，610，620，632～636)中相互邻接的2个以上的装置为所述可动装置(12，600，610，620，632～636)，该2个以上的可动装置(12，600，610，620，632～636)的所述装置轨道(472)的延长方向相互平行，该对基板作业系统包括装置相互间相对移动限制装置(542，544)，在至少该2个以上的可动装置(12，600，610，620，632～636)相对所述系统基座(10，570～574，590～594)同时相对移动之际，限制该2个以上可动装置(12，600，610，620，632～636)的至少在所述装置轨道(472)的延长方向上的相对移动。

11、按照权利要求10所述的对基板作业系统，其特征在于，所述装置相互间相对移动限制装置(542，544)具有设置在所述2个以上的可动装置(12，600，610，620，632～636)中的一个上的卡合部(540)，和设置在与相邻的另一个可动装置上的卡合部(544)，

通过这两个卡合部相互卡合，限制这两个以上的可动装置中的一个和另一个在所述装置轨道(482)的延伸方向上的相对移动。

Images