CN100474649C - 保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够精确形成一对臂部长度的保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法。本发明的滑动部件(1)的制造方法包括：在第一基板(60)的两面(61、62)相对位置上形成一对沟槽(70、71)的工序；形成有一对沟槽的两面上分别接合第二基板(80)与第三基板(80)的接合工序；从该第一基板的端部(60a)至一对沟槽的位置对接合有第二基板与第三基板的第一基板进行蚀刻并使第二基板与第三基板中的第一基板侧的一部分面露出，从而形成一对臂部(42、42)的工序；第二基板与第三基板中与第一基板相反一侧的面上分别安装压电元件(30、30)的工序；在一对臂部之间安装磁头滑块(10)的工序。

Description

保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法

技术领域

本发明涉及致动器的制造方法、滑动部件的制造方法以及能较好适用于这些部件的保持器的制造方法。

技术背景

近几年，在磁记录领域，硬盘等记录媒介的记录密度以惊人的速度在不断提高。随着这种记录密度的不断提高，轨道间距也不断缩小，即轨道密度也迅速增加。

如果轨道间距的宽度变小，那么，必须提高与轨道位置对应的磁头滑块(以下称“滑块”)的位置控制的精度。但是，单凭传统的音圈电机(VCM)进行控制，其控制能力有限。为此，需要更精密地对滑块进行控制。

作为控制这种滑块的设备，例如，在日本专利申请公开第2002-289936号中公开了一种致动器，它通过连接部连接一对臂部，从而使压电元件与该臂部的两侧接合。在这种致动器中，通过一对臂部夹持滑块。然后通过压电元件使臂部位移从而控制滑块的位置。

在上述的致动器中的臂部和连接部，是通过切割金属板，并使其折曲而形成的。因此，很难适应小型化。因此，本发明人想出了下面的方法。首先，在玻璃基板的两面上接合硅基板。然后，对被硅基板夹持的玻璃基板的一个端部进行蚀刻，从而除去部分玻璃基板。这样，就形成由一对硅基板夹持的通过蚀刻除去部分的玻璃基板的结构体。在这种结构体中，一对硅基板相当于臂部，玻璃基板相当于连接臂部的连接部。接着，在保持器的硅基板的外侧面，即臂部的外侧面上设置压电元件，作为致动器。

但是，在使用上述保持器的致动器中，各个臂部中，如果把从连接部分延伸至顶端的部分作为臂部，则臂部的长度很难达到期望值。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而产生的，其目的在于提供一种能够精确形成一对臂部长度的保持器的制造方法，致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法。

本发明人在发明的研究阶段准备了为图6(a)所示的一对硅基板80、80所夹持的玻璃基板130。然后，通过蚀刻除去该玻璃基板130的一部分，这样就得到图6(b)所示的保持器140。此时，如图6(b)所示，由于无法调整玻璃基板130的蚀刻量，因此，在左右硅基板80、80中，玻璃基板130一侧的表面81露出部分的长度不同。即左右臂部的长度不同。本发明正是考虑了这种情况而最终完成的。

即，为了解决上述课题，本发明的保持器的特征在于，它具有以下工序；在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的工序；形成有一对沟槽的两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；从该第一基板的端部至一对沟槽的位置，对接合有第二基板与第三基板的第一基板进行蚀刻，这样，使第二基板与第三基板中的第一基板一侧的一部分面露出，从而形成一对臂部的工序。

根据这种方法，从第一基板的一个端部至一对沟槽的位置对第一基板进行蚀刻，于是，第二基板与第三基板中的第一基板一侧的面，从开始蚀刻一侧的端部至沟槽中与蚀刻方向里侧的壁的边界为止露出。在第二基板与第三基板中，具有该露出区域的部分成为臂部。也就是说，在本发明中，并非在蚀刻处理中，而是通过蚀刻之前所形成的沟槽的位置，就可以规定臂部的长度，因此可以高精度地形成各个臂部的长度。

此外，优选第一基板是玻璃基板，而第二基板与第三基板是硅基板。在这种情况下，由于第一基板与第二基板及第三基板的材料不同，因此可以很容易地对第一基板进行蚀刻，而保持第二基板与第三基板的形状不发生改变。

此外，在本发明的保持器的制造方法中，优选还具有以下工序，并列设置多对沟槽，以使多对沟槽各自分离的方式将接合有第二基板与第三基板的第一基板进行分割，形成多个分别包含一对沟槽的块体工序，并对块体进行蚀刻处理。在这种情况下，就可以很容易地使用由第1～第三基板制成的一组基板来形成多个保持器。

还有，在本发明的保持器的制造方法中，优选还包括以下工序，一对沟槽沿一方向延伸，蚀刻之后沿一对沟槽延伸的方向把第一基板分割成多块的工序。这样就可以很容易地用一组基板制造多个保持器。

此外，本发明的致动器的制造方法的特征在于，它包括以下工序：在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的工序；形成有一对沟槽的两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；从该第一基板的端部至一对沟槽的位置为止，对接合有第二基板与第三基板的第一基板进行蚀刻，从而使第二基板与第三基板中的第一基板一侧的一部分面露出，形成一对臂部的工序；第二基板与第三基板中，与第一基板相反一侧的面上分别安装着压电元件的工序。

根据这种方法，如果从第一基板的端部至一对沟槽的位置为止对该第一基板进行蚀刻，则第二基板与第三基板中的第一基板侧的一面，从开始蚀刻的一侧的端部至沟槽中与蚀刻方向里侧的壁的边界为止露出。在第二基板与第三基板中，具有该露出区域的部分成为臂部。也就是说，在本发明中，并非在蚀刻处理中，而是通过蚀刻之前所形成的沟槽的位置，就可以规定臂部的长度，因此可以高精度地形成各个臂部的长度。于是，可以通过压电元件驱动该臂部。

此外，可以在把第二基板与第三基板与第一基板接合之前，或者与第一基板接合之后，对第一基板进行蚀刻之前或者对第一基板进行蚀刻之后，把上述压电元件安装在第二基板和第三基板上。

优选第一基板是玻璃基板，而第二基板与第三基板是硅基板。在这种情况下，由于第一基板与第二基板及第三基板的材料不同，因此可以很容易地对第一基板进行蚀刻，而保持第二基板与第三基板的形状不发生改变。

另外，在本发明的致动器的制造方法中，优选还具有并列设置多对沟槽，以使多对沟槽分别分离的方式使接合有第二基板与第三基板的第一基板进行分割，形成多个包含一对沟槽的块体工序，并对块体进行蚀刻处理。在这种情况下，就可以很容易地使用一组基板而形成多个保持器。

还有，在本发明的致动器的制造方法中，优选还包括以下工序，一对沟槽沿一方向延伸，蚀刻之后沿一对沟槽延伸的方向把第一基板分割成多个的工序。此时由于可以由一组基板制造多个致动器，这样就可以很容易地用一组基板制造多个致动器。

此外，本发明的滑动部件的制造方法的特征在于，它包括以下工序：在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的工序；形成有一对沟槽的两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；从该第一基板的端部至一对沟槽的位置，对接合有第二基板与第三基板的第一基板进行蚀刻，这样，使第二基板与第三基板中的第一基板一侧的一部分面露出，从而形成一对臂部的工序；第二基板与第三基板中，与第一基板相反一侧的面上分别安装压电元件的工序；以及在一对臂部之间安装磁头滑块的工序。

根据这种方法，如果从第一基板的端部至一对沟槽的位置对该第一基板进行蚀刻，则第二基板与第三基板中的第一基板侧的面，从开始蚀刻的一侧的端部至沟槽中与蚀刻方向里侧的壁的边界为止露出。在第二基板与第三基板中，具有该露出区域的部分成为臂部。也就是说，在本发明中，并非在蚀刻处理中，而是通过蚀刻之前所形成的沟槽的位置，就可以规定臂部的长度，因此可以高精度地形成各个臂部的长度。而且，通过这样高精度地形成的臂部可以调整滑块的位置。

此外，可以在把第二基板与第三基板与第一基板接合之前，或者与第一基板接合之后，对第一基板进行蚀刻之前或者对第一基板进行蚀刻之后，把上述压电元件安装在第二基板于第三基板上。

优选第一基板是玻璃基板，而第二基板与第三基板是硅基板。在这种情况下，由于第一基板与第二基板及第三基板的材料不同，因此可以很容易地对第一基板进行蚀刻，而保持第二基板与第三基板的形状不发生改变。

在本发明的滑动部件的制造方法中，优选还包括并列形成多对沟槽，以使多对沟槽分别分离的方式将接合有第二基板与第三基板的第一基板进行分割，形成多个包含一对沟槽的块体工序，并对块体进行蚀刻处理。在这种情况下，就可以很容易地使用一组基板制成多个滑动部件。

在本发明的滑动部件的制造方法中，优选还包括以下工序，一对沟槽沿一方向延伸，蚀刻之后沿一对沟槽延伸的方向将第一基板分割成多个的工序。此时，也可以很容易地由一组基板制造多个滑动部件。

附图说明

图1表示本发明的滑动部件的一实施方式的立体图。

图2是图1所示的滑动部件的分解立体图。

图3是致动器的平面图。

图4(a)～(h)是图1的滑动部件的制造工序图。

图5表示沟槽宽度不同的一对沟槽的配置关系的玻璃基板的侧面图。

图6(a)是本发明的研究阶段，蚀刻前的玻璃基板与硅基板的接合体的正面图；(b)是本发明的研究阶段保持器的正面图。

符号说明：1滑动部件；10磁头滑块；12致动器；20保持器；30压电元件；40臂部；40a第1端部；40b第2端部；41、43侧面；42臂；50连接部；60玻璃基板(第一基板)；61上面；62下面；70、71一对沟槽；70A、70B、71A、71B内壁；80硅基板(第二基板、第三基板)；100块体；130研究阶段使用的玻璃基板；140研究阶段所得到的保持器。

具体实施方式

下面参照附图对本发明的优选实施方式进行详细的说明。在以下的说明中，所有的附图中，相同或者相当部分中标注相同的符号。此外，图中的尺寸比率并非与说明中的尺寸一致。

参照图1～图3对本实施方式中的滑动部件1进行说明。图1是滑动部件1大致结构的立体图。滑动部件1由磁头滑块(以下简称“滑块”)10与控制滑块10移动的致动器12构成。

滑块10具有薄膜磁头，从硬盘读取磁记录信息或者在硬盘上记录磁记录信息。滑块10大致呈立方体，图中上方的一面是与硬盘相对的气浮面。此外，图中省略了滑块轨道等图示。滑块10被搭载在致动器12上。

参照图2与图3，致动器12由保持器20和压电元件30构成。图2是滑动部件1的分解立体图，图3是致动器12的平面图。

保持器20具有硅构成的一对臂部40、40。各个臂部40略呈立方体，在第1端部40a侧夹持滑块10。臂部40、40在与第1端部40a相反一侧的第2端部40b侧处，通过玻璃构成的连接部50而连接。各个臂部40与连接部50，可以通过阳极接合而接合在一起。在各个臂部40上，连接部50一侧的侧面41露出的区域分别是臂42、42。一对臂42可以作为驱动部使滑块10移动。如图3所示，各个臂42的长度L相同。

与臂部40、40的连接部50一侧相反的侧面43上，分别粘合着压电元件30、30。压电元件30通过环氧树脂类、丙烯酸类等粘合剂而粘合。压电元件30是单板结构，在PZT等压电陶瓷元件31的表面与背面具有电极32。压电元件30以其纵向为臂部40的纵向而设置。各个压电元件30分别与臂部40、40粘合，使压电元件30的端部30a置于通过连接部50使臂部40、40连接的部分。如果使其粘合在这个位置，则可以通过连接部50承受把压电元件30粘合在一对臂部40时的负荷。因此，当安装压电元件30时，就可以防止臂42、42发生变形或断裂。

在上述结构的滑动部件1中，把连接部50粘合固定在硬盘驱动器中的万向悬挂支架(图中未示)。沿压电元件30、30的厚度方向向电极32施加电压。于是，使左右压电元件30分别产生相反的伸缩。这样，通过其左右压电元件30分别产生的相反的伸缩，使一对臂部40的第1端部40a侧沿图1箭头X方向位移，从而控制滑块10的位置。

上述结构的滑动部件1按照下面的方法所制造。在图4(a)～(h)中，表示滑动部件1的各个制造工序的模式。

首先，准备圆盘状的玻璃基板(第一基板)60。玻璃基板60应该成为连接部50。玻璃基板60的厚度，即其上面61与下面62之间的距离相当于图3中所示的致动器12的左右臂部40的各个侧面41之间的距离。因此，事先使玻璃基板60的厚度与滑块10的宽大体相等，或者略长于滑块10的宽度。

接着，如图4(a)所示，在玻璃基板60的上面61与下面62(即两面)的相对位置，形成多个组(例如两组)宽度相等的一对沟槽70、71。换言之，沟槽70与沟槽71形成于与上面61(或者下面62)垂直相交方向重叠的位置。一对沟槽70、71分别沿上面61与下面62向一方向延伸。沟槽70、71也可以通过干蚀刻或者切割锯而形成。

然后，如图4(b)所示，把两片硅基板(第二基板、第三基板)80、80分别接合在形成了沟槽70、71的玻璃基板60的上面61与下面62，从而形成接合体90。硅基板80与玻璃基板60的直径大致相等。硅基板80、80与玻璃基板60接合时优选使其侧面对齐。玻璃基板60与硅基板80优选通过阳极接合而接合起来。如果通过阳极接合进行接合，则可以在玻璃基板60与硅基板80之间不使用粘合剂而接合。

此外，玻璃基板60与硅基板80的接合并不局限于阳极接合，除此之外，也可以使用粘合剂等其它方法使其粘合。

下面，如图4(c)所示，使并列而设的两对沟槽70、71相互分离的方式，沿其延伸的方向切割接合体90。此处参照图4(c)，在进行切割时，使一对沟槽70、71至切割位置P之间的距离比它至切割位置Q之间的距离长。换言之，进行切割时，使一组沟槽70、71至切割位置P、Q之间的长度互不相同。这样，就得到两个矩形的块体100，它包含一组沟槽70、71。(图4(d))。

下面，在图4(d)中的块体100中，通过蚀刻除去从切割位置P的玻璃基板60的端部60a侧至一对沟槽70、71位置的玻璃。此处，沿从端部60a的蚀刻方向，至沟槽70、71的里侧的内壁(切割位置Q一侧的面)70A、71A与前面一侧的内壁(切割位置P一侧的面)70B、71B之间进行蚀刻。例如，通过HF或缓冲HF溶液进行蚀刻。

图4(e)表示上述被蚀刻处理的块体100。如图4(e)所示，通过蚀刻处理，两个硅基板80内侧的侧面81的一部分分别露出。

如图4(f)所示，上述被蚀刻处理的块体100的两个硅基板80中，与玻璃基板60的相反一侧的侧面82分别对应的位置上，粘合着大小相同的压电元件120、120。压电元件120、120通过之后切断而形成压电元件30、30。此处，如图4(f)所示，把压电元件120的端部120a，置于内侧有玻璃基板60的各个硅基板80的侧面82的区域，以此方式粘合各个压电元件120。如果以这种方式进行粘合，由于玻璃基板60承受粘合压电元件120时的负荷，因此可以防止硅基板80发生变形或断裂。

压电元件120的粘合位置优选是图4(f)所示的位置，但是并非局限于此。

下面，如图中虚线所示，沿块体100的纵向(一对沟槽70、71延伸的方向)，把图4(f)所示的块体100分割成多个，这样就可以得到图4(g)(图3)所示的致动器12。也可以使用切割锯、切片机、钢丝锯对块体100进行切割。

接着，如图(h)所示，在致动器12的左右臂42之间设置滑块10。调整滑块10的位置，使滑块10与臂部40粘合，这样就得到图1所示的滑动部件1。

在本实施方式中，在构成块体100的玻璃基板60上形成一对沟槽70、71非常重要。在本实施方式中，对构成图4(d)所示的块体100的玻璃基板60的端部60a(之后成为臂42、42的顶端)至内壁70A与内壁70B之间(或者内壁71A与内壁71B之间)进行蚀刻。如果对直至此位置进行蚀刻，则形成沟槽70、71，于是在各个硅基板80与内壁70A、71A边界为止，各个硅基板80的侧面81分别露出。此露出区域的各个硅基板80是一对臂42、42。换言之，一对臂42的长度根据蚀刻处理前内壁70A、71A的位置而规定。与此相反，一对沟槽70、71形成于玻璃基板60两面的相对位置，内壁70A、71A位于距离切割位置P相同的位置。因此，一对臂42的长度就变得相等。这样，用臂42长度相等的保持器20制造致动器12，因此各个压电元件30所驱动的各个臂42的位移也相等。此外，图1中箭头X方向的左右位移量也变得相等。因此，可以以更高的精度控制在滑动部件1中，臂42、42所夹持的滑块10。

此外，在上述制造工艺中，蚀刻处理后被左右硅基板80所夹持的玻璃基板60成为连接部50。如上所述，在内壁70A与内壁70B之间结束蚀刻处理。因此，如图4(e)所示，内壁70A与内壁71A之间有时会留下突起。此外，由于该突起仅残留不与滑块10接触的程度，因此也可以原封不动地保留它，或者也可以对其进行研磨。

此外，在本实施方式中，形成两组一对沟槽70、71，并形成每组分别含有这些沟槽的块体100。接着，沿块体100的纵向对其进行分割，从而制造致动器12。因此，可以用一个玻璃基板60制造多个致动器12及使用致动器12的滑动部件1。

下面，对本实施方式的变形例子进行说明。在本发明的优选实施方式中，一对沟槽70、71的宽度相等，但是其宽度也可以不同。图5中所表示的是宽度不同的一对沟槽72、73的配置关系。在图5中，从图中右侧(箭头S的方向)对玻璃基板60进行蚀刻。此时，如图5所示，沟槽72的内壁72A与沟槽73的内壁73A可以处于分别相对的位置，换言之，与玻璃基板60的两面垂直相交方向重叠的位置。内壁72A、73A以这种位置关系形成沟槽72、73，如果蚀刻至宽度较窄的沟槽72的位置，则可以形成左右相等长度的臂部。

此外，在上述实施方式中，使用单板结构的元件作为压电元件30，除此之外也可以使用层压结构的压电元件。另外也可以使用PZT薄膜等薄膜结构的压电元件。

在上述实施方式中，在压电陶瓷元件的表面与背面设置电极，除此之外，也可以只在与压电陶瓷元件中，与臂部(硅基板)接触面的相反面设置电极。此时，也可以使用低电阻元件作为硅基板，通过万向悬挂支架使臂部接地。此外，在压电陶瓷元件中，把与臂部接触的一面以及与该面相反的一面上设置的电极分别作为第一电极、第二电极，也可以使第一电极伸展至第二电极一侧的面，在该面上按照一定的间隔并列设置第一电极与第二电极。此时，由于第一电极与第二电极并列而设，因此可以很容易地在这些电极上设置导线。此外，如果压电元件采用层压结构，可使用通孔在易安装导线的位置形成端部电极。

此外，在上述实施方式中，对块体进行蚀刻之后，把压电元件粘合在硅基板80上。除此之外，也可以在蚀刻之前的块体100的状态下，粘合在硅基板80、80上。此时，由于玻璃基板60被夹在硅基板80之间，这样就可以防止因安装压电元件30而导致臂42发生变形或断裂。此外，也可以在与玻璃基板接合之前的硅基板上设置压电元件，此时，在与安装着压电元件一面相反的一面上，使其与玻璃基板粘合。

此外，在上述实施方式中，把第一基板作为玻璃基板，第二基板与第三基板分别作为硅基板。但是也并非局限于此。例如，第一基板如果是可以通过蚀刻除去的即可。但是，从蚀刻除去的观点来看，第二基板及第三基板，优选使用与第一基板不同的材料制造。此外，其形状并不局限于圆板形。

此外，在上述实施方式中，在玻璃基板60上形成两组的一对沟槽70、71，但是并非局限于两组。一对沟槽70、71可以是一组，也可以是两组以上。

此外，在上述实施方式中，如图4(f)所示，为制造滑动部件1，把粘合着压电元件的块体100沿其纵向进行分割。与此相对，制造没有压电元件的保持器时，在图4(e)所示阶段，沿纵向分割块体100使其成为多个保持器。也可以把图4(e)所示的块体100作为一个保持器。

此外，在上述实施方式中，在保持器上安装压电元件作为致动器，此外还安装滑块作为滑动部件，但是，本发明并非局限于使用这种滑动部件。除了保持磁头滑块以外，它还可以保持其它部件的重量。此外，在构成保持器的第二基板及第三基板的外侧面上附设压电元件，也可以用于加速度传感器或陀螺用音叉等。此外，致动器不仅用于控制磁头滑块的位置，还用于光学仪器或精密仪器等部件的位移或定位调整。

发明效果

根据本发明的制造方法，可以通过一对沟槽的位置来确定一对臂部的长度。因此，可以更精确地形成左右臂部的长度。

Claims (10)

1.一种保持器的制造方法，其特征在于，该方法具有：

在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的沟槽形成工序；

形成有所述一对沟槽的所述两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；以及

从该第一基板的与形成有所述一对沟槽的两面垂直的未设有所述沟槽的开口的一对端部中的、距所述一对沟槽之间的距离较长的端部，至所述一对沟槽的位置，对接合有所述第二基板与所述第三基板的所述第一基板进行蚀刻，由此，使所述第二基板与所述第三基板中的所述第一基板一侧的一部分面露出，从而形成一对臂部的蚀刻工序。

2.如权利要求1所述的保持器的制造方法，其特征在于，

在所述沟槽形成工序中，并列形成多对沟槽；

在所述接合工序之后，还包括以使所述多对沟槽分别分离的方式，对接合有所述第二基板与所述第三基板的所述第一基板进行分割，形成多个包含所述一对沟槽的块体的块体形成工序；

在所述蚀刻工序中，对所述块体进行所述蚀刻处理。

3.如权利要求1所述的保持器的制造方法，其特征在于，

所述一对沟槽沿一方向延伸；

在所述蚀刻工序之后，还包括沿所述一对沟槽延伸的方向把所述第一基板分割成多个的工序。

4.如权利要求1～权利要求3中任一项所述的保持器的制造方法，其特征在于，

所述第一基板是玻璃基板，而所述第二基板与所述第三基板是硅基板。

5.一种致动器的制造方法，其特征在于，该方法具有：

在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的沟槽形成工序；

形成有所述一对沟槽的所述两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；

从该第一基板的与形成有所述一对沟槽的两面垂直的未设有所述沟槽的开口的一对端部中的、距所述一对沟槽之间的距离较长的端部，至所述一对沟槽的位置，对接合有所述第二基板与所述第三基板的所述第一基板进行蚀刻，由此，使所述第二基板与所述第三基板中的所述第一基板一侧的一部分面露出，从而形成一对臂部的蚀刻工序；以及

所述第二基板与所述第三基板中，与所述第一基板相反一侧的面上分别安装压电元件的压电元件安装工序。

6.如权利要求5所述的致动器的制造方法，其特征在于，

在所述沟槽形成工序中，并列形成多对沟槽；

在所述接合工序之后，还包括以使所述多对沟槽分别分离的方式，对接合有所述第二基板与所述第三基板的所述第一基板进行分割，形成多个各自包含所述一对沟槽的块体的工序；

在所述蚀刻工序中，对所述块体进行蚀刻处理。

7.如权利要求5所述的致动器的制造方法，其特征在于，

所述一对沟槽沿一方向延伸；

在所述蚀刻工序之后，还包括沿所述一对沟槽延伸的方向将所述第一基板分割成多个的工序。

8.如权利要求5～权利要求7中任一项所述致动器的制造方法，其特征在于，

所述第一基板是玻璃基板，而所述第二基板与所述第三基板是硅基板。

9.一种滑动部件的制造方法，其特征在于，该方法包括：

在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的工序；

形成有所述一对沟槽的所述两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；

从该第一基板的与形成有所述一对沟槽的两面垂直的未设有所述沟槽的开口的一对端部中的、距所述一对沟槽之间的距离较长的端部，至所述一对沟槽的位置，对接合有所述第二基板与所述第三基板的所述第一基板进行蚀刻，由此，使所述第二基板与所述第三基板中的所述第一基板一侧的一部分面露出，从而形成一对臂部的工序；

所述第二基板与所述第三基板中与所述第一基板相反一侧的面上分别安装压电元件的工序；以及

在所述一对臂部之间安装磁头滑块的工序。

10.权利要求9所述的滑动部件的制造方法，其特征在于，

所述第一基板是玻璃基板，而所述第二基板与所述第三基板是硅基板。

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