JP2003208769A

JP2003208769A - ディスクドライブサスペンション用のマイクロアクチュエータ

Info

Publication number: JP2003208769A
Application number: JP2002214709A
Authority: JP
Inventors: Shixin Chen; シンキン・チェン; Yi Lu; イー・ルー; Jianqiang Mou; ジャンキアン・ムー
Original assignee: Data Storage Institute
Current assignee: Data Storage Institute
Priority date: 2002-01-11
Filing date: 2002-07-24
Publication date: 2003-07-25

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】良好な寸法精度および安定性を有し、且つウ
ェハの段階で大量に製造することができる、静電マイク
ロアクチュエータを提供する。【解決手段】マイクロアクチュエータは、ディスクド
ライブにおけるヘッド位置決めシステムのフレクシャへ
の取り付けを行うための第１の（静止）部材（２２）
と、スライダを取り付けることができる第２の（可動）
部材（２４）とを含み、第２の部材は第１の部材を支点
に回転するように第１の部材に結合される（４２、４
４）。第１の部材および第２の部材は延長帯片（３０、
３２）を含み、それらの帯片がかみ合わされてくし型電
極が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスクドライブ
ヘッドの位置決めシステムにおけるスライダ用のマイク
ロアクチュエータに関する。本発明は、また、マイクロ
アクチュエータおよびスライダ組立体に関する。特に、
本発明のマイクロアクチュエータは、静電的に操作可能
なマイクロアクチュエータである。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク上でデータトラックを半径
方向に位置決めする方法は、ディスクにおけるデータの
記憶容量を増加させる上で、益々利用されなくなってい
る。このため、例えば、アクチュエータサスペンション
アームを操作する公知のボイスコイルモータによって、
スライダの読み出し／書き込みトランデューサヘッドを
大まかに位置決めした後に、そのヘッドをトラック上に
正確に位置決めすることを可能にするマイクロアクチュ
エータの開発が促進されることになった。スライダは、
通常はそのようなサスペンションアームの端におけるフ
レクシャ（ジンバルとも呼ばれる）に搭載されることが
一般的である。

【０００３】マイクロアクチュエータは、スライダの読
み出し／書き込みヘッドを迅速且つ正確に位置決めする
ことができる必要がある。また、マイクロアクチュエー
タは、サスペンションアームの共振特性に対する悪影響
を最小限に抑えるために軽量であることも必要であり、
さらに、ディスク同士が近接し得るようにするために比
較的薄いものであることも必要である。商業的価値を有
するものであるためには、マイクロアクチュエータは信
頼性が高く、且つ効率的に製造することができるもので
ある必要がある。そのような商業的有意性には、一般的
に、ミクロン単位で計測されるマイクロアクチュエータ
の寸法上の精密さを確実にするような大量生産製造技術
が求められる。また、マイクロアクチュエータが、例え
ばハードディスクドライブ（ＨＤＤ）システムで求めら
れるような出来る限り広範な温度範囲において、その寸
法上の精密度およびその結果による位置決めの高度な正
確さを保持することも必要となる。

【０００４】静電気による公知のマイクロアクチュエー
タは、ポリシリコンまたはニッケルベースの金属から製
作されてきた。しかし、これらの材料を用いて製作され
るマイクロ構造は、大規模（大量）生産された場合には
問題を生じる。それらの問題には、寸法の不均一性、材
料の残留応力、パーツ間の不適合を引き起こす材料の熱
膨張、そして低い再現性がある。従って、上述の問題を
解消するような、大量生産に適したマイクロアクチュエ
ータの構造、特に静電マイクロアクチュエータの構造を
提供する必要がある。

【０００５】静電マイクロアクチュエータは、例えば、
Ｌｏｎｇ−ＳｈｅｎｇＦａｎらによる米国特許第５，
９９５，３３４号に見られるように、公知のものであ
る。大量生産はこの既存の特許が取り組む問題ではある
が、提供された解決法は、マイクロアクチュエータへの
従来型の配線を、リトグラフ技術およびステンシルめっ
きを用いて形成される超微細配線に置き換えることに関
するものである。この特許は、本発明において以下の本
文に開示されるような大量生産が可能なマイクロアクチ
ュエータに関するものではない。

【０００６】Ｚ−ＥＢｏｕｔａｇｈｏｕらによる米国
特許第５，８９８，５４１号は、スライダのトランスデ
ューサヘッドを製造する際に用いられる従来型の薄膜技
術を利用してウェハ段階で製造されるマイクロアクチュ
エータに関する。しかし、このマイクロアクチュエータ
は圧電マイクロアクチュエータであって、静電マイクロ
アクチュエータではない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、良好
な寸法精度および安定性を有し且つウェハの段階で大量
に製造することができる静電マイクロアクチュエータを
提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】従って、本発明はディス
クドライブにおけるスライダのためのマイクロアクチュ
エータを提供し、ディスクドライブにおけるヘッド位置
決めシステムのフレクシャに対して取り付けを行うため
の第１の部材と、スライダを取り付けることができる第
２の部材とを有するマイクロアクチュエータであって、
第１の部材と第２の部材とが相対的に動かされることが
可能な状態で互いに結合され、各部材は、第２の部材を
第１の部材に対して動かすための静電気力を提供するた
めの電極を形成する部分を有し、第１の部材および第２
の部材が単一結晶シリコンウェハから形成されるマイク
ロアクチュエータを提供する。

【０００９】第１の部材は、使用に際し、フレクシャに
対して静止状態にとどまるため静止部材と言ってもよ
く、また第２の部材は、使用に際し、静止部材に対して
移動するため可動部材と言ってもよい。

【００１０】単一結晶シリコンウェハからマイクロアク
チュエータを製造する場合、寄生容量が非常に低く、機
械的もしくは熱的クリープ、或いはマイクロアクチュエ
ータの静止部材と可動部材とが別々に製作された場合
に、それら静止部材と可動部材とが不適合となり得る問
題が実質的にまったくないマイクロアクチュエータがで
きる。同時に、単一結晶シリコンウェハからそのような
マイクロアクチュエータを多量に形成することにより効
率的な大量生産が可能となる。

【００１１】従って、単一結晶シリコンウェハの上部表
面をエッチングすることにより、静電マイクロアクチュ
エータを形成することができる。以下により詳細に示さ
れるように、単一結晶シリコンウェハにマイクロアクチ
ュエータを形成するために、発達したエピマイクロ機械
加工技術が用いられる。

【００１２】好ましくは、マイクロアクチュエータの第
１の（すなわち、静止）部材は表面に形成される複数の
小さいパッドを含み、そのパッドを介してマイクロアク
チュエータをヘッド位置決めシステムのフレクシャに接
合することができる。そのようなパッドはエピマイクロ
機械加工技術によって形成することができる。或いは、
同じ目的のため、フレクシャに複数のパッドを形成する
こともできる。そのようなパッドを介してマイクロアク
チュエータをサスペンションのフレクシャに固定するた
めに、フリップチップまたは溶融接合などの接合技術を
用いることができる。

【００１３】好ましくは、マイクロアクチュエータの第
２のすなわち可動部材は、マイクロアクチュエータの第
１の静止部材が形成される面（例えば、上部表面）とは
反対の表面（例えば、下部表面）に形成されるスロット
を含む。このスロットによって、例えばスライダをスロ
ット内に接合することにより、スライダがマイクロアク
チュエータの第２のすなわち可動部材に取り付けられ
る。スロットは、ウェハ段階での製造中にエッチングに
より形成することができる。従って、本発明はマイクロ
アクチュエータおよびスライダの組立体を提供する。

【００１４】好ましくは、静電気力を提供するための電
極を形成する第１の部材および第２の部材における部分
は、交互にかみ合わせられた第１の部材と第２の部材か
ら延びる延長部分または帯片である。これらの延びた部
分の互いに隣接する片は、横への延長部を含み、それが
くし型電極となり、それにより、容量型くし型駆動電極
配列を作り出す。これらの延長部分または帯片は、第１
の部材と第２の部材との結合部に対して半径方向に伸長
するか、または直行する方向に結合部から直線的に伸長
することができ、この場合、マイクロアクチュエータの
第１の（静止）部材は、平面図上では「ギリシャ十字」
の形状をした本体部分を有することになる。本体部分お
よび延長部分の電極部分または帯片を、エッチング技術
を用いて単一結晶シリコンウェハから形成することがで
きる限りにおいては、マイクロアクチュエータの第１の
部材が他の形状を有することも可能である。かみ合わせ
られた部分が事実上容量型電極となる。

【００１５】好ましくは、本発明のマイクロアクチュエ
ータを微粒子汚染から保護するため、キャップまたは埃
よけの形態の手段が提供される。そのようなキャップや
埃よけは別々に製作され、前記の接合パッドが伸長でき
る穴を複数含む。

【００１６】発明のより良い理解のため、さらには発明
をいかにして実行できるかを示すため、添付図面を参照
して限定的でない例示目的にのみ発明の好適な実施形態
が説明される。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１および２を参照すると、ハー
ドディスクドライブのディスク１０上にヘッドを位置決
めするための２段階駆動システムは、ボイスコイルモー
タなどのモータ（図示せず）によってディスク１０上に
大まかに位置決めされることが可能なサスペンションア
ーム１２を含む。サスペンションアーム１２は、静電気
マイクロアクチュエータ１６およびスライダ１８の組立
体が取り付けられるフレクシャ１４を保持する。スライ
ダ１８は読み出し／書き込みヘッド要素２０を含み、マ
イクロアクチュエータ１６は、読み出し／書き込みヘッ
ド要素２０をディスク１０の磁気トラック上に正確に位
置決めすることができるように、スライダ１８を最終的
に動かすよう駆動可能である。従って、２段階駆動シス
テムの第１の段階はモータによるサスペンションアーム
１２の駆動を含み、第２の段階はマイクロアクチュエー
タ１６によって達成される微調整を含む。

【００１８】マイクロアクチュエータ１６（図３および
４を参照）は、フレクシャ１４への取り付けを行うため
の第１のすなわち静止部材２２と、スライダ１８を取り
付けることができる第２のすなわち可動部材２４とを含
む。第１の部材２２と第２の部材２４とは、第２の部材
２４が第１の部材２２に対して動くことができるような
状態で、結合部２６において結合される。静止部材２２
は平面図上で「ギリシャ十字」の形状を示す本体部分２
８を有し、そこから延長部分３０が伸びて（指のような
状態で）、くし型電極を形成する。可動部材２４もま
た、相対する端３４から内側に向かって伸長する延長部
分３２を有するように形成され、延長部分３２がくし型
電極を形成する。静止部材２２の延長部分３０は可動部
材２４の延長部分３２とかみ合わされ、さらに、容量型
くし型駆動電極配列が提供されるように延長部分３０お
よび３２のくし型電極もかみ合わされる。

【００１９】可動部材２４の相対する端３４上には２対
の電気接続パッド３６および３８が形成され、可動部材
２４の電極すなわち延長部分３２に接続される（以下に
示されるとおり）。接続は、静止部材２２の電極と接続
パッドのうちの１対、例えば３６との間に電圧が加えら
れた場合に、延長部分３０および３２のそれぞれのくし
型電極間において静電気による電気的引力が発生し、そ
れに起因して可動部材２４が結合部２６を中心に静止部
材２２に対して矢印４０に示されるように左方向、また
は右方向に回転するような電気的な接続である。接続パ
ッドの他の対例えば３８への電圧の印加は、可動部材２
４の反対方向への動きを引き起こす。

【００２０】電圧／応力関係を直線化するため、読み出
し／書き込みヘッド要素２０を駆動するために差分駆動
方式を用いることができる。これらの特質はマイクロア
クチュエータ１６の電圧／変位関係を直線化するため高
性能なサーボ制御には優位である。

【００２１】結合部２６は、静止部材２２の本体部分２
８における中央開口部の中に向けて伸長する可動部分２
４のポスト４２と、ポスト４２と開口部の周辺面との間
に伸びるフレクシャ梁４４とによって形成される。フレ
クシャ梁４４は、可動部材２４に対して吊り下げた状態
で静止部材２２を効果的に保持する。ポスト４２および
フレクシャ梁４４はディープリアクティブイオンエッチ
ング（ＲＩＥ）によって形成されるが、結合部２６は構
造的にも、従って電気的にも、マイクロアクチュエータ
１６の第１の（静止）部材２２と第２の（可動）部材２
４とを相互接続するため（ポスト４２が可動部材２４の
本体から立ち上がっているため）、可動部材２４の延長
部分３２が、静止部材２２の延長部分３０と電気的に隔
離されるよう、可動部材２４のその他の本体構造から電
気的に隔離されている必要がある。この状態は、可動部
材２４の延長部分３２を、図７、図８、図９中で参照符
合３３とされるアンカー位置において可動部材２４の相
対する端３４に電気的に絶縁する構造的接続をすること
により達成される。この構造的接続つまりアンカー３３
は、単一結晶シリコンウェハ材料からマイクロアクチュ
エータ１６を製作する過程で、延長部分３２と端３４と
の間のエッチングされた空間（すなわち、位置３３）を
例えば二酸化シリコンで埋めることによって形成され
る。次いで、アンカー３３に金属処理を施すことによ
り、延長部分３２と電気接続パッド３６、３８（可動部
材２４から電気的に隔離されるよう、可動部材２４の端
３４上の電気的絶縁酸化層の上に形成されたパッド）と
の間に電気的な接続が確立される。スライダ１８をマイ
クロアクチュエータ１６に取り付けられるよう、可動部
材２４の下部表面にスロット４６が形成される（図４参
照）。スライダ１８はスロット４６内に設置され、マイ
クロアクチュエータへの取り付け用のシリコン材に接合
される。

【００２２】マイクロアクチュエータ１６は、単一結晶
シリコンウェハから形成される第１のすなわち静止部材
２２と第２のすなわち可動部材２４により特徴付けられ
る。従って、マイクロアクチュエータ１６の列が同時に
単一結晶シリコンウェハ５０から製作される（図１０参
照）。

【００２３】初期ウェハ５０は電気伝導のために多量の
窒素添加がされており、スライダ１８を取り付けるため
のスロット４６がまずウェハの後ろ表面にエッチングさ
れる。次いで、公知の、発達したエピマイクロ機械加工
技術を用いて、マイクロアクチュエータ１６がウェハ５
０の上部表面に作られる。ウェハ５０の上部表面にマス
キング酸化層が堆積され、ディープリアクティブイオン
エッチング（ＲＩＥ）およびドライプラズマリリース処
理を用いて選択部分（被覆保護されていない部分）をエ
ッチングにより除去し、且つ被覆保護されている部分を
残すことにより、静止部材２２の構造２６、２８、３
０、さらに可動部材２４の構造３２がウェハ５０の上部
表面に形成される。構造３２は、それぞれ１つの端がウ
ェハ基板に接続された状態で、下部および三側面におい
て完全にアンダーカットされる。結果として生じる溝状
の切れ目は熱的に酸化処理され、アンカー３３を作る低
圧科学蒸着（ＬＰＣＶＤ）二酸化シリコンによって充填
される。次に、構造３０において残る接続された端、お
よび二酸化シリコンの不要部分が公知の通りマスキング
およびエッチングにより除去される。これにより、効率
的に、マイクロアクチュエータ１６の第１の部材２２が
ウェハ基板５０に形成され、フレクシャ梁４４によるポ
スト４２（ウェハ基板に接続されるポスト）への接続を
介して「吊り下げられた状態で保持」され、さらに、二
酸化シリコンアンカー３３において延長部分３２がウェ
ハ基板５０に取り付けられる。次いで、電機接続パッド
３６、３８、および延長部分３２への接続を提供するた
め、適切な酸化層および金属化層が形成されて、さら
に、上述のマイクロアクチュエータ構造を表面に多数有
し、さらに背面にはスロット４６が形成されたシリコン
ウェハ５０がブロックに切断されて、マイクロアクチュ
エータ構造１６の列が作り出され、続いて個別のマイク
ロアクチュエータ構造１６が切り取られる。このように
することで、結果として得られるそれぞれのマイクロア
クチュエータ１６の可動部材２４は、ウェハ基板の一部
であった部分から成り立つことになる。最後に、各マイ
クロアクチュエータのスロット４６にスライダ６が挿入
されてマイクロアクチュエータ−スライダ組立体が形成
される。

【００２４】図５を参照すると、一つの実施形態では、
マイクロアクチュエータ１６の静止部材２２を搭載する
ため、フレクシャ部１４の下部表面１５にマイクロ機械
加工によって４つの小さいパッド７０が作られている。
パッド７０の位置は、スライダ１８の移動の必要性に従
って調整することができる。または、小さいパッド７２
（図６参照）を、同様の目的のため、静止部材２２（図
６中、静止部材２２は埃よけ７４の下に隠れている）の
上に作ることもできる。

【００２５】マイクロアクチュエータの静止部材２２お
よび可動部材２４の電極同士の間には微粒子が侵入し、
且つ、それらの微粒子によって電気的なショートが引き
起こされる可能性があるため、全ての電極を覆う「埃よ
け」プレート７４が追加される。サスペンションアーム
１２のフレクシャ１４に静止部材２２を取り付けること
ができるように、小さいパッド７２（または７０）は
「埃よけ」７４の穴を通すことができる。小さいパッド
７２（または７０）と「埃よけ」７４の穴との間の隙間
を塞ぐために柔軟な材料７６を用いることができる。

【００２６】図７は、図３に示されるマイクロアクチュ
エータ１６およびスライダ１８と類似のものを示す平面
図である。ここで示される構造では、複数のフレクシャ
梁４４が半径方向に配置されている。

【００２７】図８は別の実施形態を示した平面図であ
り、主に、電極部分３０および３２の方向、および可動
部材と静止部材との結合部が異なる実施形態である（前
記の図に示される特徴および構成要素に対応する部分に
は同一の参照符合が用いられる）。この実施形態では、
可動部材２４の中央ポスト８０から四つのフレクシャば
ね７８が伸び、静止部材２２の本体部分に取り付けられ
る。フレクシャばね７８は、可動部材２４の静止部材２
２に対する並進動作、およびそれによるスライダ１８の
並進動作のため対称的に取り付けられる。

【００２８】図９は、静止部材２２および可動部材２４
のそれぞれの延長部分３０および３２が半径方向に伸
び、並列プレート容量構造（図７および８に示されるく
し型駆動配列に対して）を規定し、それにより可動部材
２４の静止部材２２に対する回転動作、それによるスラ
イダ１８の回転動作を作り出すさらに別の実施形態を示
した平面図である。

【００２９】静止部材２２に対する可動部材２４の異な
る移動形態（結合部２６の「ばね」特性に依る）、およ
び動的な性能（すなわち、共振周波数応答は、マイクロ
アクチュエータ１６の異なる設計構成により達成するこ
とができる。）ここに示される発明は、以上に具体的に
説明されたもの以外の変形、修正、および／または追加
が可能であり、本発明は、前記特許請求の範囲内にある
そのような変形、修正、および／または追加を全て含む
ことが理解されよう。

【図面の簡単な説明】

【図１】ディスク上のアクチュエータサスペンションア
ームを示す図である。

【図２】図１の、発明の実施形態によるマイクロアクチ
ュエータおよびスライダ組立体が搭載される、アクチュ
エータサスペンションアームの端を下方から見た斜視図
である。

【図３】図２のマイクロアクチュエータおよびスライダ
組立体の上方からの斜視図である。

【図４】図３の組立体におけるマイクロアクチュエータ
の下方からの斜視図である。

【図５】マイクロアクチュエータおよびスライダ組立体
が除かれた図２の図と同様の斜視図である。

【図６】発明の実施形態による、埃よけを含む別のマイ
クロアクチュエータおよびスライダ組立体の実施形態の
上方からの斜視図である。

【図７】発明の実施形態による、様々なデザイン形状を
有するマイクロアクチュエータの上方からの平面図であ
る。

【図８】発明の実施形態による、様々なデザイン形状を
有するマイクロアクチュエータの上方からの平面図であ
る。

【図９】発明の実施形態による、様々なデザイン形状を
有するマイクロアクチュエータの上方からの平面図であ
る。

【図１０】マイクロアクチュエータの列が形成されてい
るシリコンウェハを示す図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 502084193 ＤＳＩＢｕｉｌｄｉｎｇ，５ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＤｒｉｖｅ１（ＯｆｆＫｅｎｔＲｉｄｇｅＣｒｅｓｃｅｎｔ，ＮＵＳ）Ｓｉｎｇａｐｏｒｅ 117608 (72)発明者シンキン・チェンシンガポール国シンガポール 652290 ブルク290エーブキットバトックストリート 24 ナンバー18−87 (72)発明者イー・ルーシンガポール国シンガポール 750410 ブルク410 センバウァングドライブナンバー 05−778 (72)発明者ジャンキアン・ムーシンガポール国シンガポール 760659 ブルク659 イーシュンアヴェ４ナンバー 04−325 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 DA01 DA26 EA02 5D096 NN03 NN07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスクドライブにおけるスライダのた
めのマイクロアクチュエータであって、ディスクドライブにおけるヘッド位置決めシステムのフ
レクシャへ取り付けを行うための第１の部材と、スライダを取り付けることができる第２の部材とを備
え、該第１の部材と該第２の部材とが相対的に動かされるこ
とが可能な状態で互いに結合され、各部材は、該第２の
部材を該第１の部材に対して動かすための静電気力を提
供するための電極を形成する部分を含み、該第１の部材および該第２の部材が単一結晶シリコンウ
ェハから形成される、マイクロアクチュエータ。
【請求項２】前記マイクロアクチュエータの前記第１
の部材が、表面に、ディスクドライブにおけるヘッド位
置決めシステムのフレクシャに該マイクロアクチュエー
タを取り付けるため形成された、複数の小さいパッドを
含む請求項１に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項３】前記第２の部材が、表面に、前記マイク
ロアクチュエータの該第２の部材にスライダを取り付け
ることができるようにするため形成されたスロットを含
む、請求項１または２に記載のマイクロアクチュエー
タ。
【請求項４】前記第１の部材が平面図上で十字の形を
有する本体部分を含み、電極を形成する前記部分が該十
字のアーム部分から外向きに伸長する、互いに空間を有
した延長帯片であり、さらに、該帯片が横向きに伸長す
る部分を含むことによりくし型電極を提供する、請求項
１から３のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項５】前記第２の部材の電極が形成される前記
部分が、該第２の部材の相対する外側の端から内向きに
伸長する、互いに空間を有した延長帯片であり、さら
に、前記第１の部材の外向きに伸長する前記延長帯片と
かみ合わされた延長帯片であって、該延長帯片が横向き
に伸長する部分を含むことにより、該第１の部材の前記
くし型電極とかみ合わされるくし型の電極を提供する請
求項４に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項６】前記第１の部材と前記第２の部材との前
記結合が、該第２の部材の動きが該第１の部材に対する
回転動作となるような枢軸状の結合である請求項１から
５のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項７】前記第１の部材と前記第２の部材との前
記結合がフレクシャばねを介して行われ、それにより、
該第１の部材に対する該第２の部材の動きが直線動作と
なる、請求項１から５のいずれかに記載のマイクロアク
チュエータ。
【請求項８】前記第１の部材が平面図上で円形を有す
る本体部分を含み、前記電極を形成する前記部分が半径
方向に外向きに伸長する延長帯片である請求項１から３
のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項９】前記第２の部材の前記電極が形成される
前記部分が、前記第１の部材の前記延長帯片に対して実
質的に並行に配列されるよう半径方向に内向きに伸長す
る延長帯片である請求項８に記載のマイクロアクチュエ
ータ。
【請求項１０】前記電極同士の間に粒子が侵入するこ
とを防ぐために、前記第１の部材と前記第２の部材との
前記かみ合わせ部分に被せるように位置決めされる埃よ
けを含む請求項１から９のいずれかに記載のマイクロア
クチュエータ。
【請求項１１】請求項１から１０のいずれかに記載の
マイクロアクチュエータおよびスライダを含み、該スラ
イダが該マイクロアクチュエータに接合される組立体。
【請求項１２】前記第２の部材が前記スライダが中に
接合されるスロットを含み、該スロットが該第２の部材
における前記マイクロアクチュエータの前記第１の部材
が形成される表面とは反対側の表面に形成される請求項
１１に記載の組立体。