JP2000067539A - 統合型マイクロアクチュエ―タ - Google Patents

統合型マイクロアクチュエ―タ

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JP2000067539A
JP2000067539A JP11216665A JP21666599A JP2000067539A JP 2000067539 A JP2000067539 A JP 2000067539A JP 11216665 A JP11216665 A JP 11216665A JP 21666599 A JP21666599 A JP 21666599A JP 2000067539 A JP2000067539 A JP 2000067539A
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microactuator
transmission arm
transmission
actuator element
motor
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JP11216665A
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English (en)
Inventor
Benedetto Vigna
ビーニャ ベネデット
Sarah Zerbini
ツェルビーニ サラ
Simone Sassolini
サッソリーニ シモーネ
Carlo Menescardi
メネスカルディ カルロ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/02—Driving or moving of heads
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type

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  • Micromachines (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のマイクロアクチュエータの欠点を克服
する。 【解決手段】 マイクロアクチュエータはモータ要素と
円形構造を有するアクチュエータ要素と伝達構造とを具
備する。モータ要素は固定子とこの固定子に容量的に接
続された回転子とを有する。伝達構造はモータ要素とア
クチュエータ要素との間に配置され、モータ要素の回転
運動をアクチュエータ要素の対応する回転運動に伝達す
る。特に伝達構造は互いに同一形状の一対の伝達アーム
を具備する。これら伝達アームはマイクロアクチュエー
タの対称軸線に対して対称に配設される。さらに伝達ア
ームは回転子の直径方向両側からアクチュエータ要素の
直径方向両側へと延びる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は遠隔操作される統合
型マイクロアクチュエータに関する。特に本発明の統合
型マイクロアクチュエータはハードディスクの読み／書
き変換器を作動させるために使用されるのに有利である
が、そのためだけに使用されるわけではなく、以下の説
明が一般性を失うことのない明確な参照となる。
【０００２】
【従来の技術】近年、公知なように読込まれる又は書込
まれるハードディスクに対する読み／書きヘッドの位置
を精密に制御するために二つの作動段階を備えたハード
ディスク作動装置が提案されている。図１および図２に
二つの作動段階を備えた公知のハードディスク作動装置
の一例を概略的に示した。詳細には図１のハードディス
ク作動装置１はモータ（ボイスコイルモータ［voice co
il moter］とも呼ばれる）２を有する。このモータ２に
は薄板で形成された少なくとも一つの懸垂装置５が突き
出るように固定される。懸垂装置５はその自由端にＲ／
Ｗ（読み／書き）変換器６を有する（図２参照）。Ｒ／
Ｗ変換器６はスライダと呼ばれ、（作動状態において）
ハードディスク７の表面と対面するよう配置される。ま
たＲ／Ｗ変換器６はマイクロアクチュエータ９を介して
ジンバル８と呼ばれる連結部に堅固に接続される。なお
マイクロアクチュエータ９はジンバル８とＲ／Ｗ変換器
６との間に配置されている。またＲ／Ｗ変換器６はセラ
ミック材料（例えばAlTiC ）からなる本体で形成され
る。さらにＲ／Ｗ変換器６はその一方の側面に読み／書
きヘッド１０（磁気抵抗および磁気誘導）を有する。こ
の読み／書きヘッド１０は適切な読み／書き装置を形成
する。
【０００３】ハードディスク作動装置１における第一の
作動段階はモータ２により実行される。すなわちモータ
２はトラックを探す間において懸垂装置５およびＲ／Ｗ
変換器６により形成されたユニットをハードディスク７
を横断するように移動する。また第二の作動段階はマイ
クロアクチュエータ９により実行される。すなわちマイ
クロアクチュエータ９はトラッキングの間において最終
的にＲ／Ｗ変換器６の位置を制御する。
【０００４】回転静電タイプのマイクロアクチュエータ
９の実施例を図３に概略的に示した。ここでのマイクロ
アクチュエータ９は軸線方向に対称的であるものとして
部分的にしか図示されていない。マイクロアクチュエー
タ９は該マイクロアクチュエータ９を収容する型と統合
され且つジンバル８に固着された固定子１７と、Ｒ／Ｗ
変換器６に固着され且つ固定子１７に容量的に接続され
た回転子１１とを具備する。
【０００５】回転子１１は実質的に円形の懸垂本体１２
と該懸垂本体１２から径方向外方へ延びる複数の可動ア
ーム１３とを具備する。各可動アーム１３は互いに実質
的に等間隔を開けて周方向に延びる複数の可動電極１４
を有する。さらに回転子１１は固定・弾性懸垂要素（ば
ね１５）を具備する。この固定・弾性懸垂要素は固定域
１６を介して回転子１１を支持し且つ付勢する。
【０００６】固定子１７は径方向に延びる複数の固定ア
ーム１８ａ、１８ｂを具備する。各固定アーム１８ａ、
１８ｂは複数の固定電極１９を保持する。特に固定アー
ム１８ａと固定アーム１８ｂとにより形成された一対の
固定アームは各可動アーム１３に対応する。各対の固定
アーム１８ａ、１８ｂの固定電極１９は対応の可動アー
ム１３に向かって延び、可動電極１４に差し込まれ又は
挟みこまれる。また固定アーム１８ａは全て各可動アー
ム１３に対して同じ側に配置され（図示した実施例では
右側）、バイアス領域２０ａを介して同じ電位にバイア
スされる。同様に固定アーム１８ｂは全て各可動アーム
１３に対して別の側に配置され（図示した実施例では左
側）、バイアス領域２０ｂを介して同じ電位にバイアス
される。
【０００７】固定アーム１８ａと固定アーム１８ｂとは
異なる電位でバイアスされ、可動アーム１３に対して二
つの異なる電位差を発生させ、これにより回転子１１が
両方向に回転せしめられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図２に示
した公知の構成には幾つかの欠点がある。
【０００９】マイクロアクチュエータ９はＲ／Ｗ変換器
がハードディスク７に衝突すると強烈な機械的応力を受
け、これによりマイクロアクチュエータ９が損傷してし
まう。
【００１０】またマイクロアクチュエータ９は外気にさ
らされるので環境に存在する外塵から保護されておら
ず、このことによりマイクロアクチュエータ９の十分な
作動が危険にさらされる。
【００１１】さらにＲ／Ｗ変換器６を所望しただけ移動
するためのマイクロアクチュエータ９に供給されるバイ
アスボルト数は８０ボルト程度と比較的高く、Ｒ／Ｗ変
換器６に静電気的な干渉を引き起こす可能性がある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の目的は従
来のマイクロアクチュエータの欠点を克服する統合型マ
イクロアクチュエータを提供することにある。
【００１３】本発明は往復動するように連結された固定
子要素と回転子要素とを有するモータ要素を具備する統
合型マイクロアクチュエータであって、別体のアクチュ
エータ要素と、前記モータ要素と前記アクチュエータ要
素との間に配置された伝達構造とを具備し、前記伝達構
造は前記モータ要素の運動を前記アクチュエータ要素の
対応した運動に伝達する統合型マイクロアクチュエータ
を提供する。
【００１４】以下、本発明を理解するために添付図面を
参照して幾つかの好適実施例を説明する。しかしながら
これら実施例は本発明を限定するものではない。
【００１５】
【発明の実施の形態】図４にマイクロアクチュエータの
全体を参照番号３０で示した。マイクロアクチュエータ
３０はジンバル８（図２参照）に堅固に接続された型３
１に統合される。またマイクロアクチュエータ３０は回
転タイプのモータ要素３２と、このモータ要素３２から
間を開け且つＲ／Ｗ変換器６（図２参照）が堅固に固定
されるアクチュエータ要素３４と、モータ要素３２とア
クチュエータ要素３４との間に配置される伝達構造３６
とを具備する。伝達構造３６はモータ要素３２の回転運
動をアクチュエータ要素３４およびこのアクチュエータ
要素３４に固定されたＲ／Ｗ変換器６に伝達する。なお
マイクロアクチュエータ３０はモータ要素３２とアクチ
ュエータ要素３４との中心を通る軸線Ａに対して対称で
ある。
【００１６】特にモータ要素３２は型３１と統合される
内側の固定子３８と外側の回転子４０とを具備する。回
転子４０は固定子３８に容量的に接続される。また回転
子４０は伝達構造３６を介してアクチュエータ要素３４
に接続される。
【００１７】回転子４０は懸垂本体４２を具備する。懸
垂本体４２はモータ要素３２の外側の境界を定める外側
環状域４４と、この外側環状域４４の内側に同軸に配設
される内側円形域４６と、これら外側環状域４４と内側
円形域４６とを接続する二対の径方向に延びるアーム
（以下、径方向アーム）４８ａ、４８ｂとを有する。径
方向アーム４８ａ、４８ｂは互いに等角度を開けて懸垂
される。
【００１８】特に中心から両側に一列に並べられた二つ
の径方向アーム４８ａは外側環状域４４を越えて停止部
４９の間に突出し、回転子４０と固定子３８とをショー
トさせてしまう回転子４０の過度の回転を防止する役目
を果たす。
【００１９】さらに回転子４０は複数の可動アーム５２
を具備する。この可動アーム５２は懸垂本体４２の外側
環状域４４から内側円形域４６に向かって内側円形域４
６近傍まで径方向に延びる。各可動アーム５２は可動電
極５４を形成する延設された複数の突出部を有する。可
動電極５４は全て各可動アーム５２の片側に配設され、
可動アーム５２に沿って等間隔だけ離間して実質的に周
方向に延びる。
【００２０】さらに内側円形域４６は実質的に十字形状
で且つ内側円形域４６と同軸な貫通開口５６を有する。
内側円形域４６の内側、すなわち貫通開口５６の内側に
は四つの固定・弾性懸垂要素５８が配設される。これら
固定・弾性懸垂要素５８は内側円形域４６を貫通開口５
６の中心に配設された固定域６０に弾性的に接続する。
【００２１】固定子３８は懸垂本体４２の内側円形域４
６と可動アーム５２の自由端との間にリング状に配設さ
れた四つの扇形域６２を有する。各扇形域６２は隣接し
た径方向アーム４８ａと径方向アーム４８ｂとの対の間
に延設される。
【００２２】さらに固定子３８は複数の固定アーム６４
を具備する。これら固定アーム６４は扇形域６２から懸
垂本体４２の外側環状域４４に向かって径方向に延び、
それぞれが各可動アーム５２に対面する。
【００２３】各固定アーム６４は固定電極６６を形成す
る延設された複数の突出部を有する。固定電極６６は各
可動アーム５２に向かって実質的に周方向に延び、各可
動アーム５２の可動電極５４間に差し込まれ又は挟みこ
まれる。
【００２４】アクチュエータ要素３４は中央開口７２を
有する実質的に円形な懸垂本体７０を具備する。中央開
口７２は実質的に十字形状であり、懸垂本体７０と同軸
である。四つの固定・弾性懸垂要素７４が中央開口７２
内に配設され、懸垂本体７０を中央開口７２の中央に配
設された固定域７６に弾性的に接続する。
【００２５】外側環状域４４、内側円形域４６、回転子
４０の径方向アーム４８ａ、４８ｂ、固定アーム６４お
よび可動アーム５２の一部および固定子３８の懸垂本体
７０は複数の貫通孔７８を有する。その例としてその幾
つかのみを図面に示したが、この目的はマイクロアクチ
ュエータを組み立てる際に犠牲層の取り外しを可能にす
ることにある。
【００２６】図４に示したように伝達構造３６は互いに
同じ形状の第一伝達アーム８０と第二伝達アーム８１と
を具備する。これら伝達アーム８０、８１はモータ要素
３２とアクチュエータ要素３４との間で延び、軸線Ａに
対して対称的に両側に配置される。またこれら伝達アー
ム８０および８１は回転子４０の外側環状域４４を概ね
二本のアーム４８ａのところから懸垂本体７０の直径方
向において両側の二つの領域８４に接続する。
【００２７】好ましくはマイクロアクチュエータは以下
のような寸法である。すなわちモータ要素３２の直径は
1.6 〜1.8mm であり、アクチュエータ要素３４の直径は
0.7〜0.9mm であり、モータ要素３２とアクチュエータ
要素３４との間の距離は0.2〜0.4mm であり、そして伝
達アーム８０、８１の幅は50〜100 μm である。
【００２８】第一伝達アーム８０および第二伝達アーム
８１は回転子４０の回転運動をアクチュエータ要素３４
と該アクチュエータ要素３４に堅固に固定されたＲ／Ｗ
変換器６に伝達する。特にアクチュエータ要素３４は回
転子４０と同じ方向に回転する。
【００２９】図５には本発明の第二実施例のマイクロア
クチュエータ３０ａを示した。マイクロアクチュエータ
３０ａはマイクロアクチュエータ３０のものと同一であ
るので同じ参照番号で示したモータ要素３２とアクチュ
エータ要素３４とを具備し、さらにフォーク形状の伝達
構造３６ａを有する。詳細には伝達構造３６ａは直線状
で互いに平行な第三伝達アーム８６および第四伝達アー
ム８８とＴ形状の第五アーム９２とを具備する。第三伝
達アーム８６および第四伝達アーム８８は軸線Ａに対し
て対称に配設され、回転子４０の外側環状域４４の互い
に隣接した部分９０からアクチュエータ要素３４に向か
って延びる。第五アーム９２は第三伝達アーム８６と第
四伝達アーム８８との間にこれらアームに対して垂直に
延びる第一部分９２ａと、軸線Ａに沿って延び且つ第一
部分９２ａをアクチュエータ要素３４の懸垂本体７０に
接続する第二部分９２ｂとを具備する。
【００３０】なお図５の実施例のアクチュエータ要素３
４は回転子４０とは反対方向に回転する。
【００３１】図５のマイクロアクチュエータ３０ａにお
いて伝達構造３６ａのフォーク形状は例えばマイクロア
クチュエータ３０ａを形成する層の製造温度とマイクロ
アクチュエータの作動温度との差から生じるマイクロア
クチュエータ３０ａの応力を解放できる。
【００３２】図６には本発明の第三実施例のマイクロア
クチュエータ３０ｂを示した。マイクロアクチュエータ
３０ｂはマイクロアクチュエータ３０のものと同一のモ
ータ要素３２およびアクチュエータ要素３４とを具備
し、さらに伝達構造３６ｂを具備する。伝達構造３６ｂ
は第六伝達アーム９４を具備する。この第六伝達アーム
９４は回転子４０の外側環状域４４をアクチュエータ要
素３４の懸垂本体７０に接続し、軸線Ａに対して傾いた
方向に延びる。
【００３３】図６のマイクロアクチュエータ３０ｂの伝
達アーム９４の傾いた形状によれば作動中に伝達アーム
９４の断面の全ての点が同じ動きをできる（伝達アーム
８０、８１および８６、８８、９２の断面の数々の点が
異なる応力を受けるので異なる動きをし、その結果、伝
達アームの変形が生じる図４および図５の実施例とは異
なる。）。こうしてモータ要素３２からアクチュエータ
要素３４に運動が効率的に伝達される。
【００３４】なお図６の実施例のアクチュエータ要素３
４は回転子４０とは反対方向に回転する。
【００３５】図７には本発明の第四実施例のマイクロア
クチュエータ３０ｃを示した。マイクロアクチュエータ
３０ｃはリニアタイプのモータ要素１３２と、アクチュ
エータ要素３４と、伝達構造３６ｃとを具備する。アク
チュエータ要素３４はマイクロアクチュエータ装置３
０、３０ａおよび３０ｂのアクチュエータ要素と同一で
あるので同一の参照番号で示した。伝達構造３６ｃはモ
ータ要素１３２とアクチュエータ要素３４との間に配置
され、モータ要素１３２の直線運動をアクチュエータ要
素３４がこれに対応して回転運動するように伝達する。
【００３６】特にモータ要素１３２は固定子１００と回
転子１０２とを具備する。回転子１０２は固定子１００
に容量的に接続され、伝達構造３６ｃによりアクチュエ
ータ要素３４に接続される。回転子１０２は矩形の懸垂
本体１０４と複数の可動アーム１０６とを有する。これ
ら可動アーム１０６は懸垂本体１０４の長手方向に対し
て垂直に懸垂本体１０４から延びる。図示した実施例で
は可動アーム１０６は互いに同一の四つの可動アームの
グループを形成し、これらグループは懸垂本体１０４の
長手側にそれぞれ対になって配置される。
【００３７】さらに回転子１０２は固定・弾性懸垂要素
１０８を具備する。この固定・弾性懸垂要素１０８は懸
垂本体１０４の両端から延び、回転子１０２を支持し且
つ付勢する。
【００３８】固定子１００は懸垂本体１０４と平行な矩
形の四つの固定域１１０を具備する。各固定域１１０は
可動アーム１０６のグループにそれぞれ対面するように
配設され、複数の固定アーム１１２を有する。固定アー
ム１１２は各固定域１１０の長手方向に対して垂直に延
び、各固定アーム１１２は各可動アーム１０６に対面す
るように設けられる。
【００３９】伝達構造３６ｃは第七伝達アーム１１４を
具備する。この第七伝達アーム１１４は二つの可動アー
ム１０６のグループの間を懸垂本体１０４の中央から垂
直に延びる。
【００４０】回転子１０２と固定子１００との間に適し
た電位差が生じると回転子１０２は矢印Ｂの方向に往復
直線運動をする。第七伝達アーム１１４はモータ要素１
３２および回転運動のみを実行できるアクチュエータ要
素３４の両方に統合されている。したがって第七伝達ア
ーム１１４は第七伝達アーム１１４の必要とされる小さ
な変形を可能にする弾力によりモータ要素１３２の往復
直線運動がアクチュエータ要素３４の往復回転運動にな
るように運動を伝達する。したがってアクチュエータ要
素３４に堅固に固定されたＲ／Ｗ変換器６は前述の実施
例のように回転運動する。
【００４１】図８には本発明の第五実施例のマイクロア
クチュエータ３０ｄを示した。マイクロアクチュエータ
３０ｄは回転タイプである。マイクロアクチュエータ３
０ｄはマイクロアクチュエータ３０のものと同様のモー
タ要素３２とアクチュエータ要素３４とを具備し、さら
に伝達構造３６ｄを具備する。伝達構造３６ｄは第八伝
達アーム１４０ａと第九伝達アーム１４０ｂとを具備す
る。これら伝達アーム１４０ａ、１４０ｂは軸線Ａに沿
って相互に一列に整列して延びる。またこれら伝達アー
ム１４０ａ、１４０ｂはヒンジ部分１４１により型３１
に接続される。ヒンジ部分１４１はこれら伝達アーム１
４０ａ、１４０ｂに対して垂直な二つの部分１４２ａ、
１４２ｂを介して型３１に接続される。
【００４２】伝達アーム１４０ａ、１４０ｂおよび部分
１４２ａ、１４２ｂは伝達アーム８０、８１、８６、８
８、９２、９４および１１４よりも薄い。例えば伝達ア
ーム１４０ａ、１４０ｂの幅は５〜15μm であり、好適
には10μm である。また各部分１４２ａ、１４２ｂの長
さは各伝達アーム１４０ａ、１４０ｂの長さの二倍から
四倍に等しい（したがって0.2 〜0.8mm である）。図８
の実施例のアクチュエータ要素３４は回転子４０を同じ
方向に回転する。
【００４３】図８のマイクロアクチュエータ３０ｄにお
いて伝達アーム１４０ａ、１４０ｂの幅が特に狭いので
これら伝達アーム１４０ａ、１４０ｂにはその断面に沿
って実質的に均一な応力が確実にかかり、同じ断面に属
する全ての点は同じ運動をする。したがってマイクロア
クチュエータ３０ｄの作動に用いられる変形エネルギー
が小さく、伝達効率が良い。さらに部分１４２ａ、１４
２ｂの端部を固定することにより全ての懸垂構造（回転
子４０、アクチュエータ要素３４および伝達構造３６
ｄ）を良好に支持できる。さもなければこれら懸垂構造
は固定域６０および７０でのみで支持されることにな
る。
【００４４】上述した装置から得られる利点を以下に説
明する。一つ目の利点はモータ要素３２、１３２とＲ／
Ｗ変換器６とを物理的に分離することによりハードディ
スク７にＲ／Ｗ変換器６が衝突した時にモータ要素３
２、１３２にかかる物理的な応力が大幅に減少すること
にある。これにより機械的な応力に一般的に反応しづら
くなる。さらにＲ／Ｗ変換器６に対するモータ要素３
２、１３２の高いバイアス電圧により引き起こされる静
電気的な干渉が非常に小さくなる。
【００４５】モータ要素３２、１３２とＲ／Ｗ変換器６
との物理的な分離はモータ要素３２、１３２をシールで
き、大気中の汚染粒子またはマイクロアクチュエータの
作動時に発生する汚染粒子やマイクロアクチュエータを
収容する半導体ウェーハの切断時に発生する粒子からモ
ータ要素を保護できる。
【００４６】さらに本発明は運動の発生をＲ／Ｗ変換器
の作動から分離でき、これによりこれらの位相や相対的
な構造を互いに独立して最適化できる。
【００４７】最後に本発明の範囲を逸脱することなく説
明し且つ図示したマイクロアクチュエータ３０、３０
ａ、３０ｂおよび３０ｃを修正し且つ変更できることは
明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】公知のタイプのハードディスク用の作動装置の
斜視図である。
【図２】図１の作動装置のマイクロメータ作動組立体の
分解図である。
【図３】公知のタイプの統合型マイクロアクチュエータ
の概略図である。
【図４】本発明の第一実施例の統合型マイクロアクチュ
エータの概略図である。
【図５】本発明の第二実施例の統合型マイクロアクチュ
エータの概略図である。
【図６】本発明の第三実施例の統合型マイクロアクチュ
エータの概略図である。
【図７】本発明の第四実施例の統合型マイクロアクチュ
エータの概略図である。
【図８】本発明の第五実施例の統合型マイクロアクチュ
エータの概略図である。
【符号の説明】
１…ハードディスク作動装置 ５…懸架装置 ６…Ｒ／Ｗ変換器 ８…ジンバル ９、３０…マイクロアクチュエータ ３２…モータ要素 ３４…アクチュエータ要素 ３６…伝達構造
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シモーネ サッソリーニ イタリア国，52037 サンセポルクロ，ビ ア マッテオ ディ ジョバーニ，19 (72)発明者 カルロ メネスカルディ イタリア国，20010 ビットゥオーネ，ビ ア ２ ジューニョ，13

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 往復動するように連結された固定子要素
    （38；100 ）と回転子要素（40；102 ）とを有するモー
    タ要素（32；132 ）を具備する統合型マイクロアクチュ
    エータ（30；30a ；30b ；30c ；30d ）において、別体
    のアクチュエータ要素（34）と、前記モータ要素（32；
    132 ）と前記アクチュエータ要素（34）との間に配置さ
    れた伝達構造（36；36a ；36b ；36c ；36d ）とを具備
    し、前記伝達構造は前記モータ要素（32；132 ）の運動
    を前記アクチュエータ要素（34）の対応した運動に伝達
    する統合型マイクロアクチュエータ。
  2. 【請求項２】 前記アクチュエータ要素（34）は前記モ
    ータ要素（32；132）に隣接して配置され、前記伝達構
    造（36；36a ；36b ；36c ；36d ）は前記モータ要素
    （32；132 ）と前記アクチュエータ要素（34）との間で
    延びる少なくとも一つの接続要素（80；81；86；88；9
    2；94； 114；140a、140b）を具備する請求項１に記載
    の統合型マイクロアクチュエータ。
  3. 【請求項３】 前記モータ要素（32）および前記アクチ
    ュエータ要素（34）は円形構造を有し、前記伝達構造
    （36）は前記モータ要素（32）と前記アクチュエータ要
    素（34）との間で延び且つ前記マイクロアクチュエータ
    （30）の対称軸線（Ａ）の両側に配設される第一伝達ア
    ーム（80）および第二伝達アーム（81）を具備する請求
    項１または２に記載の統合型マイクロアクチュエータ
    （30）。
  4. 【請求項４】 前記第一伝達アーム（80）と前記第二伝
    達アーム（81）とは前記対称軸線（Ａ）の両側に対称的
    に配設される請求項３に記載の統合型マイクロアクチュ
    エータ。
  5. 【請求項５】 前記第一伝達アーム（80）と前記第二伝
    達アーム（81）とは前記回転子要素（40）の周辺域（4
    4）のほぼ直径方向両側の部分を前記アクチュエータ要
    素（34）の実質的に直径方向両側の領域（84）に接続す
    る請求項３または４に記載の統合型マイクロアクチュエ
    ータ。
  6. 【請求項６】 前記モータ要素（32）および前記アクチ
    ュエータ要素（34）は円形構造を有し、前記伝達構造
    （36a ）は前記モータ要素（32）から前記アクチュエー
    タ要素（34）に向かって延びる第三伝達アーム（86）と
    第四伝達アーム（88）とを具備し、これら伝達アームは
    前記マイクロアクチュエータ（30a ）の対称軸線（Ａ）
    の両側に配設され、前記伝達構造（36a ）はさらにＴ形
    の第五伝達アームを具備し、該第五伝達アーム（92）は
    前記第三および第四伝達アームと前記アクチュエータ要
    素（34）との間に配置される請求項１または２に記載の
    統合型マイクロアクチュエータ（30a ）。
  7. 【請求項７】 前記第三伝達アーム（86）および前記第
    四伝達アーム（88）は前記対称軸線（Ａ）の両側に対称
    的に配設され、互いに平行であり、前記回転子要素（4
    0）の周辺域（44）の互いに隣接した部分から延びる請
    求項６に記載の統合型マイクロアクチュエータ。
  8. 【請求項８】 前記第五伝達アーム（92）は前記第三伝
    達アーム（86）と前記第四伝達アーム（88）との間で直
    角に延びる第一の部分（92a ）と、前記第三伝達アーム
    （86）と前記第四伝達アーム（88）とに平行で前記対称
    軸線（Ａ）と同軸の第二の部分（92b ）とを具備し、該
    第二の部分（92b ）が前記第一の部分（92a ）を前記ア
    クチュエータ要素（34）の周辺域に接続する請求項６ま
    たは７に記載の統合型マイクロアクチュエータ。
  9. 【請求項９】 前記モータ要素（32）および前記アクチ
    ュエータ要素（34）は円形構造を有し、前記伝達構造
    （36b ）は第六伝達アーム（94）を具備し、該第六伝達
    アーム（94）は前記マイクロアクチュエータ（30b ）の
    対称軸線（Ａ）に対して傾いて前記モータ要素（40）と
    前記アクチュエータ要素（34）との間に延びる請求項１
    または２に記載の統合型マイクロアクチュエータ（30b
    ）。
  10. 【請求項１０】 前記アクチュエータ要素（34）は円形
    構造を有し、前記モータ要素はリニアタイプであり、前
    記回転子要素（ 100）は実質的に細長い形状の懸垂本体
    （ 104）を具備し、前記伝達構造（36c ）は第七伝達ア
    ーム（114 ）を有し、該第七伝達アーム（114 ）は前記
    懸架本体（ 104）と前記アクチュエータ要素（34）との
    間で前記懸架本体（ 104）に対して横方向に延びる請求
    項１または２に記載の統合型マイクロアクチュエータ
    （30c ）。
  11. 【請求項１１】 前記第七伝達アーム（114 ）は前記懸
    架本体（ 104）の中心域と前記アクチュエータ要素（3
    4）の周辺域との間で前記懸架本体（ 104）に対して垂
    直な方向に延びる請求項１０に記載の統合型マイクロア
    クチュエータ。
  12. 【請求項１２】 前記モータ要素（32）および前記アク
    チュエータ要素（34）は円形構造を有し、前記伝達構造
    （36d ）は前記対称軸線（Ａ）に沿って相互に一列に並
    ぶようになって延びる第八伝達アーム（140a）と第九伝
    達アーム（140b）とを具備し、これら伝達アームはこれ
    ら第八伝達アーム（140a）および第九伝達アーム（140
    b）に対して実質的に垂直な二つの部分（142a、142b）
    を介して前記マイクロアクチュエータ（30d ）の固定域
    （31）に接続されたヒンジ部分（141 ）により連結され
    る請求項１または２に記載のマイクロアクチュエータ
    （30d ）。
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