DE60223136D1 - Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung

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Ubaldo Mastromatteo
Bruno Murari
Paolo Ferrari
Simone Sassolini
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    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B81B3/0021—Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
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