DE60223136D1 - Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung

Info

Publication number
DE60223136D1
DE60223136D1 DE60223136T DE60223136T DE60223136D1 DE 60223136 D1 DE60223136 D1 DE 60223136D1 DE 60223136 T DE60223136 T DE 60223136T DE 60223136 T DE60223136 T DE 60223136T DE 60223136 D1 DE60223136 D1 DE 60223136D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microactuator
production
hard disk
disk units
microelectromechanical component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60223136T
Other languages
English (en)
Inventor
Ubaldo Mastromatteo
Bruno Murari
Paolo Ferrari
Simone Sassolini
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Application granted granted Critical
Publication of DE60223136D1 publication Critical patent/DE60223136D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B81B3/0021—Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Micromachines (AREA)
DE60223136T 2002-06-20 2002-06-20 Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung Expired - Lifetime DE60223136D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP02425407A EP1375416B1 (de) 2002-06-20 2002-06-20 Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE60223136D1 true DE60223136D1 (de) 2007-12-06

Family

ID=29717020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60223136T Expired - Lifetime DE60223136D1 (de) 2002-06-20 2002-06-20 Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung

Country Status (3)

Country Link
US (2) US7239487B2 (de)
EP (1) EP1375416B1 (de)
DE (1) DE60223136D1 (de)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6853517B2 (en) * 2003-02-13 2005-02-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Electrostatic microactuator with electrically isolated movable portion and associated drive circuitry
GB2412233B (en) * 2004-03-15 2008-09-17 Salah A Al-Chalabi Electrostatic micro-actuator
DE102006058563B3 (de) * 2006-12-12 2008-06-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikrospiegel-Aktuator mit Kapselungsmöglichkeit sowie Verfahren zur Herstellung
US7893534B2 (en) * 2007-08-10 2011-02-22 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. Thermally insulating bonding pad structure for solder reflow connection
US8085508B2 (en) 2008-03-28 2011-12-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. System, method and apparatus for flexure-integrated microactuator
JP4907675B2 (ja) * 2009-01-15 2012-04-04 日本発條株式会社 圧電素子の配線接続部構造、圧電アクチュエータ、及びヘッドサスペンション
US8665567B2 (en) * 2010-06-30 2014-03-04 Western Digital Technologies, Inc. Suspension assembly having a microactuator grounded to a flexure
US8885291B2 (en) * 2012-08-10 2014-11-11 Donaldson Company, Inc. Recirculation filter for an electronic enclosure
US10010822B2 (en) 2012-08-10 2018-07-03 Donaldson Company, Inc. Recirculation filter for an electronic enclosure
US9070387B1 (en) 2013-08-23 2015-06-30 Western Digital Technologies, Inc. Integrated heat-assisted magnetic recording head/laser assembly
WO2015123406A1 (en) 2014-02-13 2015-08-20 Donaldson Company, Inc. Recirculation filter for an enclosure
US9042048B1 (en) 2014-09-30 2015-05-26 Western Digital (Fremont), Llc Laser-ignited reactive HAMR bonding
US9202478B1 (en) 2015-02-10 2015-12-01 Western Digital (Fremont), Llc Method and structure for soldering a laser submount to a mounting face of a slider
DE102016118709B3 (de) * 2016-10-04 2018-01-25 Infineon Technologies Ag Schutzvorrichtung vor elektrostatischer entladung und elektronische schaltvorrichtung

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5233213A (en) * 1990-07-14 1993-08-03 Robert Bosch Gmbh Silicon-mass angular acceleration sensor
JP3050164B2 (ja) * 1997-05-23 2000-06-12 日本電気株式会社 マイクロアクチュエータおよびその製造方法
US6121552A (en) * 1997-06-13 2000-09-19 The Regents Of The University Of Caliofornia Microfabricated high aspect ratio device with an electrical isolation trench
JPH11248733A (ja) * 1998-03-05 1999-09-17 Denso Corp 角速度センサ及びその製造方法
US6731471B1 (en) * 1998-03-20 2004-05-04 Seagate Technology Llc Low mass microactuator and method of manufacture
DE69830789D1 (de) * 1998-07-30 2005-08-11 St Microelectronics Srl Fernbedienbarer integrierter Microantrieb, insbesondere für einen Lese/Schreibköpf einer Festplattenanlage
EP0991175B1 (de) * 1998-09-30 2005-08-17 STMicroelectronics S.r.l. Integrierter Hochleistungs-Microantrieb insbesondere für einen Lese/Schreib-Kopf in Festplattenlaufwerken
KR100459887B1 (ko) * 1999-01-11 2004-12-03 삼성전자주식회사 삼차원 빗살 가진 구조물 및 이를 채용한 관성 감지 센서와 액츄
JP4238437B2 (ja) * 1999-01-25 2009-03-18 株式会社デンソー 半導体力学量センサとその製造方法
EP1031965B1 (de) * 1999-02-23 2005-04-27 STMicroelectronics S.r.l. Mikrometrische Betätigung, Festplatten Lese-/Schreibeinheit
US6798609B1 (en) * 1999-07-28 2004-09-28 Seagate Technology, Inc. Magnetic microactuator with capacitive position sensor
US6590747B1 (en) * 1999-08-17 2003-07-08 Seagate Technology, Llc. Seal for micro-electro-mechanical devices
US6504685B1 (en) * 1999-08-31 2003-01-07 Texas Instruments Incorporated Microelectricalmechanical device immobilization and sealing
EP1128540A1 (de) * 2000-02-23 2001-08-29 STMicroelectronics S.r.l. Struktur um Mikroelektromechanische Anordnungen elektrisch zu Verbinden, insbesondere Microantriebe für Festplattenantriebe
US6683757B1 (en) * 2000-04-05 2004-01-27 Seagate Technology Llc Slider-level microactuator for precise head positioning
EP1151962B1 (de) * 2000-04-28 2007-06-13 STMicroelectronics S.r.l. Struktur zur elektrischen Verbindung eines ersten mit einem darüberliegenden zweiten Halbleitermaterial, diese elektrische Verbindung verwendendes Komposit und ihre Herstellung
US6905614B1 (en) * 2000-05-24 2005-06-14 Active Optical Networks, Inc. Pattern-transfer process for forming micro-electro-mechanical structures
US6973829B2 (en) * 2000-08-29 2005-12-13 Denso Corporation Semiconductor dynamic quantity sensor with movable electrode and fixed electrode supported by support substrate

Also Published As

Publication number Publication date
EP1375416A1 (de) 2004-01-02
US7463454B2 (en) 2008-12-09
US20040070888A1 (en) 2004-04-15
US7239487B2 (en) 2007-07-03
US20070247761A1 (en) 2007-10-25
EP1375416B1 (de) 2007-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE419260T1 (de) C-aryl-glucosid-sglt2-inhibitoren und verfahren zu ihrer herstellung
DE602004028462D1 (de) Rfid-etikett und verfahren zu dessen herstellung
DE50212077D1 (de) Piezoelektrisches bauelement und verfahren zu dessen herstellung
DE60324376D1 (de) Halbleiterbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
DE60305105D1 (de) Aluminiumbeschichtetes Bauteil und Verfahren zu dessen Herstellung
DE602005020467D1 (de) Dielektrische luneberglinse und verfahren zu ihrer herstellung
DE602004021927D1 (de) Halbleiterbauelement und verfahren zu seiner herstellung
DE60332953D1 (de) Gleichmässiges faservlies und verfahren zu dessen herstellung
DE602004021527D1 (de) Honigwabenstruktur und Verfahren zu seiner Herstellung
DE50310782D1 (de) Piezoaktor und verfahren zu dessen herstellung
DE60223136D1 (de) Mikroelektromechanisches Bauelement, insbesondere Mikroaktor für Festplatteneinheiten, und Verfahren zu dessen Herstellung
DE602006012088D1 (de) Datenaufzeichnungsmedium und verfahren zu dessen herstellung
DE60337036D1 (de) Halbleiterbauelement und verfahren zu seiner herstellung
DE602006020567D1 (de) Rotor für dampfturbine und verfahren zu dessen herstellung
DE60311103D1 (de) Auf norbornenester basierendes polymerisat und verfahren zu seiner herstellung
DE60313818D1 (de) Dialysator und Verfahren zu dessen Herstellung
DE50214272D1 (de) Piezoelektrisches bauelement und verfahren zu dessen herstellung
ATA5982004A (de) Hydraulisches bindemittel sowie verfahren zu dessen herstellung
DE602004008991D1 (de) Umlenkbeschlag und verfahren zu dessen herstellung
DE602006014866D1 (de) Elastisches polyurethangarn und verfahren zu seiner herstellung
DE60313042D1 (de) Glied für eine plasmaätzeinrichtung und verfahren zu seiner herstellung
DE50307832D1 (de) Schichtsystem und verfahren zu dessen herstellung
DE602004023264D1 (de) Diffraktiver piezoelektrisch betätigter Mikrospiegel und Verfahren zu dessen Herstellung
DE50207733D1 (de) Nickelhydroxid und verfahren zu dessen herstellung
DE50305655D1 (de) Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
8332 No legal effect for de