CN100463778C - 平行平面研磨机 - Google Patents

Abstract

一种平行平面研磨机，包括吊板、上研磨盘，下研磨盘，联轴环，还包括：第一滑轮群组，包括均匀设置于上研磨盘的周沿的复数个滑轮；第二滑轮群组，包括均匀设置于的吊板的周沿的复数个滑轮；滑轮索，其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮；该滑轮索的长度是可以调整的；在下研磨盘工作面格子状沟槽中设有复数孔口；所述的孔口可向外喷出砂粒或液体或气体；在联轴环上端设置定环盘，该定环盘的外圆周上设置有复数个吊环，上研磨盘上表面设置有与所述吊环对应的吊钩，每一组对应的吊环和吊钩之间以索条联接。本发明能矫正上研磨盘平面平行度的翘曲及使上研磨盘保持水平工作状态，达到与下研磨盘平面的匹配，有利于提高加工质量和效率。

Description

平行平面研磨机

技术领域

本发明涉及机械加工，尤其是研磨加工机床。

背景技术

近年来，随着电子机器设备及移动通讯日新月异的发展，对电子产品短薄轻小化的需求，大多数的功能性元器件都被要求更小、更薄，而这些功能性元器件，较多采用硅、水晶，还有蓝宝石等单晶体材料，还有将粉体烧结的磁性材料及陶瓷成份的多晶体材料及光学玻璃、石英玻璃等的非晶体材料作为原料的情形，这些材料的共同特性是硬而脆，对生产加工此类原料的产品，则需要研究更高精度的元器件基板坯料，采用分别加工以达到更高效的加工方法。在此所谓的高精度首先是无裂痕、无伤痕，加之平行度和表面粗糙度等的高要求。

图1是现有技术中具有代表性的平行平面研磨机例的侧视图。其运动机构上的游轮9被称为公转并自转的齿轮行星传动方式。

图示中的气缸主轴1、联轴环2、吊板3等零部件联接，上研磨盘5呈摆垂状垂下，在调整汽缸的气压后使之分级下降，给安装在行星轮9空穴孔中被加工的工件8以适当的压力载荷。这时，让安装在上研磨盘5上的键闸4对准驱动轴12键槽11闸合，使得驱动轴12与上研磨盘5联接，并可同步旋转。

磨削方式：太阳轮6与内齿轮10及驱动轴12旋转，游轮9——行星轮边自转边公转，下研磨盘7与旋转着的上研磨盘5对所夹持的被加工工件8的两面进行磨削，在磨削的同时，设置在上研磨盘5中网点孔中流出水、油、砂粒等混和状研磨液体。

在此所谓的磨削，是对包括通过固体砂粒进行的磨削和含游离砂粒的研磨和抛光研磨等加工方法的总称。

用这种结构的平行平面研磨机进行大而薄的基板研磨加工存在如下缺点：

1、将上研磨盘5下平面，下研磨盘7的上平面复制到被加工工件8两平面的磨削加工时，成为具有高平面度的上下研磨平面，必须平行贴合。在图1中，上研磨盘5、支柱13、吊板3、联轴环2，在气缸主轴1摆垂状悬吊下状态，上研磨盘5的研磨平面其挠度相当大，即使通过加工也无法完全消除这个挠度，所以在这种状态下被加工的工件8，不仅不能获得平行平面，还会诱发其它的伤痕或缺陷；

2、上研磨盘5与下研磨盘7中，有着从贯穿研磨盘的孔中供给流出的水或油、砂粒的混和状均匀研磨液体，为了排出磨屑，在下研磨盘7工作上面上有格子状的沟槽，随着磨削的进行，磨屑在下研磨盘7的沟槽中堆积，而发生堵塞。这样会使被加工的产品精度低和裂纹增大，因此，必须定期地进行槽的清扫；

3、图3，上研磨盘5呈摆垂状悬吊状态，下降时，上研磨盘倾斜的现象非常多。如果是倾斜状态下降到被加工工件8的表面时，上研磨盘外圆的倾斜点会使被加工的工件产生移动并发生压损，而且在研磨时倾斜的研磨盘不易还原水平；是现有的平行平面研磨机的弊病。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型的平行平面研磨机，克服现有技术的上述缺点。

为达到上述目的，本发明的解决方案是：一种平行平面研磨机，包括吊板、上研磨盘，下研磨盘，联轴环，还包括：可对上研磨盘的研磨平面挠度进行调整的挠度矫正机构。

进一步，该挠度矫正机构包括：第一滑轮群组，包括均匀设置于上研磨盘的周沿的复数个滑轮；第二滑轮群组，包括均匀设置于的吊板的周沿的复数个滑轮；滑轮索，其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮；

还包括能调整该滑轮索的长度的装置；

该能调整该滑轮索的长度的装置包括至少一个调节结构，该调节结构包括：调节螺杆，调节螺母，螺杆座，导索夹板；该螺杆座固定在第二滑轮群组滑轮之间的吊板的周沿，该螺杆通过螺杆座上的孔穿入该导索夹板上的对应螺孔中，该调节螺母将调节螺杆固定在螺杆座上；该导索夹板上设有滑轮，该滑轮索搭接通过该导索夹板上的滑轮；

在下研磨盘工作面格子状沟槽中设有复数孔口；

所述的孔口可向外喷出砂粒或液体或气体；

还包括使上研磨盘保持水平工作状态的结构；

该使上研磨盘保持水平工作状态的结构为：在联轴环上端设置定环盘，该定环盘的外圆周上设置有复数个吊环螺栓，上研磨盘上表面设置有与所述吊环螺栓对应的吊钩螺钉，每一组对应的吊环螺栓和吊钩螺钉之间以索条联接；

该吊钩螺钉设置在上研磨盘上表面的中径位置；

该索条的长度是可以调整的。

本发明通过在上研磨盘与下研磨盘之间架设环状钢索来矫正上研磨盘平面平行度的翘曲，达到与下研磨盘平面的匹配及通过来自下研磨盘的液体或气体的喷射，不仅可达到消除槽沟部的堵塞，还可确保上研磨盘的水平。

附图说明

图1是现有机构主要部分的立体示意图。

图2是本发明一种实施例形态的主要部分的立体示意图。

图3是现有的机构断面示意图。

图4是本发明一种实施例形态的断面示意图。

图5是本发明添设有滑轮索调节装置的实施例形态的示意图。

具体实施方式

请参阅图2、4、5，本发明一种平行平面研磨机，包括吊板3、上研磨盘5，下研磨盘7，联轴环2，还包括：可对上研磨盘5的研磨平面挠度进行调整的挠度矫正机构。

进一步，该挠度矫正机构包括：第一滑轮群组，包括均匀设置于上研磨盘5的周沿的复数个滑轮15；第二滑轮群组，包括均匀设置于的吊板3的周沿的复数个滑轮17；滑轮索16，其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮15、17；

还包括能调整该滑轮索16的长度的装置；

该能调整该滑轮16索的长度的装置包括至少一个调节结构，该调节结构包括：调节螺杆22，调节螺母，螺杆座23，导索夹板24；该螺杆座23固定在第二滑轮群组滑轮之间的吊板的周沿，可以根据具体需要将该螺杆座23设置为一倾斜角度该该螺杆22通过螺杆座上的孔穿入该导索夹板24上的对应螺孔中，该调节螺母将调节螺杆22固定在螺杆座23上；该导索夹板24可以包括两块板，板间可以设有两滑轮，该第一滑轮群组的滑轮两侧的滑轮索搭接通过该导索夹板24上的滑轮，该滑轮可对该滑轮索导引、限位并减少摩擦；可以根据具体实施情况将该螺杆座23设置有一倾斜角度，例如与该导索夹板24所在的平面相垂直，以便调节螺杆22可以位于导索夹板24所在的平面内而顺利与导索夹板24上的螺孔相配合。通过顺时针或逆时针拧动调节螺杆22上的调节螺母使调节螺杆22带动导索夹板24上或下移动，调整该滑轮索16实际发挥作用的长度。该调节结构可以对应与于第一滑轮群组的滑轮设置复数个。

在下研磨盘7工作面格子状沟槽中设有复数孔口14；所述的孔口14可向外喷出砂粒或液体或气体；还包括使上研磨盘5保持水平工作状态的结构；

该使上研磨盘保持水平工作状态的结构为：在联轴环2上端设置定环盘18，该定环盘18的外圆周上设置有复数个吊环19，上研磨盘5上表面设置有与所述吊环19对应的吊钩21，每一组对应的吊环19和吊钩21之间以索条20联接；

该吊钩21可以设置在上研磨盘5上表面的中径位置；索条20从吊板3上设置的孔(未示出)中穿过将吊环19与对应的吊钩21相连。

该索条20的长度是可以调整的。

气缸主轴1，在下研磨盘7平面上设置放射状网点均布复数个研磨液出口孔，复数个游轮——行星轮9与太阳轮6外圆的齿相啮合，同时，游轮——行星轮9与内齿轮圈10齿相啮合，工件8被安置于行星轮9的空穴中，上研磨盘5通过上研磨盘键闸4嵌入驱动轴键槽11，就这样通过未作图示的驱动源进行旋转驱动驱动轴、太阳轮6、内齿轮圈10，上研磨盘5与下研磨盘7作相对旋转，工件8被夹持在上、下研磨盘之间，同时，工件8在行星轮9中既自转又公转，这就是磨削机理，在上研磨盘5上平面近外圆处等分安置复数个滑轮15，构成了第一滑轮群组。圆板状的吊板3，在其外圆侧面安置与第一滑轮群组对应相同数量有轴承支撑被固定的滑轮17，这就构成了第二滑轮群组。

气缸主轴1通过联轴环2连接吊板3及上研磨盘5，使其成一整体，随着设置气压的变化即可上下运行。软钢索16穿绕于上下第一、第二滑轮组滑轮的凹槽内，作环状并可调线长的联接。

吊板3外圆边沿及上研磨盘5的上平面圆周近边沿，上下对应均等分布偶数个，例如4个或6个或8个滑轮的滑轮组群，并在上下滑轮组绕上一根软钢索16呈峰形环状，因此，全长就能够很容易地进行拉紧张力调整。

在下研磨盘7工作面格子状沟槽中，设有网点孔14，可从这些孔中不断地供给研磨混和液或水，具有维持槽内正压状态的机能。

图3中，吊板3的外圆直径大于上研磨盘5的孔内径，而小于其外径，因此，可通过数个支柱13把吊板3与上研磨盘5构成一体。吊板3的外圆直径是由支柱13的直径与上研磨盘5工作面内外直径的比率而定，再有零件制造精度和材料的内应力影响，形成整套装置倾斜及上研磨平面5挠度的存在而失去水平性。接下来参见图4，在吊板3外圆侧面安置复数个滑轮17构成了第二滑轮群组，在上研磨盘5上平面近外圆处亦安置复数个滑轮15，构成第一滑轮群组。这样通过环状钢索16使第一滑轮群组和第二滑轮群组的上下滑轮联接，此时，调整钢索长度，增强钢索张紧度，这样不仅可矫正上研磨盘5平面度的挠曲、更可改善材料应力的存在，其特点是可维持5上研磨盘平面平行度的理想形状。

关于对上研磨盘5倾斜的调整法，结合图4进行具体说明。

气缸主轴1既可旋转又可上下升降，在联轴环上端设置定环盘18，定环盘18的外圆周上设置奇数个，例如3个或5个或7个吊环19，同样在上研磨盘5上表面中径位置设置与上面对应的吊钩21，用奇数根，例如3根或5根或7根钢索20联接吊环19与吊钩21为一组，成奇数组，这样分别调整奇数组钢索，以此维持和确保上研磨盘5水平工作状态。

上研磨盘5，下研磨盘7在研磨运转时，从上研磨盘5研磨面网点孔中流出含砂粒的研磨液参与研磨(未作图示)，同时排出含砂粒的磨屑液，滞留在下研磨盘7格子槽内，而引起堵塞，为提研磨工况，下研磨盘7格子沟槽内设置放射状等分均布网点孔14，从中亦喷出一定的流量研磨液(未作图示)，达到槽内正压的状况，从而，有效防止堵塞。当然，还可在下研磨盘7外圆环面喷出不含砂粒的液体和气体等。

Claims (7)

1.一种平行平面研磨机，包括吊板、上研磨盘，下研磨盘，联轴环，还包括：

可对上研磨盘的研磨平面挠度进行调整的挠度矫正机构；该挠度矫正机构包括：第一滑轮群组，包括均匀设置于上研磨盘的周沿的复数个滑轮；第二滑轮群组，包括均匀设置于吊板的周沿的复数个滑轮；滑轮索，其交替穿过该第一组滑轮群组和第二滑轮群组的滑轮；

还包括能调整该滑轮索的长度的装置；

其特征在于：该能调整该滑轮索的长度的装置包括至少一个调节结构，该调节结构包括：调节螺杆，调节螺母，螺杆座，导索夹板；该螺杆座固定在第二滑轮群组滑轮之间的吊板的周沿，该调节螺杆通过螺杆座上的孔穿入该导索夹板上的对应螺孔中，该调节螺母将调节螺杆固定在螺杆座上；该导索夹板上设有滑轮，该滑轮索搭接通过该导索夹板上的滑轮。

2.根据权利要求1所述的平行平面研磨机，其特征在于：在下研磨盘工作面格子状沟槽中设有复数个孔口。

3.根据权利要求2所述的平行平面研磨机，其特征在于：所述的孔口可向外喷出砂粒或液体或气体。

4.根据权利要求1至3中任一所述的平行平面研磨机，其特征在于：还包括使上研磨盘保持水平工作状态的结构。

5.根据权利要求4所述的平行平面研磨机，其特征在于：该使上研磨盘保持水平工作状态的结构为：在联轴环上端设置定环盘，该定环盘的外圆周上设置有复数个吊环，上研磨盘上表面设置有与所述吊环对应的吊钩，每一组对应的吊环和吊钩之间以索条联接。

6.根据权利要求5所述的平行平面研磨机，其特征在于：该吊钩螺钉设置在上研磨盘上表面的中径位置。

7.根据权利要求5所述的平行平面研磨机，其特征在于：该索条的长度是可以调整的。

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