CN100445085C - 压力机和压力机系统 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种压力机和压力机系统，该压力机包括使一对热盘中的一个(223)在与另一个(213)以规定间距间隔开的状态固定的热盘间隔保持机构(270)；按照覆盖热盘中朝工件侧的面而固定于至少一个上的金属板(282)；填充于至少一个热盘和金属板的间隙部的传热介质；控制热盘温度的温度控制机构；在通过上述热盘间隔保持机构，按照规定间距保持上述一对热盘的间距时，调整上述传热介质的压力，对设置于上述一对热盘之间的工件(P)施加压力的传热介质压力调整机构(250)。由此，即使在采用大型的热盘的情况下，可以克服制品在厚度方向的精度降低等的问题，并且不延长成形时间。

Description

压力机和压力机系统

技术领域

本发明涉及通过热压紧的方式对由树脂材料形成的板材进行成形的压力机。

背景技术

在过去，为了制造比如塑料制的IC卡(集成电路卡)，印刷电路板(PWB)等，采用对塑料制的工件进行成形的压力机。这样的压力机在两个热盘之间，夹设以树脂为主的工件，该两个热盘在对工件进行加热的同时，对其进行按压(热压紧步骤)，由此，形成制品。

在采用这样的压力机，对比如，成形厚度在100微米以下的印刷电路板的场合，如果未将热盘的平面度精度抑制在10微米以内，则产生作用于制品上的压力伴随热盘上的位置而不同的现象，降低印刷电路板的在厚度方向上的精度，并且伴随进行受压的位置，按压压力不足，产生不利情况的可能性。

另外，近年，由于可通过一次的按压，制造多个成形件，故可采用具有大型热盘的压力机。由于热盘的面积越大，越难以确保热盘的平面度精度，故不易于制品的成形。

为了避免这样的现象，在过去，象JP特开平11-197895号文献所述的压力机那样，将即使在橡胶片等的表面粗糙度较小，一面有微小变形的情况下，仍几乎不对另一面的表面精度造成影响的材料作为缓冲材料，将其夹持于工件与热盘之间。但是，由于缓冲材料的热传导率比热盘的热传导率极低，故具有热盘的热量难于传递给工件，成形时间延长的问题。另外，在将橡胶片用作缓冲材料的场合，由于将成形温度限定到150℃，故在采用大型热盘，以较高精度对成形温度较高的材料进行成形时，无法使用。

发明内容

本发明是针对上述问题而提出的，本发明的目的在于提供压力机和压力机系统，其中，即使在采用大型的热盘的情况下，能够抑制在制品的厚度方向上的精度降低，并且不延长成形时间的压力机和压力机系统。

为了解决上述问题，本发明的压力机包括一对热盘；热盘间隔保持机构，该热盘间隔保持机构使上述一对热盘中的一个与另一个以规定间距间隔开的状态固定；金属板，该金属板按照覆盖工件侧的表面的方式，固定于至少一个热盘上；传热介质，该传热介质填充于上述至少一个热盘和金属板之间所形成的间隙部中；温度控制机构，该温度控制机构控制上述一对热盘的温度；传热介质压力调整机构，该传热介质压力调整机构在通过上述热盘间隔保持机构，按照上述规定间距保持上述一对热盘的间距时，调整上述传热介质的压力，对设置于上述一对热盘之间的工件施加压紧力。

于是，按照本发明的压力机，通过传热介质压力调整机构，调整传热介质的压力，在安装于一个热盘上的金属板保持平面形状的状态，对准另一热盘，对其进行按压。在此场合，由于金属板的平面度精度仅仅依赖于其表面粗糙度，通过镜面加工等处理，将金属板的表面粗糙度抑制在较低程度，由此，可较高地保持对工件进行热压紧时的金属板的平面度精度。

另外，也可在上述至少一个热盘上安装真空密封件，该真空密封件在对该工件进行按压时，对上述一对热盘的间隙进行密封，相对外部气，对该工件的周边的空间进行密封。另外，还可包括真空泵，该真空泵在对该工件进行按压时，减小该工件周边的空间的气压。

如果象这样构成，需要在减压状态下进行按压的场合，由于减压的仅仅为一对热盘之间的空间，故可以较短时间内，将工件周围的压力减小到所需的气压。

另外，本发明的压力机系统包括以规定温度对工件进行加热的第一压力机；第二压力机，该第二压力机对通过上述第一压力机加热的工件进行热压紧；带式传送器，该带式传送器将上述工件放置于金属制的带上，将其从第一压力机，传送到第二压力机上，该系统按照通过上述第一和第二压力机，连同带一起对该工件进行按压的方式构成。

按照这样的压力机系统，由于连同金属制的带，对工件进行按压，故不需要将工件运送机构相对压力机隐退起来的机构，可更加缩短按压的时间。另外，由于将工件放置于热传导性较高的金属制的带上，故来自热盘的热量快速地通过带，转移到工件上。

按照本发明，实现即使在采用大型的热盘的情况下，仍不用延长成形时间，不产生制品的厚度方向的精度降低等不利情况的压力机和压力机系统。

附图说明

图1为本发明的实施例的间歇式压力机系统的侧视图；

图2为表示本发明的加热压力机的结构的示意图；

图3为以示意方式表示本发明的实施例的油压元件和油缸部230的图；

图4为沿水平方向将本发明的底部热盘部的底部热盘剖开的剖视图；

图5为本发明的实施例的金属缓冲件280的垂直方向剖视图；

图6为示意方式表示本发明的实施例的按压控制器的结构的方框图。

具体实施方式

下面针对作为本发明的实施例的压力机的结构进行具体描述。图1为本发明的实施例的间歇式压力机系统1的侧视图。该间歇式压力机系统1包括预热压力机100，加热压力机200，与冷却压力机300。由树脂、金属、半导体等形成的制品P(在本实施例中为IC卡)通过带传送器400而从图中左侧，向右侧传送，通过预热压力机100，加热压力机200，冷却压力机300依次施压，形成具有所需形状，物性的制品P。即，制品P的温度通过预热压力机100上升到规定温度，接着，通过加热压力机200进行加热压紧，接着通过冷却压力机300冷却到常温，按压通过使设置于固定盘的上方的活动盘与固定盘接触的方式进行。

带传送器400包括设置于三台压力机100～300的上下游的一对滚轮401L、401R，以及跨接于该滚轮上的循环的钢带403。该滚轮401L通过马达409，沿图1中的顺时针方向旋转驱动，钢带403伴随该滚轮的旋转而驱动。

象图1所示的那样，钢带403的顶端设置于各压力机100～300的活动盘部110、210、310与固定盘部120、220、320之间。另外，在带传送器400上，设置有使钢带403的顶端抬起和下降用的带上浮器405、407。该带上浮器405、407按照下述方式，改变钢带403的顶端的垂直方向的位置，该方式为：钢带403取钢带403的顶端放置于固定盘部120、220、320上的可按压状态(图1中的实线部)，钢带403的顶端相对固定盘部120、220、320稍稍上浮的可运送状态(图1中的虚线部)中的任何一种状态。

象图1所示的那样，带上浮器405设置于预热压力机100的上游侧，另外，带上浮器407设置于冷却压力机300的下游侧。带上浮器405包括可围绕轴405S摆动的杆405L，与安装于杆405L的前端的滚轮405R。该滚轮405R从下方与钢带403的顶端接触。另外，滚轮405R伴随钢带403的驱动而自由地旋转，不妨碍钢带403的驱动。

杆405L通过图中未示出的驱动机构(气油缸，螺线管等)驱动，取滚轮405R的顶端基本与固定盘部120、220、320的顶面基本相等的位置的第一状态(图1中的实线部)，与滚轮405R的顶端位于高于固定盘部120、220、320的顶面的位置的第二状态(图1中的虚线部)中的任何一种的状态。

带上浮机构407也包括具有与带上浮机构405相同的功能的杆407L，407S和滚轮407R。

即，在带上浮机构405和407取第一状态时，钢带403处于可按压状态，在带上浮机构405和407取第二状态时，钢带403处于可运送状态。

在钢带403的顶端上，放置制品P。在将制品P在各压力机100～300的活动盘部110、210、310与固定盘部120、220、320之间的任何一者运送时，按照带上浮机构405和407处于第二状态的方式，驱动带上浮机构，使钢带403处于可运送状态。在该状态，驱动马达409，在所需的压力机的活动盘部与固定盘部之间，运送制品P。在该状态，由于钢带403不与各压力机100～300接触，故防止因该接触，钢带403破损，或因作用于各压力机100～300与钢带403之间的摩擦阻力，妨碍制品P的运送的情况。

在将制品P运送到所需的位置后，按照带上浮机构405和407处于第一状态的方式驱动，使钢带403处于可进行按压的状态。如果钢带403处于可进行按压的状态，由于将该钢带403放置于固定盘部上，故可在活动盘部和固定盘部之间，对制品P进行按压。

另外，活动盘部110、210、310是连接的，它们同时地上升/下降。另外，预热压力机100和加热压力机200的间隔以及加热压力机200和冷却压力机300的间隔相等(在下面将该距离称为L)。于是，可在通过冷却压力机300，对某制品进行冷却的期间，对另一制品进行预热和/或热压紧的，所谓的串联按压。

参照图2，对加热压力机200的结构进行描述。另外，预热压力机100和加热压力机200分别具有相同的结构。

图2为表示加热压力机200的结构的外观形状图。在图2中，给出加热压力机200的A-A线的剖视图(参照图1)，与加热压力机200进行各种动作时所采用的各种装置的方框图。该加热压力机200包括按压支架203，作为活动盘部的顶部热盘部210，与作为固定盘部的底部热盘部220，与油缸部230。该按压支架203刚性地支承于压力机设置部的底部上。该底部热盘部220的固定盘221固定于按压支架203的底部203b上。另外，油缸部230固定于按压支架203的顶部203a的底面上。

该油缸部230包括油缸体231，在与油缸体231的内壁滑动的同时，可上下移动的活塞232，与从活塞232的底面中间部，垂直向下地延伸而形成的杆233。在该油缸体231的底面中间处，开设有通孔231a，该杆233伴随活塞232的上下移动，相对该通孔231a而滑动，同时上下移动。在该杆233的底端，固定有顶部热盘部210的活动盘211。

油缸体231的中空部234通过活塞232，分隔为中空部(上)234a和中空部(下)234b。在该中空部(上)234a和中空部(下)234b中，分别充满液压油。活塞232(即，顶部热盘部210的上下移动)的动作通过油压元件260控制液压油的方式而进行。

下面对油压元件260的结构进行描述。图3以示意方式表示油压元件260和油缸体部230。象图3所示的那样，油缸231的中空部(上)234a与管262连接，另外，中空部(下)234b与管263连接。管262和263的另一端均与方向切换阀SV3连接。另外，在方向切换阀SV3上，连接一端与泵266连接的管261和一端开放的管264c。方向切换阀SV3对应于来自外部的操作，对“连接管261和262，并且连接管263和264c的状态”，与“连接管261和263，并且连接管262和264c的状态”进行切换。

泵266从油箱265，将液压油上吸，将其送向管261。在方向切换阀SV3取“连接管261和262，并且连接管263和264c的状态”的场合，泵266将液压油送向油缸体231的中空部(上)234a，另一方面，中空部(下)234b的液压油通过管264a和引导止回阀RV3而排出。另外，关于中空部(下)234b的液压油的排出机构，将在后面进行描述。

另外，在该方向切换阀SV3取“连接管261和263，并且连接管262和264c的状态”的场合，泵266将液压油送向油缸体231的中空部(下)234b，另一方面，中空部(上)234a的液压油通过管264b和引导止回阀RV2而排出。另外，关于中空部(上)234a的液压油的排出机构，将在后面进行描述。

管262和管263的在方向切换阀SV3的附近，分别设置有止回阀TV1和TV2。该止回阀TV1和TV2将在管262和管263中流动的液压油的流动的方向仅仅限制在从方向切换阀SV3，朝向油缸体231的方向，防止液压油的逆流。于是，原则上，液压油不从方向切换阀SV3，流向管264c。

此外，在管262和管263上，分别按照形成支路的方式设置管264b和264a。在管264b和264a上，分别连接引导止回阀RV2和RV3。RV2和RV3分别在油缸上升和下降时动作，排出通过它的液压油，使油缸动作。即，泵266将液压油送入油缸体231的中空部(上)234a，如果管262的内压上升而在规定值以上，则引导止回阀RV3打开，排出中空部(下)234b的液压油，油缸体下降。同样，如果泵266将液压油送入油缸体231的中空部(下)234b，管263的内压上升而在规定值以上，则引导止回阀RV2打开，排出中空部(下)234b的液压油，油缸体上升。

象上述那样，如果在本实施例中，将液压油送向油缸体231中的一个中空部，则另一中空部内的液压油从该中空部排出。于是，按照本实施例，对泵266和方向切换阀SV3进行控制，由此，可自由地使活塞232和活动盘211上下移动。

下面参照图2，对顶部热盘部210和底部热盘部220的结构进行描述。该顶部热盘部210中的顶部热盘213以通过隔热材料212，从固定于活动盘211的底面悬吊的方式固定。同样，底部热盘部220中的底部热盘223通过隔热材料222，固定于固定盘221的顶面上。另外，在底部热盘部220中的底部热盘223的顶面上，固定金属缓冲件280(将在后面进行描述)。另外，在顶部热盘部210的顶部热盘213的底面上，固定有真空密封安装板214。该真空密封安装板214为热传导性较高的金属板，顶部热盘213的热量快速地在真空密封安装板214中移动。即，真空密封安装板214具有作为防止制品P和顶部热盘213之间的接触的热盘保护板的功能。

驱动油压元件260，向下方驱动顶部热盘部210，由此，可将放置于钢带403上的制品P夹持于金属缓冲件280和顶部热盘部210的真空密封安装板214之间，对其进行按压。另外，间隔杆270从底部热盘223的顶面的端部(图2中的左右两端)，垂直向上伸长。如果使顶部热盘213下降，则间隔杆270的顶端与顶部热盘213的底面接触，顶部热盘无法进一步下降。于是，间隔杆270用作将按压时的上下热盘之间的间距保持一定，并且将真空密封安装板214的底面保持水平的一种导向件。

另外，在对制品P按压的期间，顶部热盘部210的顶部热盘213和底部热盘部220的底部热盘223分别通过加热系统240，加热到制品P的成形温度。另外，关于加热系统240调整热盘的温度的方法，将在后面进行描述。通过象这样，在对制品P进行加热的同时，对其进行按压的，所谓的热压紧步骤，进行制品P的成形。另外，在制品P包括热塑性树脂的场合，在该加热压力机200的加热按压步骤之后，进行后述的冷却加压步骤，由此，进行制品P的成形。

参照图2对加热系统240的结构进行描述。该加热系统240包括泵241，该泵241使传热介质油在形成于顶部热盘213和底部热盘223的内部的加热用传热介质管路内部循环；对该传热介质油进行加热的加热组件242。另外，泵241，顶部热盘213和底部热盘223，加热组件242通过加热用传热介质管244，形成传热介质通路。

该泵241将传热介质送入加热用传热介质管路的传热介质入口。通过该传热介质，调整顶部热盘213和底部热盘223的温度。从顶部热盘213和底部热盘223送出的传热介质油通过加热用传热介质管244，流向加热组件242。

该加热组件242为可通过加热器，对通过它的传热介质油进行加热的装置。通过半导体开关元件的控制，对加热器的温度进行控制，由此，可控制传热介质油的温度。

另外，从加热组件242送出的传热介质油通过滤网，送入泵241，再次流向顶部热盘213和底部热盘223。

图4为沿水平方向将底部热盘部220的底部热盘223剖开的剖视图。

底部热盘223为基本呈正方形的钢板。在底部热盘223中，形成有沿图4中的上下方向开设的相互平行的八个通孔的第一孔2231a～h(按照从图4中的左侧的孔起的顺序，称为2231a，2231b，2231c，2231d，2231e，2231f，2231g，2231h)；在底部热盘223的图4中的底端部，按照与第一孔2231a～h的全部相垂直的方式，沿图4中的左右方向开设的第二孔2232；按照从底部热盘223的图4中的顶端部左侧起，与第一孔2231a～f相垂直的方式，沿图4中的左右方向开设的第三孔2233；按照从在底部热盘223的图4中的顶端部右侧起，与第一孔2231g和2231h相垂直的方式，沿图4中的左右方向开设的第四孔2234。在第一孔2231b～g的两端，分别嵌入有盲盖2236。在第一孔2231a和2231h，仅仅在该图4中的顶端部，嵌入盲盖2236。另外，分别在第二孔2232中的两端，第一孔2231a和2231b之间的部分，以及第一孔2231c和2231d之间的部分，第一孔2231e和2231f之间的部分，与第一孔2231g和2231h之间的部分，嵌入盲盖2236。另外，分别在第三孔2233中的左端，第一孔2231b和2231c之间的部分，与第一孔2231d和2231e之间的部分，嵌入盲盖2236。此外，在第四孔2234的右端，嵌入盲盖2236。在第一孔2231a～h，第二孔2232，第三孔2233和第四孔2234的相应孔中，象上述那样，嵌入盲盖2236，由此，第一孔2231a～h，第二孔2232，第三孔2233和第四孔2234以第一孔2231a的图4中的底端2238和第一孔2231h的图3中的底端2239为两端，用作在底部热盘223的内部曲折延伸的一根加热用传热介质管路。

在该加热用传热介质管路中，通过加热系统240(图2)加热的传热介质油循环，通过该传热介质油，对底部热盘223进行加热。另外，在该底部热盘223中，安装有图中未示出的温度传感器。该温度传感器与加热压力机200中的图中未示出的控制器连接，在该加热压力机200对制品P进行加热时，按照通过该温度传感器而测定的顶部热盘213的温度为作为加热成形温度的300度左右的方式，控制器对加热系统240进行控制，调整流过上述管路的传热介质油的温度。

另外，在本实施例中，使进行了温度控制的传热介质油在热盘内部循环，由此，调整热盘温度，但是，也可按照通过埋入热盘内的加热器，对热盘进行加热的方式构成。

图5为金属缓冲件280的垂直方向剖视图。象图5所示的那样，该金属缓冲件280包括在顶面中间部，形成凹部281H的厚板形状的板部件281，与覆盖该凹部281H的不锈钢制的金属板282。在没有间隙的情况下，全周地将板部件281和金属板282的端部焊接，由此，按照与板部件281和金属板282形成一体的方式，形成金属缓冲件280。

在板部件281的底面，形成多个垂直向上开设的螺纹孔281B(在图5中，仅仅示出一个)。在该螺纹孔281B的每个孔中，切出嵌合螺纹，使穿过垂直地开设于底部热盘223的侧面上的通孔2237的螺栓283与该螺纹螺合，由此，将金属缓冲件280紧固于底部热盘223上。

在板部281的凹部281H和金属板282之间，形成间隙部284。该间隙部284与加压用传热介质通路285连通。该加压用传热介质通路285的另一端与加压控制器250连接。另外，在间隙部284和加压用传热介质通路285中填充有传热介质油。填充于间隙部284和加压用传热介质通路285中的传热介质油一旦吸收板部281的热量，则将该热量排放给金属板282。由于介于金属板282和板部281之间的是具有流动性的传热介质油，故快速地对金属板282进行加热。加压控制器250与加热用压力机200中的图中未示出的控制器连接，该控制器可对加压控制器250进行控制，改变填充于间隙部284和加压用传热介质通路285中的传热介质油的压力。关于加压控制器250的具体结构，将在后面进行描述。

对金属板282的顶面进行镜面精加工，其表面粗糙度在数微米的范围内。于是，如果保持按压压力与填充于间隙部284和加压用传热介质通路285中的传热介质油的压力的平衡，金属板282维持平面状态，则将金属板282的底面的平面度精度保持10微米以内。

另外，对钢带403(图1)的上下面进行镜面精加工，其表面粗糙度在数微米的范围内。另外，在制品P上，放置不锈钢制的薄板B。在这里，还对该薄板B进行镜面精加工。由于底部热盘223的顶面的扭曲通过金属缓冲件280而吸收，故如果使底部热盘部220接近顶部热盘部，则钢带403在以较高精度，保持平面的状态，将制品P夹持于其与薄板B之间。另外，在顶部热盘213中，形成与底部热盘223的管路相同的加压用传热介质管路，快速地对该顶部热盘213进行加热。

在真空密封安装板214的底面的周缘部上，通过螺纹方式紧固真空密封件219。该真空密封件219围绕真空密封安装板214的全周而设置，如果使该真空密封安装板214接近金属缓冲件280，则真空密封安装板214和金属缓冲件280之间的间隙通过该真空密封件219而密封。在该真空密封安装板214的底面，形成有与真空泵290连通的开口214a(图2)。于是，如果在该真空密封安装板214和金属缓冲件280之间的间隙通过该真空密封件219密封时，驱动真空泵290，则可减小制品P的周围的压力。

冷却压力机300的结构基本与加热压力机200相同，但是，流过热盘的传热介质采用冷却水，通过使其循环，对热盘进行冷却。

下面参照图6，对加压控制器250的结构进行描述。图6为以示意方式表示加压控制器250的结构的方框图。加热控制器250包括第一油压缸251，第二油压缸252，向第二油压缸252供给液压油的泵259a，向泵259a供给液压油的油箱259b，与方向切换阀SV5。

第一油压缸251包括套筒251a，活塞251b与杆251c。活塞251b为以可滑动的方式安装于套筒251a的内面的部件。杆251c按照从活塞251b的一面，沿套筒251a的轴向(即，活塞251b的动作方向，图6中的向右方向)延伸的方式固定，其端部251d从套筒251a突出。通过活塞251b，将套筒251a的内部空间分隔为前部空间251e(图6中的左侧)和后部空间251f(图6中的右侧)。

在第一油压缸251的前部空间251e中填充传热介质油，该前部空间251e，与形成于金属缓冲件280中的加压用传热介质通路285通过管254连接。另外，第一油压缸251的后部空间251f处于大气压的状态。于是，通过力F，朝向前部空间251e，将杆251c压入，由此，前部空间251e内的传热介质油的压力P1为F/A1(A1：活塞251b的截面积)。于是，通过对力F进行控制，可对填充于金属板282和板部281之间的传热介质油的压力进行控制。

象这样，用于对金属板282进行加压的传热介质油仅仅填充于从金属板282和板部281之间，到第一油压缸251的前部空间251e中的管路中。于是，即使在金属板282破损的情况下，流出的传热介质油仍是少量的。另外，在传热介质油发生热膨胀的场合，活塞251b按照后部空间251f膨胀的体积值而移动，由此，可在不采用溢流阀的情况下，保持传热介质油的压力。

另一方面，第二油压缸252包括填充有传热介质油的套筒252a，活塞252b，杆252c，前进限制传感器252g，与后退限制传感器252h。活塞252b为以可滑动的方式安装于套筒252a的内面的部件。另外，杆252c按照从活塞252b的一面，沿套筒252a的轴向(即，活塞252b的动作方向，图6中的向左方向)延伸的方式固定，其端部252d从套筒252a突出。通过活塞252b，将套筒252a的内部空间分隔为前部空间252f(图6中的左侧)和后部空间252e(图6中的右侧)。

传热介质油填充于前部空间252f和后部空间252e这两者中。通过控制注入到该前部空间252f和后部空间252e中的传热介质油的压力，可以任意的驱动力，沿套筒252a的轴向，驱动杆252c。

第一油压缸251的杆251c的端部251d，与第二油压缸252的杆252c的端部252d通过连接部件253而连接。于是，通过控制驱动杆252c的驱动力，可控制前部空间251e内的传热介质油的压力P1。在本实施例中，在对前部空间252f和后部空间252e中的任何一者进行加压时，另一者的压力为大气压，关于这一点的具体说明将在后面描述。于是，在沿从后部空间252e，朝向前部空间252f的方向(图中的向左方向)驱动杆251c的场合，其驱动力为填充于后部空间252e中的传热介质油的压力P2与活塞252b的截面积A2的乘积的值。即，前部空间251e内的传热介质油的压力P1为P2×A2/A1。于是，通过改变第二油压缸252的活塞252b的截面积A2，可改变传热介质油的压力P1，即，对金属板282加压的压力的范围。

前进限制传感器252g和后退限制传感器252h为检测活塞252b是否位于相应的安装位置的传感器。在本实施例中，按照位于前进限制传感器252g与后退限制传感器252h之间的方式对活塞252b进行控制。采用前进限制传感器252g和后退限制传感器252h的位置控制方法将在后面进行描述。

下面对驱动杆252c的驱动力的控制方法进行描述。

方向切换阀SV5为具有第一端口P1，第二端口P2，第三端口P3和第三端口P4的4端口切换阀。该方向切换阀SV5对“P1和P3导通，并且P2和P4导通”与“P1和P4导通，并且P2和P3导通”的两个状态进行切换。第一端口P1和泵259a的出口通过管257而连接。与第二端口P2连接的管258的一端处于开放状态。另外，第二油压缸252的套筒252a的前部空间252f和后部空间252e分别通过管255和256，与方向切换阀SV5的第三端口P3和第三端口P4连接。

于是，在方向切换阀SV5的设定处于“P1和P3导通，并且P2和P4导通”的状态时，从泵259a送出的传热介质油通过管255，流向第二油压缸252的套筒252a的前部空间252f。另一方面，第二油压缸252的套筒252a的后部空间252e与管258连接。其结果是，第二油压缸252的活塞252b朝向后部空间252e(图6中的向右方向)移动，后部空间252e内的传热介质油的一部分通过管258而排出。

另外，在方向切换阀SV5的设定处于“P1和P4导通，并且P2和P3导通”的状态时，从泵259a送出的传热介质油通过管256，流向第二油压缸252的套筒252a的后部空间252e。另一方面，前部空间252f与管258连接。其结果是，活塞252b朝向前部空间252f(图6中的向左方向)移动，前部空间252f内的传热介质油的一部分通过管258而排出。

上述方向切换阀SV5的切换动作通过加压控制器250(图中未示出)而控制。

在管256上，设置有电磁溢流阀RV4。该电磁溢流阀RV4通过加压控制器250而控制，按照将管256内的传热介质油的压力控制在规定的压力的方式，进行适合阀的开闭动作。由于填充于金属板282和板部281之间的传热介质油的压力与管256内的传热介质油的压力相同，故通过控制电磁溢流阀RV4的开闭，可将填充于金属板282和板部281之间的传热介质油的压力控制在所需的范围内。另外，电磁溢流阀RV4的开闭采用设置于管254的压力传感器PG1，或设置于管256的压力传感器PG2的检测结果，进行反馈控制。

象上述那样，在本实施例中，采用下述的方案，其中，两个油压缸串联，驱动其中一个油压缸的杆，由此，调整填充于另一油压缸内的传热介质油的压力。即，不直接通过泵，对传热介质油进行加压。于是，即使在因温度条件等的原因，无法通过泵直接对传热介质油进行加压这样的情况下，按照本实施例的方案，仍可按照所需的压力，对传热介质油进行加压。

另外，采用前进限制传感器252g和后退限制传感器252h的检测结果，按照下述方式进行控制，该方式为：通过进行泵的控制，第二油压缸252的活塞252b在平时位于前进限制传感器252g和后退限制传感器252h之间。即，在前进限制传感器252g或后退限制传感器252h检测到活塞252b的场合，停止泵。

在管255和256上，分别设置有溢流阀RV5和RV6。在管255和256的内压达到规定值时，该溢流阀RV5和RV6打开，将传热介质油排到管的外部，将管255和256的内压抑制在规定值以下。

在管255和256的端口P3和P4附近，分别设置有节流阀TV3和TV4。该节流阀TV3和TV4对流过管255和256的传热介质油的流量进行控制，对油缸体512和522的动作速度进行控制。

下面对象上述那样构成的压力机的，制品P的按压成形的步骤进行描述。另外，在开始按压之前，活动盘部110、210、310与固定盘部120、220、320充分地间隔开，如果处于可运送状态，则在放置有制品P的钢带403可通过其间。

在进行按压时，首先，进行各压力机的热盘的温度控制。即，在预热压力机100和加热压力机200中，对热盘进行加热，其温度为制品P的成形温度，另一方面，对冷却压力机300的热盘进行冷却，将其温度保持在常温程度。另外，在本实施例中，制品P的成形温度为300度。

接着，将制品P放置于钢带403的顶端的顶面上。在这里，将制品P放置于预热按压的上游侧的部分。

然后，驱动带上浮机构405和407，使钢带403处于可按压状态。接着，驱动马达409，使制品P朝向预热压力机100的活动盘部110和固定盘部120之间移动。接着，停止马达409的驱动，将制品P设置于活动盘部110和固定盘部120之间。

之后，驱动带上浮机构405和407，使钢带403处于可按压状态。接着，使活动盘部110、210、310向下方移动，使活动盘部接近固定盘部，直至顶部热盘接触到间隔杆270。此时，各活动盘部的真空密封件安装板的底面与钢带403的顶端的顶面之间的间距在0.5～1mm的范围内。在该状态，安装于相应的活动盘部上的真空密封件充分地作用，可对制品P的周围进行密封。另外，此时的各压力机的油缸部(在加热压力机200中，为油缸部230)的输出，即，油缸部的油缸体(在加热压力机200中，为油缸体232)的水平方向截面积与油缸部的顶侧中空部(加热压力机200的中空部(上)234a(图2))的内压的乘积的值充分高于在后述的设定按压压力与制品P的水平方向截面积的乘积的值。

之后，驱动真空泵，将制品P的周围的压力减小到设定真空压力。

然后，驱动加压控制器，将加压用传热介质油加压到设定按压压力。象前述那样，各压力机的油缸部的输出充分地高于后述的设定按压压力与制品P的水平方向截面积的乘积的值，由此，没有因来自加压用传热介质油的压力，将真空密封安装板上抬的情况。于是，通过该设定按压压力，对制品P进行预热按压。在经过规定加压保持时间后，驱动泵，减小加压用传热介质油的压力。接着，打开与真空泵连接的通路内的图中未示出的分流阀，将制品P的周围的气压返回到上压。接着，使活动盘部110向上方移动。通过以上的步骤，预热按压完成。

在活动盘部110、210、310充分地(在钢带403处于可运送状态时，制品P和活动盘部不接触的程度)上升后，驱动带上浮机构405和407，钢带403处于可运送状态。接着，驱动马达409，朝向加热压力机200的活动盘部210和固定盘部220之间，按照距离移动制品P。其结果是，制品P在活动盘部210和固定盘部220之间移动。接着，停止马达409的驱动，将制品P设置于活动盘部210和固定盘部220之间。在具有下一应按压的制品P′的场合，也可在带上浮机构的驱动之前，在钢带403的顶端侧的顶面，放置制品P′。在此场合，制品P′按照距预热压力机100，规定距离L，放置于上游侧的位置，制品P设置于活动盘部210和固定盘部220之间，此时，制品P′设置于预热压力机100的活动盘部110和固定盘部120之间。

然后，通过与上述预热按压相同的步骤，进行制品P的加热按压。另外，在具有下一应按压的制品P′的场合，同时，进行制品P′的预热按压。

在活动盘部110、210、310充分地(在钢带403处于可运送状态时，制品P，P′与活动盘部不接触的程度)上升后，驱动带上浮机构405和407，钢带403处于可运送状态。接着，驱动马达409，朝向冷却压力机300的活动盘部310和固定盘部320之间，按照距离L移动制品P。其结果是，制品P在活动盘部3 10和固定盘部320之间。另外，在对另一制品P′进行预热按压的场合，该制品P′在加热压力机200的活动盘部210和固定盘部220之间移动。接着，停止马达409的驱动，在活动盘部310和固定盘部320之间设置制品P。另外，在具有下一应按压的制品P″的场合，也可在带上浮机构的驱动之前，在钢带403的顶端侧的顶面，放置制品P″。在此场合，制品P″按照距预热压力机100，规定距离L，放置于上游侧的位置，制品P设置于活动盘部210和固定盘部220之间，此时，制品P″设置于预热压力机100的活动盘部110和固定盘部120之间。

然后，通过与上述预热按压相同的步骤，进行制品P的冷却按压。另外，在具有下一应按压的制品P′、P″的场合，同时进行制品P′的加热按压，制品P″的预热按压。

接着，在活动盘部110、210、310充分地(在钢带403处于可运送状态时，制品P，P′、P″与活动盘部不接触的程度)上升后，驱动带上浮机构405和407，钢带403处于可运送状态。接着，驱动马达409，按照以距离L，向下游移动制品P的方式，驱动钢带403。这样，按压结束的制品P向冷却压力机300的下游侧，其通过图中未示出的拾取器而取出。

Claims (11)

1.一种压力机，其特征在于：该压力机包括，

一对热盘；

热盘间隔保持机构，该热盘间隔保持机构使上述一对热盘中的一个在与另一个以规定间距间隔开的状态固定；

金属板，该金属板按照覆盖工件侧的表面的方式，固定于至少一个热盘上；

传热介质，该传热介质填充于上述至少一个热盘和金属板之间所形成的间隙部中；

温度控制机构，该温度控制机构控制上述一对热盘的温度；

传热介质压力调整机构，该传热介质压力调整机构在通过上述热盘间隔保持机构，按照上述规定间距保持上述一对热盘的间距时，调整上述传热介质的压力，对设置于上述一对热盘之间的工件施加压紧力。

2.根据权利要求1所述的压力机，其特征在于：上述热盘间隔保持机构为固定上述一个热盘上的规定高度的杆，该杆朝向上述另一热盘延伸。

3.根据权利要求1所述的压力机，其特征在于：在上述至少一个热盘上安装有真空密封件，该真空密封件在对该工件进行按压时，相对外部气体，密封上述一对热盘的间隙，对该工件的周边的空间进行密封。

4.根据权利要求3所述的压力机，其特征在于：上述压力机包括真空泵，该真空泵在对该工件进行按压时，减小该工件周边的空间的气压。

5.根据权利要求1所述的压力机，其特征在于：该工件放置于金属制的带上，运送到上述一对热盘之间，上述压力机连同带一起对该工件进行按压的方式构成。

6.一种压力机系统，其特征在于：该系统包括，

如权利要求1所述的第一压力机，该第一压力机将工件加热至规定温度；

如权利要求1所述的第二压力机，该第二压力机对通过上述第一压力机加热的工件进行热压紧；

带式传送器，该带式传送器将上述工件放置于金属制的带上，将工件从第一压力机传送到第二压力机；

该系统按照通过上述第一和第二压力机，连同带一起对该工件进行按压的方式构成。

7.根据权利要求6所述的压力机系统，其特征在于：该压力机系统包括第三压力机，该第三压力机具有一对热盘，该对热盘以夹持方式对该工件进行按压；金属制的缓冲件，该金属制的缓冲件按照覆盖该工件侧的底面的方式，固定于上述热盘的至少一个的工件侧的面上，对通过上述第二压力机进行热压紧的工件进行冷却；

上述带式传送器按照下述方式构成，该方式为：该工件放置于上述带上，将工件从上述第二压力机运送到第三压力机上，通过第三压力机，连同带一起对该工件进行加压。

8.根据权利要求7所述的压力机系统，其特征在于：上述第一压力机和第二压力机之间的间距，与第二压力机和第三压力机之间的间距相等。

9.根据权利要求6所述的压力机系统，其特征在于：上述带按照覆盖该工件的底面整体的方式构成。

10.根据权利要求9所述的压力机系统，其特征在于：上述带中的与工件接触面受到镜面加工处理。

11.根据权利要求6所述的压力机系统，其特征在于：具有带上浮机构，该带上浮机构按照在运送该工件时，上述工件和上述带不与上述压力机接触的方式，使上述带在上述一对热盘之间的空间中上浮。

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