CN100416808C - 不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构 - Google Patents

不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构 Download PDF

Info

Publication number
CN100416808C
CN100416808C CNB2005101034148A CN200510103414A CN100416808C CN 100416808 C CN100416808 C CN 100416808C CN B2005101034148 A CNB2005101034148 A CN B2005101034148A CN 200510103414 A CN200510103414 A CN 200510103414A CN 100416808 C CN100416808 C CN 100416808C
Authority
CN
China
Prior art keywords
chip
patterned line
line layer
packing
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2005101034148A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1933132A (zh
Inventor
潘玉堂
吴政庭
周世文
刘惠平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BERMUDA CHIPMOS TECHNOLOGIES Co Ltd
Chipmos Technologies Inc
Original Assignee
BERMUDA CHIPMOS TECHNOLOGIES Co Ltd
Chipmos Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BERMUDA CHIPMOS TECHNOLOGIES Co Ltd, Chipmos Technologies Inc filed Critical BERMUDA CHIPMOS TECHNOLOGIES Co Ltd
Priority to CNB2005101034148A priority Critical patent/CN100416808C/zh
Publication of CN1933132A publication Critical patent/CN1933132A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100416808C publication Critical patent/CN100416808C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/4824Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73215Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1532Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
    • H01L2924/15321Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape
    • H01L2924/1816Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body
    • H01L2924/18161Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body of a flip chip
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/1815Shape
    • H01L2924/1816Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body
    • H01L2924/18165Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body of a wire bonded chip
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3025Electromagnetic shielding

Landscapes

  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本发明是有关于一种不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构。该不具核心介电层的芯片封装体包括图案化线路层、芯片、焊罩层、封装胶体以及多个外部连接端子。图案化线路层具有相对的一第一表面与一第二表面。芯片配置于第一表面上,其中芯片是电性连接于图案化线路层。焊罩层配置于该第二表面上,其中焊罩层具有多个第一开口,以暴露出图案化线路层的部分区域。封装胶体包覆图案化线路层,并将芯片固定于图案化线路层上,其中封装胶体具有多个贯孔。这些外部连接端子分别配置于这些贯孔内,其中这些导电柱是电性连接于图案化线路层。

Description

不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构
技术领域
本发明涉及一种芯片封装体堆叠型芯片封装结构,特别是涉及一种厚度较薄且不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构。
背景技术
在现今的信息社会中,使用者均是追求高速度、高品质、多工能性的电子产品。就产品外观而言,电子产品的设计也朝向轻、薄、短、小的趋势迈进。为了达到上述目的,许多公司在进行电路设计时,均融入系统化的概念,使得单颗芯片可以具备有多种功能,以节省配置在电子产品中的芯片数目。另外,就电子封装技术而言,为了配合轻、薄、短、小的设计趋势,亦发展出多芯片模组(multi-chip module,MCM)的封装设计概念、芯片尺寸构装(chip scale package,CSP)的封装设计概念及堆叠型多芯片封装设计的概念等。以下就分别针对几种现有习知堆叠型芯片封装结构进行说明。
图1绘示现有习知堆叠型芯片封装结构的剖面示意图。请参阅图1所示,现有习知的堆叠型芯片封装结构50包括一封装基板(packagesubstrate)100与多个芯片封装体200a、200b,其中这些芯片封装体200a、200b堆叠于电路基板100上,并与电路基板100电性连接。每一芯片封装体200a、200b包括封装基板210、芯片220、多个凸块(bump)230、底胶(under fill)240与多个焊球250。芯片220与这些凸块230配置于封装基板210上,而这些凸块230配置于芯片220与封装基板210之间,且芯片220经由这些凸块电性连接至封装基板210。底胶240配置于芯片220与封装基板210之间,以包覆这些凸块230。
封装基板210具有多个导电柱212与多个焊垫214,其中这些导电柱212分别贯穿封装基板210,且这些焊垫214分别配置于这些导电柱212上。此外,这些焊球250配置于这些焊垫214上。如此一来,芯片封装体200a与200b便能够经由焊球250彼此电性连接,而芯片封装体200b经由焊球250电性连接至电路基板100。
一般而言,封装基板210的制作方式通常是以核心介电层(core)作为蕊材,并利用全加成法(fully additive process)、半加成法(semi-additive process)、减成法(subtractive process)或其他方式,将图案化线路层与图案化介电层交错堆叠于核心介电层上。如此一来核心介电层在封装基板210的整体厚度上便会占着相当大的比例。因此若无法有效地缩减核心介电层的厚度,势必会使芯片封装体200a与200b于厚度缩减上产生极大的障碍。
当然,一旦芯片封装体200a与200b在厚度的缩减方面遇到了瓶颈,堆叠型芯片封装结构50的整体厚度便难以有显著的减少,进而使得堆叠型芯片封装结构50的封装积集度亦无法有效的提高。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种新型的芯片封装体与堆叠型芯片封装结构,所要解决的技术问题是使其具有较薄的厚度,从而更加适于实用。
本发明的另一目的在于,提供一种新型的堆叠型芯片封装结构,所要解决的技术问题是使其具有较高的封装积集度,从而更加适于实用。
本发明提出一种芯片封装体,其包括图案化线路层、芯片、焊罩层、封装胶体以及多个外部连接端子。图案化线路层具有相对的一第一表面与一第二表面。芯片配置于第一表面上,其中芯片是电性连接于图案化线路层。焊罩层配置于第二表面上,其中焊罩层具有多个第一开口,以暴露出图案化线路层的部分区域。封装胶体包覆图案化线路层,并将芯片固定于图案化线路层上,其中封装胶体具有多个贯孔。这些外部连接端子,分别配置于这些贯孔内,其中这些外部连接端子是电性连接于图案化线路层。
依照本发明的较佳实施例所述的一芯片封装体与堆叠式芯片封装结构,其中每一外部连接端子例如包括导电柱与焊球。导电柱配置于相对应的贯孔内,其中导电柱电性连接于图案化线路层。焊球配置于导电柱上,其中焊球电性连接于导电柱。依照本发明的较佳实施例所述的一芯片封装体与堆叠式芯片封装结构,例如更包括多个凸块,配置于芯片与图案化线路层之间,其中芯片是经由这些凸块而电性连接于图案化线路层。
依照本发明的较佳实施例所述的一芯片封装体与堆叠式芯片封装结构,芯片封装体例如更包括黏着胶体以及多条导线,其中黏着胶体配置于图案化线路层与芯片之间,而这些导线电性连接于芯片与图案化线路层之间。焊罩层例如具有第二开口,以暴露出图案化线路层的部分区域以及芯片的部份区域。
由于此芯片封装体不具有核心介电层,因此相较于现有习知技术而言,本发明所制作的芯片封装体具有较薄的厚度。此外,由这些芯片封装体堆叠而成的堆叠型芯片封装结构,亦因为每一个芯片封装体均具有较薄的厚度,因此能够具有较高的封装积集度。
本发明提出一种堆叠型芯片封装结构,包括多个相互堆叠的芯片封装体。每一芯片封装体包括图案化线路层、芯片、焊罩层、封装胶体以及多个外部连接端子。图案化线路层具有相对的一第一表面与一第二表面。芯片配置于第一表面上,其中芯片是电性连接于图案化线路层。焊罩层配置于第二表面上,其中焊罩层具有多个第一开口,以暴露出图案化线路层的部分区域。封装胶体包覆图案化线路层,并将芯片固定于图案化线路层上,其中封装胶体具有多个贯孔,且所述贯孔是分别对应于该第一开口的位置;这些外部连接端子,分别配置于这些贯孔内,其中这些外部连接端子是电性连接于图案化线路层。在这些芯片封装体中,较上层的芯片封装体的这些外部连接端子是对应于较下层的芯片封装体的这些第一开口,且较上层的芯片封装体的这些外部连接端子是与较下层的芯片封装体的图案化线路层电性连接。
所述的堆叠型芯片封装结构,其更包括一共同承载器,所述芯片封装体堆叠于该共同承载器上,且与该共同承载器电性连接。
经由上述可知,本发明是有关于一种不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构。该不具核心介电层的芯片封装体包括图案化线路层、芯片、焊罩层、封装胶体以及多个外部连接端子。图案化线路层具有相对的一第一表面与一第二表面。芯片配置于第一表面上,其中芯片是电性连接于图案化线路层。焊罩层配置于该第二表面上,其中焊罩层具有多个第一开口,以暴露出图案化线路层的部分区域。封装胶体包覆图案化线路层,并将芯片固定于图案化线路层上,其中封装胶体具有多个贯孔。这些外部连接端子分别配置于这些贯孔内,其中这些导电柱是电性连接于图案化线路层。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
图1绘示现有习知堆叠型芯片封装结构的剖面示意图。
图2A~图2F为本发明第一实施例的芯片封装体制程的流程示意图。
图3A~图3F为本发明第二实施例的芯片封装体制程的流程示意图。
图4A~图4E为本发明第三实施例的芯片封装体制程的流程示意图。
图5为本发明第三实施例的堆叠型芯片封装结构。
图6A~图6D为本发明第四实施例的芯片封装体制程的流程示意图。
50、500:堆叠型芯片封装结构  100:封装基板
200a、200b、300、300’、400:芯片封装体
210:封装基板                212、392:导电柱
214:焊垫          220:芯片
230、372:凸块     240、374:底胶
250、394:焊球     310:导电层
312:第二表面      314:第一表面
320:焊罩层        322:第二开口
324:第一开口      332、334:开口
330、600:膜片     340:框架
350:图案化线路层  360:芯片
365:黏着胶体      370:导线
380:封装胶体      382:贯孔
390:外部连接端子  510:共同承载器
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
[第一实施例]
图2A~图2F绘示为本发明第一实施例的芯片封装体制程的流程示意图。请参阅图2A所示,首先提供导电层310,其中导电层310具有相对的第一表面314与第二表面312,且导电层310的材质为铜。接着于第二表面312上形成焊罩层320,并且例如利用微影与蚀刻的方式对焊罩层320进行图案化,以形成第二开口322与多个第一开口324,其中第二开口322与第一开口324是曝露出导电层310的部份区域。在一较佳的实施方式中,本实施例更可以对导电层310进行棕氧化(brown oxidation)或是黑氧化(black oxidation)处理,以提高导电层310的表面粗糙度,并使得导电层310与焊罩层320之间的接合更良好。
请参阅图2B所示,接着于焊罩层320上形成膜片330,以作为导电层310与焊罩层320在后续制程中的载体,其中膜片330例如可以经由黏着胶体而贴附于焊罩层320上,或是以其他的方式直接形成于焊罩层320上。因此,导电层310与焊罩层320能够在后续制程中获得足够的支撑,使得后续的制程能够顺利进行。在一较佳的实施方式中,本实施例更可以将膜片330固定于框架340上,以使得导电层310与焊罩层320所受到的支撑更为良好。之后,例如利用微影与蚀刻制程,将导电层310图案化,以形成图案化线路层350。
请参阅图2C所示,然后例如利用微影与蚀刻制程,在膜片330形成开口332以及多个开口334。之后,将芯片360配置于第一表面314上,其方式例如是将黏着胶体365配置于芯片360与图案化线路层350之间,以固定两者之间的相对位置。接着例如利用打线结合(wire bonding)技术,以使芯片330经由多条导线370电性连接于图案化线路层350。其中,导线370的材质例如为金,第一开口324与开口334是暴露出图案化线路层350的部份区域,而第二开口322与开口332是同时暴露出图案化线路层350的部份区域以及芯片330的部份区域。
当然,在本实施例中形成开口332以及开口334的时机,除了可以在对导线层310进行图案化之后,也可以在对导线层310进行图案化之前。然后再对导线层310进行图案化,以形成图案化导线层350。
请参阅图2D所示,经由适当的模具,于图案化线路层350上形成封装胶体380,以包覆图案化线路层350以及芯片360,并且将芯片360固定于图案化线路层350上。此外,本实施例更可以经由适当的模具将封装胶体380填入第二开口322内,以包覆导线370。另外,本实施例更可以在每一第一开口324上形成外部连接端子390,并使外部连接端子390经由第一开口324电性连接于图案化线路层350。举例而言,当外部连接端子390为焊球时,其可以经由回焊(reflow)而电性连接于图案化线路层350。
请参阅图2E所示,然后将膜片330移除,以得到芯片封装体300,其中移除膜片330的方式例如是对膜片330进行蚀刻或灰化或者是直接将膜片330撕除亦或是以其他的方式将膜片330移除。虽然本实施例中封装胶体380是暴露出芯片360的部份区域,但显而易见地,本实施例亦可以经由适当的模具,使得封装胶体380如图2F所示包覆芯片360。
因此,本实施例所制作的芯片封装体300,主要包括图案化线路层350、芯片360、焊罩层320以及封装胶体380。其中图案化线路层350具有相对的第二表面312与第一表面314。而芯片360是配置于第一表面314上,并且芯片360电性连接于图案化线路层350。焊罩层320则配置于第二表面312上,并且焊罩层320具有多个第一开口324,以暴露出图案化线路层350的部份区域。封装胶体380则包覆于图案化线路层350,并且将芯片360固定于图案化线路层350上。
由于本实施例的芯片封装体300不具有核心介电层,因此相较于现有习知技术而言,芯片封装体300具有较薄的厚度。
[第二实施例]
在芯片封装体制程中,芯片360除了可以如第一实施例所揭露,即经由打线结合技术而电性连接于图案化线路层350,更可以以覆晶(flip chip)技术、薄膜芯片封装(chip on flex,COF)技术或其他技术来完成芯片360与图案化线路层350之间的电性连接。以下将针采用对覆晶技术的芯片封装体制程来举例说明。
图3A~图3E绘示为本发明第二实施例的芯片封装体制程的流程示意图。请参阅图3A所示,首先提供导电层310,其中导电层310具有相对的第二表面312与第一表面314。接着于第二表面312上形成焊罩层320,并且例如利用微影与蚀刻制程来图案化焊罩层320,以形成多个第一开口324,其中第一开口324是曝露出导电层310的部份区域。同样地,本实施例亦可以对导电层310进行棕氧化或是黑氧化处理,以提高导电层310的表面粗糙度,并使得导电层310与焊罩层320之间具有更良好的接合。
请参阅图3B所示,接着于焊罩层320上形成膜片330,以作为导电层310与焊罩层320在后续制程中的载体。其中膜片330例如可以经由黏着胶体而贴附于焊罩层320上,或是以其他的方式直接形成于焊罩层320上。同样地,本实施例更可以将膜片330固定于框架340上,以使得导电层310与焊罩层320获得更良好的支撑。之后,例如利用微影与蚀刻制程,将导电层310图案化,以形成图案化线路层350。
请参阅图3C所示,然后例如利用微影/蚀刻制程,在膜片330形成多个开口334。之后,利用覆晶技术,将芯片360配置于第一表面314上,其方式例如是将多个凸块372配置于芯片360与图案化线路层350之间,并且对凸块372进行回焊,以使芯片330经由多个凸块372而电性连接于图案化线路层350。其中,凸块的材质例如为焊锡、金或其他导电材质,而第一开口324与开口334是暴露出图案化线路层350的部份区域。另外,本实施例更可以在芯片360与图案化导线层350之间形成底胶374,以包覆这些凸块372。
请参阅图3D所示,经由适当的模具,于图案化线路层350上形成封装胶体380,以包覆图案化线路层350以及芯片360,并且将芯片360固定于图案化线路层350上。值得一提的是,在图3C所述的步骤中,若没有在芯片360与图案化导线层350之间形成底胶374时,此时封装胶体380更可以取代底胶374来包覆这些凸块372。此外,本实施例更可以在每一第一开口324上形成外部连接端子390,并使外部连接端子390经由第一开口324电性连接于图案化线路层350。举例而言,当外部连接端子390为焊球时,其可以经由回焊而电性连接于图案化线路层350。
请参阅图3E所示,然后将膜片330移除,以得到芯片封装体300’,其中膜片330的移除方式请参阅图2E的说明,在此便不再赘述。虽然本实施例中封装胶体380是暴露出芯片360的部份区域,但显而易见地,本实施例亦可以经由适当的模具,使得封装胶体380如图3F所示包覆芯片360。
[第三实施例]
除了芯片封装体300与300’,本发明所揭露的芯片封装体制程更可以制作出另一种适于制作堆叠式芯片封装结构的芯片封装体,其制作方式将于下述作详细的说明。
图4A~图4E绘示为本发明第三实施例的芯片封装体制程的流程示意图。请参阅图4A所示,首先提供导电层310,其中导电层310具有相对的第二表面312与第一表面314。接着于第二表面312上形成焊罩层320,并且例如利用微影与蚀刻制程来图案化焊罩层320,以形成第二开口322与多个第一开口324,其中第二开口322与第一开口324是曝露出导电层310的部份区域。在一较佳的实施方式中,本实施例更可以对导电层310进行棕氧化或是黑氧化处理,以提高导电层310的表面粗糙度,并使得导电层310与焊罩层320之间具有更良好的接合。
请参阅图4B所示,接着于焊罩层320上形成膜片330,以作为导电层310与焊罩层320在后续制程中的载体。其中膜片330例如可以经由黏着胶体而贴附于焊罩层320上,或是以其他的方式直接形成于焊罩层320上。如此一来,导电层310与焊罩层320便能够在后续制程中获得足够的支撑,使得后续制程能够顺利进行。在一较佳的实施方式中,本实施例更可以将膜片330固定于框架340上,以使得导电层310与焊罩层320获得更良好的支撑。之后,例如利用微影与蚀刻的方式,图案化导电层310,以形成图案化线路层350。
请参阅图4C所示,之后将芯片360配置于第一表面314上,其方式例如是将黏着胶体365配置于芯片360与图案化线路层350之间。接着并且例如利用打线结合技术,使芯片330经由多条导线370而电性连接于图案化线路层350。其中,第二开口322与开口332是暴露出同时暴露出图案化线路层350的部份区域以及芯片330的部份区域。
当然,在本实施例中形成开口332的时机,除了可以在对导线层310进行图案化之后,也可以在对导线层310进行图案化之前。之后再对导线层310进行图案化,以形成图案化导线层350。
请参阅图4D所示,经由适当的模具,于图案化线路层350上形成封装胶体380,以包覆图案化线路层350以及芯片360,并且将芯片360固定于图案化线路层350上。此外,本实施例更可以经由适当的模具将封装胶体380填入第二开口322内,以包覆导线370。另外,本实施例更在封装胶体380上形成多个贯孔382,以暴露出图案化线路层350的部份区域。其中,贯孔382的形成方法例如包括在模造(molding)封装胶体380时,即形成这些贯孔382,或者是在形成封装胶体380后,再利用机械钻孔(mechanicaldrill)或是激光烧蚀(laser ablation)的方式,在封装胶体380上形成这些贯孔382,亦或是其他种形成贯孔382的方法。
接着,在每一贯孔382上形成外部连接端子390,并使外部连接端子390经由贯孔382电性连接于图案化线路层350。在一较佳实施方式中,外部连接端子390是包括导电柱392与焊球394。导电柱392位于贯孔382内,并且与图案化线路层350电性连接,其中将导电柱392配置于贯孔382的方式例如包括以电镀的方式将导电柱392形成于贯孔382内或是直接将导电材料填入贯孔382内以形成导电住392,亦或是直接将导电柱392配置于模具上预定要形成贯孔382的位置,并且进行封装胶体382的模造制程,如此一来,在形成贯孔382的同时,亦完成了导电柱392的配置。而焊球394则位于导电柱392上,并且与导电柱392电性连接。
请参阅图4E所示,将膜片330移除,以得到芯片封装体400,其中膜片330的移除方式请参阅图2E的说明,在此便不再赘述。当然,由第一实施例与第二实施例可知,本实施例中的芯片360与图案化线路层320之间的电性连接,亦可以采用覆晶技术、薄膜芯片封装技术或其他技术来完成,于此便不再多作赘述。
承上所述,本实施例所制作的芯片封装体400主要包括图案化线路层350、芯片360、焊罩层320、封装胶体380与多个外部连接端子390。其中图案化线路层350具有相对的第二表面312与第一表面314。而芯片360是配置于第一表面314上,并且芯片360电性连接于图案化线路层350。焊罩层320则配置于第二表面312上,并且焊罩层320具有多个第一开口324,以暴露出图案化线路层350的部份区域。封装胶体380则包覆于图案化线路层350,并且将芯片360固定于图案化线路层350上,其中封装胶体380具有多个贯孔382。外部连接端子390则分别配置于贯孔382内,并且电性连接于图案化线路层350。
基于上述的芯片封装体400,本实施例更提出一种堆叠型芯片封装结构。请参阅图5所示,其绘示为本发明第三实施例的堆叠型芯片封装结构。堆叠型芯片封装结构500主要包括多个相互堆叠的芯片封装体400,其中较上层的芯片封装体400的外部连接端子390需对应于较下层的芯片封装体400的第一开口324,而且较上层的芯片封装体400的外部连接端子390是与较下层的芯片封装体400的图案化线路层350电性连接。此外,堆叠型芯片封装结构500更包括共同承载器510,以使这些芯片封装体400能堆叠于其上,并且这些芯片封装体400能经由最下层的芯片封装体400的外部连接端子390而电性连接于共同承载器510。
由于芯片封装体400相较于现有习知技术而言具有较薄的厚度,因此由多个芯片封装体400堆叠而成的堆叠型芯片封装结构500,不但在厚度的表现上具有更明显的缩减效果,并且能够具有较高的封装积集度。
[第四实施例]
图6A~图6D与图2B~2E依序绘示为本发明第四实施例的芯片封装体制程的流程示意图。本实施例揭露本发明的另一种芯片封装体制程,请参阅图6A所示,首先提供导电层310,其中导电层310具有相对的第二表面312与第一表面314。之后,于第一表面314上形成膜片600。
请参阅图6B所示,例如利用微影/蚀刻制程,将导电层310图案化以形成图案化线路层350。接着,在第二表面312上形成焊罩层320,并且例如利用微影/蚀刻制程对焊罩层320进行图案化,以形成第二开口322与多个第一开口324,其中第二开口322与第一开口324是曝露出导电层310的部份区域。
接着请参阅图6C与图6D所示,先在在焊罩层320上形成膜片330,以形成图6C所示的结构。之后如图6D所示,将膜片600移除,以得到如图2B所示的结构。接下来的步骤如第一实施例中图2B~图2E所述,因此本实施例在此便不再多作赘述,其中移除膜片600的方式包括蚀刻、撕除、灰化或是其他的方式。
综上所述,由于芯片封装体不具有核心介电层,因此相较于现有习知技术而言,本发明所制作的芯片封装体具有较薄的厚度。是以由这些厚度较薄的芯片封装体所堆叠而成的堆叠型芯片封装结构,亦能够具有较薄的厚度以及较高的封装积集度。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例,但是凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (6)

1. 一种芯片封装体,其特征在于其包括:
一图案化线路层,具有相对的一第一表面与一第二表面;
一芯片,配置于该第一表面上,其中该芯片是电性连接于该图案化线路层;
一焊罩层,配置于该第二表面上,其中该焊罩层具有多个第一开口,以暴露出该图案化线路层的部分区域;
一封装胶体,包覆该图案化线路层,并将该芯片固定于该图案化线路层上,其中该封装胶体具有多个贯孔;以及
多个外部连接端子,分别配置于所述贯孔内,其中所述外部连接端子是电性连接于该图案化线路层。
2. 根据权利要求1所述的芯片封装体,其特征在于其中每一所述外部连接端子包括:
一导电柱,配置于相对应的该贯孔内,其中该导电柱电性连接于该图案化线路层;以及
一焊球,配置于该导电柱上,其中该焊球电性连接于该导电柱。
3. 根据权利要求1所述的芯片封装体,其特征在于更包括多个凸块,配置于该芯片与该图案化线路层之间,其中该芯片是经由所述凸块而电性连接于该图案化线路层。
4. 根据权利要求1所述的芯片封装体,其特征在于更包括一黏着胶体以及多条导线,该黏着胶体是配置于该图案化线路层与该芯片之间,所述导线是电性连接于该芯片与该图案化线路层之间,其中该焊罩层具有一第二开口,以暴露出该图案化线路层的部分区域以及该芯片的部份区域。
5. 一种堆叠型芯片封装结构,其特征在于其包括:
多个相互堆叠的芯片封装体,其中每一芯片封装体包括:
一图案化线路层,具有相对的一第一表面与一第二表面;
一芯片,配置于该第一表面上,其中该芯片是电性连接于该图案化线路层;
一焊罩层,配置于该第二表面上,其中该焊罩层具有多个第一开口,以暴露出该图案化线路层的部分区域;
一封装胶体,包覆该图案化线路层,并将该芯片固定于该图案化线路层上,其中该封装胶体具有多个贯孔,且所述贯孔是分别对应于该第一开口的位置;以及
多个外部连接端子,分别配置于所述贯孔内,其中所述外部连接端子是电性连接于该图案化线路层;
其中较上层的芯片封装体的所述外部连接端子是对应于较下层的芯片封装体的所述第一开口,且较上层的芯片封装体的所述外部连接端子是与较下层的芯片封装体的该图案化线路层电性连接。
6. 根据权利要求5所述的堆叠型芯片封装结构,其特征在于更包括一共同承载器,所述芯片封装体堆叠于该共同承载器上,且与该共同承载器电性连接。
CNB2005101034148A 2005-09-15 2005-09-15 不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构 Expired - Fee Related CN100416808C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2005101034148A CN100416808C (zh) 2005-09-15 2005-09-15 不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2005101034148A CN100416808C (zh) 2005-09-15 2005-09-15 不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1933132A CN1933132A (zh) 2007-03-21
CN100416808C true CN100416808C (zh) 2008-09-03

Family

ID=37878872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005101034148A Expired - Fee Related CN100416808C (zh) 2005-09-15 2005-09-15 不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN100416808C (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1070213A (ja) * 1997-07-22 1998-03-10 Citizen Watch Co Ltd 樹脂封止型半導体装置
US6518089B2 (en) * 2001-02-02 2003-02-11 Texas Instruments Incorporated Flip chip semiconductor device in a molded chip scale package (CSP) and method of assembly
CN1501588A (zh) * 2002-09-06 2004-06-02 三星电子株式会社 利用锁相环路的控制电压的多频带发射和接收设备及方法
CN2653693Y (zh) * 2003-03-14 2004-11-03 威盛电子股份有限公司 芯片封装结构
CN1549319A (zh) * 2003-05-23 2004-11-24 ��Ʒ���ܹ�ҵ�ɷ����޹�˾ 开窗型球栅列阵半导体封装件及其制法与所用的芯片承载件
CN2672856Y (zh) * 2003-06-17 2005-01-19 威盛电子股份有限公司 芯片封装结构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1070213A (ja) * 1997-07-22 1998-03-10 Citizen Watch Co Ltd 樹脂封止型半導体装置
US6518089B2 (en) * 2001-02-02 2003-02-11 Texas Instruments Incorporated Flip chip semiconductor device in a molded chip scale package (CSP) and method of assembly
CN1501588A (zh) * 2002-09-06 2004-06-02 三星电子株式会社 利用锁相环路的控制电压的多频带发射和接收设备及方法
CN2653693Y (zh) * 2003-03-14 2004-11-03 威盛电子股份有限公司 芯片封装结构
CN1549319A (zh) * 2003-05-23 2004-11-24 ��Ʒ���ܹ�ҵ�ɷ����޹�˾ 开窗型球栅列阵半导体封装件及其制法与所用的芯片承载件
CN2672856Y (zh) * 2003-06-17 2005-01-19 威盛电子股份有限公司 芯片封装结构

Also Published As

Publication number Publication date
CN1933132A (zh) 2007-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101887874B (zh) 单层金属层基板结构及其制造方法、和应用之封装件结构
US7723853B2 (en) Chip package without core and stacked chip package structure
US7902676B2 (en) Stacked semiconductor device and fabricating method thereof
CN101252096B (zh) 芯片封装结构以及其制作方法
US10490478B2 (en) Chip packaging and composite system board
US20040232564A1 (en) Method for fabricating semiconductor package with multi-layer metal bumps
CN104658923B (zh) 四边扁平无接脚封装方法及其制成的结构
KR20030059464A (ko) 적층 칩 패키지의 제조 방법
CN105280601A (zh) 封装结构及封装基板结构
US20130154107A1 (en) Integrated circuit packaging system with coupling features and method of manufacture thereof
JPS6352432A (ja) 半導体装置
CN100442465C (zh) 不具核心介电层的芯片封装体制程
US20150171002A1 (en) Integrated circuit packaging system with embedded component and method of manufacture thereof
CN100416808C (zh) 不具核心介电层的芯片封装体及其堆叠型芯片封装结构
CN101937901B (zh) 线路基板及其制作方法与封装结构
US7560306B2 (en) Manufacturing process for chip package without core
CN202940236U (zh) 封装基板构造
US8143107B2 (en) Integrated circuit packaging system substrates and method of manufacture thereof
CN105321894A (zh) 半导体封装件及其制法
CN101587884A (zh) 堆叠式芯片封装结构及其制作方法
CN101916751B (zh) 封装结构及其制作方法
CN114864526A (zh) 半导体封装结构及半导体封装方法
CN101661928A (zh) 芯片封装体
KR100413475B1 (ko) 회로패턴을 갖는 필름어드헤시브 및 이를 이용한 멀티칩모듈 반도체패키지
CN115719738A (zh) 基板结构

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20080903

Termination date: 20210915