CN100406168C - 用于生产小型物体或微型物体的方法和设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种利用至少一个激光器的激光束在真空或保护气体环境下的处理室中的支撑件上生产小型物体或微型物体的方法和设备，所述激光器设置在处理室的内部或外部，由此激光束被引导在带有微粒的支撑件的表面的上方。小型物体和微型物体由被层-层施加的微粒形成。也由层-层施加的微粒构成的隔片位于支撑件和小型物体或微型物体之间。这些隔片通过激光束照射以这样一种方式生产，所述方式为微粒在相应的平面中以部分层状、层状或线性形式烧结以形成隔片，所述隔片具有小的接触面积结构和孔穴，并且可被损坏且随后从支撑件和小型物体或微型物体上移走。这些隔片形成为具有一定静强度，以允许小型物体或微型物体可以在支撑件上和/或在粉末基中相对于彼此被牢固地定位。

Description

用于生产小型物体或微型物体的方法和设备

技术领域

本发明涉及一种通过至少一个激光器的激光束在用于真空或保护气体环境的处理室中的支撑件上生产小型物体或微型物体的方法，以及用于生产小型物体或微型物体的设备，所述设备包括用于小型物体或微型物体的至少一个相应支撑件；一个用于微粒的容器；一个用于将微粒从容器输送到设置在处理室中的支撑件上的装置，所述处理室用于一种保护气体环境或真空环境；和至少一个激光器，所述激光器设置在处理室的内部或外部，而且其激光束扫过带有微粒的支撑件的表面。

背景技术

根据DE19538257C2(用于生产三维物体的方法)，要被生产的物体设有一由内芯区域和外围区域组成的三维支撑结构。在这种情况中，优选的是，内芯区域被照射两次，以便得到更有效的固化。但是，外围区域仅被照射一次。外围区域的整个表面位于所述物体和支撑结构之间。外围区域是软的，这样，可以用最少可能消耗的力和工具将所述物体从支撑结构上分离。但是，在非常小或微型结构的物体从支撑结构分离的过程中会出现问题，这是因为这些物体在分离期间非常易于受到损坏。另外，需要提供用于工具的工作表面。如果几个物体位于一个支撑件上，则非常难以实现没有损伤的分离。换句话说，这种类型的支撑结构不适合于在一个支撑件上生产数个小型物体或微型物体。

发明内容

本发明是基于下述目的的，所述目的为以这样一种方式在一支撑件上生产小型物体或微型物体，以便可以容易地将完成的物体从支撑件上分离和/或彼此分离。

所述目的是这样实现的：一种通过至少一个激光器的激光束在真空或保护气体环境下的处理室中的支撑件上生产小型物体或微型物体的方法，其特征在于：施加具有微粒的层或微粒层，并且在其施加之后以这样一种方式用激光束照射各层，以便微粒在相应的平面中以部分层状、层状或线性形式烧结，并且产生多个具有小的接触面积结构并包含孔穴的可分离隔片，从而实现一定静强度和相对剪切力的低阻力；施加具有微粒的层或微粒层，并且在根据该平面中小型物体或微型物体的轮廓施加之后如此照射各层，以便以小型物体或微型物体的壁面和内部区域的形式通过烧结使微粒在该平面中彼此连续地相连，并产生小型物体或微型物体；以及使带有小型物体或微型物体和可分离隔片的支撑件经受超声波作用，以便将小型物体或微型物体从支撑件和可分离隔片上分离；及一个用于将微粒从容器输送到设置在处理室中的支撑件上的装置，所述处理室用于一种保护气体环境或真空环境；和至少一个激光器，所述激光器设置在处理室的内部或外部，而且其激光束可以扫过带有微粒的支撑件的表面，其特征在于：所述输送装置由至少一个封闭的环形刮粉刀组成，所述刮粉刀可以通过一构件沿至少一平行于支撑件的平面运动，而且所述刮粉刀或者可转动地支撑和连接到一驱动器上，或者可以通过相联的驱动器沿X-方向和Y-方向运动，这样，刮粉刀能至少在容器上方或一邻近支撑件的表面上方以及支撑件自身上方转动或移动，其中，以层-层方式施加到支撑件上的操作或者通过环形刮粉刀由来自单独容器的微粒实现，或者由来自用作容器的环形刮粉刀的微粒实现，其中，至少一个激光器的激光束的照射产生一种层内微粒之间和从一层到邻接层上的烧结连接，其中，依次和/或前后紧接地生产可分离隔片和小型物体或微型物体。

可以看到，由本发明实现的优点特别在于：可以容易地生产小型物体和微型物体。小型物体和微型物体由被层-层施加的微粒制成。也由层-层施加的微粒组成的隔片位于支撑件和小型物体或微型物体之间。可以看到，该方案的特别优点在于：通过以这样一种方式用激光束照射来生产这些隔片，所述方式为微粒在相应的平面内以部分层状、层状或线性形式烧结，而且可毁坏的隔片被生产，所述隔片具有小的接触面积结构并包含孔穴，因此易于从支撑件和小型物体或微型物体上分离。这些孔穴也可以是连续的。这导致具有一定静强度的隔片，这样，小型物体或微型物体可以在支撑件上和/或在粉末基中相对于彼此被牢固地定位。这些隔片相对于剪切力具有低的阻力，这样，通过施加这种力可以轻易地分离小型物体或微型物体。另一优点在于，小型物体或微型物体和隔片可以由相同的材料构成，即，通过用激光束照射一层来生产小型物体或微型物体和隔片。这意味着，可以容易地生产并分离具有突起的突出小型物体或微型物体。可分离隔片和小型物体或微型物体通过层-层方式生产，即，通过用激光器的激光束施加并选择地烧结微粒来生产。如此选择用于可分离隔片的工艺参数，以便微粒在相应的平面中以部分层状、层状或线性形式烧结，并且生产可毁坏的隔片，所述隔片具有小的接触面积结构并包含孔穴，因此易于从支撑件和小型物体或微型物体上分离。通过这些措施实现一定材料容积的静态固化。在这种情况中，获得均质的可分离隔片，它们在整个横截面上具有恒定的参数，其中，隔片可以被完全分离，尽管其整个边界表面与小型物体或微型物体接触。通过激光器的激光束的选择照射，在这些相同材料的可分离隔片上生产小型物体或微型物体。在这种情况中，如此选择参数，以便实现微粒的抗剪切烧结。在小型物体或微型物体在支撑件上制造之后，使支撑件经受超声波照射，以便小型物体或微型物体在不需要任何辅助机构的情况下从支撑件和可分离隔片上分离。所述支撑件与一用于此目的的超声波发生器相连。由于在分离过程中防止了对小型物体或微型物体和支撑件的损坏，所以可以将支撑件数次用于小型物体或微型物体的生产，而不需要任何中间处理。一种用于将微粒层-层施加到支撑件上的有利输送装置由至少一个封闭的环形刮粉刀组成，所述刮粉刀可以通过一构件沿至少一个与支撑件平行的平面移动，而且可转动地支撑和连接到一驱动器上，或者可以通过相联的驱动器沿X-方向和Y-方向移动。这种设置容许在容器或一邻近支撑件的表面上方及支撑件自身上方旋转或移动刮粉刀，其中以层-层方式施加微粒到支撑件上的操作或者由来自单独容器的微粒实现，或者由来自用作容器的环形刮粉刀的微粒实现。至少一个激光器的激光束的照射产生一种层内微粒之间和从一层到邻接层上的烧结连接。在这种情况中，依次和/或前后紧接地生产可分离隔片和小型物体或微型物体。可以看到，另一优点在于：可以使用至少两个包含不同材料的微粒的容器。这意味着，能以由不同材料组成的层的形式生产具有竖向特性梯度的小型物体或微型物体。由于环形刮粉刀确保沿所有方向的层的均匀施加，所以实现了均质的层施加。

本发明披露了有利实施例。

本发明的其它改进公开了通过烧结使微粒在该平面中彼此连续地相连，以生成小型物体或微型物体，微粒在各自的平面中也以部分层状、层状或线性方式烧结，以便产生具有小的接触面积机构并包含孔穴的可分离隔片，从而实现一定静强度和相对剪切力的低阻力。在小型物体或微型物体之间也得到可分离隔片。因此，可以在一个支撑件上生产高的小型物体或微型物体。所述可分离隔片防止这些小型物体或微型物体翻倒。

本发明的进一步改进包括至少一个预制件上施加具有微粒的层或微粒层，所述预制件设置在支撑件上并由具有微粒的层或微粒层包围，在第一层中，微粒还与预制元件相连，以便制造小型物体或微型物体。本改进涉及小型物体或微型物体之间的可分离隔片。这些隔片由至少一个预制件组成，至少一个小型物体或微型物体刚性地连接到其上，以便预制件形成小型物体或微型物体的一整体部分。该优点使得可以将微型件施加和刚性地连接到预制件上，以便生产微型物体。

根据本发明的进一步改进实现的一种连续生产方法，激光的脉冲频率和扫描速度对于小型物体或微型物体和隔片的生产是相同的，而隔片生产过程中的激光功率比小型物体或微型物体生产过程中的低。以这种方式可以防止各层的个别区域被多次照射。经济上有利的是，在不增加激光功率的情况下，仅通过增加脉冲频率和扫描速度可以减少生产时间。

根据本发明的进一步改进，有利的是，微粒层通过打印技术、喷射或至少一个刮粉刀施加。

根据本发明的进一步改进，在真空中用一稍高于粘结剂的蒸气压力的压力对包含微粒的浆料层作用，并且用激光束加热所述层，以便有利地使粘结剂从所述层分离。

可以通过本发明的进一步改进生产密集的小型物体或微型物体，在用激光束照射之前，通过用超声波作用在支撑件和/或刮粉刀上和/或通过水平地转动刮粉刀使分别施加的层密实。可以看到，使支撑件经受超声波作用的另一优点在于，连接到支撑件上的超声波发生器可以被用于使微粒密集，以及使小型物体或微型物体从可分离隔片和支撑件上分离。

根据本发明的进一步改进，特别是由浆料组成的层可以被均匀地施加，而不会被刮粉刀的相反方向运动损坏。

根据本发明的进一步改进，至少两种具有相同或不同颜色的材料被用于不同的层，可以实现小型物体或微型物体中的材料混合，或生产完全新的材料，所述材料混合在微米刻度上是均匀，和/或具有竖向材料或特性梯度及材料或特性边界。这意味着可以实现否则只能在微重力条件下生产的金属混合物。不同颜色材料的同时使用使得可以根据相应的应用或用途实现各种设计。

根据本发明的进一步改进，使用一种层-层高频颤动法，可以在小型物体或微型物体的外层实现竖向颜色梯度。

本发明的各种有利使用可以通过用于生产小型物体或微型物体的设备的其它改进实现。特别是，这些实施例使得可以实现微粒的均匀施加和预密实。环形刮粉刀远离支撑件的附加轴向位移容许以薄层形式施加包含微粒的浆料，即，由于该层在刮粉刀的返回运动期间不被刮粉刀接触。刮粉刀绕其对称轴线的附加旋转运动可以通过附加的驱动器实现，并导致层的均匀施加和密实。同轴杆在环形刮粉刀内的运动也导致粉末的密集。

根据本发明的进一步改进，环形刮粉刀与一超声波发生器相连，这样可以给微粒的预密实以及实现微粒沿/从刮粉刀内壁的改进的滑动运动及分离提供另一种选择，所述预密实是为了生产密集的小型物体或微型物体。

激光束的有利效果通过本发明的进一步改进实现，参照激光方向在激光器的下游设置罩或均化器或束成形单元，所述罩用于实现正方形横截面的激光束，所述束成形单元产生一反高斯曲线形式的强度分布。正方形的激光束横截面使得可以在激光束扫描期间以优选的方式照射层的表面，而不会有任何重叠和导致的局部温度升高，当使用具有圆形横截面的激光束时会不可避免地出现这些不利情况。均匀的激光照射导致层的均匀和选择照射，而不会有局部升高的强度。具有反高斯曲线形式强度分布的激光照射使得可以在不脱落微粒的情况下使用高强度的激光脉冲。

环形刮粉刀可以本发明的进一步改进移动到刮粉刀平面的各种位置，环形刮粉刀或者连接到平面旋转齿轮上，或者连接到可变长度的可移动装置上。这带来下述优点，即刮粉刀能以任何顺序接近不同的容器，而且可以在刮粉刀平面的不同构造区域上方被导引，以便混合几种成分或清洁刮粉刀。

附图说明

本发明的实施例在附图中示出并在下面被详细地描述。示意性的附图分别表示：

图1为用于通过激光束在设置于处理室中的支撑件上生产小型物体或微型物体的设备的顶视图和侧视图，其中具有一个刮粉刀和一个容器；

图2为具有两个刮粉刀和两个容器的装置的顶视图和侧视图；

图3表示制造空间位于中央的装置，其具有数个旋转的环形刮粉刀；

图4表示一装置，其具有环形刮粉刀、用于包含微粒的浆料或凝胶的容器、和用于清洁环形刮粉刀的清洁辊。

具体实施方式

下述详细说明涉及通过至少一个激光器的激光束3在用于真空或保护气体环境的处理室1中的支撑件2上生产小型物体或微型物体的方法和设备。

1.应用例

本方法用于生产分辨率＜50μm的钨小型物体。在这种情况中，将支撑件2设置在处理室1内用于小型物体的制造空间5中，其中为以钨纳米粉末形式存在的微粒设置一容器4，并设置一用于将微粒从容器4输送到制造空间5和支撑件2处的装置。钨纳米粉末微粒优选具有300nm的尺寸。输送装置由一封闭的环形刮粉刀6组成。环形设计的环形刮粉刀6设置在与至少一个驱动器8相连的至少一个构件上。所述构件可以仅包括一杆形元件7，该元件与环形刮粉刀6相连并固定在平动的或旋转的驱动器8上。在后一种情况中，环形刮粉刀6进行圆形运动，其中至少一个带有支撑件2的制造空间5和至少一个容器4设置在环形刮粉刀的通道中。图1以顶视图和侧视图的形式示意地表示这样一种布置，其中设有支撑件2、环形刮粉刀6和容器4；图2以顶视图和侧视图的形式示意地表示一装置，该装置具有支撑件2、两个环形刮粉刀6a、6b和两个容器4a、4b。在一实施例中，制造空间5设置在处理室1的中央，数个旋转环形刮粉刀6围绕该制造空间设置。制造空间5位于环形刮粉刀6的转动范围内。图3为表示这样一种布置的示意顶视图。在其它实施例中，环形刮粉刀6可以

-被固定在一可变长度的可调装置、例如两个可伸缩元件上，并与一旋转驱动器相连，

-被固定在一可变长度的可调装置上，所述装置以这样一种方式与一平移驱动器相连，以便环形刮粉刀可以在x-平面和y-平面中移动，或

-被固定在一平面旋转齿轮上。

环形刮粉刀6将具有低容积密度的粉末转换成具有高容积密度的层，即，首先生产一较厚的层，所述层由于和环形刮粉刀6的连续反方向作用而被折断，在所述刮粉刀的内部进行全部或按比例分配的粉末供给。在此过程中，同时压缩被施加的层，多余的粉末残留在刮粉刀的内部或被返回到容器中。通过一驱动器11可以使支撑件2在处理室1内相对于环形刮粉刀6移动，通过另一驱动器12可以使容器4的底部10相对于环形刮粉刀6移动。有利的是，环形刮粉刀6的驱动器以驱动系统9的形式连接到另一驱动器上，从而环形刮粉刀6也可以相对于支撑件2和容器4的底部10移动。激光器如此设置在处理室1的外部，以便激光束3经一扫描器和一窗口13入射在位于处理室1内的支撑件2上。尽管在图中未示出，但是使激光束3偏转或将激光器连接到一偏移装置上是习惯作法。优选的是，使用Q-转换Nd:YAG激光器的激光束3，其在单模中的波长为1064nm、脉冲持续时间为100ns。在所示实施例中，可以在激光器的下游(参照激光方向)设置罩和/或均化器或束成形单元，所述罩用于产生正方形横截面的激光束3，所述束成形单元产生一反高斯曲线形式的强度分布。在第一步中，将处理室1抽空到压力＜10^-5毫巴的状态，并且干燥钨纳米粉末。接着，引入处理气体，直到达到500毫巴的压力，所述气体优选为氩或氦。接着，在干燥状态下施加由钨纳米粉末构成的层，其中各层在其施加之后以这样一种方式由激光束3分别照射，以便钨纳米微粒在相应的平面中以部分层状、层状或线性形式烧结，并且产生数个具有小的接触面积结构并包含孔穴的可分离隔片。在此过程中，实现了一定静强度和相对剪切力的低阻力。换句话说，在支撑件2和小型物体之间产生可分离隔片。在隔片产生之后，在干燥状态下施加由钨纳米粉末组成的其它层。在相应的施加之后，以这样一种方式用激光束3照射各层，以便钨纳米微粒在该平面中连续地彼此相连，并连接到以与该平面中的小型物体的轮廓对应的壁面和内部区域的形式在其下方直接产生的层上。以这种方式在支撑件2上生产可分离隔片和小型物体。在小型物体生产期间，也可以以这种方式照射某些层，以便钨纳米微粒在相应的平面中以部分层状、层状或线性形式烧结，并且产生数个具有小的接触面积结构并包含孔穴的可分离隔片。这意味着可分离隔片也位于小型物体之间。当生产可分离隔片时，优选的是，在0.3W的激光功率和600mm/s的扫描速率下使用8kHz的脉冲频率。所述壁面和内部区域通过固态烧结工艺产生，其中在1W的激光功率和600mm/s的扫描速率下使用8kHz的脉冲频率。由包含钨纳米微粒的钨纳米粉末组成的层的施加通过使支撑件2降低≤1μm的高度并随后施加所述微粒实现。在用激光束3照射之前，通过用可听声(audible sound)作用在支撑件2上可以使分别施加的层密实。优选的是，通过支撑件2的提升轴14产生约500Hz频率的振动。通过用超声波作用在承载小型物体的支撑件2上，可以将小型物体从支撑件和隔片上分离，其中将支撑件2与一为此目的的超声波发生器相连。

在另一实施例中，使用一种由铜微粒构成的粉末或一种铜微粒和钨纳米微粒的混合物来生产铜和钨/铜小型物体。将支撑件2降低约2μm。

可以根据另一实施例使用一种银微粒粉末或一种银微粒和钨纳米微粒的混合物来生产银和钨/银小型物体。在这种情况中，将支撑件2降低约2μm。

可以根据另一实施例使用钛微粒和/或纳米微粒粉末来生产钛小型物体。在这种情况中，将支撑件2降低约2μm。

可以根据另一实施例使用铝微粒粉末来生产铝小型物体。在这种情况中，用0.8W的低激光功率进行烧结过程，其中0.25W的激光功率被用来生产可分离隔片。

根据另一实施例，可以使用铝和钛微粒和/或纳米微粒的混合物来生产铝/钛小型物体。在这种情况中，用0.8W的激光功率进行烧结过程，其中0.25W的激光功率被用来生产可分离隔片。

在另一实施例中，所述层由包含钨纳米微粒的浆料组成，并在真空中于一压力下被预干燥，所述压力稍高于粘结剂的蒸气压力。所述粘结剂在由激光束3实现的加热工艺中被除去。在其返回运动之前，环形刮粉刀6被抬起，然后被在一清洁装置上方导引，所述清洁装置为一用于清洁目的的橡胶唇15(如图4所示)。

2.应用例

下述详细说明涉及一种通过至少一个激光器的激光束3在用于真空或保护气体环境的处理室1中的支撑件2上生产牙齿嵌体形式的微型物体的方法和设备。

所述装置基本上和用在第一实施例中的相同。但是，所述方法是在一种保护气体环境中进行的。所述层以浆料或凝胶形式施加。预干燥所述层并通过在整个层上快速地扫描激光束3使粘结剂蒸发。所述层具有≥5μm和≤20μm的厚度。所述激光器在多模式下如此操作，以便得到较大的射束点直径。优选的是，用于烧结微型物体时激光功率为3W，用于烧结可分离隔片时激光功率为1W。刮粉刀优选为一种封闭的环形刮粉刀6。在施加过程之后，环形刮粉刀6借助于驱动系统9抬起并被在用于清洁目的的橡胶唇15上导引。在清洁过程之后，刮粉刀6被再次定位在容器4a上方并被重新填充。所述装置还包括至少一个用于浆料或凝胶的其它容器4b。所述至少两个容器4a、4b包含在烧结过程之后具有不同颜色的浆料或凝胶，所述颜色优选为白色和灰黄色。在生产过程期间，通过借助于高频颤动法施加不同浆料或凝胶的交替层可以实现白色和灰黄色之间的所有颜色。这样可以使嵌体的颜色与牙齿最佳匹配。在一替换实施例中，使用两个同时用作容器的环形刮粉刀6，它们可以以圆形形式运动。从顶部通过用于激光束3的铰接窗口13给环形刮粉刀6装料。这种改变的优点在于，环形刮粉刀6仅需要沿一方向运动，这样可以防止它再次经过新施加的层。在这种情况中，不必抬起环形刮粉刀。使刮粉刀6经过一清洁辊，以便被清洁。

在其它实施例中，小型物体或微型物体可以用一整体预制件实现。在这种情况中，将所述预制件设置在支撑件2上。在初始施加期间，预制件周围和支撑件2上方的空间完全被粉末充满。这将预制件充分地固定在支撑件2上。接着施加微粒层，并且在根据该平面中小型物体或微型物体的轮廓施加之后，用激光束3照射各层。这使得通过烧结使所述微粒在该平面中彼此连续地相连，即，以小型物体或微型物体的壁面和内部区域的形式形成。另外，第一层中的微粒还与预制元件相连，以便制造小型物体或微型物体，其中所述微粒在各自的平面中以部分层状、层状或线性方式被同时烧结成可分离隔片，所述隔片具有小的接触面积机构并包含孔穴。在该过程中，实现了相对剪切力的一定静强度和低阻力。优选的是，将超声波用于分离小型物体或微型物体和隔片。支撑件2和小型物体或微型物体不被牢固地熔合在一起，以便它们易于被分离。

Claims (17)

1.一种通过至少一个激光器的激光束在真空或保护气体环境下的处理室中的支撑件上生产小型物体或微型物体的方法，其特征在于：施加具有微粒的层或微粒层，并且在其施加之后以这样一种方式用激光束(3)照射各层，以便微粒在相应的平面中以部分层状、层状或线性形式烧结，并且产生多个具有小的接触面积结构并包含孔穴的可分离隔片，从而实现一定静强度和相对剪切力的低阻力；施加具有微粒的层或微粒层，并且在根据该平面中小型物体或微型物体的轮廓施加之后如此照射各层，以便以小型物体或微型物体的壁面和内部区域的形式通过烧结使微粒在该平面中彼此连续地相连，并产生小型物体或微型物体；以及使带有小型物体或微型物体和可分离隔片的支撑件(2)经受超声波作用，以便将小型物体或微型物体从支撑件(2)和可分离隔片上分离。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述通过烧结使微粒在该平面中彼此连续地相连，以生成小型物体或微型物体，微粒在各自的平面中也以部分层状、层状或线性方式烧结，以便产生具有小的接触面积机构并包含孔穴的可分离隔片，从而实现一定静强度和相对剪切力的低阻力。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在至少一个预制件上施加具有微粒的层或微粒层，所述预制件设置在支撑件(2)上并由具有微粒的层或微粒层包围，在第一层中，微粒还与预制件相连，以便制造小型物体或微型物体。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：激光束(3)在所述层上的脉冲频率和扫描速度对于小型物体或微型物体和隔片的生产是相同的，其中隔片生产过程中的激光功率比小型物体或微型物体生产过程中的低；或者，小型物体或微型物体生产过程和隔片生产过程中的激光功率相同，其中隔片生产过程中的、激光束(3)在所述层上的脉冲频率和扫描速度比小型物体或微型物体生产过程中的高。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：具有微粒的层或微粒层通过打印技术、喷射或至少一个刮粉刀施加。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在真空中用一稍高于粘结剂的蒸气压力的压力对包含微粒的浆料层作用，并且用激光束(3)加热所述层，以便将粘结剂从所述层除去。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于：在用激光束(3)照射之前，通过用可听声或超声波作用在支撑件和/或刮粉刀上和/或通过水平地转动刮粉刀使分别施加的层密实。

8.如权利要求5所述的方法，其特征在于：在支撑件(2)上方沿着一封闭的移动路径沿一方向导引所述刮粉刀。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于：至少两种具有相同或不同颜色的材料被用于不同的层。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：使用一种层-层高频颤动法。

11.一种使用权利要求1的方法生产小型物体或微型物体的设备，其包括用于小型物体或微型物体的至少一个相应支撑件(2)；一个用于微粒的容器(4)；一个用于将微粒从容器(4)输送到设置在处理室(1)中的支撑件(2)上的装置，所述处理室用于一种保护气体环境或真空环境；和至少一个激光器，所述激光器设置在处理室(1)的内部或外部，而且其激光束(3)可以扫过带有微粒的支撑件(2)的表面，其特征在于：所述输送装置由至少一个封闭的环形刮粉刀(6)组成，所述刮粉刀可以通过一构件沿至少一平行于支撑件(2)的平面运动，而且所述刮粉刀或者可转动地支撑和连接到一驱动器上，或者可以通过相联的驱动器沿X-方向和Y-方向运动，这样，刮粉刀(6)能至少在容器上方或一邻近支撑件(2)的表面上方以及支撑件(2)自身上方转动或移动，其中，以层-层方式施加到支撑件(2)上的操作或者通过环形刮粉刀(6)由来自单独容器(4)的微粒实现，或者由来自用作容器的环形刮粉刀(6)的微粒实现，其中，至少一个激光器的激光束(3)的照射产生一种层内微粒之间和从一层到邻接层上的烧结连接，其中，依次和/或前后紧接地生产可分离隔片和小型物体或微型物体。

12.如权利要求11所述的装置，其特征在于：可以通过一驱动器(11)使支撑件(2)相对于环形刮粉刀(6)移动，和/或通过一驱动器(12)使容器(4)的底部(10)相对于环形刮粉刀(6)移动，和/或通过一驱动器(8)使环形刮粉刀(6)相对于支撑件(2)以及容器(4)或邻近支撑件(2)的表面移动。

13.如权利要求11所述的装置，其特征在于：环形刮粉刀(6)设有一固定杆。

14.如权利要求11所述的装置，其特征在于，环形刮粉刀(6)设有一杆，该杆可以由一驱动机构移动并至少区域地封闭刮粉刀(6)。

15.如权利要求11所述的装置，其特征在于：环形刮粉刀(6)和/或支撑件(2)被分别连接到一可听声发生器和/或超声波发生器上。

16.如权利要求11所述的装置，其特征在于：参照激光方向在激光器的下游设置罩或均化器或束成形单元，所述罩用于实现正方形横截面的激光束(3)，所述束成形单元产生一反高斯曲线形式的强度分布。

17.如权利要求11所述的装置，其特征在于：环形刮粉刀(6)或者连接到平面旋转齿轮上，或者连接到可变长度的可移动装置上。

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