CN100387430C - 功能液充填装置、液滴喷出装置及电光学装置的制造方法 - Google Patents

功能液充填装置、液滴喷出装置及电光学装置的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种功能液充填装置，包括：使功能液箱子(231)内的功能液，经过连接在此的功能液喷头(31)，通液到接合在功能液喷头(31)的喷头帽(102)一侧的通液机构；检测出通液的功能液是否到达喷头帽(102)的检测机构(161)；和根据检测机构(161)的检测结果来停止通液装置驱动的控制机构(6)。检测机构(161)具有配置在喷头帽(102)内和/或废液管路内(252)的晶振(301)、和根据晶振(301)的共振频率的变化来检测出功能液的有/无的检测器(303)。这样，可以将功能液正确充填到功能液滴喷头的喷头内部流路中。

Description

功能液充填装置、液滴喷出装置及电光学装置的制造方法
技术领域
本发明涉及一种通过将功能液箱子内的功能液经功能液滴喷头向喷头帽侧通液，而将功能液充填在功能液滴喷头的喷头内部流路的功能液充填装置和具备此装置的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置和电子器械。
背景技术
因为喷墨式打印机(液滴喷出装置)的喷墨头(功能液滴喷头)可以把微小的墨水滴(液滴)以点状、高精度喷出，因此可以期待在各种产品的制造领域中应用，可以设想将特殊墨水或感光性树脂等的功能液引入到功能液滴喷头中，对基板等工件高精度喷出功能液的液滴喷出装置。并且，最初设置装置或引入到新功能液滴喷头时，通过采用在功能液滴喷头上接合喷头帽而驱动连接在喷头帽的吸引机构(吸引泵)的方法、或者采用驱动连接在功能液箱子的加压送液机构的方法，向喷头内部流路中充填功能液。
例如，在利用吸引泵的方法中，驱动吸引泵，并通过功能液滴喷头和喷头帽，从功能液箱子吸引功能液，然后利用设在喷头帽下流一侧的检测机构检测功能液，使吸引泵停止。此时，作为检测机构，在连接喷头帽下流一侧的透明导管中间设置光传感器，利用光传感器，从外部检测出通过透明导管内的功能液。
然而，在这样的光传感器等的光学检测机构中，如果透光部件的管路内面里附着了干燥功能液，或者在管路外面附着了灰尘，则会产生误动作，从而存在降低检测的可靠性的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种通过让检测机构的检测元件直接与功能液接触，可以将功能液正确充填到功能液滴喷头的喷头内部流路中的功能液充填装置和具备此装置的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置和电子器械。
本发明的功能液充填装置，通过在连接在功能液箱子的功能液滴喷头上接合与废液管路连通的喷头帽，将功能液箱子内的功能液经过功能液滴喷头通液到喷头帽侧，向动能液滴喷头的喷头内部流路充填功能液，其中包括：通液机构，用于将功能液箱子内的功能液经过功能液滴喷头通液到喷头帽一侧；检测机构，用于检测已通液的功能液到达喷头帽的情况；和控制机构，根据检测机构的检测结果停止通液机构的驱动。检测机构包括配置在喷头帽内部和/或废液管路内部的晶振、和根据晶振的共振频率的变化检测功能液的有/无的检测器。
根据该构成，如果由通液机构开始通液，则功能液箱子内的功能液经过功能液滴喷头流向喷头帽一侧，充填到功能液滴喷头的喷头内部流路。另一方面，如果通过的功能液到达喷头帽，与配置在喷头帽内和/或废液管路内的检测机构的晶振接触，则检测机构的检测器根据晶振的共振频率的变化检测出功能液的有/无。然后，根据该检测结果，控制机构停止对通液机构的驱动。这样，因为由配置在喷头帽内和/或废液管路内的晶振检测出功能液达到喷头帽的情况，不会浪费功能液。另外，因为喷头帽内和/或废液管路内中，晶振直接与功能液接触，不像以往的光学检测机构，检测结果受透光部件内面附着干燥的功能液的影响所支配，而是可以正确检测出功能液是否到达喷头帽。
这时，优选在检测机构执行的检测动作开始后，检测器的「有」信号在给定时间持续时，控制机构停止对通液机构的驱动。
并且优选控制机构具有延迟机构，该延迟机构将让通液机构的驱动停止的停止信号的输出延迟给定时间。
根据这些构成，即使到达喷头帽的功能液包含气泡，由于在为从喷头内部流路排出气泡而经过足够时间后，才开始控制动作而停止对通液机构的驱动，因此，从喷头内部流路可以可靠排出从功能液箱子到功能液滴喷头的功能液的流路中的气泡。
这时，优选控制机构具有报知机构，该报知机构在检测机构执行的检测动作开始后，检测器的「有」信号不在给定时间持续时，报知其意思。
根据该构成，检测器的「有」信号不在给定时间持续时，由于可以判断由某种原因使得气泡排出不充分，因此，报知异常而唤起操作者的注意。
这时，优选通液机构是与功能液箱子连接并加压输送功能液箱子内的功能液的加压送液机构。
根据该构成，通过由加压送液机构对与功能液滴喷头连接的功能液箱子加压，可以将功能液充填在功能液滴喷头的喷头内部流路。
同样，优选通液机构是通过废液管路吸引功能液箱子内的功能液的吸引机构。
根据该构成，通过利用吸引机构通过喷头帽吸引功能液箱子的功能液，可以将功能液充填在功能液滴喷头的喷头内部流路。
另一方面，本发明的功能液充填装置，通过在通过多个供给管路分别与多个功能液箱子连接的功能液滴喷头上接合分别连通多个废液管路的多个喷头帽，将功能液箱子内的功能液经过多个功能液滴喷头输送到多个喷头帽侧，将功能液充填到各功能液滴喷头的各喷头内部流路中，其中包括：加压送液机构，与功能液箱子连接并加压输送功能液箱子内的功能液；多个管路关闭机构，分别介入设置在多个供给管路上；多个检测机构，分别检测已输送的功能液到达了多个喷头帽的情况；和控制机构，根据多个检测机构的检测结果，按照功能液到达所属喷头帽的顺序，让与该喷头帽对应的管路关闭机构执行关闭动作。各检测机构包括配置在喷头帽内部和/或废液管路内部的晶振、和根据晶振的共振频率的变化检测出功能液的有/无的检测器。
同样，本发明的功能液充填装置，通过在通过多个供给管路分别与多个功能液箱子连接的功能液滴喷头上接合分别连通多个废液管路的多个喷头帽，将功能液箱子内的功能液经过多个功能液滴喷头输送到多个喷头帽侧，将功能液充填到各功能液滴喷头的各喷头内部流路中，其中包括：吸引机构，通过废液管路吸引功能液箱子内的功能液；多个管路关闭机构，分别介入设置在多个废液管路上；多个检测机构，分别检测所吸引的功能液到达了多个喷头帽的情况；和控制机构，根据多个检测机构的检测结果，按照功能液到达了喷头帽的顺序，让与该喷头帽对应的管路关闭机构执行关闭动作。各检测机构包括配置在喷头帽内部和/或废液管路内部的晶振、和根据晶振的共振频率的变化检测出功能液的有/无的检测器。
根据该构成，由于控制机构根据多个检测机构的检测结果，按照功能液到达的喷头帽的顺序让与喷头帽对应的管路关闭机构执行关闭动作，因此，即使利用单一加压送液机构或单一吸引机构，可以把功能液正确充填到各功能液滴喷头的喷头内部流路中，并且，不会浪费功能液。此时，由于检测机构直接与设置在各喷头帽内和/或废液管路内的晶振接触，不像光学检测机构，干燥的功能液附着在透光部件内面而支配检测结果，而是对每一个喷头帽，可以高精度检测出功能液到达喷头帽内的情况。
这时优选控制机构在各检测机构执行的检测动作开始后，检测器的「有」信号在给定时间持续时，让各管路关闭机构执行关闭动作。
并且优选控制机构具有延迟机构，该延迟机构将让各管理关闭机构执行关闭动作的关闭信号的输出延迟给定时间。
根据这些构成，由于气泡的存在，检测器的「有」信号断续输出的阶段中，不进行管路关闭机构的关闭动作。即经过功能液滴喷头的喷头内部流路中排出气泡的足够时间之后，开始控制动作使关闭机构进行关闭动作，因此，可以可靠排出喷头内部流路的气泡。
这时优选控制机构具有报知机构，该报知机构在检测机构执行的检测动作开始后，检测器的「有」信号不在给定时间持续时，报知其意思。
根据该构成，检测机构的检测动作开始后经过了给定的时间，功能液也没有到达喷头帽内时，就考虑发生了某种异常，因此，报知这种情况。
这时优选还包括洗涤液供给机构，其与功能液箱子连接并将洗涤液通液到从功能液箱子到所属废液管理的功能液全部流路中，清洗全部流路。
根据该构成，功能液滴喷头的更换或功能液更换时，利用洗涤液供给机构，将洗涤液通液到从功能液箱子到废液管路的功能液全部流路，可以对此进行清洗。因此，上述全部流路中，不仅可以防止功能液的附着，而且还可以适当清洗直接接触功能液的晶振，从而可以防止误检测。
本发明的液滴喷出装置，包括：上述液滴充填装置；和描绘装置，让功能液滴喷头一边相对于工件作相对移动一边喷出功能液而在工件上形成由功能液滴构成的成膜部。
根据该构成，因为具有将功能液恰当充填在功能液滴喷头的喷头内部流路，同时可以节省功能液充填时所消耗的功能液的功能液充填装置，可以降低液滴喷出装置的运行成本。
本发明的电光学装置的制造方法，利用上述液滴喷出装置在工件上形成由功能液滴构成的成膜部。
再有，本发明的电光学装置，利用上述液滴喷出装置在工件上形成由功能液滴构成的成膜部。
根据该构成，因为利用对工件可以进行丰富多彩的功能液喷出的液滴喷出装置来制造，可以有效制造电光学装置。另外，作为电光学装置(设备)可以考虑液晶显示装置、有机EL(Electro Luminescence：电致发光)装置、电子放出装置、PDP(Plasma Display Panel：等离子显示板)装置和电泳显示装置等。另外，电子放出装置是包含所谓FED(FieldEmission Display：场发射显示器)的概念。并且，作为电光学装置可以考虑包括金属布线形成、透镜的形成、抗蚀剂层形成和光扩散体形成等的装置。
本发明的电子器械，搭载有利用上述电光学装置的制造方法制造的电光学装置或上述电光学装置。
此时，作为电子器械相当于搭载了所谓平板显示器的移动电话机、个人计算机和各种电子产品。
附图说明
图1是本实施方式的液滴喷出装置的外观立体图。
图2是本实施方式的液滴喷出装置的主视图。
图3是本实施方式的液滴喷出装置的右视图。
图4是喷头单元的平面图。
图5A是功能液滴喷头的外观立体图，图5B是将功能液滴喷头安装在管子接头上时的截面图。
图6是吸引单元的外观立体图。
图7是吸引单元的主视图。
图8是喷头帽周围的截面图。
图9是表示功能液供给系统、功能液回收系统、洗涤液供给系统和废液回收系统的系统示意图。
图10是功能液箱子周围的外观立体图。
图11A是表示晶振、振荡电路、频率计数器和控制机构的系统示意图，图11B是晶振的平面图，11C是晶振的截面图。
图12是把晶振配置在喷头帽时的截面图。
图13是本发明的第一实施方式的功能液滴喷头、连接在此的功能液供给系统、空气供给系统和吸引单元的模式图。
图14是本发明的第二实施方式的功能液滴喷头、连接在此的功能液供给系统、空气供给系统和吸引单元的模式图。
图15是由检测机构所传送的功能液检测信号的时序图。
图16是利用本发明的制造方法来制造的液晶显示装置的截面图。
图17是利用本发明的制造方法来制造的有机EL装置的截面图。
图中：1-第一实施方式的液滴喷出装置，2-喷出机构，3-保养机构，4-功能液供给回收机构，5-空气供给机构，6-控制机构，7-第二实施方式的液滴喷出装置，31-功能液滴喷头，42-喷嘴，44-喷嘴形成面，91-吸引单元，93-冲洗单元，101-喷头帽单元，102-喷头帽，141-功能液吸引泵，152-功能液吸引管子，153-吸引分支管子，161-检测机构，162-喷头帽一侧的压力传感器，181-升降机构，201-冲洗盒，211-功能液供给系统，212-功能液回收系统，221-加压箱子，231-供液箱子，241-供液管子，242-供液分支管子，301-晶振，321-液晶显示装置，401-有机EL装置，W-工件。
具体实施方式
下面，结合附图说明本发明的第一实施方式。图1是采用本发明的液滴喷出装置1的外观立体图，图2是采用本发明的液滴喷出装置1的主视图，图3是采用本发明的液滴喷出装置1的右视图。虽然后面要详细叙述，该液滴喷出装置1是把特殊的墨水或发光性树脂液等功能液引入到功能液滴喷头31中而在基板等工件W上形成功能液的成膜部的装`置。
如图1至图3所示，液滴喷出装置1包括喷出功能液用的喷出机构2(描绘机构)、对喷出机构2进行保养的保养机构3、向喷出机构2供给功能液的同时回收不要的功能液的功能液供给回收机构4、供给用于驱动并控制各个机构的压缩空气的空气供给机构5(加压送液机构)。并且，这些机构是由控制机构6来相互关联进行控制的。虽然省略了图示，其他还包括识别工件W位置的工件识别相机、确认喷出机构2的喷头单元21(后面要叙述)位置的喷头识别相机、各种指示器等的附加装置，这些也是由控制机构6来控制。
如图1至图3所示，喷出机构2和保养机构3的冲洗单元93(后面要叙述)配置固定盘12的上面，固定盘12固定在角钢材料所组成方形机架11上，功能液供给回收机构4和空气供给机构5的大部分是装入在机架11侧面附加的机台13里。机台13上形成两个容纳室，大的容纳室14里装有功能液供给回收机构4的箱子类，小的容纳室15里安装空气供给机构5的主要部分。另外，机台13上还设有放置后面要叙述的功能液供给回收机构4的供液箱子231(功能液箱子)的箱子底座17和在机台13的长度方向(即X轴方向)自由滑动地支承的移动动作台18，在移动动作台18上固定公共底座16，以放置保养机构3的吸引单元91(后面要叙述)和擦拭单元92(后面要叙述)。
这种液滴喷出装置1是一边对喷出机构2的功能液滴喷头31进行保养一边从功能液供给回收机构4的供液箱子231向功能液滴喷头31供给功能液的同时，从功能液滴喷头31向工件W喷出功能液的装置。下面，说明各种机构。
喷出机构2包括：具备多个喷出功能液的功能液滴喷头31的喷头单元21、支持喷头单元21的主滑架22、载置工件W并让工件W相对于功能液滴喷头31进行扫描的X-Y移动机构23。
如图4至图5A所示，喷头单元21由多个(十二个)功能液滴喷头31、安装多个功能液滴喷头31的支滑架51、使每一个功能液滴喷头31的喷嘴形成面44(喷嘴面)向下凸出并用于安装在支滑架51的喷头保持部件52所构成。十二个功能液滴喷头31是分为两列、每一列各配置六个，为了确保对工件W的充分的涂敷密度，倾斜给定角度配置在支滑架51上。分为两列的六个功能液滴喷头31是在副扫描方向(Y轴方向)相互错开配置，以便在副扫描方向中，各功能液滴喷头31的喷嘴42无缝喷出(一部分重复)。另外，通过采用专用部件构成功能液滴喷头31等，在对工件W可以确保功能液的充分涂敷密度时，则没有必要特意倾斜安装功能液滴喷头31。
如图5A、图5B所示，功能液滴喷头31是所谓的双联喷头，包括：具有双联连接针33的功能液引入部32、连通功能液引入部32的双联的喷头基板34和连接功能液引入部32的下方并内部充满功能液的形成喷头内部流路的喷头主体35。每一个连接针33通过管子接头36连接在功能液供给回收机构4的供液箱子231，功能液引入部32通过每一个连接针33接收功能液的供给。喷头主体35包括双联泵41和具有形成多个喷嘴42的喷嘴形成面44的喷嘴形成板43，在功能液滴喷头31中，由于双联泵41的作用喷嘴42喷出功能液。另外，喷嘴形成面44上形成多个喷嘴42组成的两列喷嘴42的列。
如图4所示，支滑架51包括：缺口一部分的主体板53、设在主体板53的长边方向的中间位置的左右一对基准销54和安装在主体板53的两个长边部分的左右一对支持部件55。一对基准销54用于图像识别，而在X轴、Y轴和θ轴方向对支滑架51(喷头单元21)定位(识别位置)的成为基准的部件。把喷头单元21固定在主滑架22时，支持部件55或为固定部位。另外，支滑架51上设有把每一个功能液滴喷头31和供液箱子231连接在管子的管子接头56。管子接头56具有十二个管座，每个管座的一端与连接在功能液滴喷头31(的连接针33)上的管子接头36的喷头一侧管子部件连接，而另一端与供液箱子231的装置一侧管子部件连接。
如图3所示，主滑架22由后面要叙述的从下面固定在桥路板82的外观为「I」形的吊设部件61、安装在吊设部件61下面的θ动作台62、吊挂在θ动作台62下面的滑架主体63所构成。滑架主体63上开有间隙配合喷头单元21的方形开口，以便对喷头单元21定位。另外，滑架主体63上设有识别工件W的工件识别相机。
如图1至图3所示，X-Y移动机构23固定在上述固定盘12上，使工件W进行主扫描(X轴方向)的同时，通过主滑架22进行副扫描(Y轴方向)的机构。X-Y移动机构23包括按照沿固定盘12的长边方向的中心线和轴线一致进行固定的X轴动作台71、和横跨X轴动作台71并按照沿固定盘12的短边方向的中心线和轴线一致进行固定的Y轴动作台81。
X轴动作台71由空气吸引来吸附安装工件W的吸附动作台72、支持吸附动作台72的θ动作台73、使θ动作台73在X轴方向滑动自由地支承的X轴气动滑块74、通过θ动作台73使吸附动作台72上的工件W在X轴方向移动的线性电动机(省略图示)、并设在X轴气动滑块74的直线刻度75所构成。功能液滴喷头31的主扫描是由于线性电动机的驱动，吸附基板W的吸附动作台72和θ动作台73以X轴气动滑块74的向导，在X轴方向往复移动来进行的。
Y轴动作台81包括吊设主滑架22的桥路板82、两边支撑桥路板82并在Y轴方向自由滑动地支承的一对Y轴滑块83、并设在Y轴滑块83的Y轴直线刻度84、导向一对Y轴滑块83使桥路板82在Y轴方向移动的Y轴螺杆85、正反向旋转Y轴螺杆85的Y轴电动机(省略图示)。Y轴电动机由伺服电动机构成，如果Y轴电动机正反向旋转，则通过Y轴螺杆85上螺纹配合的桥路板82，以一对Y轴滑块83为向导，在Y轴方向上移动。即随着桥路板82的移动，主滑架22(喷头单元21)做Y轴方向的往复移动，进行功能液滴喷头31的副扫描。
这里，简单说明喷出机构2的动作。首先，作为喷出功能液的准备，由喷头识别相机进行喷头单元21的位置矫正之后，由工件识别相机进行安装在吸附动作台72的工件W的位置矫正。其次，由X-Y移动机构23(X轴动作台71)使工件W在主扫描(X轴)方向往复移动的同时，驱动多个功能液滴喷头31进行对工件选择性喷出功能液滴的动作。然后，使工件W后退移动之后，由X-Y移动机构23(Y轴动作台81)使工件W在副扫描(Y轴)方向移动之后，再度进行工件W在主扫描方向往复移动和功能液滴喷头31驱动。另外，本实施方式中是工件W对喷头单元21做主扫描方向的移动，但是喷头单元21对工件W做主扫描方向的移动，也是可以的。另外，固定喷头单元21而使工件W做主扫描方向和副扫描方向的移动的结构，也是可以的。
下面，说明保养机构3。保养机构3是对功能液滴喷头31进行保养以使功能液滴喷头31恰当喷出功能液的机构，包括吸引单元91、擦拭单元92、冲洗单元93和流路清洗单元94。
如图1所示，吸引单元91装载在上述机台13的公共机座16，通过移动动作台181在机台13的长度方向即X轴方向上可以自由滑动。吸引单元91通过吸引功能液滴喷头31对功能液滴喷头31进行保养，为了把功能液充填在喷头单元21(的功能液滴喷头31)或清除功能液滴喷头31内部的增加粘度的功能液而进行吸引(清洗)时利用。结合图6和图13说明的话，吸引单元91包括具有十二个喷头帽102的喷头帽单元101、通过喷头帽102进行功能液吸引的功能液吸引泵141、连接每一个喷头帽102和功能液吸引泵141的吸引用管子单元151、支持喷头帽单元101的支持部件171、通过支持部件171升降喷头帽单元101的升降机构181(上盖机构)。
如图6所示，喷头帽单元101，与安装在喷头单元21的十二个功能液滴喷头31的配置对应，将十二个喷头帽102配置在喷头帽底座103上，可以使每一个喷头帽102与对应的功能液滴喷头31密接。
如图8所示，喷头帽102是由喷头帽主体111、喷头帽底座112所构成。喷头帽主体111是由两个弹簧113向上方施压，上下微动可能的状态保持在喷头帽底座112。在喷头帽主体111的上面里形成包含功能液滴喷头31的两列喷嘴42列的凹部121，凹部121的周边装有密封圈122。并且，凹部121的底部里由压环箍124在被压的状态，装有吸收材料123。吸引功能液滴喷头31时，压住密封圈122使其密接在功能液滴喷头31的喷嘴形成面44，封闭喷嘴形成面44以便包含两列的喷嘴列42。另外，凹部121的底部有小孔125，这个小孔125与连接在后面要叙述的每一个吸引分支管153的L字型中继相连通。
另外，在每一个喷头帽102里装有大气开放阀131，在凹部121的底面一侧可以向大气开放(参照图8)。大气开放阀131是利用弹簧132被压在上方的关闭一侧，大气开放阀131通过后面要叙述的操作板176开闭大气开放阀131。并且，在功能液吸引动作的最终阶段中，通过操作板176降低大气开放阀131的操作部133而开启阀的方法，可以吸引浸含在吸引材料123的功能液。另外，虽然后面要详细叙述，在每一个喷头帽102里设有检测机构161。检测机构161(参见图11A)检测流到这里的功能液的有无。
功能液吸引泵141是通过喷头帽102向功能液滴喷头31施加吸引力的部件，考虑保养性，采用活塞泵。
如图13所示，吸引用管子单元151由连接在功能液吸引泵141的功能液吸引管子152、连接在喷头帽102的多个(十二个)的吸引分支管子153、连接功能液吸引管子152和吸引分支管子153用头部管子154所构成。即，由功能液吸引管子152和吸引分支管子153来形成连接喷头帽102和功能液吸引泵141的功能液流路。并且，如图13所示，在每一个吸引分支管子153上，从喷头帽102按顺序设有喷头帽一侧的压力传感器162和吸引用开闭阀门163。喷头帽一侧的压力传感器162是检测吸引分支管子153内部压力的传感器。另外，吸引用开闭阀门163是关闭吸引分支管子153的阀门。另外，在本实施方式中，检测机构161是设在每一个喷头帽102内部，但是，设在每一个吸引分支管子153的内部，也是可以的。另外，同时设在喷头帽102内部和吸引分支管子153内部的结构，也是可以的(后面要详细叙述)。
如图7所示，支持部件171包括在上端具有支持喷头帽单元101的支持板173的支持部件主体172、和上下方向自由滑动地支承支持部件主体172的立柱174。在支持板173的长度方向的两侧下面，固定有一对汽缸175，由这一对汽缸175来升降操作板176。并且，在操作板176上，装有配合在大气开放阀131的操作部133的挂钩177，随着操作板176的升降，通过让操作部133上下，开闭大气开放阀131。
如图7所示，升降机构181包括由汽缸175组成的两个升降汽缸即竖立设在立柱174的底座部的下段升降汽缸182和由下段升降汽缸182进行升降的升降板184上竖立设置的上段升降汽缸183，在支持板173上，联接上段升降汽缸183的活塞杆。两个升降汽缸的行程不同，利用两个升降汽缸的选择动作可以使喷头帽单元101的上升位置在比较高的第一位置和比较低的第二位置之间自由转换。喷头帽单元101位于第一位置时，每一个喷头帽102密接在功能液滴喷头31上，喷头帽单元101位于第二位置时，每一个功能液滴喷头与每一个喷头帽102之间有微小的间隙。
另外，虽然后面要详细叙述，喷头帽单元101的每一个喷头帽102兼有接收功能液的接收器功能，该功能液是在非喷出功能液状态时，由于功能液滴喷头31的冲洗(预备喷出)而被喷出的功能液。升降机构181是在如同把功能液充填在功能液滴喷头31的喷头内部流路或进行功能液滴喷头31的清洗时，即通过每一个喷头帽102吸引功能液滴喷头31时，把喷头帽单元101移动到第一位置而使每一个喷头帽102密接在每一个吸引功能液滴喷头31上，而在吸引功能液滴喷头31进行冲洗时，使喷头帽单元101移动到第二位置。
擦拭单元92利用功能液滴喷头31的吸引(清洗)的方法来擦拭因功能液的附着而被污染的功能液滴喷头31的喷嘴形成面44，由凸出在公共机座16上的状态配置的卷绕单元191和抹除单元192所构成(参照图1和图3)。例如，在功能液滴喷头31的清洗结束后，由上述移动动作台18使擦拭单元92移动到面临功能液滴喷头31的位置。然后，擦拭单元92在充分接近功能液滴喷头31的状态，从卷绕单元191输送擦拭片(省略图示)，利用抹除单元192的擦拭滚筒(省略图示)，用被输送出来的擦拭片来擦拭功能液滴喷头31的喷嘴形成面44。另外，利用后面要叙述的洗涤液供给系统213来向被输送出来的擦拭片供给洗涤液，更有效地擦拭附着在功能液滴喷头31的功能液。
冲洗单元93在(对工件W)喷出液滴时，接收多个(十二个)功能液滴喷头31的冲洗动作依次喷出的功能液。冲洗单元93包括夹住X轴动作台71的吸附动作台72并固定在θ动作台73的一对冲洗盒201(只图示一侧的)(参照图1)。在主扫描时，因为冲洗盒201和θ动作台73一起移动，没有必要为了冲洗动作特意移动喷头单元21。即，因为冲洗盒201和工件W一起向喷头单元21移动，从面临冲洗盒201的功能液滴喷头的喷嘴42，可以依次进行冲洗动作。另外，由冲洗盒201接收的功能液贮存在后面要叙述的废液箱子271。
冲洗动作是所有功能液滴喷头31的所有喷嘴42喷出功能液的动作，是定期进行的，目的是为了防止随着时间的经过，由于引入到功能液滴喷头31的功能液的干燥而粘度增加，功能液滴喷头31的喷嘴42产生堵塞。冲洗动作不仅要在功能液喷出动作时，而且在更换工件W时等的暂时停止功能液喷出时(待机)也有必要进行的。此时，喷头单元21移动到清洗位置即吸引单元91的喷头帽单元101的正上方之后，每一个在功能液滴喷头31向对应的每一个喷头帽102进行冲洗。
如图9所示，流路清洗单元94使洗涤液通过从供液箱子231到回收用管子252的功能液全流路，清洗全流路。流路清洗单元94包括通过洗涤液供给管子262(后面要叙述)连接在洗涤液箱子261(后面要叙述)的流路清洗用供液管子281、连接洗涤液供给管子262和流路清洗用供液管子281的三通阀282。三通阀282通常连通擦拭单元92，但是，在流路清洗时，通过切换到供液箱子231侧，向流路清洗用供液管子241供给洗涤液，洗涤液通过功能液的全流路。洗涤液箱子261上连接连通空气供给机构5的空气供给管子292而加压输送洗涤液。另外，也可以设置流路清洗单元94用专用箱子来替代洗涤液箱子261。
下面，说明功能液供给回收机构4。液体供给回收机构由向喷头单元21的每一个功能液滴喷头31供给功能液的功能液供给系统211(功能液供给装置)、回收保养机构3的吸引单元91所吸引功能液的功能液回收系统212、向擦拭单元92或流路清洗单元94供给洗涤用功能材料溶剂的洗涤液供给系统213、回收冲洗单元93所接收功能液的废液回收系统214等所构成。并且，如图3所示，机台13的在大容纳室14里，从图的右侧依次横向配置有功能液供给系统211的加压箱子221、功能液回收系统212的再利用箱子251、洗涤液供给系统213的洗涤液箱子261。并且，再利用箱子251和洗涤液箱子261的附近里设有小型形成的废液回收系统214的废液箱子271。
如图9和图13所示，功能液供给系统211是由贮存大容量(3升)功能液的加压箱子221、贮存从加压箱子221输送的功能液、同时将功能液供给到每一个功能液滴喷头31的供液箱子231(功能液箱子)、形成供液管路并连接这些管子的供液管子241所组成。连通空气供给机构5(后面要叙述)的空气供给管子292连接在加压箱子221上，而加压输送功能液。另外，在供液箱子231上设有大气开放阀，可以使供液箱子241内部压力向大气开放。
如图10所示，供液箱子231固定在上述的机台13的箱子底座17上，在两侧具有液位窗234，同时还包括贮存从加压箱子221输送的功能液的箱子主体233、靠近两个液位窗234而检测功能液的液位(水位)的液位检测器235、放置箱子主体233的底座236、通过底座236固定箱子主体233的箱子支架232。
如图10所示，在箱子主体233上表面，拴系有连通加压箱子221的供液管子241，还设有延伸到喷头单元21的供液管子241用六个供液用联结管237。液位检测器235是由检测功能液的上限即溢流的上限位检测器239和为了维持适当的水压头，检测功能液的管理液位的管理液位检测器240所组成。并且，连接在加压箱子221的供液管子241中间设有液位调节阀243，通过开闭控制液位调节阀243，可以调整箱子主体233贮存的功能液的液位，以便总是在液位检测器235的范围之内。
如图9和图13所示，向功能液滴喷头31延伸的6根的各供液管子241连接在供液箱子231上。另外，这些供液管子241是通过T字型中继247分支成两个，形成合计十二根的供液分支管子242(分支供给管路)。十二根的供液分支管子242连接在作为装置一侧管子部件的、设在喷头单元21的管接头56的十二个管座57上。
如图9所示，功能液回收系统212贮存吸引单元91所吸引的功能液，它包括贮存所吸引的功能液的再利用箱子251、连接在功能液吸引泵141并把所吸引功能液输送到再利用箱子251的回收用管子252。
如图9所示，洗涤液供给系统213向擦拭单元92的擦拭片、向流路清洗单元94的流路清洗供液管子281供给洗涤液，包括贮存洗涤液的洗涤液箱子261和为了供给洗涤液箱子261的洗涤液的洗涤液供给管子262。另外，洗涤液的供给是加压供给，通过空气供给管子292把空气供给机构5的压缩气体(氮气)引入到洗涤液箱子261。另外，利用挥发性高的洗涤液。
如图9所示，废液回收系统214是回收喷射在冲洗单元93的功能液的系统，包括贮存所回收功能液的废液箱子271、连接在冲洗单元93并把喷射在冲洗单元93的功能液引入到废液箱子271的废液用管子272和废液泵273。
下面，说明空气供给机构5。如图9和图13所示，空气供给机构5将压缩了惰性气体(N2)的压缩空气供给到例如加压箱子221、洗涤液箱子261等的各部，包括压缩惰性气体的气泵291、把气泵291所压缩的压缩空气供给到各部的空气供给管子292(加压用管路)等。并且，在空气供给管子292上设有对应于空气供给目标为了保持给定的一定压力的调节器293。另外，虽然在图13中未画出，但是，空气供给机构5的各部的构成和图14中所示的第二实施方式的空气供给机构5的构成相同。
另一方面，设在喷头帽102内部的检测机构16检测功能液到达喷头帽102内部，如图11A所示，包括晶振301、为了使晶振301稳定振动的振荡电路302、测定晶振301频率的频率计数器303等。频率计数器303连接在控制机构6而被控制。
如图11B、11C所示，晶振301包括被切成AT形状的水晶片311和安装在其两面的电极312、313。另外，引线314、315分别电连接在电极312、313。考虑功能液的腐蚀，电极312由耐腐蚀性高的金或银来构成。电极312的反应部分316是暴露在功能液的状态。另外，利用保护部317(浇铸树脂等)来覆盖电极312的反应部分316以外的部分和另一个电极313。
如图11B所示，晶振301是通过引线314、315与振荡电路302连接，并且，振荡电路302与频率计数器303连接。振荡电路302与电源连接，通过在晶振301的电极312、313上施加电压，使晶振301连续振荡。
如图12所示，这样构成的晶振301配置在喷头帽102内部。晶振301的共振频率是非常稳定，但是，如果功能液附着在电极312的反应部分，则由于功能液的重量，共振频率降低。即通过检测出晶振301的共振频率的变化，检测晶振301是否浸渍在功能液里，从而可以把握喷头帽102内部的功能液的充填状况。
频率计数器303测定晶振301的共振频率的变化，进行没有附着功能液时的共振频率的比较，并共振频率降低到一定的值时，向控制机构传送功能液检测信号。
另外，如图12所示，在本实施方式中，晶振301是在喷头帽102内部的侧壁部分里、吸收材料中挖出晶振301的形状而配置的，但是，如假想线所示，也可以将晶振301配置在连接喷头帽102的吸引分支管子153内部。并且如假想线所示，也可以将晶振301配置在吸引分支管子153内部，但是，功能液中包含气泡时，为了可靠地检测出气泡的存在，也可以在吸引分支管子153的流路内部设置接头155，在这个接头155里装入细网的SUS过滤网156，在其上表面进行配置。但是，虽然后面要详细叙述，为了检测出由于冲洗的留在喷头帽内部的功能液，如本实施方式，优选将晶振301配置在喷头帽102内部。当然，也可以将晶振301配置在喷头帽102内部和吸引分支管子153内部双方，可靠检测出功能液。
下面，说明控制机构6。控制机构6具备为了控制每一个机构动作的控制部，控制部存储控制程序和控制数据的同时，具有为了进行各种控制处理的作业区域。并且，控制机构6与上述各个机构连接，控制装置全体。
这里，作为控制机构6例子，说明：从供液箱子231到功能液滴喷头31喷头内部流路的功能液充填时的情形。
如上所述，本实施方式的液滴喷出装置1中，构成为通过在功能液滴喷头31和供液箱子231之间产生微小的水头压差同时功能液滴喷头31的泵吸作用，从供液箱子231供给功能液。从而，如同新引入到功能液滴喷头31等那样，将功能液充填在功能液滴喷头31的喷头内部流路时，由于有必要强制性输送功能液，因此，成为通过功能液滴喷头31利用功能液吸引泵141来吸引供液箱子231的功能液的结构。由此，从功能液滴喷头31可以排出供液箱子231到功能液滴喷头31的功能液流路的气泡的同时，把功能液充填在供液箱子231到功能液滴喷头31的喷头内部流路。
参照图13说明的话，首先，控制机构6使功能液滴喷头31(喷头单元21)移动到吸引单元91的正上方。然后，驱动吸引单元91的升降机构181，使喷头帽102移动到第一位置，把喷头帽102密接在功能液滴喷头31。这里，驱动吸引泵141来吸引功能液。由此，供液箱子231内部的功能液通过每一个功能液滴喷头31被吸引，充填在功能液滴喷头31的喷头内部流路。
如果功能液充填在功能液滴喷头31的喷头内部流路，功能液到达设在喷头帽102内部的晶振301，由于功能液接触在晶振301(浸渍)，则从检测机构161向控制机构6传送功能液检测信号。由功能液充满所有喷头内部流路时，检测机构161的信号如图15(1)所示。即，通过功能液检测信号在给定时间持续而传送到控制机构6，检测出喷头内部流路里不存在气泡而所有被功能液充满的信息。此时，在开始检测机构161的检测动作之后的给定时间(图15中的T1)内，如果从所有检测机构161功能液检测信号以第二给定时间(图15中的T2)持续并被传送，则控制机构6输出停止信号，由延迟电路(延迟机构)延迟这个停止信号，生成吸引机构驱动的停止时间，由该时间停止吸引泵的驱动，结束功能液的充填。
另一方面，喷头内部流路里存在气泡时，如图15(2)所示，对应于气泡存在的部分，断续的功能液检测信号传送到控制机构6。另外，从功能液箱子不供给功能液的无功能液时，因没有了喷头内部流路的墨水，检测机构161的信号变为如图15(3)所示的信号。在开始检测机构161的检测动作之后的给定时间(图15中的T1)内，如果如同这些情形功能液检测信号不在第二给定时间(图15中的T2)持续时，进行错误状态意思的报知。这个报知可以是设在液滴喷出装置1显示部的显示或声音。
另外，由于功能液流路的流路阻力不同，功能液充填在每一个功能液滴喷头31的时间不等。此时，通过对每一个检测机构161进行开闭控制与此对应的供给阀246，可以防止充填完功能液的功能液滴喷头31(的喷头内部流路)浪费功能液的现象。具体地，在开始检测机构161的检测动作之后的给定时间(图15中的T1)内，如果从所有检测机构161，功能液检测信号以第二给定时间(图15中的T2)持续并被传送，则控制机构6输出管路关闭信号，利用延迟电路(延迟机构)来延迟这个信号，生成吸引阀的关闭时间，利用这个时间只关闭对应于传送过来功能液检测信号的检测机构161的吸引阀163。对所有检测机构161进行这样的控制即按照功能液到达检测机构161的顺序来关闭对应的吸引阀163的方法，可以防止功能液继续吸引在已充填功能液的功能液滴喷头31的情形，可以降低功能液的消耗量。
另外，在第一实施方式中，即使是由于冲洗功能液残留在喷头帽102内，利用控制机构6可以控制功能液的排出。即，通过冲洗，从功能液滴喷头31向喷头帽102喷出的功能液，由收容在喷头帽102的吸收材料123来暂时保持，但是，吸收材料123保持不了的功能液，与喷头帽102内的侧壁部分配置的晶振301接触。此时，控制机构6接收检测机构161的功能液检测信号而驱动吸引泵141。即，残留在喷头帽102内的功能液被吸引，从喷头帽102内部排出，因此，不会出现功能液长期留在喷头帽102内而被凝固的情况。
下面，说明本发明的第二实施方式。在第二实施方式的液滴喷出装置7大体上和第一实施方式的液滴喷出装置1构成相同，在这里，只说明不同于第一实施方式的点。在延伸到功能液滴喷头31的六根供液管子241的每一个管子里，靠近功能液滴喷头31，设有连接在后面要叙述的压力控制器294的喷头一侧的压力传感器245(压力检测机构)。根据喷头一侧的压力传感器245，加压供液箱子231的结构；在连接在供液箱子231的空气供给管子292上，设有连接在喷头侧压力传感器245的压力控制器294和具有大气开放孔的三通阀244a。通过压力控制器294把调节器293输送过来的压缩空气减压到适宜之后输送到供液箱子231，同时开闭控制三通阀244a，可以调节施加在供液箱子231的压力。
结合图14来说明的话，首先，控制机构6使功能液滴喷头31(喷头单元)移动到吸引单元91的正上方。然后，驱动吸引单元91的升降机构181，使喷头帽102移动到第一位置，让喷头帽102与功能液滴喷头31密接。另一方面，和吸引泵的驱动同步，控制机构6切换三通阀244a，关闭大气开放孔，同时开放空气供给管子292。伴随这些，气泵291向供液箱子231供给压缩空气，供液箱子231内部被加压。
从而，由于供液箱子231的加压而产生的与功能液滴喷头31之间的压力差，贮存在供液箱子231的功能液流向功能液滴喷头31而被(加压)输送。在每一个供液分支管子242上，设有关闭分支供液通路的供给用阀246，由控制机构6来进行开闭控制。
如果功能液充填在功能液滴喷头31的喷头内部流路，则功能液到达设在喷头帽102内部的晶振301，由于功能液与晶振301接触，功能液检测信号从检测机构161传送到控制机构6。功能液充满在全部喷头内部流路时，检测机构161的信号如同图15(1)所示。即，由于功能液检测信号在给定时间持续，并向检测机构161传送，可以知道喷头内部流路里没有产生气泡、并由功能液充满。控制机构6在开始检测机构161的检测动作之后的第一给定时间(图15中的T1)内，如果从所有检测机构161，功能液检测信号在第二给定时间(图15中的T2)持续并被传送，则停止信号的输出，利用延迟电路(延迟机构)延迟这个信号而生成加压机构驱动的停止时间，由于这个时间，把三通阀244a切换为大气开放孔，关闭空气供给管子292的同时，使供液箱子231内部压力对大气开放，结束功能液的充填。
另一方面，如果喷头内部流路内存在气泡时，如图15(2)所示，对应于存在气泡的部分，功能液检测信号断续传送到控制机构6。另外，从功能液箱子不供给功能液的功能液用尽时，因为喷头内部流路里没有墨水，检测机构161的信号如同图15(3)所示的信号。控制机构6在开始检测机构161的检测动作后的第一给定时间内，如同上述，功能液检测信号在给定第二时间不持续时，进行错误状态的报知。这个报知可以利用设在液滴喷出装置的显示部的显示或声音。
另外，因为功能液流路的阻力不同，功能液充填每一个功能液滴喷头31的所需时间不同。此时，对每一个检测机构161，通过开闭控制与此相应的供给阀，可以防止已充填功能液的功能液滴喷头31(的喷头内部流路)浪费功能液的现象。具体地，开始检测机构161的检测动作之后的第一给定时间内，如果从检测机构161在第二给定时间功能液检测信号持续，并被传送，则控制机构6输出关闭管路的信号，由延迟电路(延迟机构)延迟这个信号之后，生成供给阀246的关闭时间，由这个时间来关闭对应于(传送过来功能液检测信号的)检测机构161的供给阀246。对所有检测机构161进行这样的动作，即通过按照功能液到达检测机构161的顺序关闭对应的供给阀246，可以防止已充填完功能液的功能液滴喷头31里继续供给功能液的现象，从而，可以减少功能液的消耗量。
另外，在第一实施方式的液滴喷出装置1中，只是依靠吸引泵的吸引来进行功能液的通液，而在第二实施方式的液滴喷出装置7中，只是依靠供液箱子231的加压来进行功能液的通液，但是，也可以构成为同时设置依靠吸引泵的吸引和依靠供液箱子231的加压。
在此，对液滴喷出装置1应用在液晶显示装置的制造中的情况进行说明。图16表示液晶显示装置321的截面结构。如图16所示，液晶显示装置321是由玻璃基板341为主体，在互相面对的面上，形成透明导电膜(ITO膜)342和取向膜343的上基板331、下基板332、设在这个上基板331和下基板332之间的多个隔片351、封闭这个上基板331和下基板332的封闭件352、充填在上基板331和下基板332之间的液晶所构成，与此同时，在上基板331的背面，层叠相位基板361和偏振片362a，并且，在下基板332的背面，层叠偏振片342b和背光363。
在通常的制造工艺中，各自进行透明导电膜342的图案形成和取向膜343的涂敷而分别制作上基板331和下基板332之后，在下基板332里制作装入隔片351和密封件352，在这个状态，粘合上基板331。然后，从密封件352的注入口注入液晶353并封闭注入口。再后，层叠相位基板361、两个偏振片362a、362b和背光363。
实施方式的液滴喷出装置1，例如在隔片351的形成和液晶353的注入中可以利用。具体地，作为功能液引入构成单元间隙的隔片材料(例如，紫外线硬化树脂或热硬化树脂)或液晶，把这些均匀喷出(涂敷)在给定位置。首先，环状印刷有密封件352的下基板332安装在吸附动作台72上，在这个下基板332上，以粗间隔喷出隔片材料，照射紫外线而凝固隔片材料。接着，在下基板332的密封件352的内侧，均匀喷出给定量的液晶353而注入。然后，将别外途径准备的上基板331和涂敷给定量液晶的下基板332引入到真空中，进行粘合。
这样，因为粘合上基板331和下基板332之前，把液晶353均匀涂敷(充填)在存储单元，可以消除液晶353不遍布在存储单元的角落等细部的不良现象。
另外，作为功能液(密封件材料)，通过利用紫外线硬化树脂或热硬化树脂，可以利用液滴喷出装置1来进行上述密封件352的印刷。同样，作为功能液(取向膜材料)引入聚酰亚胺树脂，可以利用液滴喷出装置1来制作取向膜343。
如上所述，利用液滴喷出装置1制造液晶显示装置321时，在上述液滴喷出装置1中，功能液充填时，通过提高功能液流路的功能液流速，可以有效排出功能液流路(喷头内部流路)的气泡，因此，可以减少充填功能液时的功能液的消耗量，可以有效制造液晶显示装置321。
这样构成的液滴喷出装置1可以用于手机、个人电脑等的电子器械上安装的上述液晶显示装置321的制造，还可以用于各种电光学装置(设备)的制造。即，有机EL装置、FED装置、PDP装置和电泳显示装置的制造。
对在有机EL装置制造中应用上述液滴喷出装置1的例子简单进行说明。如图17所示，下有机EL装置401中，在由基板421、电路元件部422、像素电极423、贮存格部424、发光元件425、阴极426(对置电极)和封闭用基板427所构成的有机EL元件411上连接可挠性基板(图中未示)的布线和驱动IC(集成电路)(图中未画出)。电路元件部422形成在基板421上，多个像素电极423定位排列在电路元件部422上。并且，每一个像素电极423之间以格子状形成贮存格部424，由贮存格部424生成的凹部121的开口431上形成发光元件425。阴极426形成在贮存格部424和发光元件425的上部全面，在阴极426上层叠密封用基板427。
在有机EL装置401制造工艺中，预先形成有电路元件部422和像素电极423的基板421(工件W)上的给定位置上形成贮存格部424之后，为了适当形成发光元件425进行等离子处理，其后，形成发光元件425和阴极426(对置电极)。然后，阴极426上层叠密封用基板427而封闭，获得有机EL元件411之后，将该有机EL元件411的阴极426与可挠性基板的布线连接，同时电路元件部422的布线与驱动集成电路连接，制造有机EL装置401。
液滴喷出装置1还可以用于发光元件425的形成。具体地，在功能液滴喷头31里引入发光元件材料(功能液)，通过在已形成贮存格部424的基板421的对应于像素电极423的位置上喷出发光元件材料并进行干燥，形成发光元件425。另外，在上述像素电极423或阴极426的形成中，通过利用分别对应的液体材料，可以利用液滴喷出装置1来制作。
另外，作为其他的电光学装置，可以设想包含金属布线的形成、透镜的形成、抗蚀剂层的形成和光扩散体形成等的装置。通过将上述液滴喷出装置1在各种电光学装置(设备)的制造中利用，可以减少功能液充填时的功能液的消耗量，因此可以降低制造成本。
如上所述，根据本发明的液滴喷出装置，在功能液充填在功能液滴喷头的喷头内部流路时，由晶振组成的检测机构来检测出功能液是否到达喷头帽内部的情况，因此，可以可靠地将功能液充填在喷头内部流路的同时，尽可能减少功能液充填时的功能液的浪费。
另外，在本发明的电光学装置的制造方法、电光学装置和电子器械中，因为利用上述液滴喷出装置来制造，可以适当充填功能液，有效进行制造。并且，可以节省用于充填的功能液，因此，可以降低制造成本。

Claims (18)

1.一种功能液充填装置，通过在连接在功能液箱子的功能液滴喷头上接合与废液管路连通的喷头帽，将所述功能液箱子内的功能液经过所述功能液滴喷头通液到所述喷头帽侧，向所述功能液滴喷头的喷头内部流路充填功能液，其特征在于，包括：
通液机构，用于将所述功能液箱子内的功能液经过所述功能液滴喷头通液到所述喷头帽一侧；
检测机构，用于检测已通液的功能液到达所述喷头帽的情况；和
控制机构，根据所述检测机构的检测结果停止所述通液机构的驱动；
所述检测机构包括配置在所述喷头帽内部和/或所述废液管路内部的晶振、和根据所述晶振的共振频率的变化检测功能液的有/无的检测器。
2.根据权利要求1所述的功能液充填装置，其特征在于，在所述检测机构执行的检测动作开始后，所述检测器的「有」信号在给定时间持续时，所述控制机构停止对所述通液机构的驱动。
3.根据权利要求2所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构具有延迟机构，该延迟机构将让所述通液机构的驱动停止的停止信号的输出延迟给定时间。
4.根据权利要求1所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构具有报知机构，该报知机构在所述检测机构执行的检测动作开始后，所述检测器的「有」信号不在给定时间持续时，报知其意思。
5.根据权利要求1所述的功能液充填装置，其特征在于，所述通液机构是与所述功能液箱子连接并加压输送所述功能液箱子内的功能液的加压送液机构。
6.根据权利要求1所述的功能液充填装置，其特征在于，所述通液机构是通过所述废液管路吸引所述功能液箱子内的功能液的吸引机构。
7.一种功能液充填装置，通过在通过多个供给管路分别与多个功能液箱子连接的功能液滴喷头上接合分别连通多个废液管路的多个喷头帽，将所述功能液箱子内的功能液经过所述多个功能液滴喷头输送到所述多个喷头帽侧，将功能液充填到所述各功能液滴喷头的各喷头内部流路中，其特征在于，包括：
加压送液机构，与所述功能液箱子连接并加压输送所述功能液箱子内的功能液；
多个管路关闭机构，分别介入设置在所述多个供给管路上；
多个检测机构，分别检测已输送的功能液到达了所述多个喷头帽的情况；和
控制机构，根据所述多个检测机构的检测结果，按照功能液到达所属喷头帽的顺序，让与该喷头帽对应的所述管路关闭机构执行关闭动作；
所述各检测机构包括配置在所述喷头帽内部和/或所述废液管路内部的晶振、和根据所述晶振的共振频率的变化检测出功能液的有/无的检测器。
8.一种功能液充填装置，通过在通过多个供给管路分别与多个功能液箱子连接的功能液滴喷头上接合分别连通多个废液管路的多个喷头帽，将所述功能液箱子内的功能液经过所述多个功能液滴喷头输送到所述多个喷头帽侧，将功能液充填到所述各功能液滴喷头的各喷头内部流路中，其特征在于，包括：
吸引机构，通过所述废液管路吸引功能液箱子内的功能液；
多个管路关闭机构，分别介入设置在所述多个废液管路上；
多个检测机构，分别检测所吸引的功能液到达了所述多个喷头帽的情况；和
控制机构，根据所述多个检测机构的检测结果，按照功能液到达了所述喷头帽的顺序，让与该喷头帽对应的所述管路关闭机构执行关闭动作；
所述各检测机构包括配置在所述喷头帽内部和/或所述废液管路内部的晶振、和根据所述晶振的共振频率的变化检测出功能液的有/无的检测器。
9.根据权利要求7所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构，在所述各检测机构执行的检测动作开始后，所述检测器的「有」信号在给定时间持续时，让所述各管路关闭机构执行关闭动作。
10.根据权利要求8所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构，在所述各检测机构执行的检测动作开始后，所述检测器的「有」信号在给定时间持续时，让所述各管路关闭机构执行关闭动作。
11.根据权利要求9所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构具有延迟机构，该延迟机构将让所述各管理关闭机构执行关闭动作的关闭信号的输出延迟给定时间。
12.根据权利要求10所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构具有延迟机构，该延迟机构将让所述各管理关闭机构执行关闭动作的关闭信号的输出延迟给定时间。
13.根据权利要求7或8所述的功能液充填装置，其特征在于，所述控制机构具有报知机构，该报知机构在所述检测机构执行的检测动作开始后，所述检测器的「有」信号不在给定时间持续时，报知其意思。
14.根据权利要求1所述的功能液充填装置，其特征在于，还包括洗涤液供给机构，其与所述功能液箱子连接并将洗涤液通液到从所述功能液箱子到所属废液管理的功能液全部流路中，清洗所述全部流路。
15.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：
权利要求1所述的液滴充填装置；和
描绘装置，让所述功能液滴喷头一边相对于工件作相对移动一边喷出功能液而在工件上形成由功能液滴构成的成膜部。
16.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，利用权利要求15所述的液滴喷出装置在工件上形成由功能液滴构成的成膜部。
17.一种电光学装置，其特征在于，利用权利要求15所述的液滴喷出装置在工件上形成由功能液滴构成的成膜部。
18.一种电子器械，其特征在于，搭载有利用权利要求16所述的电光学装置的制造方法制造的电光学装置或权利要求17所述的电光学装置。
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