CN100381877C - 检出对象的参数检出方法以及检出装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种能够简单、正确地检测出检出对象的参数的检出对象的参数检出方法以及检出装置。在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω₀的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向分别被设定为0°以及90°的方向的状态下，测定透射光强度。并且，计算出所测定的透射光强度的比r。此外，相对于不同的至少两个以上的ω与α的组合，测定在检偏镜(13)的透射轴方向被设定为任意的角度ω的方向，偏振光镜(11)的透射轴方向被设定为任意的角度α的状态下的透射光强度。并且，基于所测定的多个透过光强度和比r，检测出检出对象(12)的延迟和厚度。

Description

检出对象的参数检出方法以及检出装置

技术领域

本发明涉及一种检测出具有双折射特性的检出对象的参数(特别是检出对象的液晶层的延迟(リタデ一ション)、厚度)的检出对象的参数检出方法以及检出装置。

背景技术

作为构成液晶显示装置的液晶显示元件(以下称为“液晶晶元”)，使用液晶分子的长轴方向定向为大致与基板面平行的方向的液晶晶元。作为这样的液晶晶元，公知有扭转向列型(Twisted Nematic：TN)的液晶晶元、超扭转向列型(Super Twisted Nematic：STN)的液晶晶元、IPS型(In-PlaneSwitching)的液晶晶元。此外，也使用液晶分子的长轴方向被定向为与基板面的法线大致平行的方向、即与基板面大致垂直的方向(VerticalAlignment：VA)的液晶晶元(以下称为“VA晶元”)。VA晶元，因为具有高对比度和广阔的视角，被广泛的应用于液晶电视、液晶监视器等中。

液晶晶元的显示性能很大程度上依赖于液晶晶元的液晶层的厚度。为此，管理液晶晶元的液晶层的厚度是很重要的。

在这里，用液晶层的厚度和双折射率的乘积表示液晶晶元的液晶层的延迟。因此，液晶晶元的液晶层的厚度，可以通过检测出液晶层的延迟，检测出的液晶层的延迟除以双折射率而检测出。

液晶分子的长轴方向被定向为大致与基板面平行的方向的液晶晶元的液晶层的延迟，可以通过使光线垂直入射到液晶晶元的基板面上，分析透射通过液晶晶元的光的偏振光状态而检测出。

但是，VA晶元被定向于液晶分子的长轴方向与基板面大致垂直的方向。因此，在光线垂直入射VA晶元的基板面时，由于液晶分子在光学上各向同性地动作，透射通过VA晶元的光的偏振光状态不发生变化。也就是说，不能使用光垂直入射到VA晶元的基板面上的方法。

因此提出了通过光线斜射到VA晶元的基板面上，分析透射通过VA晶元的光的偏振光状态，从而检测出VA晶元的液晶层的厚度的方案。此方法公开在“Hiap Liew Ong，应用物理学杂志(ジヤ一ナルオブアプライドフイジクス)，第71卷1号，1992年，140页～144页”(参考文献1)、“HiapLiew Ong，应用物理学杂志，第70卷4号，1991年，2023页～2030页”(参考文献2)、“国际公开第WO01/022029号公报”(参考文献3)中。

例如，在参考文献1中公开的方法，使用了按照发光装置、偏振光镜、检偏镜、检出装置的顺序配置了各要件的测定装置。在检测出检出对象的延迟时，首先，将检出对象配置在偏振光镜与检偏镜之间。接下来，将检出对象的滞相轴设定为相对于偏振光镜的透射轴方向成45°的角度。在此状态，设定偏振光镜的透射轴方向与检偏镜的透射轴方向平行，测定透射光强度(检出装置的检出信号)I_para。此外，设定偏振光镜的透射轴方向与检偏镜的透射轴方向垂直，测定透射光强度I_cross。并且，使用所测定的透射光强度I_para、I_cross和[式1]，计算出检出对象的延迟R。

[数13]

$\tan \left(\frac{\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\sqrt{\frac{I_{\mathrm{cross}}}{I_{\mathrm{para}}}}$

......[式1]

光线平行于液晶晶元的基板面的法线、即垂直入射到液晶晶元的基板面上时，在界面(例如空气一玻璃界面)的光的透射率不根据入射光的偏振光方向发生变化。即不发生透射率的偏振光方向依存性。

但是，在光斜射到液晶晶元的基板面时，在界面上的光的透射率根据入射的光的偏振光方向而变化。即发生透射率的偏振光方向依存性。

因此，使用使光斜射到VA晶元的基板面的方法，检测出VA晶元的液晶层的延迟时，为了提高VA晶元的液晶层的延迟的检出精度，必须考虑透射率的偏振光方向依存性。

上述参考文献1所公开的方法中，由于没有考虑透射率的偏振光方向依存性，不能正确地检测出液晶层的延迟。因此，也不能正确地检测出液晶层的厚度。

此外，上述参考文献1所公开的方法中，将通常光折射率与异常光折射率的平均值作为双折射率使用。但是，由于平均值是近似值，所以参考文献1所公开的方法中，不能正确地检测出液晶层的厚度。

上述参考文献2所公开的方法中，虽然考虑了透射率的偏振光方向依存性，但是只考虑了在空气—玻璃界面上的透射率。在这里，在实际的液晶晶元上设置玻璃基板、滤色器、透明电极等。因此，为了知道液晶晶元的透射率，需要知道液晶晶元的所有构件的透射率。但是，由于薄膜材料会因为形成膜时的条件而折射率等光学特性发生变化，所以预先掌握各构件的透射率是不现实的。此外，很难测定制作好的液晶晶元的各个构件的透射率。因此，使用参考文献2所公开的方法时，也不能正确地检测出液晶层的延迟。

上述参考文献3中公开了不需考虑透射率的偏振光方向依存性而可以正确地检测出液晶层的延迟的方法。但是，上述参考文献3公开的方法，是以测定透射光强度的位置的光的透射率极小为前提的。因此，在延迟分布在测定领域内时，不能正确地检测出液晶层的延迟。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以简单、正确地检测出检出对象的延迟、厚度等参数的检出对象的参数检出方法以及检出装置。

第1发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为0°的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₀的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω₀，0°)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向被设定为90°的方向，检偏镜的透射轴方向被设定为任意的ω₀的方向。并且在此状态，测定透射光强度I(ω₀，90°)。

接下来，使用所测定的透射光强度I(ω₀，0°)、I(ω₀，90°)和下式计算出比r。

[数14]

接下来，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且，在此状态测定透射光强度I(ω，α)。相对于不同的至少2个以上的(ω，α)的组合测定该透射光强度I(ω，α)。

并且，使用所测定的至少2个以上的透射光强度I(ω，α)和下式检测出检出对象的延迟R。

[数15]

$I(\mathrm{\ω},\mathrm{\α})=I_0{\·T}_P[{\cos }^2\mathrm{\ω}\·{\cos }^2\mathrm{\α}+r\·{\cot }^2{\mathrm{\ω}}_0\·{\sin }^2\mathrm{\ω}\·{\sin }^2\mathrm{\α}$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\·{\cot \mathrm{\ω}}_0\·\sin 2\mathrm{\ω}\·\sin 2\mathrm{\α}\·\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)]$

在此，I₀是用检偏镜的透射率规格化了的入射光的强度。λ是入射光的波长。

本发明适合用于光线斜射到检出对象的基板面，使用透射通过了检出对象的光的强度检测出检出对象的参数(检出对象的液晶层的延迟和厚度)的情况。

检出对象包含有VA晶元等具有双折射特性的元件。

所谓“入射面”，是包含入射光的入射方向和检出对象的法线的面。

第2发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α₀的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为0°的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(0°，α₀)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α₀的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为90°的方向。并且在此状态，测定透射光强度I(90°，α₀)。

接下来，使用所测定的透射光强度I(0°，α₀)、I(90°，α₀)和下式计算出比r。

[数16]

接下来，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向。并且，在此状态测定透射光强度I(ω，α)。该透射光强度I(ω，α)的测定相对于不同的至少2个以上的(ω，α)的组合而进行。

并且，使用所检测出的至少2个以上的透射光强度I(ω，α)和下式检测出检出对象的延迟R。

[数17]

$I(\mathrm{\ω},\mathrm{\α})=I_0{\·T}_P[{\cos }^2\mathrm{\ω}{\·\cos }^2\mathrm{\α}+r{\·\cot }^2{\mathrm{\α}}_0\·{\sin }^2\mathrm{\ω}\·{\sin }^2\mathrm{\α}$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\·{\cot \mathrm{\α}}_0\·\sin 2\mathrm{\ω}\·\sin 2\mathrm{\α}\·\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)]$

第3发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α_i的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω₀，α_i)。该透射光强度I(ω，α_i)的测定相对于不同的至少3个以上的α_i进行。

并且，使用所测定的至少3个以上的透射光强度I(ω，α_i)和下式计算出变量A、B、C。

[数18]

I(ω，α_i)＝A·cos²α₁+B·sin²α₁+C·sin2α₁

接下来，使用所计算出的变量A、B、C和下式检测出检出对象的延迟R。

[数19]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\frac{C}{\sqrt{\mathrm{AB}}}$

作为使用透射光强度I(ω，α_i)和上述式计算出变量A、B、C的方法，例如使用最小二乘法。

第4发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α₁的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω，α₁)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₂(＝α₁+90°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且在此状态，测定透射光强度I(ω，α₂)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为α₃(＝α₁+45°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且在此状态测定透射光强度I(ω，α₃)。

并且，使用所测定的透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₃)和下式计算出检出对象的延迟R。

[数20]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\frac{M_1}{\sqrt{M_2-{\left(\frac{M_3}{2\cos 2{\mathrm{\α}}_1}\right)}^2}}$

M₁＝[2I(ω，α₃)-(1-tan2α₁)·I(ω，α₁)-(1+tan2α₁)·I(ω，α₂)]cos2α₁

M₂＝[I(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

M₃＝(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₁)

-(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₂)-2I(ω，α₃)·sin4α₁

第5发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₁的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω，α₁)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₂(＝α₁+90°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω，α₂)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为α₄(＝α₁+135°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω，α₄)。

并且，使用所测定的透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₄)和下式检测出检出对象的延迟R。

[数21]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\frac{M_4}{\sqrt{M_2-{\left(\frac{M_5}{2\·\cos 2{\mathrm{\α}}_1}\right)}^2}}$

M₄＝-[2I(ω，α₄)-(1+tan2α₁)I(ω，α₁)-(1-tan2α₁)·I(ω，α₂)]cos2α₁

M₂＝[I(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

M₅＝(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₁)

-(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₂)+2I(ω，α₄)·sin4α₁

第6发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω_i的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω_i，α)。此透射光强度I(ω_i，α)的测定相对于不同的至少3个以上的ω_i进行。

并且，使用所测定的至少3个以上的透射光强度I(ω_i，α)和下式计算出变量A、B、C。

[数22]

I(ω_i，α)＝A·cos²ω₁+B·sin²ω_i+C·sin 2ω_i

接下来，使用所计算出的变量A、B、C和下式检测出检出对象的延迟R。

[数23]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\frac{C}{\sqrt{\mathrm{AB}}}$

作为使用透射光强度I(ω_i，α)和上述式计算出变量A、B、C的方法，例如使用最小二乘法。

第7发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₁的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω₁，α)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₂(＝ω₁+90°)的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω₂，α)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为ω₃(＝ω₁+45°)的方向。并且在此状态，测定透射光强度I(ω₃，α)。

并且，使用所测定的透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)和下式计算出检出对象的延迟R。

[数24]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\frac{N_1}{\sqrt{N_2-{\left(\frac{N_3}{2\cos 2{\mathrm{\ω}}_1}\right)}^2}}$

N₁＝[2I(ω₃，α)-(1-tan2ω₁)·I(ω₁，α)-(1+tan2ω₁)·I(ω₂，α)]cos2ω₁

N₂＝[I(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

N₃＝(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₁，α)

-(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₂，α)-2I(ω₃，α)·sin4ω₁

第8发明的检出对象的参数检出方法中，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₁的方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω₁，α)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₂(＝ω₁+90°)方向。并且，在此状态，测定透射光强度I(ω₂，α)。此外，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₄(＝ω₁+135°)的方向。并且在此状态，测定透射光强度I(ω₄，α)。

并且，使用所测定的透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₄，α)和下式计算出检出对象的延迟R。

[数25]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\π}}{\mathrm{\λ}}R\right)=\frac{N_4}{\sqrt{N_2-{\left(\frac{N_5}{2\cos \·2{\mathrm{\ω}}_1}\right)}^2}}$

N₄＝-[2I(ω₄，α)-(1+tan2ω₁)·I(ω₁，α)-(1-tan2ω₁)·I(ω₂，α)]cos2ω₁

N₂＝[I(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

N₅＝(2-sin 4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₁，α)

-(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₂，α)+2I(ω₄，α)·sin4ω₁

第9发明的检出对象的参数检出方法中，基于检出对象的延迟R计算出检出对象的厚度d。

作为基于检出对象的延迟R计算出检出对象的厚度d的方法，例如，使用检出对象的延迟R除以检出对象的双折射率的方法。

第10发明的检出对象的参数检出装置具备发光装置、偏振光镜、检出对象、检偏镜、检出装置、处理装置。

使用照射单色光的发光装置作为发光装置。

偏振光镜以及检偏镜是能够将透射轴方向与光的前进方向平行的轴作为旋转轴而进行旋转。使偏振光镜或检偏镜旋转的驱动装置可以由通过手动使偏振光镜或检偏镜旋转的手动式的驱动机构或者马达等驱动源构成。此外，在检测出透射光强度时，可以通过处理装置控制马达等驱动源。

检出对象，以透射通过检偏镜的光(入射光)按相对于基板面的法线倾斜的角度入射的方式配置着。例如，可以使用使支承检偏镜的支承部相对于光线的入射方向倾斜配置的方法。或者，可以使用通过驱动机构使支承检偏镜的支承部旋转的方法。

检出装置检测出(测定)作为透射光强度的透射通过检偏镜的光的强度。

处置装置，输入在检出装置检测出(测定)的透射光强度，使用上述第1发明～第10发明的方法检测出检出对象的延迟R和厚度d。

在上述第1发明～第9发明的检出对象的参数检出方法中，考虑了相对检出对象倾斜入射光时发生的透射率的偏振光方向依存性。由此，即使在光相对检出对象倾斜入射的情况下，也可以正确地检测出检出对象的参数。

此外，由于不需要预先掌握液晶晶元的各个构件的折射率和透射率，所以处理简单。

第3发明以及第6发明的检出对象的参数检出方法中，与第1发明以及第2发明的检出对象的参数检出方法相比，为了得到透射光强度比r，不需要将检偏镜的透射轴方向或入射光的偏振光方向设定为特定的方向。因此，检偏镜的透射轴方向以及入射光的偏振光方向可以设定为任意的方向。因此，检偏镜的透射轴方向以及入射光的偏振光方向的调整是容易的，可以缩短作业时间。

第4发明以及第5发明的检出对象的参数检出方法中，与第3发明的检出对象的参数检出方法相比，不需要计算出变量A、B、C的处理。由此，处理装置的处理变得简单，可以缩短检出对象的参数的检出时间。

第7发明以及第8发明的检出对象的参数检出方法中，与第6发明的检出对象的参数检出方法相比，不需要计算出变量A、B、C的处理。由此，处理装置的处理变得简单，可以缩短检出对象的参数的检出时间。

第9发明的检出对象的参数检出方法中，可以简单、正确地检测出检出对象的液晶层的厚度。

第10发明的检出对象的参数检出装置中，可以用简单的结构容易、正确地检测出检出对象的参数。

此外，第1发明～第9发明的检出对象的参数检出方法以及第10发明的检出对象的参数检出装置中，即使检出对象的参数分布在测定领域内，也可以容易地检测出其分布。

附图说明

图1是表示本发明的检出对象的参数检出装置的一实施例的图。

图2是说明图1所示的检出对象的参数检出装置的坐标系的图。

具体实施方式

参照附图说明本发明的实施例。

以下，将液晶分子的长轴方向定向于与基板面的法线平行的方向、即液晶分子的长轴方向定向于与基板面垂直的方向的VA晶元作为检出对象而使用。并且，针对检测出作为VA晶元的参数的液晶层的延迟或厚度的情况进行说明。

另外，假定VA晶元的液晶层以外是各向同性，不具有延迟。此外，即使将液晶晶元以外作为检出对象时，具有延迟的层只有1层。但是，当滞相轴存在于入射面内，且全体的延迟成为各层的延迟的和时，将这些层全部合起来看作是1层。

首先，在图1中表示了以下的实施例中使用的检出对象的参数检出装置(以下称为“参数检出装置”)。另外，在图2中表示了图1表示的参数检出装置的坐标系。

在图1中，设定纸面的左右方向为x轴(右方向为正)，纸面的上下方向为z轴(上方向为正)，垂直于纸面的方向为y轴(纸面的背侧方向为正)。并且，使用光的前进方向为与z轴平行的方向，x轴存在于入射面内的右手系的坐标系。

另外，在本说明书中，“入射面”的意思是指包含入射光的入射方向和VA晶元12的基板面的法线的面。

偏振光镜、检偏镜的透射轴方向以及入射光的偏振光方向，用xy平面内的旋转角度指定。此时，x轴的正的方向为0°，从x轴的正的方向开始向y轴的正的方向的旋转方向为正。

图1所示的参数检出装置具有发光装置10、偏振光镜11、VA晶元12、检偏镜13、检出装置14、处理装置15。沿从发光装置10照射来的光的前进方向配置着各个装置。

发光装置10照射参数检出用的单色光。发光装置10可以由照射单色光的光源(例如激光)构成。此外，发光装置10也可以由照射一定波长范围的多色光的多色光源(例如卤素灯)和将多色光单色化的单色化装置(例如分光器或干涉滤光器)构成。

偏振光镜11只让从发光装置10照射来的光中具有与透射轴方向一致的方向的偏振光成分的直线偏振光透射过去。检偏镜13只让透射通过VA晶元12的光中具有与透射轴方向一致的方向的偏振光成分的直线偏振光透射过去。作为偏振光镜11以及检偏镜13，可以使用格兰汤姆逊棱镜等偏振光棱镜、或偏振薄膜等偏振光薄膜。

偏振光镜11或检偏镜13，以透射轴方向与光的前进方向(z轴)平行的轴作为旋转轴而在xy平面内可旋转的方式被配置着。例如，通过支承部支承偏振光镜11、检偏镜13，通过驱动装置11a或13a使支承部旋转。驱动装置11a或13a可以由通过手动使支承部旋转的手动式的驱动机构构成。或者也可以由通过步进马达等驱动源使支承部旋转的驱动机构构成。进而，驱动源既可以通过手动开关的操作而工作，也可以通过处理装置15而自动工作。由处理装置15控制驱动源时，因为可以使检出作业自动化，所以可缩短作业时间。

检出对象12，以入射光倾斜入射基板面的方式配置。例如使支承检出对象12的支承部以相对于入射光的入射方向倾斜的状态配置。或者，设置以平行于y轴(图1中是纸面的表面背面方向)的轴为旋转轴而可旋转的支承部。支承部通过驱动装置12a，通过手动或驱动源而被驱动。

VA晶元12的液晶层的液晶分子定向于与VA晶元12的基板面的法线平行时，如果如图1所示那样地配置VA晶元12，则液晶层的滞相轴(液晶分子的长轴方向)必定被包含在入射面中。VA晶元12的液晶层的液晶分子相对于VA晶元的基板面的法线倾斜时，或者检出对象不是液晶晶元，其分子的滞相轴相对于其表面的法线不平行时，以滞相轴方向被包含在入射面中的方式配置检出对象。

另外，优选在驱动装置11a、12a、13a中设置检测出偏振光镜11、检出对象12、检偏镜13的旋转位置的(或者是可判别旋转位置的)旋转位置检出器。

作为检出装置14，可以使用输出检出信号(测定信号)的装置，该检出信号具有与光电二极管或光电子倍增管等的入射光强度成比例的值(例如振幅的值)。另外，当检出信号的值与入射光的强度不成比例时，预先求得检出信号的值与入射光强度的关系，进行校正，使得检出信号的值与入射光的强度成比例。

从发光装置10照射来的光，通过透射通过偏振光镜11，成为具有角度α的方向的偏振光成分的直线偏振光，该偏振光镜11是透射轴方向相对于入射面倾斜为角度α的方向(被设定为角度α的方向)。

透射通过了偏振光镜11的直线偏振光，当入射到VA晶元12的基板面时，就分为s偏振光和p偏振光进行传播。S偏振光是具有相对于入射面垂直的方向的偏振光成分的直线偏振光。此外，p偏振光是具有平行于入射面的方向(与p偏振光的偏振光成分垂直的方向)的偏振光成分的直线偏振光。

入射到VA晶元12之前的直线偏振光的电场矢量<E₀>，用[式2]表示。另外，在本说明书中，“<>”用作表示矢量的记号。

[数26]

$<E_0>=\left(\begin{array}{c}{E_0}^p\\ {E_0}^s\end{array}\right)=\left(\begin{array}{c}{E}_0\&CenterDot;\cos \mathrm{\&alpha;}\\ E_0\&CenterDot;\sin \mathrm{\&alpha;}\end{array}\right)$

$=E_0\&CenterDot;\cos \mathrm{\&alpha;}<{e_0}^p>+E_0\&CenterDot;\sin \mathrm{\&alpha;}<{e_0}^s>$

......[式2]

在此，E₀ ^p、E₀ ^s是p偏振光以及s偏振光的电场的大小。E₀是入射光的电场矢量的大小(振幅)。<e₀ ^p><e₀ ^s>是p偏振光和s偏振光的偏振光方向的单位矢量。因为是在入射到VA晶元12之前，所以<e₀ ^s>以及<e₀ ^s>分别平行于x轴以及y轴。

通过界面后的电场矢量<E₁>由[式3]表示。

[数27]

$<E_1>=\left(\begin{array}{c}{E_1}^p\\ {E_1}^s\end{array}\right)=\left(\begin{array}{c}{t_{10}}^p\&CenterDot;{E_0}^p\\ {t_{10}}^s\&CenterDot;{E_0}^s\end{array}\right)$

$={t_{10}}^p\&CenterDot;{E_0}^p<{e_1}^p>+{t_{10}}^s\&CenterDot;{E_0}^s<{e_1}^s>$

$={t_{10}}^p\&CenterDot;{E_0}^p<{e_1}^p>+{t_{10}}^s\&CenterDot;{E_0}^s<{e_o}^s>$

......[式3]

在此，t₁₀ ^p、t₁₀ ^s是相对于p偏振光以及s偏振光的振幅透射率。

因为在界面发生折射，所以<e₁ ^p>≠<e₀ ^p>。由此，<e₁ ^p>变为不与x轴平行，而被包含在xz平面内。另一方面，<e₁ ^s>＝<e₀ ^s>。由此，<e₁ ^s>保持与y轴平行。

如果只注视各个偏振光成分的大小，则透射通过了该最初的界面之后的光的电场的振幅，由[式4]表示。

[数28]

$\left(\begin{array}{c}{E_1}^p\\ {E_1}^s\end{array}\right)=\left(\begin{array}{cc}{t_{10}}^p& 0\\ 0& {t_{10}}^s\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{E_0}^p\\ {E_0}^s\end{array}\right)$

......[式4]

其他的界面、例如玻璃-滤色器界面、透明电极-定向膜界面等的光的电场的变化也用同样的方法记述。

现在，把入射侧的空气-晶元最表面的界面作为第1界面，而考虑第i界面。在此，第i界面是第[i-1]个介质(第0为入射侧的空气)与第i个介质的界面。

将<e₁ ^p>以及<e_i ^s>作为在第i个介质中的、p偏振光和s偏振光的偏振光方向的单位矢量，则用[式5]表示在第i个介质中的电场矢量<E_i>。

[数29]

$<E_i>=\left(\begin{array}{c}{E_i}^p\\ {E_i}^s\end{array}\right)={E_i}^p<{e_i}^p>+E_i<{e_i}^s>$

......[式5]

通过第i个界面之后的电场矢量<E_i+1>，如[式6]。

[数30]

$<E_{i+1}>=\left(\begin{array}{c}{t_{i+1,i}}^p\&CenterDot;{E_i}^p\\ {t_{i+1,i}}^s\&CenterDot;{E_i}^s\end{array}\right)$

$={t_{i+1,i}}^p\&CenterDot;{E_i}^p<{e_{i+1}}^p>+{t_{i+1,i}}^s\&CenterDot;{E_i}^s<{e_{i+1}}^s>$

$={t_{i+1,i}}^p\&CenterDot;{E_i}^p<{e_{i+1}}^p>+{t_{i+1,i}}^s\&CenterDot;{E_i}^s<{e_0}^s>$

......[式6]

在此，t_i+1，i ^p、t_i+1，i ^s是在第i个界面的相对于p偏振光以及s偏振光的振幅透射率。

因为在界面发生折射，所以<e_i+1 ^p>≠<e_i ^p>。由此，<e_i+1 ^p>不与x轴平行，而被包含在xz平面内。另一方面，<e_i+1 ^s>＝<e_i ^s>＝<e₀ ^s>。由此，<e_i+1 ^s>保持与y轴平行。

如果只关注各个偏振光成分的大小，透射通过了该界面之后的光的电场的振幅，由[式7]表示。

[数31]

$\left(\begin{array}{c}{E_{i+1}}^p\\ {E_{i+1}}^s\end{array}\right)=\left(\begin{array}{c}{t_{i+1,i}}^p\&CenterDot;{E_i}^p\\ {t_{i+1,i}}^s\&CenterDot;{E_i}^s\end{array}\right)$

$=\left(\begin{array}{cc}{t_{i+1,i}}^p& 0\\ 0& {t_{i+1,i}}^s\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{E_i}^p\\ {E_i}^s\end{array}\right)$

$=\underset{j=0}{\overset{i}{\mathrm{\&Pi;}}}\left(\begin{array}{cc}{t_{j+1,j}}^p& 0\\ 0& {t_{j+1,j}}^p\end{array}\right)E_0$

$=\left(\begin{array}{cc}\underset{j=0}{\overset{i}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^p& 0\\ 0& \underset{j=0}{\overset{i}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^s\end{array}\right)E_0$

......[式7]

[式7]虽然只关注大小，但为了记述偏振光状态，也需要考虑s偏振光和p偏振光之间相对的相位差。

在此，由于假定了液晶层以外是光学上各向同性，所以在s偏振光和p偏振光之间不产生相位差。也就是说，即使考虑到相位差，也可以通过[式7]记述光的透射。

在液晶内，光分为通常光和异常光而进行传播。但是，如图1所示那样，当滞相轴存在于入射面时，通常光是s偏振光、即是具有垂直于入射面的方向的偏振光成分的直线偏振光。另一方面，异常光是p偏振光、即是具有在入射面内与s偏振光的偏振光成分垂直的方向的偏振光成分的直线偏振光。

因此，在构成VA晶元12的玻璃等的各介质中传播来的s偏振光，保持原状作为通常光在液晶内传播。此外，p偏振光作为异常光在液晶内传播。因此，液晶层的界面的透射率可以用与[式7]相同的形式表示。

但是，液晶层示出各向异性，具有延迟。即在偏振光方向上折射率不同，在通常光和异常光(s偏振光和p偏振光)之间发生相位差。

液晶层作为第1个介质，通常光的折射率为n_o ^eff、异常光的折射率为n_c ^eff时，通过液晶层，入射到第[1+1]个介质之前的光的电场矢量<E₁>的成分E₁ ^p、E₁ ^s用[式8]表示。

[数32]

$\left(\begin{array}{c}{E_l}^p\\ {E_l}^s\end{array}\right)=\left(\begin{array}{cc}{e}^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{ne}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}& 0\\ 0& e^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{no}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{t_{l,l-1}}^p\&CenterDot;{E_{l-1}}^p\\ {t_{l,l-1}}^s\&CenterDot;{E_{l-1}}^s\end{array}\right)$

$=\left(\begin{array}{cc}{e}^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{ne}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\&CenterDot;\underset{j=0}{\overset{l-1}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^p& 0\\ 0& e^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{no}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\&CenterDot;\underset{j=0}{\overset{l-1}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^s\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{E_0}^p\\ {E_0}^S\end{array}\right)$

......[式8]

在此，d是液晶层的厚度，λ是入射光的波长。

n_o ^eff、n_e ^eff用[式9]表示。

[数33]

${n_e}^{\mathrm{eff}}=-\frac{{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{xz}}}{{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{zz}}}X+\sqrt{\frac{{n_e}^2\&CenterDot;{n_o}^2}{{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{zz}}}-\frac{{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{xx}}\&CenterDot;{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{zz}}-{{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{xz}}}^2}{{{\mathrm{\&epsiv;}}_{\mathrm{zz}}}^2}{X}^2}$

${n_o}^{\mathrm{eff}}=\sqrt{{n_o}^2-X^2}$

X＝sinΘ

ε_zz＝n_o ²+(n_e ²-n_o ²)cos²θ

ε_xx＝n_o ²+(n_e ²-n_o ²)sin²θ

ε_xz＝(n_e ²-n_o ²)sinθ·cosθ

......[式9]

在此，Θ是入射光与VA晶元12的基板面的法线之间的角度(参照图1、图2)。θ是VA晶元12的基板面的法线与液晶层的滞相轴之间的角度。n_e、n_o是液晶材料的折射率，相对于电场为与液晶分子长轴方向平行的方向和垂直的方向的直线偏振光。

VA晶元的情况下，由于液晶分子的长轴方向被定向于与VA晶元的基板面的法线平行(垂直于基板面)，θ＝0°。

因此，[式9]成为[式10]。

[数34]

${n_e}^{\mathrm{eff}}=\frac{n_o}{n_e}\sqrt{{n_e}^2-X^2}$

${n_o}^{\mathrm{eff}}=\sqrt{{n_o}^2-X^2}$

......[式10]

通过了液晶层的光，在其后数次通过各向同性介质之间的界面，最后向VA晶元12的外部、即向空气射出。

经以上过程的入射光的偏振光状态的变化，当射出光的电场矢量为<E_m>时(也包含液晶层以及VA晶元两侧的空气，设存在[m+1]的层介质层)，<E_m>用[式11]表示。

[数35]

$<E_m>=<\begin{array}{c}{E_m}^p\\ {E_m}^s\end{array}>=\underset{k=1}{\overset{m-1}{\mathrm{\&Pi;}}}\left(\begin{array}{cc}{t_{k+1,k}}^p& 0\\ 0& {t_{k+1,k}}^s\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{E_l}^p\\ {E_L}^s\end{array}\right)$

$=\left(\begin{array}{cc}{e}^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{ne}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\&CenterDot;\underset{j=0}{\overset{m-1}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^p& 0\\ 0& e^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{no}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\underset{j=0}{\overset{m-1}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^s\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{E_0}^p\\ {E_0}^s\end{array}\right)$

$=\left(\begin{array}{cc}{e}^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{ne}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\&CenterDot;t_p& 0\\ 0& e^{i\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{no}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d}\&CenterDot;t_s\end{array}\right)\left(\begin{array}{c}{E}_0\&CenterDot;\cos \mathrm{\&alpha;}\\ E_0\&CenterDot;\sin \mathrm{\&alpha;}\end{array}\right)$

......[式11]

在此，t_p、t_s是相对于p偏振光以及s偏振光的VA晶元全体的振幅透射率，是用[式12]表示的在各个界面的振幅透射率的积。

[数36]

$t_p=\underset{j=0}{\overset{m-1}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^p$

$t_s=\underset{j=0}{\overset{m-1}{\mathrm{\&Pi;}}}{t_{j+1,j}}^s$

......[式12]

经由透射轴朝向角度ω的方向的检偏镜13，在检出装置14检测出该射出光的强度I(ω，α)时，I(ω，α)用[式13]表示。

另外，在本说明书中，I(ω，α)表示在将入射光的偏振光方向(偏振光镜11的透射轴方向)设定为从入射面开始的角度α的方向、且将检偏镜13的透射轴方向设定为从入射面开始的角度ω的方向时的透射光强度(检出装置14的检出信号)。

[数37]

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&alpha;})={|\left(\begin{array}{cc}{\cos }^2\mathrm{\&omega;}& \sin \mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\cos \mathrm{\&omega;}\\ \sin \mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\cos \mathrm{\&omega;}& {\sin }^2\mathrm{\&omega;}\end{array}\right)<E_m>|}^2$

$={|{E_m}^p\&CenterDot;\cos \mathrm{\&omega;}+{E_m}^s\&CenterDot;\sin \mathrm{\&omega;}|}^2$

$=I_0[{t_p}^2\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+{t_s}^2\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$\frac{1}{2}{t}_p\&CenterDot;t_s\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}({n_e}^{\mathrm{eff}}-{n_o}^{\mathrm{eff}})d]$

$=I_0[T_p\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+T_s\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$\frac{1}{2}\sqrt{T_p\&CenterDot;T_s}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos (\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}{\mathrm{\&Delta;n}}^{\mathrm{eff}}\&CenterDot;d)]$

$=I_0[T_p\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+T_s\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$\frac{1}{2}\sqrt{T_p\&CenterDot;T_s}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)]$

......[式13]

在此，I₀是用检偏镜13的透射率规格化了的射出光的强度。T_p＝t_p ²、T_s＝t_s ²是相对于p偏振光、s偏振光的VA晶元12的透射率。Δn^eff＝n_e ^eff-n_o ^eff是VA晶元12的液晶层的双折射率。此外，[R＝Δn^eff·d]是VA晶元12的液晶层的延迟。

通过使用在检出装置14检测出的透射光强度，通过[式13]，将液晶层的延迟R作为变量而进行分析，从而能够计算出液晶层的延迟R。

在此，[式13]包含相对于p偏振光、s偏振光的VA晶元12的透射率T_p、T_s。因此，为了使用透射光强度，由[式13]计算出液晶层的延迟，需要此VA晶元12的透射率T_p、T_s的具体的值。

但是，为了得到VA晶元12的透射率T_p、T_s的具体的值，需要事先掌握VA晶元12的所有构件的透射率。实际的VA晶元12具有ITO制的透明电极、滤色器等构件。因此，为了得到VA晶元12的透射率，需要知道全部的构件的透射率。但是，薄膜构件根据膜的制造条件而折射率等的光学特性发生变化。因此，事先掌握透射率是不现实的。此外，在制造了VA晶元12之后，测定VA晶元12的各构件的透射率是困难的。

在本发明中，提出了不需要VA晶元12的透射率T_p、T_s的值而可以正确检测出液晶层的延迟R，进而正确检测出液晶层的厚度d的分析方法。

以下，说明使用图1以及图2所示的参数检出装置，检测出检出对象的参数(在本实施方式中是VA晶元12的液晶层的延迟R、厚度d)的方法。

第一实施例

在第一实施例中，将相对于入射面的检偏镜13的透射轴方向的倾斜角度ω(以下称为“检偏镜13的透射轴方向ω”)设定为任意的角度。此外，将相对于入射面的偏振光镜11的透射轴方向的倾斜角度α(以下称为“偏振光镜11的透射轴方向α”)设定为平行于入射面的角度(α＝0°)以及与入射面垂直的角度(α＝90°)。在各个状态下测定透射光强度。并且，用测定的透射光强度的比r，检测出VA晶元12(检出对象)的参数。

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₀的方向(朝向角度ω₀的方向)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°的方向(朝向角度0°的方向)。此时的透射光强度(检出装置14的检出信号)为I(ω₀，0°)。

设定检偏镜13的透射轴方向ω为上述任意的角度ω₀的方向。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为90°的方向。此时的透射光强度为I(ω₀，90°)。

并且，用透射光强度I(ω₀，0°)、I(ω₀，90°)和[式14]计算出比r。

[数38]

......[式14]

将偏振光镜11的透射轴方向设定为角度α的方向，且将检偏镜13的透射轴方向设定为角度ω的方向时的透射光强度I(ω，α)，使用[式14]的比r通过[式15]表示。

[数39]

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&alpha;})=I_0\&CenterDot;T_p[{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)]$

......[式15]

在此，用[式16]表示相对于偏振光镜11的透射轴方向α和检偏镜13的透射轴方向ω的至少一方不同的、至少2个以上的、ω和α组合(不同的至少2个以上的ω和α的组合)的透射光强度的比、例如透射光强度I(ω₁，α₁)与透射光强度I(ω₂，α₂)的比。透射光强度I(ω₁，α₁)是相对于任意的角度α₁与任意的角度ω₁的组合(ω₁，α₁)的透射光强度。透射光强度I(ω₂，α₂)是相对于任意的角度α₂与任意的角度ω₂的组合(ω₂，α₂)的透射光强度。

[数40]

$\frac{I({\mathrm{\&omega;}}_1,{\mathrm{\&alpha;}}_1)}{I({\mathrm{\&omega;}}_2,{\mathrm{\&alpha;}}_2)}=\frac{P_1}{P_2}$

$P_1={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

$P_2={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_2\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式16]

另外，作为选择(ω，α)的不同的组合的方法，可以使用选择只有α不同的组合的方法。例如，可以选择(ω₁，α₁)的组合和(ω₁，α₂)的组合。或者，可以使用选择只有ω不同的组合的方法。例如，可以选择(ω₁，α₁)的组合和(ω₂，α₁)的组合。当然也可以使用选择α以及ω两者都不同的组合的方法。例如，可以选择(ω₁，α₁)的组合和(ω₂，α₁)的组合。

[式16]不包含VA晶元12的液晶层的透射率T_p、T_s。此外，α₁、α₂、ω₀、ω₁、ω₂是已知的，入射光的波长λ也是已知的。即，[式16]中，变量只有VA晶元12的液晶层的延迟R。

因此，通过检出装置14测定I(ω₁，α₁)和I(ω₂，α₂)，用测定的I(ω₁，α₁)和I(ω₂，α₂)，由[式16]可以计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

另外，[液晶层的延迟R＝Δn^eff·d]。在此，液晶层的双折射率Δn^eff，如[式9]、[式10]所示那样，由相对于液晶层的通常光的通常光折射率n_o和相对于异常光的异常光折射率n_e表示。

因此由[式16]计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff，从而可计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。

上面是用[式14]计算出了比r的值。但是，通过向[式15]或[式16]中的r代入[式14]的r，就不需要计算出r的值了。

此外，[式15]中的未知变量，是延迟R和系数I₀·T_p。因此，要相对于ω或α的至少一方不同的、至少2个以上的ω和α的组合(ω，α)测定透射光强度I(ω，α)，通过比较测定的透射光强度I(ω，α)与由[式15]计算出的值，可以计算出液晶层的延迟R。作为比较方法，例如可以使用最小二乘法。

下面说明本实施例的参数检出方法的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在如图1所示的参数检出装置。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

例如，将VA晶元12配设在如图1所示的参数检出装置的支承部(图示省略)。并且，通过驱动装置12a，以与y轴平行的轴为旋转轴而使支承部旋转，将入射光的入射方向(z轴方向)与VA晶元12的基板面的法线方向之间的角度设定为Θ。

或者，将VA晶元12配设在相对于入射光的入射方向倾斜了角度Θ的支承部上。此时，可以省略驱动装置12a。

(步骤2)

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₀方向。在此状态下，将偏振光镜11的透射轴方向设定为0°的方向。从而测定透射光强度I^m(ω₀，0°)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为90°的方向。从而测定透射光强度I^m(ω₀，90°)。

例如，通过驱动装置13a，将与z轴(光的前进方向)平行的轴作为旋转轴，使检偏镜13在xy面内旋转，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₀的方向。在此状态，通过驱动装置11a，将与z轴(光的前进方向)平行的轴作为旋转轴，使偏振光镜11在xy面内旋转，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°的方向。此时的检出装置14的检出信号为透射光强度I^m(ω₀，0°)。此外，通过驱动装置11a使偏振光镜11旋转，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为90°的方向。此时的检出装置14的检出信号为透射光强度I^m(ω₀，90°)。

(步骤3)

使用在步骤2测定的透射光强度I^m(ω₀，0°)和I ^m(ω₀，90°)，通过[式17]计算出比r。

[数41]

......[式17]

(步骤4)

在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁的方向。从而测定透射光强度I^m(ω₁，α₁)。此外，在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₂的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₂的方向。从而测定透射光强度I^m(ω₂，α₂)。另外，只要满足[α₁≠α₂]或[ω₁≠ω₂]的至少一方就可以。

例如，通过驱动装置11a使偏振光镜11旋转，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁的方向。在此状态，通过驱动装置13a使检偏镜13旋转，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁的方向。并且，使此时的检出装置14的检出信号为透射光强度I^m(ω₁，α₁)。此外，通过驱动装置11a使偏振光镜11旋转，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₂的方向。在此状态，通过驱动装置13a使检偏镜13旋转，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₂。并且，使此时的检出装置14的检出信号为透射光强度I^m(ω₂，α₂)。

(步骤5)

使用在步骤4测定的透射光强度I^m(ω₁，α₁)和I^m(ω₂，α₂)，通过[式18]计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数42]

$\frac{I^m({\mathrm{\&omega;}}_1,{\mathrm{\&alpha;}}_1)}{I^m({\mathrm{\&omega;}}_2,{\mathrm{\&alpha;}}_2)}=\frac{P_2}{P_2}$

$P_1={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

$P_2={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}{\&CenterDot;\cot \mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_2\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式18]

(步骤6)

在计算出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤5计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)(参照[式9]、[式10])。

在上面，使用相对于ω、α的至少一方不同的、至少2个以上的ω和α组合(ω，α)的透射光强度，通过[式15]、[式16]，计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。在此，也可以用比[式15]、[式16]简单的算式，计算出液晶层的延迟R。

以下，说明可以用简单的算式检测出液晶层的延迟R的检出方法。

首先，用在[式14]计算出的比r和[式19]计算出角度γ。

[数43]

$\mathrm{\&gamma;}={\tan }^{-1}\sqrt{\frac{{\tan }^2{\mathrm{\&omega;}}_0}{r}}$

......[式19]

在此，在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为由[式19]计算出的角度γ的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度方向时的透射光强度I(ω，γ)，用[式20]表示。

[数44]

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&gamma;})=I_0\frac{T_p\&CenterDot;T_s}{T_p+T_s}[1+\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)]$

......[式20]

由此，透射光强度I(ω₁，γ)与透射光强度I(ω₂，γ)的比，用[式21]表示。另外，透射光强度I(ω₁，γ)是在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度γ的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度ω₁的方向时的透射光强度。此外，透射光强度I(ω₂，γ)是在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度γ的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度ω₂(≠ω₁)的方向时的透射光强度。

[数45]

$\frac{I({\mathrm{\&omega;}}_1,\mathrm{\&gamma;})}{I({\mathrm{\&omega;}}_2,\mathrm{\&gamma;})}=\frac{1+\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)}{1+\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)}$

......[式21]

此外，在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为由[式19]计算出的角度γ的方向的同时，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向时的透射光强度I(γ，α)，用[式22]表示。

[数46]

$I(\mathrm{\&gamma;},\mathrm{\&alpha;})=I_0\frac{T_p\&CenterDot;T_s}{T_p+T_s}[1+\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)]$

......[式22]

由此，透射光强度I(γ，α₁)与透射光强度I(γ，α₂)的比，用[式23]表示。另外，透射光强度I(γ，α₁)是在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度γ的方向的同时，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₁的方向时的透射光强度。此外，透射光强度I(γ，α₂)是在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度γ的方向的同时，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₂(≠α₁)的方向时的透射光强度。

[数47]

$\frac{I(\mathrm{\&gamma;},{\mathrm{\&alpha;}}_1)}{I(\mathrm{\&gamma;},{\mathrm{\&alpha;}}_2)}=\frac{1+\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)}{1+\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_2\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)}$

.......[式23]

因此，通过使用在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为由[式19]计算出的角度γ的方向的状态下而将检偏镜13的透射轴方向ω设定为不同的至少2个以上的任意的角度时的透射光强度，或者，在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为由[式19]计算出的角度γ的方向的状态下而将偏振光镜11的透射轴方向α设定为不同的至少2个以上的任意的角度时的透射光强度，可以使用比[式15]、[式16]简单的[式20]～[式23]计算出液晶层的延迟R。

在第一实施例中，考虑了使光倾斜地入射到VA晶元12时的VA晶元12的透射率T_p、T_s。因此，即使VA晶元12的透射率存在偏振光依存性时(T_p≠T_s)，也可以正确地检测出VA晶元的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，从[式16]、[式21]或[式23]可以明确，在第一实施例中，不需要这些透射率T_p、T_s的值，就可以检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。因此可以简单、正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

第二实施例

表示将偏振光镜的透射轴方向设定为α的方向，将检偏镜的透射轴方向设定为ω的方向时的透射光强度的[式13]，即使替换α和ω也完全没有变化。即，可以将第一实施例中说明的偏振光镜置换为检偏镜，将检偏镜置换为偏振光镜。

在第二实施例中，在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向的状态下，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为与入射面平行的方向(ω＝0°)以及与入射面垂直的方向(ω＝90°)，测定各自的透射光强度。从而利用测定的透射光强度的比r，检测出VA晶元12(检出对象)的参数。

在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₀的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°的方向。从而测定透射光强度I(0°，α₀)。此外，在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₀的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为90°方向。从而测定透射光强度I(90°，α₀)。

接下来，使用测定的透射光强度I(0°，α₀)和I(90°，α₀)，通过[式24]计算出比r。

[数48]

......[式24]

在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向时的透射光强度I(ω，α)，用在[式24]计算出的r，由[式25]表示。

[数49]

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&alpha;})=I_0\&CenterDot;T_p[{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)]$

......[式25]

在此，用[式26]表示相对于偏振光镜11的透射轴方向α和检偏镜13的透射轴方向ω的至少一方不同的、至少2个以上的α和ω的组合(不同的至少2个以上的α和ω的组合)(ω，α)的透射光强度的比、例如透射光强度I(ω₁，α₁)与透射光强度I(ω₂，α₂)的比。另外，透射光强度I(ω₁，α₁)是相对于偏振光镜11的透射轴方向α₁与检偏镜13的透射轴方向ω₁的组合(ω₁，α₁)的透射光强度。此外，透射光强度I(ω₂，α₂)是相对于偏振光镜11的透射轴方向α₂与检偏镜13的透射轴方向ω₂的组合(ω₂，α₂)的透射光强度。

[数50]

$\frac{I({\mathrm{\&omega;}}_1,{\mathrm{\&alpha;}}_1)}{I({\mathrm{\&omega;}}_2,{\mathrm{\&alpha;}}_2)}=\frac{Q_1}{Q_2}$

$Q_1={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

$Q_2={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_2+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_2\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式26]

另外，作为选择(ω，α)的不同的组合的方法，可以使用选择只有α不同的组合的方法。例如可以选择(ω₁，α₁)的组合和(ω₁，α₂)的组合。或者，可以使用选择只有ω不同的组合的方法。例如可以选择(ω₁，α₁)的组合和(ω₂，α₁)的组合。当然也可以使用选择α以及ω两者都不同的组合的方法。例如可以选择(ω₁，α₁)的组合和(ω₂，α₂)的组合。

[式26]与[式16]相同，不包含VA晶元12的液晶层的透射率T_p、T_s。因此，在[式26]中，变量只有VA晶元12的液晶层的延迟R。

因此，通过检出装置14检测出I(ω₁，α₁)和I(ω₂，α₂)，通过检测出的I(ω₁，α₁)、I(ω₂，α₂)和[式26]可以计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

另外，通过由[式26]计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff，可以计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。

上面，用[式24]计算出了r的值。在此，由于向[式25]或[式26]中的r代入[式24]的r，所以就不需要求r的值了。

此外，[式25]中的未知变量，是延迟R和系数I₀·T_p这2个。为此，相对于ω或α的至少一方不同的、至少2个以上的ω和α的组合(ω，α)测定透射光强度I(ω，α)，通过比较测定的透射光强度I(ω，α)与用[式25]计算出的值，可以计算出液晶层的延迟R。作为比较方法，可以使用例如最小二乘法。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

VA晶元12配置在如图1所示的参数检出装置中。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₀的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°的方向，测定透射光强度I^m(0°，α₀)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为90°的方向，测定透射光强度I^m(90°，α₀)。

(步骤3)

使用在步骤2测定的透射光强度I^m(0°，α₀)、I^m(90°，α₀)和[式27]计算出比r。

[数51]

......[式27]

(步骤4)

在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁的方向。从而测定透射光强度I^m(ω₁，α₁)。此外，在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₂的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₂的方向。从而测定透射光强度I^m(ω₂，α₂)。另外，只要满足[α₁≠α₂]或[ω₁≠ω₂]的至少一方就可以。

(步骤5)

使用在步骤4测定的透射光强度I^m(ω₁，α₁)和I^m(ω₂，α₂)和[式28]，计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数52]

$\frac{I^m({\mathrm{\&omega;}}_1,{\mathrm{\&alpha;}}_1)}{I^m({\mathrm{\&omega;}}_2,{\mathrm{\&alpha;}}_2)}=\frac{Q_1}{Q_2}$

$Q_1={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_1$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

$Q_2={\cos }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\cos }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;{\sin }^2{\mathrm{\&alpha;}}_2$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;\cot {\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_2\&CenterDot;\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_2\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式28]

(步骤6)

在检测出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤5计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

在上面，使用相对于ω、α的至少一方不同的、至少2个以上ω和α的组合(ω，α)的透射光强度，通过[式25]、[式26]，求得VA晶元12的液晶层的延迟R。在此，可以使用比[式25]、[式26]简单的算式，检测出液晶层的延迟R。

以下，说明用简单的算式检测出液晶层的延迟R的方法。

首先，用在[式24]计算出的比r和[式29]计算出角度γ。

[数53]

$\mathrm{\&gamma;}={\tan }^{-1}\sqrt{\frac{{\tan }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0}{r}}$

[式29]

在此，用[式22]表示在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为由[式29]计算出的角度γ的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向时的透射光强度I(ω，γ)。

由此，用[式19]表示透射光强度I(ω₁，γ)与透射光强度I(ω₂，γ)的比。透射光强度I(ω₁，γ)是在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度γ的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度ω₁的方向时的透射光强度。透射光强度I(ω₂，γ)是在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度γ的方向的同时，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₂(≠ω₁)的方向时的透射光强度。

此外，用[式20]表示将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度γ的方向，且将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向时的透射光强度I(γ，α)。

由此，用[式23]表示透射光强度I(γ，α₁)与透射光强度I(γ，α₂)的比。透射光强度I(γ，α₁)是在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度γ的方向的同时，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁的方向时的透射光强度。此外，透射光强度I(γ，α₂)是在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度γ的方向的同时，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₂(≠α₁)的方向时的透射光强度。

这样，通过使用在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为由[式29]计算出的角度γ的方向的状态下而将检偏镜13的透射轴方向ω设定为不同的至少2个以上的任意的角度时的透射光强度，或者，在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为由[式29]计算出的角度γ的方向的状态下而将偏振光镜11的透射轴方向α设定为不同的至少2个以上的任意的角度时的透射光强度，可以使用比[式25]、[式26]简单的[式20]～[式23]，计算出液晶层的延迟R。

在第二实施例中，与第一实施例相同，考虑了光倾斜地入射到VA晶元12时的VA晶元12的透射率T_p、T_s。由此，即使VA晶元12的透射率具有偏振光依存性时(T_p≠T_s)，也可以正确地检测出VA晶元的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，不需要这些透射率T_p、T_s的值，就可以求出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。因此，可以简单、正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

第三实施例

在第一实施例或第二实施例中，为了得到透射光强度的比r，将检偏镜13的透射轴方向ω、或将偏振光镜11的透射轴方向α设定为特定的方向。在此，可以容易地进行偏振光镜11的透射轴方向α和检偏镜13的透射轴方向ω的设定操作。

在第三实施例中，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的不同的3个以上的角度的方向，测定各自的透射光强度。并且，用测定的3个以上的透射光强度，检测出VA晶元12的液晶层的延迟R。

表示将偏振光镜11的透射轴方向设定为角度α的方向，且将检偏镜13的透射轴方向设定为角度ω的方向时的透射光强度的[式13]，可以改写成如[式30]那样。

[数54]

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&alpha;})=A\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&omega;}+B\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}+C\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}$

$A=I_0\&CenterDot;T_p\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}$

$B=I_0\&CenterDot;T_S\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$C=\frac{I_0}{2}\sqrt{T_p\&CenterDot;T_s}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式30]

在[式30]中，偏振光镜11的透射轴方向α、检偏镜13的透射轴方向ω是已知的，I₀·T_p、I₀·T_s、R、A、B、C是未知的。

在此，可以通过在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向的状态下而将检偏镜13的透射轴方向ω设定为至少3个以上的不同的角度的方向时的透射光强度与[式31]相比较，计算出3个变量A、B、C。例如，通过将检偏镜13的透射轴方向ω设定为3个不同的角度ω₁、ω₂、ω₃[ω_i(i＝1，2，3)]的方向时的3个透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)[I(ω_i，α)(i＝1，2，3)]和[式31]相比较，可以计算出变量A、B、C。作为比较方法，可以使用例如最小二乘法。

[数55]

I(ω_i，α)＝A·cos²ω_i+B·sin²ω₁-C·sin2ω₁

......[式31]

并且，用计算出的变量A、B、C，由[式32]可以计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数56]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{C}{\sqrt{\mathrm{AB}}}$

......[式32]

另外，使用将检偏镜13的透射轴方向ω设定为3个透射轴方向ω₁～ω₃的方向时的3个透射光强度，计算出3个变量A、B、C时，如果3个透射轴方向ω₁～ω₃中同时包含45°和135°时，只通过3个透射光强度是不能计算出3个变量A、B、C的。此时，使用将检偏镜13的透射轴方向ω设定为4个以上的不同角度的方向时的4个以上的透射光强度。

此外，当将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°或90°的方向时，变量C总为“0”。因此，偏振光镜11的透射轴方向α，必须设定为0°和90°以外的角度的方向。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在图1所示的参数检出装置中。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°和90°以外的任意的角度的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为不同的3个角度ω₁、ω₂、ω₃(不同时包含45°和135°)的方向，测定透射光强度I^m(ω₁，α)、I^m(ω₂，α)、I^m(ω₃，α)。

(步骤3)

通过比较在步骤2测定的透射光强度I^m(ω_i，α)(i＝1，2，3)和由[式33]表示的透射光强度I^m(ω_i，α)(i＝1，2，3)，计算出变量A^m、B^m、C^m。

[数57]

I^m(ω_i，α)＝A^m·cos²ω_i+B^m·sin²ω_i+C^m·sin2ω_i

......[式33]

(步骤4)

使用在步骤3计算出的变量A^m、B^m、C^m，由[式34]计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数58]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{C^m}{\sqrt{A^m\&CenterDot;B^m}}$

......[式34]

(步骤5)

在检测出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤4计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

第三实施例，与第一以及第二实施例相同，即使VA晶元12的透射率存在偏振光依存性时(T_p≠T_s)，也可以正确地检测出VA晶元的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，因为不需要这些透射率T_p、T_s的值，就可以求出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d，所以可以简单、正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，在第三实施例中，与第一实施例相比较，可以将偏振光镜11的透射轴方向α或检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向。因此，偏振光镜11的透射轴方向α和检偏镜13的透射轴方向ω的设定是容易的，可以缩短透射光强度的测定时间。

第四实施例

在第三实施例中，使用将检偏镜13的透射轴方向ω设定为3个以上的不同角度ω_i(i＝1，2，3，…)的方向时的透射光强度I(ω_i，α)(i＝1，2，3，…)，计算出了变量A、B、C。在此，通过使用适当的角度作为角度ω_i，可以省略计算出变量A、B、C的处理。

在第四实施例中，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁、角度ω₂(＝ω₁+90°)、角度ω₃(＝ω₁+45°)的方向，测定各自的透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)。并且用测定的透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)，检测出VA晶元12的液晶层的延迟R。

若在将偏振光镜的透射轴方向α设定为任意的角度的方向的状态下将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁、ω₂(＝ω₁+90°)、ω₃(＝ω₁+45°)、ω₄(＝ω₁+135°)的方向时的透射光强度为I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)、I(ω₄，α)时，[式30]用[式35]表示。

[数59]

I(ω₁，α)＝A·cos²ω₁+B·sin²ω₁+C·sin 2ω₁

I(ω₂，α)＝A·sin²ω₁+B·cos²ω₁-C·sin 2ω₁

$I({\mathrm{\&omega;}}_3,\mathrm{\&alpha;})=\frac{1}{2}[(A+B)-(A-B)\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1+2C\&CenterDot;\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1]$

$I({\mathrm{\&omega;}}_4,\mathrm{\&alpha;})=\frac{1}{2}[(A+B)+(A-B)\sin 2{\mathrm{\&omega;}}_1+2C\&CenterDot;\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1]$

A＝I₀·T_p·cos²α

B＝I₀·T_s·sin²α

$C=\frac{I_0}{2}\sqrt{T_p\&CenterDot;T_s}\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式35]

因此，使用3个透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)，由[式36]可以直接计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数60]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{N_1}{\sqrt{N_2-{\left(\frac{N_3}{2\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1}\right)}^2}}$

N₁＝[2I(ω₃，α)-(1-tan2ω₁)·I(ω₁，α)-(1+tan2ω₁)·I(ω₂，α)]cos2ω₁

N₂＝[I(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

N₃＝(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₁，α)

-(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₂，α)-2I(ω₃，α)·sin4ω₁

......[式36]

由[式36]计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff，可以计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在图1所示的参数检出装置中。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°和90°以外的任意的角度的方向。在此状态，检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁的方向，测定透射光强度I^m(ω₁，α)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度ω₂(＝ω₁+90°)的方向，测定透射光强度I^m(ω₂，α)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为角度ω₃(＝ω₁+45°)的方向，测定透射光强度I^m(ω₃，α)。

(步骤3)

使用在步骤2测定的透射光强度I^m(ω₁，α)、I^m(ω₂，α)、I^m(ω₃，α)和[式37]，计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数61]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{n_1}{\sqrt{n_2-{\left(\frac{n_3}{2\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1}\right)}^2}}$

n₁＝[2I^m(ω₃，α)-(1-tan2ω₁)·I(ω₁，α)-(1+tan2ω₁)·I^m(ω₂，α)]cos2ω₁

n₂＝[I^m(ω₁，α)+I^m(ω₂，α)]²

n₃＝(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I^m(ω₁，α)

-(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I^m(ω₂，α)-2I^m(ω₃，α)·sin4ω₁

......[式37]

(步骤4)

检测出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤3计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

第五实施例

在第四实施例中，通过将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁、ω₂(＝ω₁+90°)、ω₃(＝ω₁+45°)的方向，省略了计算出变量A、B、C的处理。在此，通过将检偏镜13的透射轴方向ω设定为这之外的角度的方向，也可以省略计算出变量A、B、C的处理。

在第五实施例中，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁、ω₂(＝ω₁+90°)、ω₄(＝ω₁+135°)的方向，测定各自的透射光强度。并且，用测定的透射光强度，检测出VA晶元12的液晶层的延迟R。

在将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度的方向的状态下，若将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁、ω₂(＝ω₁+90°)、ω₃(＝ω₁+45°)、ω₄(＝ω₁+135°)的方向时的透射光强度为I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)、I(ω₄，α)时，[式30]用[式35]表示。

因此，使用3个透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₄，α)，由[式38]可以直接计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数62]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{N_4}{\sqrt{N_2-{\left(\frac{N_5}{2\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1}\right)}^2}}$

N₄＝-[2I(ω₄，α)-(1+tan2ω₁)·I(ω₁，α)-(1-tan2ω₁)·I(ω₂，α)]cos2ω₁

N₂＝[I(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

N₅＝(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₁，α)

-(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₂，α)+2I(ω₄，α)·sin4ω₁

......[式38]

此外，由[式38]计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff，可以计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在如图1所示的参数检出装置。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°和90°以外的任意的角度的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度ω₁的方向，测定透射光强度I^m(ω₁，α)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为ω₂(＝ω₁+90°)的方向，测定透射光强度I^m(ω₂，α)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为ω₄(＝ω₁+135°)的方向，测定透射光强度I^m(ω₄，α)。

(步骤3)

使用在步骤2测定的透射光强度I^m(ω₁，α)、I^m(ω₂，α)、I^m(ω₄，α)和[式39]，计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数63]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{n_4}{\sqrt{n_2-{\left(\frac{n_5}{2\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1}\right)}^2}}$

n₄＝-[2I^m(ω₄，α)-(1+tan2ω₁)·I^m(ω₁，α)-(1-tan2ω₁)·I^m(ω₂，α)]cos2ω₁

n₂＝[I^m(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

n₅＝(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I^m(ω₁，α)

-(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I^m(ω₂，α)+2I^m(ω₄，α)·sin4ω₁

......[式39]

(步骤4)

在检测出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤3计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

第四以及第五实施例中，与第一～第三实施例相同，即使VA晶元12的透射率存在偏振光依存性时(T_p≠T_s)，也可以正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，因为不需要这些透射率T_p、T_s的值，就可以检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d，所以可以简单、正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，在第四以及第五实施例中，与第三实施例相比较，因为不需要计算出变量A、B、C，所以处理装置15的处理变得简单。

第六实施例

表示将偏振光镜11的透射轴方向设定为角度α的方向，将检偏镜13的透射轴方向设定为角度ω的方向时的透射光强度的[式13]，即使替换α和ω，也完全没有变化。即，可以将在第三实施例中说明的偏振光镜替换为检偏镜，将检偏镜替换为偏振光镜。

在第六实施例中，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的3个以上的角度，测定各自的透射光强度。并且，用测定的透射光强度，检测出VA晶元12的液晶层的延迟R。

若不改变检偏镜13的透射轴方向ω，而改变偏振光镜11的透射轴方向α，表示透射光强度的[式19]，可以改写为[式40]那样。

[数64]

I(ω，α)＝A·cos²α+B·sin²α+C·sin2α

A＝I₀·T_p·cos²ω

B＝I₀·T_s·sin²ω

$C=\frac{I_0}{2}\sqrt{T_p\&CenterDot;T_s}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式40]

在[式40]中，偏振光镜11的透射轴方向α、检偏镜13的透射轴方向ω是已知的，I₀·T_p、I₀·T_s、R、A、B、C是未知的。

在此，可以通过在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向的状态下而将偏振光镜11的透射轴方向α设定为至少3个以上的不同的角度的方向时的透射光强度、与[式41]相比较，计算出3个变量A、B、C。例如，通过比较将偏振光镜11的透射轴方向ω设定为3个不同的角度α₁、α₂、α₃[α_i(i＝1，2，3)]的方向时的3个透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₃)[I(ω，α_i)(i＝1，2，3)]与[式41]，可以计算出变量A、B、C。作为比较方法，可以使用例如最小二乘法。

[数65]

I(ω，α_i)＝A·cos²α_i+B·sin²α_i+C·sin2α_i

......[式41]

并且，用计算出的变量A、B、C，由[式32]可以计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

另外，使用将偏振光镜11的透射轴方向α设定为3个透射轴方向α₁～α₃的方向时的3个透射光强度，计算出3个变量A、B、C时，如果3个透射轴方向α₁～α₃中同时包含45°和135°，那么只用3个透射光强度，是不能计算出3个变量A、B、C的。此时，使用将偏振光镜11的透射轴方向α设定为4个以上的角度的方向时的4个以上的透射光强度。

此外，如果将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°或90°的方向，则变量C就总为“0”。因此，检偏镜13的透射轴方向ω需要设定为0°和90°以外的角度的方向。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在如图1所示的参数检出装置中。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°和90°以外的任意的角度的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为3个不同的角度α₁、α₂、α₃(不同时包含45°和135°)的方向，测定各自的透射光强度I^m(ω，α₁)、I^m(ω，α₂)、I^m(ω，α₃)。

(步骤3)

通过比较在步骤2测定的透射光强度I^m(ω，α_i)(i＝1，2，3)和由[式42]表示的透射光强度I^m(ω，α_i)(i＝1，2，3)，计算出变量A^m、B^m、C^m。

[数66]

I^m(ω，α_i)＝A^m·cos²α_i+B^m·sin²α_i+C^m·sin2α_i

.......[式42]

(步骤4)

使用在步骤3计算出的变量A^m、B^m、C^m，由[式34]计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

(步骤5)

在计算出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤4计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

第六实施例中，与第三实施例相同，即使VA晶元12的透射率存在偏振光依存性的情况下(T_p≠T_s)，也可以正确地检测出VA晶元的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，不需要这些透射率T_p、T_s的值，就可以求出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。所以可以简单、正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，在第六实施例中，与第二实施例相比较，可以将偏振光镜11的透射轴方向α、检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向。因此，偏振光镜11的透射轴方向α、检偏镜13的透射轴方向ω的设定是容易的，可以缩短透射光强度的检出时间。

第七实施例

在第六实施例中，使用将偏振光镜11的透射轴方向α设定为3个以上的不同角度α_i(i＝1，2，3、…)的方向时的透射光强度I(ω，α_i)(i＝1，2，3、…)，计算出了变量A、B、C。在此，通过使用适宜的角度作为角度α_i，可以省略计算出变量A、B、C的处理。

在第七实施例中，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₁、角度α₂(＝α₁+90度)、角度α₃(＝α₁+45°)，测定各自的透射光强度。并且，用测定的透射光强度，检测出VA晶元12的液晶层的延迟R。

在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向的状态下，若将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁、α₂(＝α₁+90度)、α₃(＝α₁+45°)、α₄(＝α₁+135°)的方向时的透射光强度为I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₃)、I(ω，α₄)时，[式30]用[式43]表示。

[数67]

I(ω，α₁)＝A·cos²α₁+B·sin²α₁+C·sin2α₁

I(ω，α₂)＝A·sin²α₁+B·cos²α₁-C·sin2α₁

$I(\mathrm{\&omega;},{\mathrm{\&alpha;}}_3)=\frac{1}{2}[(A+B)-(A-B)\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1+2C\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1]$

$I(\mathrm{\&omega;},{\mathrm{\&alpha;}}_4)=\frac{1}{2}[(A+B)+(A-B)\sin 2{\mathrm{\&alpha;}}_1+2C\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1]$

A＝I₀·T_p·cos²ω

B＝I₀·T_s·sin²ω

$C=\frac{I_0}{2}\sqrt{T_p\&CenterDot;T_s}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)$

......[式43]

因此，使用3个透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₃)，由[式44]可以直接计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数68]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{M_1}{\sqrt{M_2-{\left(\frac{M_3}{2\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1}\right)}^2}}$

M₁＝[2I(ω，α₃)-(1-tan2α₁)·I(ω，α₁)-(1+tan2α₁)·I(ω，α₂)]cos2α₁

M₂＝[I(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

M₃＝(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₁)

-(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₂)-2I(ω，α₃)·sin4α₁

......[式44]

由[式44]计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff，可以计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在如图1所示的参数检出装置中。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°和90°以外的任意的角度的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁的方向，测定透射光强度I^m(ω，α₁)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₂(＝α₁+90°)的方向，测定透射光强度I^m(ω，α₂)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₃(＝α₁+45°)的方向，测定透射光强度I^m(ω，α₃)。

(步骤3)

使用在步骤2测定的透射光强度I^m(ω，α₁)、I^m(ω，α₂)、I^m(ω，α₃)，由[式45]可以直接计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数69]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{m_1}{\sqrt{m_2-{\left(\frac{m_3}{2\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1}\right)}^2}}$

m₁＝[2I^m(ω，α₃)-(1-tan2α₁)·I^m(ω，α₁)-(1+tan2α₁)·I^m(ω，α₂)]cos 2α₁

m₂＝[I^m(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

m₃＝(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I^m(ω，α₁)

-(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I^m(ω，α₂)-2I^m(ω，α₃)·sin4α₁

......[式45]

(步骤4)

在检测出VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤3计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

第八实施例

在第七实施例中，通过将偏振光镜11的透射轴方向设定为任意的角度α₁、α₂(＝α₁+90°)、α₃(＝α₁+45°)的方向，省略了计算出变量A、B、C的处理。在此，通过将偏振光镜11的透射轴方向α设定为这之外的角度的方向，也可以省略计算出变量A、B、C的处理。

在第八实施例中，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁、α₂(＝α₁+90°)、α₃(＝α₁+135°)的方向，测定各自的透射光强度。并且，用测定的透射光强度，检测出VA晶元12的液晶层的延迟R。

在将检偏镜13的透射轴方向ω设定为任意的角度的方向的状态下，若使将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α₁、α₂(＝α₁+90°)、α₃(＝α₁+45°)、α₄(＝α₁+135°)的方向时的透射光强度为I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₃)、I(ω，α₄)时，[式30]用[式43]表示。

因此，使用3个透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₄)，由[式46]可以直接计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数70]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{M_4}{\sqrt{M_2-{\left(\frac{M_5}{2\&CenterDot;\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1}\right)}^2}}$

M₄＝-[2I(ω，α₄)-(1+tan2α₁)·I(ω，α₁)-(1-tan2α₁)·I(ω，α₂)]cos2α₁

M₂＝[I(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

M₅＝(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₁)

-(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₂)+2I(ω，α₄)·sin4α₁

......[式46]

由[式46]计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff，可以计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。

下面说明本实施例的顺序。

(步骤1)

将VA晶元12配置在如图1所示的参数检出装置上。此时，以VA晶元12的基板面的法线方向相对于入射光的入射方向倾斜角度Θ的方式配设VA晶元12。

(步骤2)

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°和90°以外的任意的角度的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为任意的角度α_i的方向，测定透射光强度I^m(ω，α₁)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₂(＝α₁+90°)的方向，测定透射光强度I^m(ω，α₂)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为角度α₄(＝α₁+135°)的方向，测定透射光强度I^m(ω，α₄)。

(步骤3)

使用在步骤2测定的透射光强度I^m(ω，α₁)、I^m(ω，α₂)、I^m(ω，α₄)，由[式47]计算出VA晶元12的液晶层的延迟R。

[数71]

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{m_4}{\sqrt{m_2-{\left(\frac{m_5}{2\&CenterDot;\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1}\right)}^2}}$

m₄＝-[2I^m(ω，α₄)-(1+tan2α₁)·I^m(ω，α₁)-(1-tan2α₁)·I^m(ω，α₂)]cos2α₁

m₂＝[I^m(ω，α₁)+I^m(ω，α₂)]²

m₅＝(2-sin 4α₁-2sin²2α₁)·I^m(ω，α₁)

-(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I^m(ω，α₂)+2I^m(ω，α₄)·sin4α₁

......[式47]

(步骤4)

在检测VA晶元12的液晶层的厚度d时，在步骤3计算出的VA晶元12的液晶层的延迟R除以VA晶元12的液晶层的双折射率Δn^eff(＝n_e ^eff-n_o ^eff)。

第七以及第八实施例中，与第一～第六实施例相同，即使VA晶元12的透射率存在偏振光依存性的情况下(T_p≠T_s)，也可以正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，不需要这些透射率T_p、T_s的值，就可以计算出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d，所以可以简单、正确地检测出VA晶元12的液晶层的延迟R和厚度d。

此外，在第七以及第八实施例中，与第六实施例相比较，因为不需要计算出变量A、B、C，所以处理装置15的处理变得简单。

下面说明用本发明测定检出对象的各透射光强度，并使用测定的各透射光强度计算出检出对象的延迟以及厚度的实验例。

实验例1

使用如下那样制作的VA晶元作为检出对象。

使用在单面具有直径约1cm的圆形的透明电极的、约3cm见方的玻璃基板作为基板。在玻璃基板的透明电极侧，设置有用于使液晶分子以与玻璃基板的法线平行的方式定向的聚酰亚胺膜。并且，将2个玻璃基板以透明电极侧相对向的方式粘接。在此，使用混入了直径4.5μm的树脂制的珠子(ビ一ズ)的紫外线硬化性粘接剂作为粘接剂。将该紫外线硬化性粘接剂涂敷于玻璃基板周围的内侧5mm左右的部分。并且，通过照射紫外线使紫外线硬化性粘接剂硬化，将2个玻璃基板粘接起来。由此，在玻璃基板之间形成与珠子的直径相应的间隙。通过在该玻璃基板的间隙中，利用毛细管现象注入液晶材料，从而制造VA晶元。

发光装置10由卤素灯和能让波长λ为546nm的单色光透射通过的干涉滤光器构成。

偏振光镜11以及检偏镜13，使用偏振光薄膜。

检出装置14使用CCD照相机。

将用上述方法制造的VA晶元，以入射光的入射角(VA晶元12的基板面的法线与入射光的入射方向之间的角度)Θ为30°的方式配置在偏振光镜11与检偏镜13之间。

在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向(使偏振光镜11的透射轴方向朝向45°的方向)，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°的方向(使检偏镜13的透射轴方向朝向0°的方向)。从而测定透射光强度(检出装置14的检出信号)I^m(0°，45°)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为90°的方向。从而测定透射光强度I^m(90°，45°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(0°，45°)和I^m(90°，45°)，由[式27]计算出比r。其结果是得到r＝0.665。

接下来，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为用r通过[式29]计算出的角度[γ＝50.8°]，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向。并且，测定透射光强度I^m(45°，α)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为上述角度[γ＝50.8°]的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为135°的方向。并且测定透射光强度I^m(135°，α)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(45°，α)和I^m(135°，α)，由[式48]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.4nm。

[数72]

......[式48]

此外，使用VA晶元的液晶材料的异常光折射率n_e＝1.5633、通常光折射率n_o＝1.4776以及入射角Θ＝30°，通过[式10]计算出VA晶元的液晶层的双折射率Δn^eff。并且，由[式48]计算出的VA晶元的液晶层的延迟R＝40.4nm除以VA晶元的液晶层的双折射率Δn^eff。其结果是得到VA晶元的液晶层的厚度d＝4.23μm。

实验例2

进行了实验例1的测定之后，不变动VA晶元，继续进行实验例2的测定。

到计算出角度γ为止，都是与实验例1相同的顺序。其结果是得到r＝0.670。

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为用r通过[式29]计算出的角度[γ＝50.7°]的方向，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向。并且测定透射光强度I^m(ω，45°)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为上述角度[γ＝50.7°]的方向，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为135°的方向。并且测定透射光强度I^m(ω，135°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(ω，45°)和I^m(ω，135°)，由[式49]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.3nm。

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.22μm。

[数73]

......[式49]

实验例3

使用与实验例1相同的VA晶元，不变动VA晶元，在进行了实验例1、2的测定之后，继续进行实验例3的测定。

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°的方向。并且测定透射光强度I^m(45°，0°)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为90°的方向。并且测定透射光强度I^m(45°，90°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(45°，0°)和I^m(45°，90°)，由[式17]计算出比r。其结果是得到r＝0.665。

接下来，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为用r通过[式29]计算出的角度[γ＝50.8°]的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向。并且测定透射光强度I^m(45°，α)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为上述角度[γ＝50.8°]的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为135°的方向。并且测定透射光强度I^m(135°，α)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(45°，α)和I^m(135°，α)，由[式49]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.3nm。

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.22μm。

实施例4

进行了实验例3的测定之后，不变动VA晶元，继续进行实验例4的测定。

到计算出角度γ为止，都是与实验例4相同的顺序。其结果是得到r＝0.660。

接下来，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为用r通过[式29]计算出的角度[50.9°]的方向，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向。并且测定透射光强度I^m(ω，45°)。此外，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为上述角度[50.9°]的方向，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为135°的方向。并且测定透射光强度I^m(ω，135°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(ω，45°)和I^m(ω，135°)，由[式49]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.5nm。

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.24μm。

实验例1～4，连续地测定了相同的VA晶元的相同地方。

并且，在各实验例1～4中，作为VA晶元的延迟R以及厚度d，得到了大致相等的值。

比较例1

为了确认使用考虑了液晶层的透射率的各向异性的本发明，检测出检出对象的延迟和厚度时的检出精度，使用旋转检偏镜法检测出检出对象的延迟和厚度。

在进行了实验例4的测定后，不变动VA晶元，继续进行比较例的测定。

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向。并且测定透射光强度I^m(45°，45°)。此外，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为135°的方向。并且测定透射光强度I^m(135°，45°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(45°，45°)和I^m(135°，45°)，由[式50]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝43.8nm。

[数74]

......[式50]

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.58μm。

将比较例的检出结果和考虑了液晶层的透射率的各向异性的实验例1～4的检出结果相比较，虽然对相同VA晶元的相同地方进行了测定，但是比较例的检出结果与实验例1～4的检出结果不同。

实验例5

进行了比较例的测定之后，不变动VA晶元，继续进行实验例5的测定。

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω以10°的间隔在从0°到90°的范围内设定，测定各自的透射光强度I^m(ω_i，45°)(ω_i＝0°、10°、20°…80°、90°)。

接下来，通过使用最小二乘法比较测定了的I^m(ω_i，45°)和[式51]的I^m(ω_i，45°)，计算出变量A^m、B^m、C^m。其结果是得到A^m＝24605、B^m＝17227、C^m＝18412(任意单位)。

[数75]

I(ω_i，45°)＝A^m·cos²ω_i+B^m·sin²ω_i+C^m·sin2ω_i

......[式51]

接下来，使用计算出的变量A^m、B^m、C^m，通过[式34]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.3nm。

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.22μm。

实验例6

进行了实验例5的测定之后，不变动VA晶元，继续进行实验例6的测定。

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°、45°、90°的方向，测定各自的透射光强度I^m(0°，45°)、I^m(45°，45°)、I^m(90°，45°)。

接下来，使用测定了的透射光强度I^m(0°，45°)、I^m(45°，45°)、I^m(90°，45°)，由[式52]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.4nm。

[数76]

......[式52]

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.23μm。

实验例7

进行了实验例6的测定后，不变动VA晶元，继续进行实验例7的测定。

将偏振光镜11的透射轴方向α设定为45°的方向。在此状态，将检偏镜13的透射轴方向ω设定为0°、90°、135°的方向，测定各自的透射光强度I^m(0°，45°)、I^m(90°，45°)、I^m(135°，45°)。

接下来，使用测定了的透射光强度I^m(0°，45°)、I^m(90°，45°)、I^m(135°，45°)，由[式53]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.4nm。

[数77]

......[式53]

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.23μm。

实验例8

进行了实验例7的测定后，不变动VA晶元，继续进行实验例8的测定。

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α以10°的间隔在从0°到90°的范围内设定，测定各自的透射光强度I^m(45°，α_i)(α_i＝0°、10°、20°…80°、90°)。

接下来，通过使用最小二乘法比较测定了的透射光强度I^m(45°，α_i)和[式54]的I(45°，α_i)，计算出变量A^m、B^m、C^m。其结果是得到A^m＝24857、B^m＝17650、C^m＝18711(任意单位)。

[数78]

I(45°，α_i)＝A^m·cos²α_i+B^m·sin²α_i+C^m·sin2α_i

......[式54]

接下来，使用计算出的变量A^m、B^m、C^m，通过[式34]，计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.5nm。

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.24μm。

实验例9

在进行了实验例8的测定之后，不变动VA晶元，继续进行实验例9的测定。

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°、45°、90°的方向，并且测定各自的透射光强度I^m(45°，0°)、I^m(45°，45°)、I^m(45°，90°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(45°，0°)、I^m(45°，45°)、I^m(45°，90°)，由[式55]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果，得到R＝40.6nm。

[数79]

......[式55]

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元12的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.25μm。

实验例10

在进行了实验例9的测定后，不变动VA晶元，继续进行实验例10的测定。

将检偏镜13的透射轴方向ω设定为45°的方向。在此状态，将偏振光镜11的透射轴方向α设定为0°、90°、135°的方向，并且测定各自的透射光强度I^m(45°，0°)、I^m(45°，90°)、I^m(45°，135°)。

接下来，用测定的透射光强度I^m(45°，0°)、I^m(45°，90°)、I^m(45°，135°)，由[式56]计算出VA晶元的液晶层的延迟R。其结果是得到R＝40.6nm。

[数80]

......[式56]

此外，用与实验例1相同的顺序计算出VA晶元的液晶层的厚度d。其结果是得到d＝4.25μm。

[实验例5]～[实验例10]连续测定了与[实验例1]～[实验例4]相同的VA晶元的相同地方。

在[实验例5]～[实验例10]中检测出的VA晶元的液晶层的延迟R以及厚度d，与在[实验例1]～[实验例4]中检测出的值是大致相等的值，而与比较例是不同的值。

本发明并不仅限于在实施方式中说明的结构，可以作各种变更、追加、删除。

例如，虽然说明了检测出VA晶元的延迟和厚度的情况，但是本发明并不仅限于VA晶元，也可以用于检测出显示出与光学性单轴介质相同的光学特性的检出对象的延迟和厚度。

此外，参数检出装置并不仅限于图1所示的结构，只要可以检测出上述的各透射光强度，或者，可以基于各透射光强度检测出检出对象的延迟和厚度就可以。

此外，可以适当地变更上述各透射光强度的检出顺序、或检测出对象的延迟和厚度的各步骤的顺序。

Claims (10)

1.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为0°的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₀的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₀，0°)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为90°的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₀的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₀，90°)，

使用所测定的透射光强度I(ω₀，0°)、I(ω₀，90°)和下式，计算出比r，

相对于不同的至少2个以上的(ω，α)的组合，测定在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下的透射光强度I(ω，α)，

使用所测定的至少2个以上的透射光强度I(ω，α)和下式，检测出检出对象的延迟R，

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&alpha;})=I_0\&CenterDot;T_P\&lsqb;{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;{\cot \mathrm{\&omega;}}_0\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)\&rsqb;$

其中，I₀为入射光的强度，T_p为相对于p偏振光的检出对象的透射率，λ为入射光的波长。

2.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α₀的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为0°的方向的状态下，测定透射光强度I(0°，α₀)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α₀的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为90°的方向的状态下，测定透射光强度I(90°，α₀)，

使用所测定的透射光强度I(0°，α₀)、I(90°，α₀)和下式，计算出比r，

相对于不同的至少2个以上的(ω，α)的组合，测定在检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω，入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的状态下的透射光强度I(ω，α)，

使用所测定的至少2个以上的透射光强度I(ω，α)和下式，检测出检出对象的延迟R，

$I(\mathrm{\&omega;},\mathrm{\&alpha;})=I_0\&CenterDot;T_P\&lsqb;{\cos }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\cos }^2\mathrm{\&alpha;}+r\&CenterDot;{\cot }^2{\mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;{\sin }^2\mathrm{\&alpha;}$

$+\frac{1}{2}\sqrt{r}\&CenterDot;{\cot \mathrm{\&alpha;}}_0\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&omega;}\&CenterDot;\sin 2\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)\&rsqb;$

其中，I₀为入射光的强度，Tp为相对于p偏振光的检出对象的透射率，λ为入射光的波长。

3.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

相对于不同的至少3个以上的α_i，测定在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α_i的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下的透射光强度I(ω，α_i)，

使用所测定的至少3个以上的透射光强度I(ω，α_i)和下式，计算出变量A、B、C，

I(ω，α_i)＝A·cos²α_i+B·sin²α_i+C·sin2α_i

使用所计算出的变量A、B、C和下式，检测出检出对象的延迟R，

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{C}{\sqrt{\mathrm{AB}}}.$

4.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

在入射到检出对象的直线偏振光的相对于入射面的偏振光方向被设定为任意的角度α₁的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下，测定透射光强度I(ω，α₁)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₂(＝α₁+90°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下，测定透射光强度I(ω，α₂)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₃(＝α₁+45°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下，测定透射光强度I(ω，α₃)，

使用所测定的透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₃)和下式，检测出检出对象的延迟R，

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{M_1}{\sqrt{M_2-{\left(\frac{M_3}{2\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1}\right)}^2}}$

M₁＝[2I(ω，α₃)-(1-tan2α₁)·I(ω，α₁)-(1+tan2α₁)·I(ω，α₂)]cos2α₁

M₂＝[I(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

M₃＝(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₁)

-(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₂)-2I(ω，α₃)·sin4α₁

5.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α₁的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下，测定透射光强度I(ω，α₁)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₂(＝α₁+90°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下，测定透射光强度I(ω，α₂)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为角度α₄(＝α₁+135°)的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω的方向的状态下，测定透射光强度I(ω，α₄)，

使用所测定的透射光强度I(ω，α₁)、I(ω，α₂)、I(ω，α₄)和下式，检测出检出对象的延迟R，

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{M_4}{\sqrt{M_2-{\left(\frac{M_5}{2\cos 2{\mathrm{\&alpha;}}_1}\right)}^2}}$

M₄＝-[2I(ω，α₄)-(1+tan2α₁)·I(ω，α₁)-(1-tan2α₁)·I(ω，α₂)]cos2α₁

M₂＝[I(ω，α₁)+I(ω，α₂)]²

M₅＝(2-sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₁)

-(2+sin4α₁-2sin²2α₁)·I(ω，α₂)+2I(ω，α₄)·sin4α₁

6.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

相对于不同的至少3个以上的ω_i，测定在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω_i的方向的状态下的透射光强度I(ω_i，α)，

使用所测定的至少3个以上的透射光强度I(ω_i，α)和下式，计算出变量A、B、C，

I(ω_i，α)＝A·cos²ω_i+B·sin²ω_i+C·sin 2ω_i

使用所计算出的变量A、B、C和下式，检测出检出对象的延迟R，

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{C}{\sqrt{\mathrm{AB}}}.$

7.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₁的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₁，α)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₂(＝ω₁+90°)的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₂，α)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₃(＝ω₁+45°)的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₃，α)，

使用所测定的透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₃，α)和下式，检测出检出对象的延迟R，

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{N_1}{\sqrt{N_2-{\left(\frac{N_3}{2\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1}\right)}^2}}$

N₁＝[21(ω₃，α)-(1-tan2ω₁)·I(ω₁，α)-(1+tan2ω₁)·I(ω₂，α)]cos2ω₁

N₂＝[I(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

N₃＝(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₁，α)

-(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₂，α)-2I(ω₃，α)·sin4ω₁

8.一种检出对象的参数检出方法，对具有双折射特性的检出对象入射直线偏振光，基于透射通过检出对象以及检偏镜的光的透射光强度，检测出检出对象的参数，其特征在于，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为任意的角度ω₁的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₁，α)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₂(＝ω₁+90°)的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₂，α)，

在入射到检出对象的直线偏振光的偏振光方向相对于入射面被设定为任意的角度α的方向，检偏镜的透射轴方向相对于入射面被设定为角度ω₄(＝ω₁+135°)的方向的状态下，测定透射光强度I(ω₄，α)，

使用所测定的透射光强度I(ω₁，α)、I(ω₂，α)、I(ω₄，α)和下式，检测出检出对象的延迟R，

$\cos \left(\frac{2\mathrm{\&pi;}}{\mathrm{\&lambda;}}R\right)=\frac{N_4}{\sqrt{N_2-{\left(\frac{N_5}{2\&CenterDot;\cos 2{\mathrm{\&omega;}}_1}\right)}^2}}$

N₄＝-[2I(ω₄，α)-(1+tan 2ω₁)·I(ω₁，α)-(1-tan 2ω₁)·I(ω₂，α)]cos2ω₁

N₂＝[I(ω₁，α)+I(ω₂，α)]²

N₅＝(2-sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₁，α)

-(2+sin4ω₁-2sin²2ω₁)·I(ω₂，α)+2I(ω₄，α)·sin4ω₁

9.如权利要求1～8中任一项所述的检出对象的参数检出方法，其特征在于，所检测出的检出对象的延迟R除以检测对象的双折射率Δn^eff，从而检测出检出对象的厚度d。

10.一种检出对象的参数检出装置，其特征在于，具有：

光源；

偏振光镜，其使具有透射轴方向的偏振光成分的直线偏振光透射通过，能够将透射轴方向与从光源发射来的光的前进方向平行的轴作为旋转轴而进行旋转；

检出对象，其以透射通过了偏振光镜的光，按相对于基板面的法线倾斜的角度入射的方式配置；

检偏镜，其使具有透射轴方向的偏振光成分的直线偏振光透射通过，能够将透射轴方向与透射通过了检出对象的光的前进方向平行的轴作为旋转轴而进行旋转；

检出装置，其检测出透射通过了检偏镜的光的强度，输出检出信号；

处理装置，其输入从检出装置输出的检出信号，

处理装置进行权利要求1～9中任一项所述的处理，检测出检出对象的延迟R和厚度d中的至少一方。

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