CN100352076C - 一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法 - Google Patents
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Abstract
一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法,涉及磁电阻薄膜的制备方法,特别是涉及各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备。本方法是采用磁控溅射方法,通过选取不同成分的NixFe100-x合金靶,x为78~85,以及溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气0.5~1小时,维持在气压0.1~0.5Pa,控制薄膜杂质含量小于0.1%,制备出具有准确成分的Ni81Fe19薄膜。本方法在进一步降低薄膜制备难度的同时,仍能保证薄膜很薄时具有较高的各向异性磁电阻值和低矫顽力、低晶体各向异性、大的磁化强度和低磁致伸缩等综合性能,以满足磁传感器的性能和产品需求。
Description
技术领域
本发明涉及磁电阻薄膜的制备方法,特别是涉及各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备。
背景技术
各向异性磁电阻(Anisotropic Magnetoresistance,AMR)坡莫合金薄膜(Ni81Fe19)通常选用Ta作为Ni81Fe19薄膜的(111)织构诱导层,亦即种子层,所以,其结构简单、制作相对容易、价廉、稳定性好,在体积、质量及成本上有很大优势,即使在发现了巨磁电阻(Giant Magnetoresistance,GMR)效应并且其产品迅速开发的今天,用传统AMR薄膜制做的磁传感器等器件在市场上仍然占主流。目前,国际上在不断地挖掘AMR薄膜的潜力,提高其磁场灵敏度、降低噪音等,以扩大其应用领域。为了达到这个目的,AMR坡莫合金薄膜必须沉积的更薄,矫顽力更小,且AMR值尽可能大。中国发明专利ZL 02 1 03673.X中提出的“一种冷阴极溅射制备薄膜的方法及装置”,虽然可以制备出性能良好的较薄坡莫合金薄膜,然而该方法需要镀膜设备本底真空为2×10-7~8×10-7Pa的超高真空,这在工业生产中是很难达到的,即使达到,代价也很高。《科学通报》,48,418(2003)中“(Ni0.81Fe0.19)1-xCrx缓冲层上生长高各向异性磁电阻Ni0.81Fe0.19薄膜的研究”也曾提出用NiFeCr代替Ta作为Ni81Fe19薄膜的(111)织构诱导层,采用这种方法的确可以使AMR值明显提高。然而,我们利用以上两种方法制备的坡莫合金薄膜制作成磁传感元件时,发现坡莫合金薄膜的综合性能,如低矫顽力、低晶体各向异性、大的磁化强度和低磁致伸缩等并不是最好。按照M.A.Akhter,et.al,J.Appl.Phys.,81,4122(1997)中指出的,Ni81Fe19薄膜应该有低矫顽力、低晶体各向异性、大的磁化强度和低磁致伸缩等特性,但从以上两种方法得到的坡莫合金薄膜成分的化学分析结果发现,利用Ni81Fe19合金靶沉积的薄膜成分其实并不是81Ni:19Fe。这可能是由于存在择优溅射,Ni原子与Fe原子的沉积速率并不一样造成的。因此而影响了Ni原子与Fe原子比,不能保证获得良好的综合性能。
发明内容
本发明提出通过选取不同成分的NixFe100-x合金靶,以及溅射前通入一定时间的氩气,控制薄膜杂质含量小于0.1%,制备出具有准确成分的Ni81Fe19薄膜,在进一步降低薄膜制备难度的同时,仍能保证薄膜很薄时具有较高的各向异性磁电阻值和低矫顽力、低晶体各向异性、大的磁化强度和低磁致伸缩等综合性能,以满足磁传感器的性能和产品需求。
本发明的实施方案是,选取不同成分的NixFe100-x合金靶,x为78~85;采用磁控溅射方法,在溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气0.5~1小时,维持在气压0.1~0.5Pa;化学分析确定最终沉积薄膜成分为81Ni:19Fe,并且控制薄膜杂质含量小于0.1%。
具体制备过程是在磁控溅射仪中进行,在清洗干净的玻璃基片或单晶硅基片上依次沉积1.0~12.0nmTa、10.0~200.0nmNiyFe100-y和5.0~9.0nm Ta,其中Ta层作为种子层和防氧化保护层;溅射室本底真空度为1×10-5~6×10-5Pa,溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气0.5~1小时,维持在气压0.1~0.5Pa;溅射时99.99%纯度的高纯氩气气压为0.4~2.7Pa,溅射沉积速率为0.03~0.33nm/分钟;基片用循环去离子水冷却,平行于基片平面方向加有150~300Oe的磁场,以诱发一个易磁化方向,并且基片始终以8~30转/分钟的速率旋转;最后,通过对沉积厚度范围内的NiyFe100-y化学分析,找出薄膜成分符合81Ni:19Fe、并且薄膜杂质含量小于0.1%的情况下所对应的NixFe100-x合金靶,利用这个选出的坡莫合金靶来沉积Ni81Fe19薄膜。
与现有技术相比,本发明由于得到了真正成分的Ni81Fe19薄膜,这就使得在薄膜很薄时,如薄膜为20nmNi81Fe19,具有较高的各向异性磁电阻值,可以达到2.55%。另外,由于溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气0.5~1小时、并维持在气压0.1~0.5Pa,这就有可能使得沉积室壁残留杂质气体很少,所以薄膜的各向异性磁电阻AMR值就比没有采取这种工艺的薄膜AMR值得到了提高,例如:薄膜为20nmNi81Fe19时,AMR值从2.20%提高到2.55%,在没有把镀膜室真空抽到2×10-7~8×10-7Pa的超高真空条件下,仍能制备出各向异性磁电阻AMR值与之相当的较薄薄膜。
附图说明
图1中(a)、(b)曲线分别是溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气和没有通氩气时Ni81Fe19(znm)薄膜的AMR值随其厚度z变化的曲线。样品结构为:6nm Ta/znmNi81Fe19/9nm Ta。
具体实施方式
具体实施方式:在磁控溅射仪中制备各向异性坡莫合金Ni81Fe19薄膜。首先将玻璃基片用有机化学溶剂和去离子水超声清洗,然后装入溅射室样品基座上。基片用循环去离子水冷却,平行于基片方向加有250Oe的磁场,并且基片始终以18转/分钟的速率旋转,溅射沉积速率为0.17nm/分钟。溅射室本底真空4×10-5Pa,溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气0.5小时,维持在气压0.3Pa。在溅射时99.99%纯度的高纯氩气气压为0.4Pa的条件下依次沉积6nm厚度的Ta/50.0nm厚度的NiyFe100-y。通过对50.0nmNiyFe100-y化学分析,找出薄膜成分符合81Ni:19Fe、并且薄膜杂质含量小于0.1%的情况下所对应的NixFe100-x合金靶。利用这个选出的坡莫合金靶来沉积Ni81Fe19薄膜。从图1Ta做为种子层的Ni81Fe19(znm)薄膜AMR值随其厚度z变化的曲线中可以看出:溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气比没有通氩气的AMR值要高。
Claims (2)
1、一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法,采用磁控溅射方法,溅射室本底真空度为1×10-5~6×10-5Pa,在清洗干净的玻璃基片或单晶硅基片上依次沉积1.0~12.0nmTa、10.0~200.0nmNiyFe100-y和5.0~9.0nmTa,其特征在于,选取不同成分的NixFe100-x合金靶;溅射前通入镀膜室99.99%纯度氩气0.5~1小时,维持在气压0.1~0.5Pa;通过对NiyFe100-y化学分析,找出薄膜成分符合81Ni:19Fe、并且薄膜杂质含量小于0.1%的情况下所对应的NixFe100-x合金靶,利用这个选出的坡莫合金靶来沉积Ni81Fe19薄膜。
2、如权利要求1所述的一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法,其特征在于,NixFe100-x合金靶的x取值为78~85。
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