CH704654A1 - Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung. - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung. Download PDFInfo
- Publication number
- CH704654A1 CH704654A1 CH00436/11A CH4362011A CH704654A1 CH 704654 A1 CH704654 A1 CH 704654A1 CH 00436/11 A CH00436/11 A CH 00436/11A CH 4362011 A CH4362011 A CH 4362011A CH 704654 A1 CH704654 A1 CH 704654A1
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- photovoltaic device
- cdte
- producing
- cracks
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 239000011148 porous material Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 claims description 23
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 claims description 3
- QCUOBSQYDGUHHT-UHFFFAOYSA-L cadmium sulfate Chemical compound [Cd+2].[O-]S([O-])(=O)=O QCUOBSQYDGUHHT-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N tellurium dioxide Chemical compound O=[Te]=O LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000331 cadmium sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004832 voltammetry Methods 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N cadmium sulfide Chemical compound [Cd]=S CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229920005372 Plexiglas® Polymers 0.000 description 1
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003069 TeO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000369 cadmium(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/073—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type comprising only AIIBVI compound semiconductors, e.g. CdS/CdTe solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02425—Conductive materials, e.g. metallic silicides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02469—Group 12/16 materials
- H01L21/0248—Tellurides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02491—Conductive materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
- H01L21/02496—Layer structure
- H01L21/02502—Layer structure consisting of two layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02551—Group 12/16 materials
- H01L21/02557—Sulfides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02551—Group 12/16 materials
- H01L21/02562—Tellurides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02623—Liquid deposition
- H01L21/02628—Liquid deposition using solutions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1828—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIBVI compounds, e.g. CdS, ZnS, CdTe
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/543—Solar cells from Group II-VI materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung vorgeschlagen, wobei die Photovoltaikvorrichtung mindestens zwei Halbleiterschichten aufweist, wobei die Halbleiterschichten in Substratkonfiguration nacheinander auf einer flexiblen Trägerschicht und einer ersten unedlen metallischen Kontaktelektrode ausgebildet werden, wobei eine erste Halbleiterschicht aus CdTe hergestellt wird und wobei die erste Halbleiterschicht aus CdTe Poren, Risse oder feine Löcher aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Poren, Risse und feinen Löcher mittels kathodischer Elektrodeposition von CdTe gefüllt werden.
Description
[0001] Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung, wobei die Photovoltaikvorrichtung mindestens zwei Halbieiterschichten aufweist, wobei die Halbleiterschichten in Substratkonfiguration nacheinander auf einer flexiblen Trägerschicht und einer ersten unedlen metallischen Kontaktelektrode ausgebildet werden, wobei eine erste Halbleiterschicht aus CdTe hergestellt wird und wobei die erste Halbleiterschicht aus CdTe Poren, Risse oder feine Löcher aufweist.
[0002] Eine Photovoltaikvorrichtung besteht aus zumindest zwei unterschiedlichen Halbleiterschichten, die zwischen einer ersten besser leitenden und einer zweiten besser leitenden Kontaktelektrode eingebettet sind. In der schichtweisen Herstellung von Photovoltaikvorrichtungen können die Halbleiterschichten Poren, Risse oder feine Löcher aufweisen, die zu Fehlfunktionen oder Kurzschlüssen führen, wenn die Poren im Verlauf der Abscheidung mit dem Material der zweiten Halbleiterschicht oder mit dem besser leitenden Material der zweiten Kontaktelektrode aufgefüllt werden.
[0003] Aus der WO 2009/120974 A2 ist ein System zur Füllung von feinen Löchern in Photovoltaikvorrichtungen bekannt. Die Photovoltaikvorrichtung wird hergestellt auf einer verhältnismässig steifen Glas- oder Plexiglasschicht als Trägermaterial. Das Sonnenlicht beleuchtet die photoaktiven Schichten durch das lichtdurchlässige Trägermaterial hindurch. Man spricht bei dieser Schichtreihenfolge von einer Superstratkonfiguration. Die Poren oder feinen Löcher werden mit einer wässrigen Lösung eines elektrischen Isolators gefüllt, der anschliessend anodisch zur Abscheidung und elektrochemisch zur Polymerisation gebracht wird.
[0004] In einer Photovoltaikvorrichtung mit einem anderen Aufbau erfolgt die Beleuchtung der photoaktiven Halbleiterschichten nicht durch ein transparentes Substrat hindurch, sondern durch eine oben liegende transparente, leitende Kontaktelektrode hindurch auf die photoaktiven Halbleiterschichten. Dieser Aufbau wird Substratkonfiguration genannt. Eine zweite leitfähige Kontaktelektrode befindet sich zwischen den photoaktiven Halbleiterschichten und dem Substrat. Diese zweite Kontaktelektrode besteht aus Gründen einer höheren Leitfähigkeit meist aus einem Metall oder einer metallischen Verbindung. In der Anmeldung mit der Anmeldenummer PCT/CH2010/000329 wird eine solche Photovoltaikvorrichtung beschrieben. Diese Photovoltaikvorrichtung kann ohne Glasschicht, d.h. mit einem kleineren Gewicht und mechanisch weniger steif hergestellt werden. Die Photovoltaikvorrichtung wird unempfindlich gegen Glasbruch und kann ohne robuste Haltevorrichtungen auf Untergründen mit begrenzter Tragkraft installiert werden. Die Herstellungskosten der Photovoltaikvorrichtung werden geringer und die Lebensdauer der Photovoltaikvorrichtung wird länger. Die Herstellungskosten werden weiter gesenkt, wenn die erste untenliegende Halbleiterschicht aus CdTe in einem Bedruckungsverfahren hergestellt wird.
[0005] Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung anzugeben, wobei die Photovoltaikvorrichtung als Substratkonfiguration ausgebildet ist und wobei die Poren, Risse und feinen Löcher gefüllt werden können, so dass die erste Halbleiterschicht aus CdTe Gewähr für einen möglichst hohen Wirkungsgrad leistet.
[0006] Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung, wobei die Photovoltaikvorrichtung mindestens zwei Halbleiterschichten aufweist, wobei die Halbleiterschichten in Substratkonfiguration nacheinander auf einer flexiblen Trägerschicht und einer ersten unedlen metallischen Kontaktelektrode ausgebildet werden, wobei eine erste Halbleiterschicht aus CdTe hergestellt wird und wobei die erste Halbleiterschicht aus CdTe Poren, Risse oder feine Löcher aufweist, wobei die Poren, Risse und feinen Löcher mittels kathodischer Elektrodeposition von CdTe gefüllt werden. Die erste unedle metallische Kontaktelektrode der Photovoltaikvorrichtung fungiert in der elektrochemischen Behandlung als Kathode für die Elektrodeposition des Cadmiumtellurids.
[0007] Bevorzugte Weiterbildungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
[0008] Es ist von Vorteil, dass die Füllung der Poren, Risse und feinen Löcher einfach im Herstellungsprozess der Photovoltaikvorrichtung integriert werden kann. Dies wird dadurch erreicht, dass die Poren, Risse oder feinen Löcher in den Halbleiterschichten vor der Ausbildung der zweiten Halbleiterschicht gefüllt werden. In der Herstellung der Photovoltaikvorrichtung werden auf einer flexiblen Trägerschicht nacheinander eine erste Kontaktelektrode, eine erste Halbleiterschicht aus CdTe, eine zweite Halbleiterschicht aus CdS und eine zweite Kontaktelektrode in einem quasi-kontinuierlichen Beschichtungsverfahren aufgebracht. Vor der Ausbildung der zweiten Halbleiterschicht aus CdS können die Poren, Risse und feinen Löcher über eine elektrochemische Abscheidung, beispielsweise wie in einem galvanischen Bad gefüllt werden.
[0009] Es ist auch von Vorteil, dass die Abscheidung möglichst gut gesteuert und überwacht werden kann, und dass die Abscheidung keine störenden oder verunreinigenden Elemente im Herstellungsverfahren einbringt. Dies wird dadurch erreicht, dass die kathodische Elektrodeposition von CdTe in einer sauren Lösung in Schwefelsäure durchgeführt wird. Die Abscheidung im sauren Milieu ist sicherer und präziser als die Abscheidung im basischen Milieu.
[0010] Es ist weiter auch von Vorteil, dass die Abscheidung des Füllmaterials auch auf einer Photovoltaikvorrichtung mit einer unedlen metallischen ersten Kontaktelektrode in Substratkonfiguration ohne Gefahr einer Korrosion der Kontaktelektrode durchgeführt werden kann. Dies wird auch dadurch erreicht, dass die Elektrodeposition in einer drei-Elektrodenzelle mit einer Gegen- und einer Referenzelektrode durchgeführt wird, wobei als Arbeitselektrode die metallische Trägerschicht verwendet wird. Die Gegenelektrode kann aus Platin, Graphit oder Wolfram hergestellt sein.
Ausführungsbeispiel
[0011] Eine flexible metallische Trägerschicht, beispielsweise eine dünne Aluminiumoder Stahlfolie, wird zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nacheinander mit einer elektrisch isolierenden Schicht, einer ersten metallischen elektrischen Kontaktierungsschicht und einer ersten Hableiterschicht aus CdTe beschichtet. In der ersten Halbleiterschicht aus gedrucktem CdTe sind nach dem Bedruckungsvorgang Poren, kleine Zwischenräume, Risse oder feine Löcher vorhanden. Diese Poren, Zwischenräume, Risse und Löcher beeinträchtigen die Funktion der Photovoltaikvorrichtung, weil sie zu Kurzschlüssen zwischen den elektrischen Kontakten der photovoltaischen Zelle und somit zu einem geringeren Wirkungsgrad führen können. Des Weiteren bedeutet dies eine Reduzierung der nutzbaren aktiven Fläche der photovoltaischen Zelle, da diese Bereiche nicht zur Ladungsträgererzeugung und Trennung beitragen. Dadurch sinkt der maximal erzeugbare Photostrom, was eine weitere Beeinträchtigung des Wirkungsgrads bedeutet.
[0012] Um den negativen Einfluss der Poren, Zwischenräume, Risse und Löcher zu minimieren wird das Halbfabrikat nach dem Bedruckungsverfahren mit CdTe in ein galvanisches Bad eingebracht. In diesem elektrochemischen Bad, das eine wässrige Lösung von Schwefelsäure, Tellurdioxid und Cadmiumsulfat enthält, wird eine sogenannte drei-Elektrodenzelle mit einer Gegenelektrode, beispielsweise aus Graphit oder Platin, einer Ag/AgCl Referenzelektrode und mit der ersten Kontaktelektrode als Arbeitselektrode eingerichtet. Das elektrochemische Bad weist eine molare Konzentration von etwa 0,001 bis 0,01 Mol TeO2und eine molare Konzentration von etwa 0,1 bis 1 Mol CdSO4 auf. Die Lösung hat einen pH von etwa 1 bis 7, vorzugsweise schwach sauer.
[0013] Mittels einer Potentiostatschaltung wird eine Spannung von etwa -0,1 bis -1,0 Volt angelegt. Die Elektrodeposition wird als konstante Voltammetrie durchgeführt. Hierdurch wird aus der schwefelsauren Lösung CdTe in den Poren, Zwischenräumen, Rissen und Löchern der ersten Halbleiterschicht abgeschieden.
[0014] Die erste unedle metallische Kontaktelektrode der Photovoltaikvorrichtung dient bei der Elektrodeposition als Kathode, die Platinelektrode als Anode und die Referenzelektrode als Sensor für die Steuerung des Abscheidungsprozesses. Die Elektrodeposition kann bei Zimmertemperatur bis 80° C durchgeführt werden. Der Elektrodepositionsprozess dauert etwa 5 bis 120 Minuten.
[0015] Nach dem Elektrodepositionsprozess wird das Halbfabrikat aus dem galvanischen Bad entnommen und mit destilliertem Wasser gereinigt und getrocknet. Zur Prozessüberwachung können mit einem Elektronenmikroskop die Zwischenräume analysiert werden. Mit einem Element-Detektor wird das Verhältnis Cd zu Te in den Zwischenräumen gemessen und mit der Zusammensetzung der ersten Halbleiterschicht verglichen.
[0016] Nachdem die Zwischenräume mit CdTe gefüllt sind, kann die Photovoltaikvorrichtung in weiteren Beschichtungsschritten fertig gestellt werden. Die porenfreie CdTe-Fläche kann vollständig genutzt werden, weil das Füllmaterial dieselbe Zusammensetzung wie die erste Halbleiterschicht aufweist. Das Füllmaterial hat die gleiche Temperaturbeständigkeit wie der Rest der CdTe-Schicht.
[0017] Das hier vorgeschlagene Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung kann insbesondere auch bei einer Substratkonfiguration mit einer metallischen ersten Kontaktelektrode angewendet werden. Weil der Kontakt an der Grenze zwischen der ersten und der zweiten Halbleiterschicht vollflächig und ohne Fehlstellen ausgebildet wird, zeichnet sich die so hergestellte Photovoltaikvorrichtung aus durch einen höheren Wirkungsgrad als bei Photovoltaikvorrichtungen mit Poren, Zwischenräumen, Rissen und Löchern in den Halbleiterschichten. Die erste Halbleiterschicht kann in einem Bedruckungsverfahren, in einer Beschichtung aus der Gasphase oder einer anderen Beschichtungstechnik hergestellt werden. Insbesondere nach einem Bedruckungsverfahren weist die erste Halbleiterschicht Unebenheiten auf, die mit der Elektrodeposition optimal ausgeglichen werden können.
Claims (9)
1. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung, wobei die Photovoltaikvorrichtung mindestens zwei Halbleiterschichten aufweist, wobei die Halbleiterschichten in Substratkonfiguration nacheinander auf einer flexiblen Trägerschicht und einer ersten unedlen metallischen Kontaktelektrode ausgebildet werden, wobei eine erste Halbleiterschicht aus CdTe hergestellt wird und wobei die erste Halbleiterschicht aus CdTe Poren, Risse oder feine Löcher aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Poren, Risse und feinen Löcher mittels kathodischer Elektrodeposition von CdTe gefüllt werden.
2. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Halbleiterschicht aus CdTe in einem Bedruckungsverfahren hergestellt wird.
3. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Halbleiterschicht aus CdTe und dass die zweite Halbleiterschicht aus CdS hergestellt wird.
4. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Poren, Risse oder feinen Löcher in der Halbleiterschicht aus CdTe vor der Ausbildung der zweiten Halbleiterschicht gefüllt werden.
5. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die kathodische Elektrodeposition von CdTe in einer sauren Lösung in Schwefelsäure durchgeführt wird.
6. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die saure Lösung Tellurdioxid und Cadmiumsulfat enthält.
7. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die kathodische Elektrodeposition bei Temperaturen zwischen Raumtemperatur und 80° C durchgeführt wird.
8. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die kathodische Elektrodeposition als konstante Voltammetrie durchgeführt wird.
9. Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die kathodische Elektrodeposition in einer drei-Elektrodenzelle mit einer Gegenelektrode aus Platin oder Graphit, mit einer Referenzelektrode und einer Arbeitselektrode durchgeführt wird, wobei als Arbeitselektrode die erste unedle metallische Kontaktelektrode verwendet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH00436/11A CH704654A1 (de) | 2011-03-16 | 2011-03-16 | Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH00436/11A CH704654A1 (de) | 2011-03-16 | 2011-03-16 | Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH704654A1 true CH704654A1 (de) | 2012-09-28 |
Family
ID=46883059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH00436/11A CH704654A1 (de) | 2011-03-16 | 2011-03-16 | Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH704654A1 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0500071A2 (de) * | 1991-02-20 | 1992-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Herstellungsverfahren einer fehlerfreien photoelektrischen Umwandlungsvorrichtung |
US20030041894A1 (en) * | 2000-12-12 | 2003-03-06 | Solarflex Technologies, Inc. | Thin film flexible solar cell |
WO2009043725A2 (en) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Carlo Taliani | Process for preparing a solar cell |
-
2011
- 2011-03-16 CH CH00436/11A patent/CH704654A1/de not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0500071A2 (de) * | 1991-02-20 | 1992-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Herstellungsverfahren einer fehlerfreien photoelektrischen Umwandlungsvorrichtung |
US20030041894A1 (en) * | 2000-12-12 | 2003-03-06 | Solarflex Technologies, Inc. | Thin film flexible solar cell |
WO2009043725A2 (en) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Carlo Taliani | Process for preparing a solar cell |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Singh V P; McClure J C, Design issues in the fabrication of CdS-CdTe solar cells on molybdenum foil substrates, SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS,20030331ELSEVIER SCIENCE PUBLISHERS, AMSTERDAM, NL, Vol. 76, No. 3, Pg. 369 - 385, 31.03.2003, ISSN 0927-0248, http://dx.doi.org/10.1016/S0927-0248(02)00289-1, [XP004404683] * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Yang et al. | One-step facile preparation of ZnO nanorods as high-performance photoanodes for photoelectrochemical cathodic protection | |
US8945978B2 (en) | Formation of metal structures in solar cells | |
EP2162922A1 (de) | Kontakt-struktur für euin halbleiter-bauelement sowie verfahren zur herstellung desselben | |
DE112005002629T5 (de) | Ultraleichte Photovoltaik-Einrichtung und Verfahren zu deren Herstellung | |
EP3513439A1 (de) | Verfahren zur herstellung elektrischer kontakte auf einem bauteil | |
JP2019512868A (ja) | 半導体デバイスにおけるtco材料の表面を処理するための方法および装置 | |
Yang et al. | Electrochemical behavior of rolled Pb–0.8% Ag anodes in an acidic zinc sulfate electrolyte solution containing Cl− ions | |
CN105862112A (zh) | 用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法 | |
DE10232612B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung eines elektrolytischen Prozesses | |
US20130252020A1 (en) | Electro-Depositing Metal Layers of Uniform Thickness | |
CH704654A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung. | |
CN103748269B (zh) | 镀铜液 | |
EP2671258A1 (de) | Mehrfachsolarzelle sowie verfahren zur herstellung einer solchen | |
DE112016006557B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer CdTe-Dünnschichtsolarzelle | |
CN112908519B (zh) | 一种抗化学腐蚀的透明导电薄膜及其制备方法 | |
CH704452A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Photovoltaikvorrichtung | |
WO2012103655A1 (de) | Verfahren zur füllung von defekten in einer photovoltaikvorrichtung | |
DE2709385A1 (de) | Elektrolytische abscheidungszelle | |
Valderrama et al. | Studies on the electrochemical stability of CIGS in H2SO4 | |
Maricheva et al. | Influence of selenous acid microadditive on electrochemical formation of CdS thin films | |
WO2017085829A1 (ja) | 二酸化鉛電極の製造方法 | |
Saad et al. | Electroactive electrodeposited platinum nanoparticles and platinum NPs/Graphite electrodes for photovoltaic application | |
WO2012083474A2 (de) | Photovoltaikvorrichtung und verfahren zu deren herstellung | |
DE10305162A1 (de) | Textile Solarzellenanordnung | |
DE102020002061B4 (de) | Festkörperbauelement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AZW | Rejection (application) |