CH700047A2 - Straff-Vorrichtung zum Straffen einer in einer Drahtsäge auftretenden Drahtschlaufe. - Google Patents

Abstract

Vorrichtung zum Straffen einer in einer Drahtsäge (1) auftretenden Drahtschlaufe (3) umfassend eine Befestigungs-Einrichtung (13) zum Anbringen der Vorrichtung (2) an einer Drahtsäge (1), eine Eingriffs-Einrichtung (14) zum In-Eingriff-Bringen mit der zu straffenden Drahtschlaufe (3) wobei die Eingriffs-Einrichtung (14) relativ zur Drahtsäge (1) in mindestens eine Spann-Richtung (29) beweglich an der Befestigungs-Einrichtung (13) angeordnet ist, und eine mit der Eingriffs-Einrichtung (14) zusammenwirkende Krafterzeugungs-Einrichtung (15) zum Ausüben einer Kraft auf die Eingriffs-Einrichtung (14).

Description

  [0001]    Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Straffen einer in einer Drahtsäge auftretenden Drahtschlaufe nach einem Riss im Drahtfeld. Die Erfindung betrifft ausserdem eine Anordnung zum Sägen von Ingots.

  

[0002]    Bei der Wafer-Herstellung müssen Silizium-Säulen zersägt werden. Hierfür wird üblicherweise eine Drahtsäge verwendet. Bei einem Drahtriss innerhalb des Drahtfeldes muss hierbei ein Teil des Drahtfeldes entfernt werden. Da im Bereich des fehlenden Drahtfeldes der Ingot nicht mehr weiter durchtrennt wird, entstehen hierbei unter Umständen erhebliche Verluste. Prinzipiell ist es möglich, die freien Enden des Sägedrahtes nach einem Drahtriss wieder miteinander zu verschweissen. Hierzu müssen die Enden jedoch aus dem Drahtfeld herausgeführt werden, was zur Ausbildung einer Drahtschlaufe führt. Mit einer derartigen, losen Drahtschlaufe ist ein weiterer Betrieb der Drahtsäge jedoch nicht möglich.

  

[0003]    Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zu schaffen, welche die Verluste beim Sägen von Ingots nach einem Drahtriss im Feld mittels einer Drahtsäge reduzieren. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum Sägen von Ingots zu verbessern.

  

[0004]    Diese Aufgaben werden durch die Merkmale der Ansprüche 1, 9 und 10 gelöst. Der Kern der Erfindung besteht darin, zum Straffen einer Drahtschlaufe, welche bei einem Riss des Sägedrahts und anschliessenden Verschweissen der freien Drahtenden gebildet wird, diese Schlaufe mit Hilfe einer Eingriffs-Einrichtung und einer damit zusammenwirkenden Krafterzeugungs-Einrichtung zu straffen.

  

[0005]    Hierbei ist die von der Krafterzeugungs-Einrichtung auf die Eingriffs-Einrichtung ausgeübte Kraft je nach Bedarf einstellbar. Somit kann eine vorgegebene Spannung in der Drahtschlaufe erreicht werden.

  

[0006]    Als besonders einfache Ausbildung der Eingriffs-Einrichtung hat sich eine drehbar gelagerte Umlenkrolle erwiesen.

  

[0007]    Eine Führungs-Schiene, entlang welcher die Eingriffs-Einrichtung verfahrbar ist, ermöglicht ein präzises, kontrolliertes Spannen des Sägedrahts. Ausserdem können auf der Führungs-Schiene vorteilhaft Anschläge zum Begrenzen der maximalen Verfahrbarkeit der Eingriffs-Einrichtung vorgesehen sein.

  

[0008]    Vorzugsweise ist sowohl die Führungs-Schiene als auch die Befestigungs-Einrichtung zum optimalen Anpassen der Straff-Vorrichtung an unterschiedliche Drahtsägen verstellbar ausgebildet.

  

[0009]    Eine Einstellung der Kraft zum Straffen der Drahtschlaufe derart, dass die Drahtspannung in der Drahtschlaufe kleiner ist als die Drahtspannung im Drahtfeld der Drahtsäge, führt zu einem Heranziehen der Drahtschlaufe an das Drahtfeld, sodass die Drahtschlaufe zunehmend kleiner wird. Nach einer kurzen Übergangszeit ist die Drahtsäge somit wieder ohne die Straff-Vorrichtung einsatzbereit.

  

[0010]    Als besonders vorteilhaft hat sich das erfindungsgemässe Verfahren zum Fortsetzen des Sägevorgangs nach einem Drahtriss und anschliessenden Verschweissen der freien Enden des Sägedrahts erwiesen. Hierbei kann das unversehrte Drahtfeld der Drahtsäge beim Verschweissen des Sägedrahtes mit dem zu sägenden Ingot in Eingriff bleiben. Hierdurch werden Verluste minimiert.

  

[0011]    Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten ergeben sich aus der Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung.
<tb>Fig. 1 <sep>zeigt eine schematische Darstellung einer an einer Drahtsäge montierten Straff-Vorrichtung gemäss einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.

  

[0012]    Die erfindungsgemässe Anordnung zum Sägen von Ingots umfasst eine Drahtsäge 1 und eine Vorrichtung 2 zum Straffen einer in der Drahtsäge 1 auftretenden Drahtschlaufe 3.

  

[0013]    Der Aufbau der Drahtsäge 1 ist prinzipiell bekannt. Die Drahtsäge 1 umfasst mindestens zwei parallel zueinander ausgerichtete, jeweils um eine Drehachse 4 drehbar gelagerte Drahtführungsrollen 5. Die Drahtführungsrollen 5 sind gleichsinnig in einer Drehrichtung 6 um die jeweilige Drehachse 4 drehbar. Die Drahtführungsrollen 5 sind in einem Rahmen 10 der Drahtsäge 1 drehbar gelagert.

  

[0014]    Über die Drahtführungsrollen 5 ist ein Sägedraht 7 zum Sägen mindestens eines Ingots 8 geführt. Beim zu sägenden Ingot 8 handelt es sich insbesondere um einen Halbleiter-Ingot, insbesondere einen Silizium-Ingot. Der Sägedraht 7 ist in parallel zueinander angeordneten Wicklungen auf den Drahtführungsrollen 5 angeordnet. Die Wicklungen bilden ein Drahtfeld 9.

  

[0015]    Ferner weist die Drahtsäge 1 eine Abwickelspule 11 zum Abwickeln des Sägedrahts 7 auf. In die Abwickelspule 11 ist eine Spann-Einrichtung 36 integriert, mittels welcher die Abwickelspule 11 entgegen ihrer Abwickel-Richtung 37 spannbar ist. Hierdurch ist der Sägedraht 7 im Drahtfeld 9 mit einer vorgebbaren Spannung Si spannbar. Von der Abwickelspule 11 ist der Sägedraht 7 mit einer Spannung Sx in das Drahtfeld 9 auf den Drahtführungsrollen 5 geführt. Entsprechend ist am Auslauf des Drahtfeldes 9 eine Aufwickelspule 12 zum Aufwickeln des Sägedrahts 7 vorgesehen. Um ein kontrolliertes Aufwickeln des Sägedrahts 7 auf die Aufwickelspule 12 zu gewährleisten, ist auch diese vorteilhafterweise mit einer Spann-Einrichtung 38 versehen. Die Spann-Einrichtung 38 unterstützt hierbei eine Drehung der Aufwickelspule 12 in Aufwickel-Richtung 39.

   Vorzugsweise ist die von der Spann-Einrichtung 36 der Abwickelspule 11 auf den Sägedraht 7 ausgeübte Spannung Si grösser als die von der Spann-Einrichtung 38 der Aufwickelspule 12.

  

[0016]    Alternative Ausführungen der Drahtsäge 1 sind ebenfalls denkbar.

  

[0017]    Die Straff-Vorrichtung 2 umfasst eine Befestigungs-Einrichtung 13 zum Anbringen der Straf f-Vorrichtung 2 am Rahmen 10 der Drahtsäge 1, eine Eingriffs-Einrichtung 14 zum Ineingriffbringen mit der zu straffenden Drahtschlaufe 3 und eine mit der Eingriffs-Einrichtung 14 zusammenwirkende Krafterzeugungs-Einrichtung 15 zum Ausüben einer Kraft auf die Eingriffs-Einrichtung 14.

  

[0018]    Im Folgenden wird die Befestigungs-Einrichtung 13 genauer beschrieben. Die Befestigungs-Einrichtung 13 umfasst eine Klemmstange 16. Die Klemmstange 16 ist zweigeteilt ausgebildet. Sie umfasst eine obere Klemmstange 17 und eine untere Klemmstange 18. Die Klemmstange 16 kann jedoch auch einteilig ausgebildet sein. Die obere Klemmstange 17 ist mittels eines oberen Klemmblocks 19 am Rahmen 10 der Drahtsäge 1 befestigbar. Entsprechend ist die untere Klemmstange 18 mittels eines unteren Klemmblocks 20 am Rahmen 10 der Drahtsäge 1 befestigbar. Der obere Klemmblock 19 ist mittels einer ersten Höhenverstellung 21 höhenverstellbar mit der oberen Klemmstange 17 verbunden. Entsprechend ist der untere Klemmblock 20 mittels einer zweiten Höhenverstellung 22 mit der unteren Klemmstange 18 verbunden.

   In einem alternativen Ausführungsbeispiel ist nur einer der Klemmblöcke 19, 20 höhenverstellbar mit der Klemmstange 16 verbunden, während der andere der Klemmblöcke 19, 20 fest mit der Klemmstange 16 verbunden ist. Die Höhenverstellung 21, 22 ist beispielsweise als Gewindestange ausgebildet.

  

[0019]    Die Befestigungs-Einrichtung 13 ist somit verstellbar ausgebildet.

  

[0020]    Auf der Klemmstange 16 ist eine Führungsschiene 23 angeordnet. Die Führungsschiene 23 ist vorzugsweise höhenverstellbar und/oder verschwenkbar mit der Klemmstange 16 verbunden. Sie ist somit sehr flexibel in Bezug auf das Drahtfeld 9 der Drahtsäge 1 ausrichtbar.

  

[0021]    Die Führungsschiene 23 dient der Führung der Eingriffs-Einrichtung 14. Die Eingriffs-Einrichtung 14 ist entlang der Führungsschiene 23 verschiebbar, insbesondere verfahrbar. Zum Begrenzen der maximalen Verfahrbarkeit der Eingriffs-Einrichtung 14 ist ein vorderer Anschlag 24 und ein hinterer Anschlag 25 auf der Führungsschiene 23 vorgesehen.

  

[0022]    Die Eingriffs-Einrichtung 14 umfasst einen Verfahr-Schlitten 26. Am Verfahr-Schlitten 26 ist eine Umlenk-Rolle 27 befestigt. Die Umlenk-Rolle 27 ist drehbar um eine Umlenk-Rollen-Achse 28. Die Umlenk-Rollen-Achse 28 verläuft insbesondere horizontal. Der Verfahr-Schlitten 26 ist entlang der Führungsschiene 23 in einer Spann-Richtung 29 verfahrbar.

  

[0023]    Am der Umlenk-Rolle 27 entgegengesetzten Ende des Verfahr-Schlittens 26 ist eine Spann-Schnur 30 befestigt. Die Spann-Schnur 30 ist über eine erste Spann-Umlenk-Rolle 31 und eine zweite Spann-Umlenk-Rolle 32 geführt. Sie ist an ihrem dem Verfahr-Schlitten 26 entgegengesetzten Ende mit einem Gegengewicht 33 verbunden. Die Spann-Umlenk-Rollen 31, 32 sind um Spann-Umlenk-Rollen-Achsen 34, 35 drehbar mit der Führungsschiene 23 verbunden. Die Führungsschiene 23 ist im Bereich der ersten Spann-Umlenk-Rollen-Achse 34 abgewinkelt ausgebildet. Die zweite Spann-Umlenk-Rolle ist am Ende der Führungsschiene 23 angeordnet. Das Gegengewicht 33 bildet zusammen mit der über die Spann-Umlenk-Rollen 31, 32 geführten Spann-Schnur 30 die Krafterzeugungs-Einrichtung 15. Durch geeignete Auswahl des Gegengewichts 30 ist die auf die Eingriffs-Einrichtung 14 ausgeübte Kraft einstellbar.

  

[0024]    Die Umlenkrollen 27, 31 und 32 sind leichtgängig, reibungsarm gelagert. Zu ihrer Lagerung ist beispielsweise jeweils ein Kugel-, Rollen- oder Nadellager vorgesehen.

  

[0025]    Die erste Spann-Umlenkrolle 31 stellt sicher, dass die vom Gegengewicht 33 auf den Verfahr-Schlitten 26 ausgeübte Kraft unabhängig von der Position des Verfahr-Schlittens 26 auf der Führungsschiene 23 in Spann-Richtung 29, das heisst parallel zur Führungsschiene 23 zeigt. Durch die zweite Spann-Umlenk-Rolle 32 wird erreicht, dass das Gegengewicht 33 in einer einfach zu erreichenden Höhe hängt.

  

[0026]    In einer alternativen Ausführungsform umfasst die Krafterzeugungs-Einrichtung 15 anstelle des Gegengewichts 33 ein Federelement. Ebenso ist es möglich, zur Verschiebung des Verfahr-Schlittens 26 auf der Führungsschiene 23 eine pneumatische oder elektromagnetische Krafterzeugungs-Einrichtung 15 vorzusehen. Hierdurch ist insbesondere eine besonders kompakte Bauweise der Straff-Vorrichtung 2 erzielbar. Schliesslich ist es möglich, zum Verfahren des Verfahr-Schlittens 26 entlang der Führungsschiene 23 die Spann-Schnur 30 auf eine drehantreibbar gelagerte Welle aufzuwickeln.

  

[0027]    Vorzugsweise sind alle Bestandteile der Straff-Vorrichtung 2 aus einem nicht rostenden Material. Sie sind ausserdem resistent gegen beim Betrieb der Drahtsäge 1 eingesetzte Flüssigkeiten, welche in Form von auch als Slurry bekannten Aufschlämmungen beim Betrieb der Drahtsäge 1 vom Sägedraht 7 verspritzt werden können. Beispielsweise ist insbesondere das Lager der Umlenk-Rolle 27 flüssigkeitsdicht gekapselt ausgebildet.

  

[0028]    Im Folgenden wird das Vorgehen nach einem Riss des Sägedrahtes 7 im Drahtfeld 9 der Drahtsäge 1 beschrieben. Nach einem Drahtriss des Sägedrahts 7 wird die Straff-Vorrichtung 2 am Rahmen 2 der Drahtsäge 1 befestigt. Hierzu wird zunächst der untere Klemmblock 20 auf den Rahmen 10 der Drahtsäge 1 aufgesetzt. Sodann wird die Gewindestange der Höhenverstellung 21 und/oder 22 etwas eingedreht. Nach Einsetzen des oberen Klemmblocks 19 am Rahmen 10 der Drahtsäge 1 wird die Gewindestange der Höhenverstellung 21 und/oder 22 wieder herausgedreht. Hierdurch wird die Klemmstange 16 mit Hilfe der Klemmblöcke 19, 20 im Rahmen 10 der Drahtsäge 1 verspannt. Um einen sicheren Sitz der Klemmstange 16 im Rahmen 10 der Drahtsäge 1 sicherzustellen, wird die Gewindestange der Höhenverstellung 21 und/oder 22 festgezogen.

  

[0029]    Die Klemmstange 16 wird, gegebenenfalls durch ein Verschieben des oberen und/oder unteren Klemmblocks 19, 20 vertikal ausgerichtet. Hierdurch wird die Gefahr eines seitlichen Wegrutschens vermieden.

  

[0030]    Idealerweise wird die Führungsschiene 23 an der Klemmstange 16 so verstellt, dass sie etwa auf halber Höhe mittig zwischen den Drahtführungsrollen 5 angeordnet ist. Sie wird vorzugsweise derart verschwenkt, dass sie in etwa horizontal verläuft. Der mit der Horizontalen eingeschlossene Winkel beträgt insbesondere weniger als 10[deg.]. Sodann werden zunächst die freien Enden des Sägedrahts 7 miteinander verschweisst. Hierzu werden einige wenige, insbesondere ein oder zwei Windungen des Drahtfelds 9 im Bereich der Rissstelle manuell von den Drahtführungsrollen 5 abgewickelt, um die freien Enden des Sägedrahts 7 überhaupt zum Verschweissen in Berührung bringen zu können. Zum Verschweissen der freien Enden des Sägedrahts 7 ist ein Laserschweiss-Verfahren vorgesehen.

   Selbstverständlich können die freien Enden des Sägedrahts 7 auch mittels eines Widerstands Stumpfschweiss-Verfahrens miteinander verschweisst werden. Beim Verschweissen der freien Enden des Sägedrahts 7 wird somit die DrahtSchlaufe 3 hergestellt. In der Drahtschlaufe 3 ist der Sägedraht 7 mit einer Spannung S0gespannt, wobei gilt: S0 < S1. Üblicherweise ist der Sägedraht 7 in der Drahtschlaufe 3 zunächst überhaupt nicht gespannt, S0 = 0.

  

[0031]    Beim Verschweissen des Sägedrahts 7 kann das restliche Drahtfeld 9 mit dem zu sägenden Ingot in Eingriff bleiben.

  

[0032]    Sodann wird der verschweisste Sägedraht 7, das heisst die Drahtschlaufe 3, über die Umlenk-Rolle 27 gelegt. Anschliessend wird die Umlenk-Rolle 27 mit Hilfe des Verfahr-Schlittens 26 in Spann-Richtung 29 verfahren, wodurch die Drahtschlaufe 3 gespannt wird. Hierbei übt das Gegengewicht 33 eine Kraft F auf den Verfahr-Schlitten 26 aus, welche zumindest eine Komponente senkrecht zum Drahtfeld 9 aufweist. Durch die Kraft F wird in der Draht Schlaufe eine Spannung S2 erzeugt, wobei gilt: S0 < S2 < S1, insbesondere S0 < S2 < 0,5 * S1, vorzugsweise S0 < S2< 0,2 * S1.

  

[0033]    Wird nun die Drahtsäge 1 mit geringer Rotationsgeschwindigkeit der Drahtführungsrollen 5 um deren Drehachsen 4 wieder gestartet, wird der Verfahr-Schlitten 26 und somit die DrahtSchlaufe 3 aufgrund der Spannungs-Differenz Si - S2an das Drahtfeld 9 herangezogen. Der Sägedraht 7 im Drahtfeld 9 zwischen der Umlenk-Rolle 27 und der Abwickelspule 11 ist hierbei stärker gespannt als der Sägedraht 7 im Drahtfeld 9 zwischen der Umlenk-Rolle 27 und der Aufwickelspule 12. Hierdurch entsteht ein Schlupf, der die Drahtschlaufe 3 langsam an das Drahtfeld 9 heranzieht. Die Drahtschlaufe 3 wird dadurch zunehmend kleiner.

   Der Verfahr-Schlitten 26 fährt bei diesem Vorgang mit einer Geschwindigkeit im Bereich von 0,1 mm pro Sekunde bis 1 cm pro Sekunde, insbesondere im Bereich von 0,5 mm pro Sekunde bis 2 mm pro Sekunde, vorzugsweise von etwa 1 mm pro Sekunde gegen die Spann-Richtung 29 entlang der Führungsschiene 23 zum vorderen Anschlag 24. Ist der Verfahr-Schlitten 26 am vorderen Anschlag 24 angekommen, wird die Drahtsäge 1 kurzzeitig gestoppt und der Sägedraht 7 von der Umlenk-Rolle 27 genommen.

  

[0034]    Anschliessend wird die Drahtsäge 1 wieder gestartet. Vorzugsweise wird die Drahtsäge 1 so lange mit verminderter Geschwindigkeit betätigt, bis die Schweissstelle vollständig durch das Drahtfeld 9 gefahren und auf die Auf wickelspule 12 aufgewickelt ist.

  

[0035]    Anschliessend kann die Straff-Vorrichtung 2 wieder abgebaut und gereinigt werden.

  

[0036]    Mit Hilfe der Straf f-Vorrichtung 2 lässt sich die nach einem Drahtriss entstehende Lücke im Drahtfeld 9 auf eine Breite von weniger als 10 cm, insbesondere weniger als 5 cm, vorzugsweise weniger als 3 cm, beschränken. In Pilotversuchen konnte die Lücke im Drahtfeld 9 nach einem Drahtriss sogar vollständig vermieden werden. Dies kann insbesondere dadurch erreicht werden, dass der Sägedraht 7 zum Verschweissen der freien Enden nicht von den Drahtführungsrollen 5 abgewickelt wird. Gegebenenfalls kann vorgesehen sein, ein Überbrückungsstück zwischen den beiden freien Enden des Sägedrahts 7 anzuordnen und mit diesen zu verschweissen.

Claims (23)

1. Vorrichtung zum Straffen einer in einer Drahtsäge auftretenden Drahtschlaufe umfassend

a) eine Befestigungs-Einrichtung (13) zum Anbringen der Vorrichtung an einer Drahtsäge (1),

b) eine Eingriffs-Einrichtung (14) zum In-Eingriff-Bringen mit der zu straffenden Drahtschlaufe (3),

i) wobei die Eingriffs-Einrichtung (14) relativ zur Drahtsäge (1) in mindestens eine Spann-Richtung (29) beweglich an der Befestigungs-Einrichtung (13) angeordnet ist, und

c) eine mit der Eingriffs-Einrichtung (14) zusammenwirkende Krafterzeugungs-Einrichtung (15) zum Ausüben einer Kraft auf die Eingriffs-Einrichtung (14).

2. Vorrichtung gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Krafterzeugungs-Einrichtung (15) auf die Eingriffs-Einrichtung (13) ausgeübte Kraft einstellbar ist.

3. Vorrichtung gemäss einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingriffs-Einrichtung (13) eine drehbar gelagerte Umlenk-Rolle (27) umfasst.

4. Vorrichtung gemäss einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingriffs-Einrichtung (14) entlang einer Führungsschiene (23) verschiebbar ist.

5. Vorrichtung gemäss Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass an der Führungsschiene (23) mindestens ein Anschlag (24, 25) zum Begrenzen der maximalen Verschiebbarkeit der Eingriffs-Einrichtung (13) angeordnet ist.

6. Vorrichtung gemäss einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungsschiene (23) an der Befestigungs-Einrichtung (13) verstellbar, insbesondere höhenverstellbar und/oder verschwenkbar, angeordnet ist.

7. Vorrichtung gemäss einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Krafterzeugungs-Einrichtung (15) ein Gegengewicht (33) umfasst, welches über eine Spann-Schnur (30) in kraftübertragender Weise mit der Eingriffs-Einrichtung (14) verbunden ist.

8. Vorrichtung gemäss einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungs-Einrichtung (13) zur Anpassung an verschiedene Drahtsägen verstellbar ausgebildet ist.

9. Anordnung zum Sägen von Ingots umfassend

10. a) eine Drahtsäge (1),

11. b) eine Vorrichtung (2) gemäss einem der vorhergehenden Ansprüche.

12. 10. Verfahren zum Straffen einer in einer Drahtsäge auftretenden Drahtschlaufe umfassend die folgenden Schritte:

13. Bereitstellen einer Drahtsäge (1) mit einem mit einer Spannung (SI) zu einem Drahtfeld (9) gespannten Sägedraht (7),

14. wobei das Drahtfeld (9) eine mit einer geringeren Spannung gespannte Drahtschlaufe (3) aufweist, SO < SI,

15. In-Eingriff-Bringen einer Eingriffs-Einrichtung (14) mit der Drahtschlaufe (3),

16. Ausüben einer Kraft (F) mit zumindest einer Komponente senkrecht zum Drahtfeld (9) auf die Eingriffs-Einrichtung (14) zum Straffen der Drahtschlaufe (3).

17. 11. Verfahren gemäss Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,

18. dass zum Straffen der Drahtschlaufe eine Vorrichtung gemäss einem der Ansprüche 1 bis 8 verwendet wird.

19. 12. Verfahren gemäss einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Kraft (F) in der Drahtschlaufe (3) eine Spannung (S2) erzeugt wird, wobei gilt S0< S2 < Si, insbesondere S0 < S2 < 0,5 * Si, vorzugsweise So < S2 < 0,2 * Si.

20. 13. Verfahren gemäss Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtschlaufe (3) aufgrund der Spannungs-Differenz (Si - S2) bei einer Bewegung des Drahtfeldes (9) an dieses herangezogen wird und somit zunehmend kleiner wird.

21. 14. Verfahren gemäss einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtschlaufe (3) durch Verschweissen zweier freier Enden des Sägedrahts (7) nach einem Drahtriss hergestellt wird.

22. 15. Verfahren gemäss einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zum Verschweissen der freien Enden des Sägedrahtes (7) ein Laserschweiss-Verfahren verwendet wird.

23. 16. Verfahren gemäss einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Drahtfeld (9) der Drahtsäge (1) beim Verschweissen des Sägedrahtes (7) und/oder beim Heranziehen der Drahtschlaufe (3) an das Drahtfeld (9) mit dem zu sägenden Ingot in Eingriff bleibt.