CH688381A5 - Organe à structure cellulaire et appareil de revêtement - Google Patents

Description

  
 



  La présente invention a pour objet un objet un organe à structure cellulaire et un appareil pour le revêtement d'articles par déposition en phase vapeur, dans lequel les articles sont soumis à une agitation au tambour dans un organe mécanique. Plus précisement, la présente invention concerne un organe à structure cellulaire comprenant de multiples cellules disposées radialement autour d'un axe commun de rotation, dans lequel chaque cellule peut contenir une quantité discrète d'articles soumis à un revêtement. Des matières de revêtement, par exemple des polymères, sont souvent utilisées comme barrières protectrices sur des cartes de circuits imprimés, des composants électriques, des dispositifs médicaux, etc.

  Le terme "parylène" est un terme général souvent utilisé pour décrire une catégorie de poly-p-xylylènes qui sont dérivés d'un dimère répondant à la formule structurale: 
EMI1.1
 
 



  dans laquelle X représente classiquement l'hydrogène ou un halogène. En raison de son aptitude à produire des films minces et à épouser des substrats de formes géométriques variées, un parylène convient parfaitement pour l'utilisation comme revêtement apte à conformation. 



  De manière classique, un parylène est appliqué par déposition en phase vapeur sous vide, le parylène monomère étant condensé et polymérisé directement sur l'article soumis au revêtement. Puisque le parylène monomère n'est pas stable, le parylène dimère, tel qu'il est illustré ci-dessus, est utilisé comme matière de départ. 



  Dans la plupart des applications, un parylène est déposé sur des articles par un procédé de déposition par pyrolyse qui commence par la vaporisation du parylène dimère. Le dimère est soumis à un clivage pyrolytique à des températures d'environ 500 à 750 DEG C pour former une vapeur de parylène monomère réactive. Puis la vapeur de monomère réactive est transférée à une chambre de déposition dans laquelle sont placés les articles. A l'intérieur de la chambre de déposition, la vapeur de monomère réactive se condense et se polymérise sur les articles en formant un revêtement de parylène sur l'article. N'importe quelle vapeur de monomère qui ne se condense pas dans la chambre de déposition est éliminée classiquement par un piège cryogénique qui est maintenu à des températures cryogéniques. 



  Le procédé est généralement mis en Öuvre sous forme d'un procédé discontinu dans un appareil clos sous vide, correspondant classiquement à une pression d'environ 1,33 à 6,66 Pa. Un tel appareil comprend classiquement des zones distinctes pour les étapes de (a) vaporisation, (b) de pyrolyse et (c) de déposition du procédé, ces zones étant reliées au moyen de tuyauteries ou de connexions tubulaires appropriées. 



  Lorsque le revêtement d'articles multiples est désiré, un appareil de revêtement à tambour est souvent  utilisé. Dans un appareil de revêtement à tambour, la chambre de déposition comprend un organe destiné à contenir les articles, par exemple un tambour, qui est orienté horizontalement et monté, de manière à permettre une rotation, à l'intérieur d'un boîtier (désigné parfois également sous le nom de chambre à vide). Les articles à revêtir sont agités au tambour dans l'organe au cours du procédé de revêtement.

  De manière classique, de petits articles, tels que des noyaux de ferrite utilisés dans l'industrie des transformateurs d'impulsions (connus dans la pratique sous le nom de tores), des bobines de ferrite et de Permalloy utilisées dans l'industrie de production de bobines, les pièces polaires utilisées dans l'industrie des mémoires à disques magnétiques, les petits assemblages de rotors et de stators utilisés dans l'industrie automobile, l'industrie aérospatiale et l'industrie des ordinateurs, les monnaies frappées, des pièces d'orfèvrerie, etc., sont revêtus de cette manière. 



  Des exemples d'un appareil usuel de revêtement au tambour sont décrits dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n<o> 4 758 288 délivré le 19 Juillet 1988. Dans un tel appareil, les organes ressemblent à des tambours qui possèdent une structure de paroi pleine, désignée ci-après sous le nom de "système de tambour". Le parylène monomère vaporisé est introduit classiquement par un tube d'alimentation qui s'étend dans le tambour rotatif. Puisque le procédé est mis en Öuvre sous vide, une bague ouverte est placée classiquement autour du tube d'alimentation afin de permettre une communication entre l'intérieur du tambour et le boîtier lors de la mise sous vide. En résultat, la présence de la bague ouverte limite le volume des articles qui peuvent être placés à l'intérieur du tambour.

  En outre, malgré la présence de la bague, un gradient de pression peut être créé entre le tambour et le boîtier, limitant ainsi l'écoulement du gaz à l'intérieur du tambour. Un tel gradient de pression peut avoir pour résultat une épaisseur de revêtement non uniforme. 



  En outre, avec de tels systèmes de tambours, il est souvent indésirable d'augmenter le volume pour recevoir un plus grand nombre d'articles car les revêtements de parylène, et même les articles proprement dits, peuvent être soumis à un endommagement mécanique provoqué par le grand volume d'articles roulant sur eux-mêmes. 



  Le revêtement de plusieurs types d'articles ou de lots différents du même article en une seule fois est parfois souhaitable. Cependant, cela ne peut être réalisé convenablement au moyen d'un système de tambour classique, puisque les articles seraient mélangés au cours de l'agitation au tambour. 



  En raison de la capacité limitée des systèmes de tambour classiques, des appareils de revêtement pouvant présenter une capacité accrue sans provoquer d'endommagement mécanique des articles soumis à un revêtement sont désirés. En outre, des organes perfectionnés possédant des cellules distinctes sont désirés pour remplacer les tambours de manière à permettre le revêtement d'articles différents sans que ces articles soient mélangés les uns aux autres. De plus, des appareils perfectionnés de revêtement permettant d'obtenir une pression relativement constante dans la totalité de la chambre de déposition sont désirés. 



   Conformément à la présente invention, il est proposé un appareil de revêtement d'articles avec une matière de revêtement par déposition en phase vapeur, qui utilise un organe à structure cellulaire pour le revêtement au tambour des articles. L'organe à structure cellulaire comprend de multiples cellules disposées radialement autour d'un axe de rotation commun. Chaque cellule comprend (a) un élément creux possédant une paroi latérale munie de plusieurs orifices, les orifices étant suffisamment grands pour permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement à travers les orifices et étant suffisamment petits pour maintenir les articles à l'intérieur de la cellule; (b) une première  extrémité; et (c) une seconde extrémité.

  En outre, dans l'organe à structure cellulaire de la présente invention, les orifices dans les parois latérales des cellules sont de préférence alignés généralement pour permettre une communication entre les cellules adjacentes et permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement d'une cellule à une cellule adjacente par passage à travers les parois latérales. 



  Au moyen de la présente invention, le revêtement de grands volumes d'articles dans un appareil de revêtement à tambour, sans provoquer d'endommagement mécanique des articles, est à présent possible. Le revêtement d'un volume pouvant atteindre ou dépasser dix fois le volume d'articles revêtus au moyen d'un système de tambour classique peut souvent être effectué au moyen de l'organe à structure cellulaire de la présente invention car de plus petits volumes d'articles peuvent être logés à l'intérieur de chaque cellule. En résultat, il se produit souvent un plus faible endommagement mécanique du revêtement et des articles proprement dits au moyen de l'élément à structure cellulaire de la présente invention.

  En outre, l'organe à structure cellulaire de la présente invention peut produire une pression relativement constante dans la totalité de la chambre de déposition en raison du grand nombre d'orifices dans les parois latérales des cellules et permettre ainsi d'obtenir des épaisseurs de revêtement plus constantes sur les articles. En outre, des articles différents ou des lots différents du même article peuvent être introduits dans des cellules différentes et soumis ainsi à un revêtement sans être mélangés les uns aux autres. 



  D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description détaillée qui va suivre, faite en regard des dessins annexés sur lesquels: 
 
   la fig. 1 est une vue en perspective d'un organe à structure cellulaire conforme à la présente inven tion. 
   La fig. 2 est un diagramme schématique d'un appareil de déposition en phase vapeur conforme à la présente invention. 
 



  La présente invention est décrite ci-après en référence aux dessins qui sont présentés à des fins d'illustration et ne sont pas destinés à limiter le cadre des revendications ci-après. 



  La fig. 1 représente un organe à structure cellulaire pour le revêtement d'articles conformément à la présente invention. L'organe à structure cellulaire comprend de multiples cellules 10 disposées radialement autour d'un axe de rotation commun 11. Chaque cellule comprend un élément creux 12 muni de plusieurs orifices 13 à travers ses parois latérales. 



  Les géométries des éléments creux ne sont pas déterminantes pour la présente invention. De préférence, les éléments creux possèdent une section transversale circulaire, elliptique ou triangulaire. Lorsque des éléments creux ayant des sections transversales généralement triangulaires sont utilisés, il est préféré de disposer les éléments creux de telle sorte que l'organe total à structure cellulaire possède une section transversale en forme de tarte. Lorsque l'organe à structure cellulaire est constitué totalement de cellules triangulaires, la somme des surfaces des sections transversales des cellules est approximativement égale à la surface de la section transversale de l'organe à structure cellulaire. Ainsi, des cellules à section transversale triangulaire sont avantageuses.

  Des cellules encore plus avantageuses sont des cellules possédant une section transversale triangulaire, dont les intersections, c'est-à-dire les angles, sont arrondies pour améliorer l'agitation au tambour. 



  Lorsqu'un organe à structure cellulaire totalement rempli est utilisé, quelle que soit la géométrie en  section transversale, il est important de pratiquer des orifices à travers les parois latérales des cellules qui forment la surface extérieure de l'organe à structure cellulaire afin de permettre le passage des vapeurs de la matière de revêtement de l'extérieur à l'intérieur de chaque cellule. Dans certains cas, par exemple lorsque de petits volumes d'articles sont soumis à un revêtement, il peut ne pas être souhaitable de faire fonctionner l'organe à structure cellulaire avec les cellules totalement remplies. Ainsi, dans certains cas, il peut être souhaitable de faire fonctionner un organe à structure cellulaire, conçu, par exemple, pour recevoir huit cellules, avec seulement deux des cellules installées. 



  Les géométries des orifices dans les parois latérales des éléments creux ne sont également pas déterminantes pour la présente invention. Cependant, les orifices doivent être suffisamment grands pour permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement à travers les orifices et être également suffisamment petits pour maintenir les articles à l'intérieur de la cellule. De préférence, les orifices sont également suffisamment grands pour éviter de créer une quelconque chute notable de pression à travers les orifices pouvant inhiber le transfert du gaz à travers la paroi latérale. De manière encore plus avantageuse, les orifices sont juste suffisamment petits pour empêcher les articles de tomber hors de la cellule. 



  En outre, il est préféré que les orifices dans les parois latérales de cellules adjacentes soient généralement alignés pour permettre une communication, c'est-à-dire une communication libre, entre les cellules adjacentes afin de permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement entre des cellules adjacentes, c'est-à-dire d'une cellule à la cellule adjacente par passage à travers les parois latérales. Il est en outre préféré que les parois latérales des éléments creux possèdent une surface de  communication d'au moins environ 30 pour cent, avantageusement d'au moins environ 60 pour cent et de préférence d'au moins environ 80 pour cent. Ainsi, dans un aspect apprécié de la présente invention, pratiquement la totalité de la surface de chaque élément creux porte des orifices. 



   Les éléments creux peuvent être constitués de n'importe quelles matières convenables possédant des propriétés suffisantes pour supporter les conditions du procédé de revêtement par déposition en phase vapeur. De manière classique, les éléments creux sont constitués d'une tôle ou d'un métal, par exemple d'acier ou d'aluminium, portant de multiples perforations, ou bien d'une grille ou d'une toile métallique, par exemple d'une toile métallique de 6,35 mm pour matériel électronique. En outre, les éléments creux peuvent être constitués de matières plastiques ou de matières composites. 



  Des articles peuvent être introduits et enlevés des cellules par n'importe quel moyen convenable. Comme le montre la fig. 1, des couvercles terminaux 14 peuvent être utilisés comme moyen de fermeture des extrémités des éléments creux. Ces couvercles terminaux peuvent être totalement amovibles des éléments creux ou bien peuvent posséder, par exemple, des charnières. Les matériaux de construction de ces couvercles terminaux ne sont pas déterminants pour la présente invention. Un polyéthylène haute densité est une matière convenable pour l'utilisation comme couvercle terminal. En variante, des articles peuvent être introduits dans les cellules et enlevés des cellules en plaçant un moyen de fermeture le long de la paroi latérale de l'élément creux, par exemple en ménageant le long de la dimension axiale de l'élément creux une ouverture fermée par charnière. 



  Les différentes cellules sont de préférence connectées à l'organe à structure cellulaire de telle manière qu'elles puissent être enlevées convenablement. La fig. 1 représente une plaque terminale 15 qui est connectée de  manière fixe à l'axe commun 11. Chaque cellule est connectée par fixation du couvercle terminal à la plaque terminale par un moyen convenable, par exemple par fixation au moyen d'un boulon. L'organe à structure cellulaire comprend souvent une autre plaque terminale (non représentée) à l'extrémité opposée de l'élément. Il est également possible, par exemple, de fixer les cellules à l'axe de rotation commun. 



  Le nombre de cellules dans l'organe à structure cellulaire est compris avantageusement dans l'intervalle de 2 à 16 et de préférence de 4 à 8. En outre, chaque cellule peut être subdivisée pour créer des compartiments à l'intérieur de la cellule. 



  La fig. 2 représente un appareil pour le revêtement d'articles avec une matière de revêtement par déposition en phase vapeur sous vide, conformément à la présente invention. 



  La fig. 2 est décrite ci-après par référence à un parylène comme matière de revêtement, bien que l'homme de l'art reconnaîtra qu'il peut exister actuellement ou qu'il existera dans le futur d'autres polymères convenant pour l'utilisation comme matières de revêtement dans l'appareil de la présente invention. Un parylène dimère, servant de matière de départ, est disponible dans le commerce auprès de différentes sources, par exemple Union Carbide Chemical and Plastics Company Inc., Danbury, CT. 



  Un parylène dimère est introduit dans l'appareil par un conduit 20 qui est connecté à une zone de vaporisation 21 dans laquelle le parylène dimère est vaporisé. La zone de vaporisation comprend un dispositif de chauffage qui est capable de provoquer la vaporisation du parylène sous les pressions utilisées classiquement dans le procédé de revêtement. La température dans la zone de vaporisation est comprise classiquement dans l'intervalle d'environ 80 à environ 200 DEG C. 



  Le parylène dimère vaporisé est passé de la zone  de vaporisation par un conduit 22 à une zone de pyrolyse 23 dans laquelle le parylène dimère est pyrolysé pour former le parylène monomère. La zone de pyrolyse comprend un dispositif de chauffage qui peut provoquer la pyrolyse du parylène dimère sous les pressions classiques utilisées dans le procédé de revêtement avec un parylène. La température dans la zone de pyrolyse est comprise classiquement dans l'intervalle d'environ 500 à 750 DEG C, avantageusement d'environ 650 à 750 DEG C et de préférence d'environ 680 à 700 DEG C. 



  Le parylène monomère est passé de la zone de pyrolyse par un conduit 24 à un boîtier 25 qui renferme l'organe à structure cellulaire 26 qui contient huit cellules et est pratiquement identique à celui décrit par référence à la fig. 1. L'organe 26 à structure cellulaire est positionné à l'intérieur du boîtier 25 de manière à posséder une orientation généralement horizontale et est soumis à une rotation par l'arbre d'entrainement 27 qui est connecté de manière fixe à une extrémité à l'organe à structure cellulaire 26. L'autre extrémité de l'arbre d'entrainement 27 s'étend à travers le boîtier 25, à travers un joint d'étanchéité 28 et est connectée de manière rigide à un moteur d'entrainement 29. 



  Puisque le procédé est mis en Öuvre sous vide, un moyen de mise sous vide de l'intérieur du boîtier est fourni. 



  Un conduit d'aspiration 30, en communication avec le boîtier 25, est connecté à un piège de condensation cryogénique 31 dans lequel les vapeurs résiduelles de parylène monomère sont condensées, polymérisées et isolées. Un fluide cryogénique convenable pour l'utilisation dans le piège de condensation est l'azote liquide. 



  La vapeur résiduelle du piège de condensation 31 est chassée par un conduit 32 et passée à travers une pompe à vide 33. La pompe à vide fonctionne pour engendrer une pression inférieure à la pression atmosphérique dans le  boîtier et l'élément et engendre de préférence une pression d'environ 1,33 à 6,66 Pa. Le produit de déchargement par la pompe à vide est évacué de l'appareil par un conduit 34. 



  Conformément à la présente invention, un vide est établi à l'intérieur de chaque cellule de l'organe à structure cellulaire en assurant une communication avec l'intérieur du boîtier sous vide à travers l'ensemble des orifices dans les parois latérales des cellules. En conséquence, il n'est plus nécessaire de fournir un tube d'alimentation s'étendant dans l'organe avec une bague ouverte autour du tube d'alimentation comme dans les systèmes de tambours classiques. En résultat, il est à présent possible de remplir pratiquement totalement chacune des cellules avec des articles devant être soumis à un revêtement. Le seul impératif est que les articles possèdent une mobilité suffisante à l'intérieur des cellules au cours de l'agitation au tambour pour le revêtement avec la matière de revêtement.

   Un volume pouvant souvent atteindre ou dépasser dix fois le volume des articles revêtus dans un système de tambour classique peut souvent être revêtu au tambour dans l'organe à structure cellulaire de la présente invention. 



  En outre, il existe souvent un profil de pression plus constant dans la chambre de déposition de la présente invention, ce qui produit une épaisseur de revêtement uniforme sur les articles revêtus. 


 Exemples 
 



  Un organe à structure cellulaire a été construit en utilisant huit cellules, dont chacune possédait des éléments creux fabriqués à partir d'un fil d'acier soudé de 6,35 mm, ayant une section transversale généralement triangulaire. Les couvercles terminaux étaient constitués d'un polyéthylène haute densité. Lorsqu'il a été chargé totalement avec les huit cellules, l'organe à structure cellulaire possédait une section transversale généralement circulaire et une géométrie cylindrique. Les dimensions de l'organe à  structure cellulaire étaient un diamètre d'approximativement 51 cm et une longueur d'approximativement 70 cm. Les cellules ont été construites de manière à s'ouvrir le long de leurs dimensions axiales pour permettre un chargement aisé. Cet organe à structure cellulaire a été utilisé dans l'essai décrit ci-dessous. 



  A des fins de comparaison, un essai comparatif a été également effectué au moyen d'un système de tambour classique. Le tambour possédait une géométrie cylindrique et les dimensions étaient un diamètre d'approximativement 20,3 cm et une longueur d'approximativement 51 cm. 



  Un appareil de déposition en phase vapeur, tel que celui décrit par référence à la fig. 2, a été utilisé pour les deux essais. 



  Pour l'essai comparatif, approximativement 4500 noyaux de ferrite ayant des dimensions de 12,7 mm de diamètre par 6,35 mm d'épaisseur, correspondant à la charge maximale possible, ont été introduits dans le système de tambour. Une quantité d'approximativement 70 grammes de parylène C, un parylène dimère qui a été obtenu auprès d'Union Carbide Chemicals and Plastics Company Inc., Danbury, Connecticut, a été introduite dans la section de vaporisation de l'appareil de déposition en phase vapeur. Le tambour a été soumis à une rotation à 0,2 tour par minute. La zone de vaporisation a été maintenue à 150 DEG C et la zone de pyrolyse a été maintenue à 690 DEG C. La pression à l'intérieur du boîtier a été maintenue à 5,33 Pa. L'essai a été achevé au bout d'environ trois heures, après vaporisation de la totalité du parylène C. 



  Pour l'essai au moyen de l'organe à structure cellulaire de la présente invention, les noyaux de ferrite utilisés dans l'essai comparatif, en un nombre d'approximativement 5625, ont été introduits dans chacune des huit cellules, pour un nombre total d'approximativement 45 000 noyaux de ferrite, ce qui correspond approximativement à dix  fois la charge maximale du système de tambour. Une quantité d'approximativement 700 grammes d'un parylène C identique à celui utilisé dans l'essai comparatif a été introduite dans la zone de vaporisation. L'organe à structure cellulaire a été soumis à une rotation à approximativement 0,16 tour par minute. La température a été maintenue à 150 DEG C dans la zone de vaporisation et à 690 DEG C dans la zone de pyrolyse. La pression à l'intérieur du boîtier a été maintenue à environ 5,33 Pa.

  L'essai a été terminé au bout d'environ cinq heures, après vaporisation de la totalité du parylène C. 



  A la fin des deux essais, les articles revêtus dans l'organe à structure cellulaire et le système de tambour ont été comparés et se sont révélés posséder des épaisseurs de revêtement et une uniformité de revêtement pratiquement similaires. Des bandes d'essai qui ont été introduites au cours de l'essai avec le système de tambour possédaient des épaisseurs de revêtement de parylène allant de 11,5 à 15 micromètres, indiquant une bonne distribution du revêtement de parylène. Des bandes d'essai qui ont été ajoutées au cours de l'essai avec l'organe à structure cellulaire possédaient des épaisseurs de revêtement de parylène allant de 9 micromètres à 12 micromètres, indiquant également une bonne distribution du parylène. 



   Il va de soi que la présente invention n'a été décrite qu'à titre explicatif, mais nullement limitatif, et que de nombreuses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. 

Claims (9)

1. Organe à structure cellulaire pour le revêtement d'articles avec une matière de revêtement par déposition en phase vapeur, caractérisé en ce qu'il comprend de multiples cellules (10) disposées radialement autour d'un axe commun de rotation (11), chaque cellule comprenant: (a) un élément creux (12) possédant une paroi latérale avec plusieurs orifices (13) à travers cette paroi, lesdits orifices étant suffisamment grands pour permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement à travers lesdits orifices et étant suffisamment petits pour maintenir les articles à l'intérieur de la cellule (11); (b) une première extrémité; et (c) une seconde extrémité.

2.

Organe à structure cellulaire selon la revendication 1, caractérisé en ce que les orifices dans les parois latérales de cellules adjacentes sont généralement alignés pour permettre une communication entre lesdites cellules adjacentes afin de permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement entre lesdites cellules adjacentes.

3. Organe à structure cellulaire selon la revendication 1, caractérisé en ce que la paroi latérale possède une surface de communication d'au moins 30%.

4. Organe à structure cellulaire suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il possède 2 à 16 cellules.

5.

Organe à structure cellulaire selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'au moins l'une des première et seconde extrémités possède un moyen de fermeture pouvant être positionné entre une position ouverte et une position fermée pour charger les articles dans les cellules et enlever les articles des cellules.

6.

Appareil de revêtement d'articles avec une matière de revêtement par déposition en phase vapeur sous vide, caractérisé en ce qu'il comprend i) un boîtier (25); ii) un organe à structure cellulaire (26) comprenant de multiples cellules disposées radialement autour d'un axe de rotation commun, chaque cellule comprenant:

(a) un élément creux possédant une paroi latérale avec plusieurs orifices, lesdits orifices étant suffisamment grands pour permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement à travers lesdits orifices et étant suffisamment petits pour maintenir les articles à l'intérieur de la cellule; (b) une première extrémité; et (c) une seconde extrémité; ledit organe à structure cellulaire étant monté de manière à pouvoir tourner à l'intérieur dudit boîtier; iii) des moyens pour mettre sous vide l'intérieur du boîtier; et iv) des moyens pour introduire de la matière de revêtement par vaporisation dans ledit boîtier.

7.

Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens d'introduction de la matière de revêtement vaporisée dans le boîtier (25) comprennent une zone de vaporisation (21) dans laquelle la matière de revêtement peut être introduite, une zone de pyrolyse (23) connectée à la zone de vaporisation (21) et un conduit d'alimentation (24) connecté à la zone de pyrolyse et audit boîtier.

8.

Appareil de revêtement d'articles avec une matière de revêtement par déposition en phase vapeur sous vide, comprenant: i) une zone de vaporisation (21) dans laquelle la matière de revêtement peut être introduite; ii) une zone de pyrolyse (23) connectée à la zone de vaporisation; iii) un boîtier (25) connecté à la zone de pyrolyse; iv) un organe (26) pour l'agitation au tambour des articles, monté de manière à pouvoir tourner à l'intérieur du boîtier; et v) des moyens (33) pour mettre sous vide l'intérieur du boîtier; caractérisé en ce que ledit organe est un organe à structure cellulaire comprenant de multiples cellules disposées radialement autour d'un axe de rotation commun, chaque cellule comprenant:

(a) un élément creux possédant une paroi latérale avec plusieurs orifices à travers cette paroi, lesdits orifices étant suffisamment grands pour permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement à travers lesdits orifices et étant suffisamment petits pour maintenir les articles à l'intérieur de la cellule; (b) une première extrémité; et (c) une seconde extrémité.

9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que les orifices dans les parois latérales de cellules adjacentes sont généralement alignés pour permettre une communication entre lesdites cellules adjacentes afin de permettre l'écoulement des vapeurs de la matière de revêtement entre lesdites cellules adjacentes.