JP2001207261A - 蒸着コーティング装置用バレル - Google Patents
蒸着コーティング装置用バレルInfo
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- JP2001207261A JP2001207261A JP2000015390A JP2000015390A JP2001207261A JP 2001207261 A JP2001207261 A JP 2001207261A JP 2000015390 A JP2000015390 A JP 2000015390A JP 2000015390 A JP2000015390 A JP 2000015390A JP 2001207261 A JP2001207261 A JP 2001207261A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被コーティング部品の形状が平板状であって
も、被コーティング部品の全面に均一な膜厚のコーティ
ング皮膜を形成することが可能な蒸着コーティング装置
用バレルを提供する。また、被コーティング部品の大き
さが極めて微細な場合であっても、被コーティング部品
が落下することがなく、バレルとしての耐久性に優れる
蒸着コーティング装置用バレルを提供する。 【解決手段】 バレルに備える筒体２が、収納している
被コーティング部品６を攪拌することができる攪拌羽根
７を、その内周壁に形成している筒体であることを特徴
とする蒸着コーティング装置用バレル。バレルに備える
筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティング部品より
も小さい穴を形成した金属板で形成していることを特徴
とする蒸着コーティング装置用バレル。
も、被コーティング部品の全面に均一な膜厚のコーティ
ング皮膜を形成することが可能な蒸着コーティング装置
用バレルを提供する。また、被コーティング部品の大き
さが極めて微細な場合であっても、被コーティング部品
が落下することがなく、バレルとしての耐久性に優れる
蒸着コーティング装置用バレルを提供する。 【解決手段】 バレルに備える筒体２が、収納している
被コーティング部品６を攪拌することができる攪拌羽根
７を、その内周壁に形成している筒体であることを特徴
とする蒸着コーティング装置用バレル。バレルに備える
筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティング部品より
も小さい穴を形成した金属板で形成していることを特徴
とする蒸着コーティング装置用バレル。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電気・電子部
品等の製造に際して、コーティング皮膜の形成に使用さ
れる蒸着コーティング装置に使用する被コーティング部
品を収納するバレルに関するものである。
品等の製造に際して、コーティング皮膜の形成に使用さ
れる蒸着コーティング装置に使用する被コーティング部
品を収納するバレルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記の蒸着コーティング装置用バ
レルとしては、図７に示されるようなバレル１が知られ
ている（例えば特開平７−７０７３８号公報）。図７に
示される従来のバレル１は、断面が円形であり、筒壁面
が網状材料で形成された筒体２を複数本、回転軸３の周
囲に備えている。図７で４は筒体受板、５はストッパ板
を示している。このようなバレル１を使用して鉄芯等の
被コーティング部品の表面にコーティング皮膜を形成す
る手順としては、まず、バレル１に備わる筒体２に被コ
ーティング部品６を収納する（図８参照）。この場合、
図８に示すように被コーティング部品６を開口部２ａか
ら投入して、筒体２の内側に収納する。次いで、このバ
レル１を図９に示す真空蒸着装置８にセットする。一
方、図９に示すように、原料物質Ａ、Ｂをそれぞれセッ
トした蒸発管Ｅ、Ｆを、導入管Ｇ、Ｈに装着する。次い
で、真空ポンプＩを用いて所定圧力まで排気し、蒸着槽
Ｊ内を真空状態にすると共に、ヒータＫ、Ｌにより原料
物質Ａ、Ｂを加熱しながら、モータＭによりバレル１の
回転軸３を駆動して、バレル１に備わる筒体２（図７参
照）を、回転軸３を中心にして回動させる。そうする
と、原料物質の蒸気が導入管Ｇ、Ｈを経由して蒸着槽Ｊ
内に導入されて、筒体内に収納されている被コーティン
グ部品の表面に原料物質Ａ、Ｂが蒸着（堆積）する。そ
して、原料物質Ａ、Ｂの蒸着と共に、蒸着槽Ｊを加熱し
て、蒸着した原料物質Ａ、Ｂを重合させて、被コーティ
ング部品６の表面にコーティング皮膜を形成する。
レルとしては、図７に示されるようなバレル１が知られ
ている（例えば特開平７−７０７３８号公報）。図７に
示される従来のバレル１は、断面が円形であり、筒壁面
が網状材料で形成された筒体２を複数本、回転軸３の周
囲に備えている。図７で４は筒体受板、５はストッパ板
を示している。このようなバレル１を使用して鉄芯等の
被コーティング部品の表面にコーティング皮膜を形成す
る手順としては、まず、バレル１に備わる筒体２に被コ
ーティング部品６を収納する（図８参照）。この場合、
図８に示すように被コーティング部品６を開口部２ａか
ら投入して、筒体２の内側に収納する。次いで、このバ
レル１を図９に示す真空蒸着装置８にセットする。一
方、図９に示すように、原料物質Ａ、Ｂをそれぞれセッ
トした蒸発管Ｅ、Ｆを、導入管Ｇ、Ｈに装着する。次い
で、真空ポンプＩを用いて所定圧力まで排気し、蒸着槽
Ｊ内を真空状態にすると共に、ヒータＫ、Ｌにより原料
物質Ａ、Ｂを加熱しながら、モータＭによりバレル１の
回転軸３を駆動して、バレル１に備わる筒体２（図７参
照）を、回転軸３を中心にして回動させる。そうする
と、原料物質の蒸気が導入管Ｇ、Ｈを経由して蒸着槽Ｊ
内に導入されて、筒体内に収納されている被コーティン
グ部品の表面に原料物質Ａ、Ｂが蒸着（堆積）する。そ
して、原料物質Ａ、Ｂの蒸着と共に、蒸着槽Ｊを加熱し
て、蒸着した原料物質Ａ、Ｂを重合させて、被コーティ
ング部品６の表面にコーティング皮膜を形成する。
【０００３】ここで、従来のバレル１に備わる筒体２内
の被コーティング部品６は、図１０の筒体２の概略断面
図で示すように、筒体２の回動に伴って攪拌されること
により、被コーティング部品６の全面にコーティング皮
膜が形成されるようになっている。なお、被コーティン
グ部品６は通常被コーティング部品６同士が係合するよ
うな突起部や切り込み部を備えるので、単に筒体２を回
動させることで被コーティング部品６の攪拌が行われ
る。
の被コーティング部品６は、図１０の筒体２の概略断面
図で示すように、筒体２の回動に伴って攪拌されること
により、被コーティング部品６の全面にコーティング皮
膜が形成されるようになっている。なお、被コーティン
グ部品６は通常被コーティング部品６同士が係合するよ
うな突起部や切り込み部を備えるので、単に筒体２を回
動させることで被コーティング部品６の攪拌が行われ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のバレルでは、２つの問題がありその改良が望まれ
ている。
従来のバレルでは、２つの問題がありその改良が望まれ
ている。
【０００５】第１番目の問題としては、被コーティング
部品の形状が平板状又はそれに近い場合には、バレルに
備わる筒体を回動させても、被コーティング部品同士が
係合することがないため、被コーティング部品は筒体の
内壁（通常、網状になっている内壁）を単に滑り落ちる
動きをし、十分な攪拌ができないことがあった。そし
て、筒体内での被コーティング部品の攪拌が不十分な場
合には、被コーティング部品の全面にコーティング皮膜
が形成されず、位置によってコーティング皮膜の厚みに
ばらつきが生じるという問題があった。
部品の形状が平板状又はそれに近い場合には、バレルに
備わる筒体を回動させても、被コーティング部品同士が
係合することがないため、被コーティング部品は筒体の
内壁（通常、網状になっている内壁）を単に滑り落ちる
動きをし、十分な攪拌ができないことがあった。そし
て、筒体内での被コーティング部品の攪拌が不十分な場
合には、被コーティング部品の全面にコーティング皮膜
が形成されず、位置によってコーティング皮膜の厚みに
ばらつきが生じるという問題があった。
【０００６】第２番目の問題としては、被コーティング
部品の大きさが最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と極めて
微細な場合には、バレルに備わる筒体の網の空隙を通っ
て被コーティング部品が落下するのを防止するために、
網目の細かい金属製網で筒体を作製すると、通常網目の
細かい網は強度が低いので、筒体の強度が低下して変形
しやすくなり、バレルとしての耐久性が損なわれるとい
う問題があった。
部品の大きさが最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と極めて
微細な場合には、バレルに備わる筒体の網の空隙を通っ
て被コーティング部品が落下するのを防止するために、
網目の細かい金属製網で筒体を作製すると、通常網目の
細かい網は強度が低いので、筒体の強度が低下して変形
しやすくなり、バレルとしての耐久性が損なわれるとい
う問題があった。
【０００７】上記の事情に鑑みて本発明はなされたもの
である。すなわち、請求項１〜請求項３に係る発明は、
被コーティング部品の形状が平板状又はそれに近い場合
であっても、バレルに備わる筒体を回動させた際に、被
コーティング部品が十分に攪拌され、被コーティング部
品の全面に均一な膜厚のコーティング皮膜を形成するこ
とが可能な蒸着コーティング装置用バレルを提供するこ
とを目的としている。また、請求項４〜請求項６に係る
発明は、被コーティング部品の大きさが最大長さで０．
１〜２ｍｍ程度と極めて微細な場合であっても、バレル
に備わる筒体から被コーティング部品が落下することが
なく、且つ筒体の強度が強くてバレルとしての耐久性に
優れる蒸着コーティング装置用バレルを提供することを
目的としている。
である。すなわち、請求項１〜請求項３に係る発明は、
被コーティング部品の形状が平板状又はそれに近い場合
であっても、バレルに備わる筒体を回動させた際に、被
コーティング部品が十分に攪拌され、被コーティング部
品の全面に均一な膜厚のコーティング皮膜を形成するこ
とが可能な蒸着コーティング装置用バレルを提供するこ
とを目的としている。また、請求項４〜請求項６に係る
発明は、被コーティング部品の大きさが最大長さで０．
１〜２ｍｍ程度と極めて微細な場合であっても、バレル
に備わる筒体から被コーティング部品が落下することが
なく、且つ筒体の強度が強くてバレルとしての耐久性に
優れる蒸着コーティング装置用バレルを提供することを
目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の蒸
着コーティング装置用バレルは、被コーティング部品を
収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備える
バレルであり、前記筒体に被コーティング部品を収納
し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させな
がら、前記被コーティング部品の表面に、合成樹脂の原
料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティ
ング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバ
レルにおいて、バレルに備える筒体が、それを回動させ
た際に、収納している被コーティング部品を攪拌するこ
とができる攪拌羽根を、その内周壁に形成している筒体
であることを特徴とする蒸着コーティング装置用バレル
である。この請求項１に係る発明では、筒体の内周壁に
攪拌羽根を形成しているので、筒体を回動させた際に、
被コーティング部品は筒体の内壁を単に滑り落ちること
はなく、十分な攪拌ができるようになる。
着コーティング装置用バレルは、被コーティング部品を
収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備える
バレルであり、前記筒体に被コーティング部品を収納
し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させな
がら、前記被コーティング部品の表面に、合成樹脂の原
料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティ
ング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバ
レルにおいて、バレルに備える筒体が、それを回動させ
た際に、収納している被コーティング部品を攪拌するこ
とができる攪拌羽根を、その内周壁に形成している筒体
であることを特徴とする蒸着コーティング装置用バレル
である。この請求項１に係る発明では、筒体の内周壁に
攪拌羽根を形成しているので、筒体を回動させた際に、
被コーティング部品は筒体の内壁を単に滑り落ちること
はなく、十分な攪拌ができるようになる。
【０００９】請求項２に係る発明の蒸着コーティング装
置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体が、それを回動させた際に、収納してい
る被コーティング部品を攪拌することができる凹部又は
凸部を、その内周壁に形成している筒体であることを特
徴とする蒸着コーティング装置用バレルである。この請
求項２に係る発明では、筒体の内周壁に被コーティング
部品を攪拌することができる凹部又は凸部を形成してい
るので、筒体を回動させた際に、被コーティング部品は
筒体の内壁を単に滑り落ちることはなく、十分な攪拌が
できるようになる。
置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体が、それを回動させた際に、収納してい
る被コーティング部品を攪拌することができる凹部又は
凸部を、その内周壁に形成している筒体であることを特
徴とする蒸着コーティング装置用バレルである。この請
求項２に係る発明では、筒体の内周壁に被コーティング
部品を攪拌することができる凹部又は凸部を形成してい
るので、筒体を回動させた際に、被コーティング部品は
筒体の内壁を単に滑り落ちることはなく、十分な攪拌が
できるようになる。
【００１０】請求項３に係る発明の蒸着コーティング装
置用バレルは、バレルに備える筒体の、軸方向に垂直な
断面の形状が、多角形状である請求項１又は請求項２記
載の蒸着コーティング装置用バレルである。このように
断面が多角形状である筒体の場合には、円筒の筒体より
も、より十分な被コーティング部品の攪拌ができるよう
になる。
置用バレルは、バレルに備える筒体の、軸方向に垂直な
断面の形状が、多角形状である請求項１又は請求項２記
載の蒸着コーティング装置用バレルである。このように
断面が多角形状である筒体の場合には、円筒の筒体より
も、より十分な被コーティング部品の攪拌ができるよう
になる。
【００１１】請求項４に係る発明の蒸着コーティング装
置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティン
グ部品よりも小さい穴を形成した金属板で形成している
ことを特徴とする蒸着コーティング装置用バレルであ
る。
置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティン
グ部品よりも小さい穴を形成した金属板で形成している
ことを特徴とする蒸着コーティング装置用バレルであ
る。
【００１２】請求項５に係る発明の蒸着コーティング装
置用バレルは、前記金属板の材質がステンレススチー
ル、ニッケル又はチタンである請求項４記載の蒸着コー
ティング装置用バレルである。
置用バレルは、前記金属板の材質がステンレススチー
ル、ニッケル又はチタンである請求項４記載の蒸着コー
ティング装置用バレルである。
【００１３】請求項４及び請求項５に係る発明では、バ
レルに備える筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティ
ング部品よりも小さい穴を形成した金属板で形成してい
るので、被コーティング部品が通過しないような微細な
開口部を多数形成していて、且つ筒体の強度が強い筒体
を得ることができる。
レルに備える筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティ
ング部品よりも小さい穴を形成した金属板で形成してい
るので、被コーティング部品が通過しないような微細な
開口部を多数形成していて、且つ筒体の強度が強い筒体
を得ることができる。
【００１４】請求項６に係る発明の蒸着コーティング装
置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網
であって、筒体に収納する被コーティング部品よりも小
さい空隙を有する網で形成していることを特徴とする蒸
着コーティング装置用バレルである。
置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網
であって、筒体に収納する被コーティング部品よりも小
さい空隙を有する網で形成していることを特徴とする蒸
着コーティング装置用バレルである。
【００１５】この請求項６に係る発明では、バレルに備
える筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網で形成
するようにしているので、太い材料で構成される粗い網
目の金属製の網であっても、有機膜で被覆して網目の空
隙を狭くできるので、強度が強い筒体であって、筒体に
収納する被コーティング部品よりも小さい穴を形成した
筒体を容易に作製することが可能となる。
える筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網で形成
するようにしているので、太い材料で構成される粗い網
目の金属製の網であっても、有機膜で被覆して網目の空
隙を狭くできるので、強度が強い筒体であって、筒体に
収納する被コーティング部品よりも小さい穴を形成した
筒体を容易に作製することが可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。なお、同一名称の部材に関しては、上述の従来の
技術で用いた符号と同じ符号を、本発明の実施の形態の
説明でも使用する。
する。なお、同一名称の部材に関しては、上述の従来の
技術で用いた符号と同じ符号を、本発明の実施の形態の
説明でも使用する。
【００１７】請求項１〜請求項６記載の発明におけるバ
レルは、従来の技術の欄で説明した図９に示すような真
空蒸着装置８で使用する、被コーティング部品を収納す
るバレルに関するものである。（図９の真空蒸着装置８
では、バレル１の詳細な構造は省略している。）そし
て、請求項１〜請求項６記載の発明におけるバレルは、
図７に示されるような従来のバレル１と同様に、被コー
ティング部品を収納する筒体２とその筒体２を回動させ
る回転軸３とを備えるものであるが、筒体の配置や個数
については特に制限はなく、単に筒体の中心を回転軸が
通っている構成のバレルであってもよい。そして、請求
項１〜請求項６記載の発明におけるバレルは、従来のバ
レルと同様に、図９に示すような真空蒸着装置８の蒸着
槽Ｊの内部を真空にした状態で、被コーティング部品を
バレル１が備える筒体に収納し、モーターＭによってバ
レル１全体を回転軸３を中心にして回転させながら、被
コーティング部品の表面に、合成樹脂の原料物質Ａ、Ｂ
（一方の原料物質のみ、又は３種以上の原料物質の場合
であってもよい。）を蒸着させると共に、これらを重合
させてコーティング皮膜を形成するのに使用するバレル
である。そして、合成樹脂や、その原料物質については
特に制限はないが、例えば合成樹脂としては各種のポリ
イミド樹脂やポリ尿素樹脂等が例示できる。
レルは、従来の技術の欄で説明した図９に示すような真
空蒸着装置８で使用する、被コーティング部品を収納す
るバレルに関するものである。（図９の真空蒸着装置８
では、バレル１の詳細な構造は省略している。）そし
て、請求項１〜請求項６記載の発明におけるバレルは、
図７に示されるような従来のバレル１と同様に、被コー
ティング部品を収納する筒体２とその筒体２を回動させ
る回転軸３とを備えるものであるが、筒体の配置や個数
については特に制限はなく、単に筒体の中心を回転軸が
通っている構成のバレルであってもよい。そして、請求
項１〜請求項６記載の発明におけるバレルは、従来のバ
レルと同様に、図９に示すような真空蒸着装置８の蒸着
槽Ｊの内部を真空にした状態で、被コーティング部品を
バレル１が備える筒体に収納し、モーターＭによってバ
レル１全体を回転軸３を中心にして回転させながら、被
コーティング部品の表面に、合成樹脂の原料物質Ａ、Ｂ
（一方の原料物質のみ、又は３種以上の原料物質の場合
であってもよい。）を蒸着させると共に、これらを重合
させてコーティング皮膜を形成するのに使用するバレル
である。そして、合成樹脂や、その原料物質については
特に制限はないが、例えば合成樹脂としては各種のポリ
イミド樹脂やポリ尿素樹脂等が例示できる。
【００１８】次に、実施の形態を順に説明する。まず、
図１及び図２は第１の実施の形態を説明するための筒体
の概略断面図であり、図１はその軸方向に対して垂直方
向の断面を示す筒体の断面図であり、図２は軸方向に対
し平行方向の断面図である。この第１の実施の形態で
は、バレルに備える筒体２が図１に示すように円筒状で
あって、その胴部の内周壁に、被コーティング部品６を
攪拌することのできる４本の攪拌羽根７を備えている。
そして、図２に示すように、攪拌羽根７は筒体２の軸方
向の全幅に形成している。このように、筒体２の内周壁
に攪拌羽根７を備えていると、筒体２内に収容する被コ
ーティング部品６の形状が平板状又はそれに近い場合で
あっても、図１に示すように、バレルに備わる筒体２を
回動させた場合に、攪拌羽根７がストッパーの作用をす
るので、被コーティング部品６が筒体２の内壁を単に滑
り落ちることはなく、十分な攪拌が達成される。従って
被コーティング部品６の全面に均一な膜厚のコーティン
グ皮膜形成が可能となる。攪拌羽根７としては、被コー
ティング部品６を攪拌できる高さがあればよいが、望ま
しくはその高さが被コーティング部品６の厚みよりも高
いものが攪拌が十分にできるので望ましい。なお、筒体
２の内周壁を形成する材料については制限はないが、蒸
着する物質の供給が筒体２の外側から行われる場合に
は、筒体２の内周壁は蒸着する物質が通過するための多
数の開口部を備えていることが好ましい。
図１及び図２は第１の実施の形態を説明するための筒体
の概略断面図であり、図１はその軸方向に対して垂直方
向の断面を示す筒体の断面図であり、図２は軸方向に対
し平行方向の断面図である。この第１の実施の形態で
は、バレルに備える筒体２が図１に示すように円筒状で
あって、その胴部の内周壁に、被コーティング部品６を
攪拌することのできる４本の攪拌羽根７を備えている。
そして、図２に示すように、攪拌羽根７は筒体２の軸方
向の全幅に形成している。このように、筒体２の内周壁
に攪拌羽根７を備えていると、筒体２内に収容する被コ
ーティング部品６の形状が平板状又はそれに近い場合で
あっても、図１に示すように、バレルに備わる筒体２を
回動させた場合に、攪拌羽根７がストッパーの作用をす
るので、被コーティング部品６が筒体２の内壁を単に滑
り落ちることはなく、十分な攪拌が達成される。従って
被コーティング部品６の全面に均一な膜厚のコーティン
グ皮膜形成が可能となる。攪拌羽根７としては、被コー
ティング部品６を攪拌できる高さがあればよいが、望ま
しくはその高さが被コーティング部品６の厚みよりも高
いものが攪拌が十分にできるので望ましい。なお、筒体
２の内周壁を形成する材料については制限はないが、蒸
着する物質の供給が筒体２の外側から行われる場合に
は、筒体２の内周壁は蒸着する物質が通過するための多
数の開口部を備えていることが好ましい。
【００１９】次に、図３は第２の実施の形態を説明する
ための筒体の概略断面図であり、その軸方向に対して垂
直方向の断面図である。この第２の実施の形態では、バ
レルに備える筒体２が図３に示すように多角形状であっ
て、その胴部の内周壁の平坦面に合計６本の攪拌羽根７
を備えていて、この攪拌羽根７は筒体２の軸方向の全幅
に形成している。この攪拌羽根７は、第１の実施の形態
における攪拌羽根と同様の作用・効果を奏する。そし
て、筒体２をこのような断面多角形状の筒体とすると、
攪拌作用が円筒状のものより向上する。また、断面多角
形状の筒体の場合には、攪拌羽根７を形成する位置は、
図３に示すような筒体２の内周壁の平坦面に形成するこ
とが、攪拌作用をより向上させるのに好ましい。この場
合の攪拌羽根７も、被コーティング部品６を攪拌できる
高さがあればよいが、望ましくはその高さが被コーティ
ング部品６の厚みよりも高いものが攪拌が十分にできる
ので望ましい。なお、筒体２の内周壁を形成する材料に
ついては制限はないが、蒸着する物質の供給が筒体２の
外側から行われる場合には、筒体２の内周壁に蒸着する
物質が通過するための多数の開口部を備えていることが
好ましい。
ための筒体の概略断面図であり、その軸方向に対して垂
直方向の断面図である。この第２の実施の形態では、バ
レルに備える筒体２が図３に示すように多角形状であっ
て、その胴部の内周壁の平坦面に合計６本の攪拌羽根７
を備えていて、この攪拌羽根７は筒体２の軸方向の全幅
に形成している。この攪拌羽根７は、第１の実施の形態
における攪拌羽根と同様の作用・効果を奏する。そし
て、筒体２をこのような断面多角形状の筒体とすると、
攪拌作用が円筒状のものより向上する。また、断面多角
形状の筒体の場合には、攪拌羽根７を形成する位置は、
図３に示すような筒体２の内周壁の平坦面に形成するこ
とが、攪拌作用をより向上させるのに好ましい。この場
合の攪拌羽根７も、被コーティング部品６を攪拌できる
高さがあればよいが、望ましくはその高さが被コーティ
ング部品６の厚みよりも高いものが攪拌が十分にできる
ので望ましい。なお、筒体２の内周壁を形成する材料に
ついては制限はないが、蒸着する物質の供給が筒体２の
外側から行われる場合には、筒体２の内周壁に蒸着する
物質が通過するための多数の開口部を備えていることが
好ましい。
【００２０】次に、図４は第３の実施の形態を説明する
ための筒体２の軸方向に対して平行方向の断面を示す概
略断面図である。この第３の実施の形態では、バレルに
備える筒体２に、図４に示すようにその内周壁に筒体２
の内側方向に突起している複数の凸部９を形成してい
て、この凸部９によって被コーティング部品を攪拌する
ことができるようにしている。このように、攪拌作用を
有する凸部９を筒体２の内周壁に形成すると、バレルに
備わる筒体２を回動させた場合に、凸部９があるために
被コーティング部品が筒体２の内壁を単に滑り落ちるこ
とはなく、十分な攪拌が達成される。従って被コーティ
ング部品の全面に均一な膜厚のコーティング皮膜形成が
可能となる。この凸部９は、被コーティング部品６を攪
拌できる高さがあればよいが、望ましくはその高さが被
コーティング部品６の厚みよりも高いものが攪拌が十分
にできるので望ましい。なお、筒体２の内周壁を形成す
る材料については制限はないが、蒸着する物質の供給が
筒体２の外側から行われる場合には、筒体２の内周壁に
蒸着する物質が通過するための多数の開口部を備えてい
ることが好ましい。
ための筒体２の軸方向に対して平行方向の断面を示す概
略断面図である。この第３の実施の形態では、バレルに
備える筒体２に、図４に示すようにその内周壁に筒体２
の内側方向に突起している複数の凸部９を形成してい
て、この凸部９によって被コーティング部品を攪拌する
ことができるようにしている。このように、攪拌作用を
有する凸部９を筒体２の内周壁に形成すると、バレルに
備わる筒体２を回動させた場合に、凸部９があるために
被コーティング部品が筒体２の内壁を単に滑り落ちるこ
とはなく、十分な攪拌が達成される。従って被コーティ
ング部品の全面に均一な膜厚のコーティング皮膜形成が
可能となる。この凸部９は、被コーティング部品６を攪
拌できる高さがあればよいが、望ましくはその高さが被
コーティング部品６の厚みよりも高いものが攪拌が十分
にできるので望ましい。なお、筒体２の内周壁を形成す
る材料については制限はないが、蒸着する物質の供給が
筒体２の外側から行われる場合には、筒体２の内周壁に
蒸着する物質が通過するための多数の開口部を備えてい
ることが好ましい。
【００２１】次に、図５は第４の実施の形態を説明する
ための筒体の軸方向に対して平行方向の断面を示す概略
断面図である。この第４の実施の形態では、バレルに備
える筒体２に、図５に示すようにその内周壁に筒体２の
外側方向に突起している複数の凹部１０を形成してい
て、この凹部１０によって被コーティング部品を攪拌す
ることができるようにしている。このように、攪拌作用
を有する凹部１０を筒体２の内周壁に形成すると、バレ
ルに備わる筒体２を回動させた場合に、凹部１０がある
ために被コーティング部品が筒体２の内壁を単に滑り落
ちることはなく、十分な攪拌が達成される。従って被コ
ーティング部品の全面に均一な膜厚のコーティング皮膜
形成が可能となる。この凹部１０は、被コーティング部
品６を攪拌できる大きさや深さがあればよいが、望まし
くは凹部１０内に被コーティング部品６の少なくとも一
部を収容して、被コーティング部品６の方向を変えるこ
とができる大きさの凹部であると、攪拌が十分にできる
ので望ましい。なお、筒体２の内周壁を形成する材料に
ついては制限はないが、蒸着する物質の供給が筒体２の
外側から行われる場合には、筒体２の内周壁には蒸着す
る物質が通過するための多数の開口部を備えていること
が好ましい。また、図示しないが、凹部１０と共に第３
の実施の形態で備える凸部９を同時に筒体２の内周壁に
備える構造にすれば、より攪拌効果が優れたものとなる
ので好ましい。
ための筒体の軸方向に対して平行方向の断面を示す概略
断面図である。この第４の実施の形態では、バレルに備
える筒体２に、図５に示すようにその内周壁に筒体２の
外側方向に突起している複数の凹部１０を形成してい
て、この凹部１０によって被コーティング部品を攪拌す
ることができるようにしている。このように、攪拌作用
を有する凹部１０を筒体２の内周壁に形成すると、バレ
ルに備わる筒体２を回動させた場合に、凹部１０がある
ために被コーティング部品が筒体２の内壁を単に滑り落
ちることはなく、十分な攪拌が達成される。従って被コ
ーティング部品の全面に均一な膜厚のコーティング皮膜
形成が可能となる。この凹部１０は、被コーティング部
品６を攪拌できる大きさや深さがあればよいが、望まし
くは凹部１０内に被コーティング部品６の少なくとも一
部を収容して、被コーティング部品６の方向を変えるこ
とができる大きさの凹部であると、攪拌が十分にできる
ので望ましい。なお、筒体２の内周壁を形成する材料に
ついては制限はないが、蒸着する物質の供給が筒体２の
外側から行われる場合には、筒体２の内周壁には蒸着す
る物質が通過するための多数の開口部を備えていること
が好ましい。また、図示しないが、凹部１０と共に第３
の実施の形態で備える凸部９を同時に筒体２の内周壁に
備える構造にすれば、より攪拌効果が優れたものとなる
ので好ましい。
【００２２】次に、図６は第５の実施の形態を説明する
ための筒体の斜視図である。この第５の実施の形態で
は、バレルに備える筒体２の筒壁を、筒体２に収納する
被コーティング部品よりも小さい穴１１を有する金属板
で形成している。（この図６に示す実施形態では、筒体
２の筒壁と共に筒体先端部にある、筒体２の軸方向と直
交している蓋部１２も同じ金属板で形成しているが、本
発明でいう筒壁とは筒体２の胴部の筒壁を示していて、
筒体先端部にある筒体の軸方向と直交する蓋部１２まで
を包含するものではない。）このように、第５の実施の
形態では、バレルに備える筒体２の筒壁を、筒体に収納
する被コーティング部品よりも小さい穴１１を形成した
金属板で形成しているので、筒壁材料が従来の金網の場
合に比べ、被コーティング部品の大きさが最大長さで
０．１〜２ｍｍ程度と極めて微細な場合であっても、被
コーティング部品が落下しないような小さい穴を形成
し、且つ、強度が強い筒体とすることができる。また、
第５の実施の形態における金属板の材質としては、各種
の材質が使用可能であるが、ステンレススチール、ニッ
ケル又はチタンであると耐熱性及び錆の発生が少ない点
で優れているので、筒体の耐久性が増すので好ましい。
ための筒体の斜視図である。この第５の実施の形態で
は、バレルに備える筒体２の筒壁を、筒体２に収納する
被コーティング部品よりも小さい穴１１を有する金属板
で形成している。（この図６に示す実施形態では、筒体
２の筒壁と共に筒体先端部にある、筒体２の軸方向と直
交している蓋部１２も同じ金属板で形成しているが、本
発明でいう筒壁とは筒体２の胴部の筒壁を示していて、
筒体先端部にある筒体の軸方向と直交する蓋部１２まで
を包含するものではない。）このように、第５の実施の
形態では、バレルに備える筒体２の筒壁を、筒体に収納
する被コーティング部品よりも小さい穴１１を形成した
金属板で形成しているので、筒壁材料が従来の金網の場
合に比べ、被コーティング部品の大きさが最大長さで
０．１〜２ｍｍ程度と極めて微細な場合であっても、被
コーティング部品が落下しないような小さい穴を形成
し、且つ、強度が強い筒体とすることができる。また、
第５の実施の形態における金属板の材質としては、各種
の材質が使用可能であるが、ステンレススチール、ニッ
ケル又はチタンであると耐熱性及び錆の発生が少ない点
で優れているので、筒体の耐久性が増すので好ましい。
【００２３】次に、第６の実施の形態を説明する（図は
省略）。第６の実施の形態では、バレルに備える筒体の
筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網で形成する。この
場合の網目の空隙は筒体に収納する被コーティング部品
よりも小さい空隙とすることが被コーティング部品の落
下防止のために必要である。このように、バレルに備え
る筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網で形成す
ると、太い材料で構成される粗い網目の金属製の網であ
っても、有機膜で被覆して網目の空隙を狭くできるの
で、強度が強い筒体であって、筒体に収納する被コーテ
ィング部品よりも小さい穴を形成した筒体を容易に作製
することが可能となる。第６の実施の形態における金属
製の網の材質としては、各種の材質が使用可能である
が、ステンレススチールであると耐熱性及び錆の発生が
少ない点で優れているので好ましい。また、網を被覆す
る有機膜としてはポリイミド膜であることが耐熱性の点
ですぐれているので好ましい。
省略）。第６の実施の形態では、バレルに備える筒体の
筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網で形成する。この
場合の網目の空隙は筒体に収納する被コーティング部品
よりも小さい空隙とすることが被コーティング部品の落
下防止のために必要である。このように、バレルに備え
る筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網で形成す
ると、太い材料で構成される粗い網目の金属製の網であ
っても、有機膜で被覆して網目の空隙を狭くできるの
で、強度が強い筒体であって、筒体に収納する被コーテ
ィング部品よりも小さい穴を形成した筒体を容易に作製
することが可能となる。第６の実施の形態における金属
製の網の材質としては、各種の材質が使用可能である
が、ステンレススチールであると耐熱性及び錆の発生が
少ない点で優れているので好ましい。また、網を被覆す
る有機膜としてはポリイミド膜であることが耐熱性の点
ですぐれているので好ましい。
【００２４】
【発明の効果】請求項１〜請求項３に係る発明の蒸着コ
ーティング装置用バレルでは、被コーティング部品の形
状が平板状又はそれに近い場合であっても、バレルに備
わる筒体を回動させた際に、被コーティング部品が十分
に攪拌され、被コーティング部品の全面に均一な膜厚の
コーティング皮膜を形成することが可能な蒸着コーティ
ング装置用バレルとなる。
ーティング装置用バレルでは、被コーティング部品の形
状が平板状又はそれに近い場合であっても、バレルに備
わる筒体を回動させた際に、被コーティング部品が十分
に攪拌され、被コーティング部品の全面に均一な膜厚の
コーティング皮膜を形成することが可能な蒸着コーティ
ング装置用バレルとなる。
【００２５】請求項４〜請求項６に係る発明の蒸着コー
ティング装置用バレルでは、被コーティング部品の大き
さが最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と極めて微細な場合
であっても、バレルに備わる筒体から被コーティング部
品が落下することがなく、且つ筒体の強度が強くてバレ
ルとしての耐久性に優れる蒸着コーティング装置用バレ
ルとなる。
ティング装置用バレルでは、被コーティング部品の大き
さが最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と極めて微細な場合
であっても、バレルに備わる筒体から被コーティング部
品が落下することがなく、且つ筒体の強度が強くてバレ
ルとしての耐久性に優れる蒸着コーティング装置用バレ
ルとなる。
【図１】本発明の第１の実施形態を説明するための概略
断面図であって、筒体の軸方向に垂直な断面の概略断面
図である。
断面図であって、筒体の軸方向に垂直な断面の概略断面
図である。
【図２】本発明の第１の実施形態を説明するための概略
断面図であって、筒体の軸方向に平行な断面の概略断面
図である。
断面図であって、筒体の軸方向に平行な断面の概略断面
図である。
【図３】本発明の第２の実施形態を説明するための概略
断面図であって、筒体の軸方向に垂直な断面の概略断面
図である。
断面図であって、筒体の軸方向に垂直な断面の概略断面
図である。
【図４】本発明の第３の実施形態を説明するための概略
断面図であって、筒体の軸方向に平行な断面の概略断面
図である。
断面図であって、筒体の軸方向に平行な断面の概略断面
図である。
【図５】本発明の第４の実施形態を説明するための概略
断面図であって、筒体の軸方向に平行な断面の概略断面
図である。
断面図であって、筒体の軸方向に平行な断面の概略断面
図である。
【図６】本発明の第５の実施形態を説明するための概略
斜視図である。
斜視図である。
【図７】従来のバレルを説明するための斜視図である。
【図８】従来のバレルに備わる筒体を説明するための側
面図である。
面図である。
【図９】真空蒸着装置を説明するための概略断面図であ
る。
る。
【図１０】従来のバレルに備わる筒体中の被コーティン
グ部品の動きを説明するための概略断面図である。
グ部品の動きを説明するための概略断面図である。
１ バレル ２ 筒体 ２ａ 開口部 ３ 回転軸 ６ 被コーティング部品 ７ 攪拌羽根 ８ 真空蒸着装置 ９ 凸部 １０ 凹部 １１ 穴 Ａ、Ｂ 原料物質 Ｊ 蒸着槽
Claims (6)
- 【請求項１】 被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体が、それを回動させた際に、収納してい
る被コーティング部品を攪拌することができる攪拌羽根
を、その内周壁に形成している筒体であることを特徴と
する蒸着コーティング装置用バレル。 - 【請求項２】 被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体が、それを回動させた際に、収納してい
る被コーティング部品を攪拌することができる凹部又は
凸部を、その内周壁に形成している筒体であることを特
徴とする蒸着コーティング装置用バレル。 - 【請求項３】 バレルに備える筒体の、軸方向に垂直な
断面の形状が、多角形状である請求項１又は請求項２記
載の蒸着コーティング装置用バレル。 - 【請求項４】 被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体の筒壁を、筒体に収納する被コーティン
グ部品よりも小さい穴を形成した金属板で形成している
ことを特徴とする蒸着コーティング装置用バレル。 - 【請求項５】 前記金属板の材質がステンレススチー
ル、ニッケル又はチタンである請求項４記載の蒸着コー
ティング装置用バレル。 - 【請求項６】 被コーティング部品を収納する筒体とこ
の筒体を回動させる回転軸とを備えるバレルであり、前
記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした
蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーテ
ィング部品の表面に、合成樹脂の原料物質を蒸着させる
と共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する
蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、バレ
ルに備える筒体の筒壁を、有機膜で被覆した金属製の網
であって、筒体に収納する被コーティング部品よりも小
さい空隙を有する網で形成していることを特徴とする蒸
着コーティング装置用バレル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000015390A JP2001207261A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 蒸着コーティング装置用バレル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000015390A JP2001207261A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 蒸着コーティング装置用バレル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001207261A true JP2001207261A (ja) | 2001-07-31 |
Family
ID=18542699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000015390A Pending JP2001207261A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 蒸着コーティング装置用バレル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001207261A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004059031A1 (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-15 | Youtec Co.,Ltd. | 多角バレルスパッタ装置、多角バレルスパッタ方法及びそれにより形成された被覆微粒子、マイクロカプセル及びその製造方法 |
| KR100667281B1 (ko) | 2005-07-19 | 2007-01-12 | 한국과학기술연구원 | 분말의 표면코팅을 위한 코팅 장치 |
| JP2009511754A (ja) * | 2005-10-26 | 2009-03-19 | ピー アンド アイ コーポレーション | 金属、合金及びセラミックスのナノ粒子を均一に真空蒸着させたパウダーの製造方法、及びその製造装置 |
| JP2012119642A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 複合熱電材料及びその製造方法 |
| JP2012188761A (ja) * | 2005-03-18 | 2012-10-04 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置 |
| CN104711531A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-06-17 | 北京中科三环高技术股份有限公司 | 表面处理用转筒 |
| WO2017018350A1 (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-02 | 株式会社フルヤ金属 | 粉末コーティング装置及びその使用方法 |
-
2000
- 2000-01-25 JP JP2000015390A patent/JP2001207261A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004059031A1 (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-15 | Youtec Co.,Ltd. | 多角バレルスパッタ装置、多角バレルスパッタ方法及びそれにより形成された被覆微粒子、マイクロカプセル及びその製造方法 |
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| KR100667281B1 (ko) | 2005-07-19 | 2007-01-12 | 한국과학기술연구원 | 분말의 표면코팅을 위한 코팅 장치 |
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| JP2012119642A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 複合熱電材料及びその製造方法 |
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