CH680390A5 - - Google Patents
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Description
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CH 680 390 A5
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Beschreibung
Die Erfindung bezieht sich auf einen Strahlungssensor gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Solche Strahlungssensoren eignen sich beispielsweise zur Flammenüberwachung in Kontrolleinrichtungen von Verbrennungsanlagen, z.B. in Flammenwächtern von Heizungsanlagen.
Hin Strahlungssensor der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art ist aus der DE-PS 2 737 090 bekannt. Die von einer Flamme emittierte Infrarot-Strahlung passiert ein Filter und wird einem photoelektrischen Wandler zugeführt. Das elektrische Signal wird verstärkt.
Aus der EP-OS 0 296 371 ist ein Photodetektor für Ultraviolett bekannt, der aus einer mit einem Interferenzfilter bedeckten Photodiode besteht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Strahlungssensor zu schaffen, dessen spektrale Empfindlichkeit optimal an die optische Emission von blau brennenden Flammen moderner Öl- und Gasbrenner angepasst ist, so dass Falschlicht keine Flamme vortäuschen kann, und dessen Ausgangssignal gegen äussere Einflüsse weitestgehend unempfindlich ist. Die genannte Aufgabe wird erfin-dungsgemäss durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Schema des generellen Aufbaus eines Ultraviolettlicht-Sensors,
Fig. 2 einen Querschnitt durch einen solchen Sensor,
Fig. 3 spektrale Transmissionskurven von Einzelelementen des Sensors und
Fig. 4 eine spektrale Empfindlichkeitskurve des Sensors.
In der Fig. 1 bedeutet 1 eine Ultraviolettlicht-Pho-todiode, wie sie beispielsweise aus der EP-OS 0 296 371 bekannt ist. Auf ihrer Oberfläche ist ein aus der genannten EP-OS bekanntes Interferenzfilter 2 angeordnet, das bei einer Wellenlänge von etwa 300 nm seine maximale Transmission besitzt. Die nachzuweisende Strahlung tritt durch eine Linse 3 aus ultraviolettdurchlässigem Glas, ein Filter 4 aus ultraviolettdurchlässigem und für sichtbares und infrarotes Licht weitgehend undurchlässigem Spe-zialglas und das Interferenzfilter 2 auf die Diode 1. Der sehr kleine Strom, der auf photoelektrischem Wege durch die Strahlung in der Diode 1 erzeugt wird, wird mittels einer Verstärkerschaltung 5 in eine Spannung gewandelt.
Die Verstärkerschaltung 5 besteht beispielsweise aus einem Operationsverstärker 6, der mittels eines Widerstandes 7 und gegebenenfalls eines Kondensators 8 rückgekoppelt ist. Neben den Eingängen zum Anschluss der Diode 1 weist die Verstärkerschaltung 5 Anschlüsse für die Versorgungsspannung +Ub und für die Masse M und einen Ausgang S auf, an dem das Ausgangssignal anliegt. Die Gesamtheit der vorgenannten Elemente bildet den Strahlungssensor 9, der innerhalb eines hermetisch abgeschlossenen Gehäuses 10 angeordnet ist.
Der Operationsverstärker 6 kann beispielsweise vom Typ OP80 der Firma PMI sein und der Widerstand 7 zum Beispiel einen Widerstandswert von 1 Gn besitzen. Der Kondensator 8 hat beispielsweise eine Kapazität von 100 pF, ist aber an sich entbehrlich. Durch ihn wird die Bandbreite des Verstärkers reduziert, so dass auftretende hochfrequente Störungen und Rauschen reduziert werden. Ihn vorzusehen, kann deshalb fallweise vorteilhaft sein.
Die Fig. 2 zeigt einen Strahlungssensor 9 im Querschnitt. Innerhalb des als Abschirmung dienenden Gehäuses 10 ist ein Substratplättchen 11 angeordnet, auf dem die Diode 1, der Operationsverstärker 6 und der Widerstand 7 angeordnet sind. Über dem Substratplättchen 11 ist ein Filterhalter 12 angebracht, der das Filter 4 trägt. Eine im Gehäuse 10 vorhandene Öffnung ist durch die Linse 3 verschlossen. Diese Linse 3 kann beispielsweise gegossen sein.
Das Gehäuse 10 ist hermetisch verschlossen, so dass beispielsweise Gas und Feuchtigkeit, die die Lebensdauer der Diode 10 und das Funktionieren der Verstärkerschaltung 5 beeinträchtigen könnten, nicht eindringen können. Vorteilhaft besteht das Gehäuse 10 aus Metall, so dass es gegen elektrische Felder, die die hochohmige Verstärkerschaltung 5 stören könnten, abschirmt. Zur weiteren Verbesserung der Abschirmung kann der Filterhalter 12 beitragen, wenn er aus Metall gefertigt ist, so dass also diese Massnahme vorteilhaft ist.
Das Substratplättchen 11 besteht vorteilhaft aus Keramik. Damit wird erreicht, dass keine nennenswerten parasitären Widerstände bestehen, die die Funktionsfähigkeit der hochohmigen Verstärkerschaltung 5 behindern könnten.
Vorteilhaft ist es auch, wenn das Interferenzfilter 2 bei der Herstellung der Diode 1 gemäss der in der EP-OS 0 296 371 beschriebenen Methode hergestellt ist und gleichzeitig die Passivierungs-schicht der Diode 1 bildet. Somit ist das Interferenzfilter 2 auf der Diode 1 integriert.
Die Linse 3 besteht vorteilhaft aus Glas des Typs «Schott 8337», dessen Transmissionskurve in Funktion der Wellenlänge in der Fig. 3 mit der Bezugsziffer 21 dargestellt ist. Durch die Linse 3 wird Licht mit Wellenlängen grösser als 250 nm ungehindert durchgelassen.
Vorteilhaft besteht das Filter 4 aus Glas des Typs «Schott UG11 », dessen Transmissionskurve mit der Bezugsziffer 22 dargestellt ist. Dieses Filterglas absorbiert, wie die beiden Kurvenäste zu 22 zeigen, ganz besonders stark im Bereich 400 bis 660 nm, lässt aber Strahlung der Wellenlängen zwischen 230 und 400 nm durchtreten. Durchlässigkeit besteht auch im Bereich über 660 nm, was störend ist. Um diese störende Strahlung auszufiltern, ist zusätzlich das Interferenzfilter 2 vorgesehen, dessen Transmissionskurve mit der Bezugsziffer 23 versehen ist. Die Kombination dieses Interferenzfilters 2 mit dem Filter 4 und mit dem speziellen Dotie5
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rungsprofil der Diode 1 ergibt die gewünschten Eigenschaften des Sensors 9.
Die Fig. 4 zeigt mit der Bezugsziffer 25 die Empfindlichkeitskurve des gesamten Sensors 9, d.h. die optische Hintereinanderschaltung von Linse 3, Filter 4, Interferenzfilter 2 und Diode 1. Es ist ersichtlich, dass die Gesamtkurve 25 ein Maximum bei etwa 300 nm hat, was optimal der Strahlung blau brennender Flammen von Öl- und Gasbrennern entspricht. Demgegenüber ist die Empfindlichkeit bei Wellenlängen grösser 400 nm um etwa 5 Zehnerpotenzen geringer, so dass Störstrahlung solcher Wellenlängen keinen nennenswerten Photostrom hervorrufen und somit keine Flamme vortäuschen kann.
Nachfolgend werden einige alternative Ausführungsvarianten beschrieben. So kann es fabrikationstechnisch vorteilhaft sein, das Interferenzfilter 2 statt auf der Diode 1 auf dem Filter 4 anzuordnen. Kostenmässig vorteilhaft kann es auch sein, die Linse 3 nicht als bikonvexen Glaskörper auszubilden, sondern statt dessen einen planen Glaskörper zu verwenden und ausserdem ein holografisch optisches Element mit Linsen- und Filterwirkung vorzusehen, das auf dem Glaskörper integriert sein kann.
Claims (7)
1. Strahlungssensor (9) mit einer strahlungsempfindlichen Diode (1), einem im Strahlengang zwischen Flamme und Diode liegenden Lichtfilter (2, 3, 4) und einer den erzeugten Photostrom verstärkenden Verstärkerschaltung (5), dadurch gekennzeichnet, dass die strahlungsempfindliche Diode (1) eine auf Ultraviolettlicht ansprechende Photodiode ist, dass das Lichtfilter gebildet ist von einer Linse
(3) aus ultraviolettdurchlässigem Glas, einem Filter
(4) aus ultraviolettdurchlässigem und für sichtbares und infrarotes Licht weitgehend undurchlässigem Spezialglas und einem Interferenzfilter (2) und dass die Verstärkerschaltung (5) zusammen mit der Diode (1) und dem Lichtfilter (2,3,4) in einem hermetisch abgeschlossenen Gehäuse (10) angeordnet ist.
2. Strahlungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Interferenzfilter (2) auf der Diode (1 ) integriert ist.
3. Strahlungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Interferenzfilter (2) auf dem Filter (4) angeordnet ist.
4. Strahlungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Filter (4) aus Spezialglas besteht, das im Wellenlängenbereich 400 bis 660 nm stark absorbiert und im Wellenlängenbereich 230 bis 400 nm wenig absorbiert.
5. Strahlungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Linse (3) aus Glas besteht, das Licht der Wellenlängen grösser als 250 nm ungehindert durchlässt.
6. Strahlungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (10) metallisch ist.
7. Strahlungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Linse (3)
gebildet ist von einem planen Glaskörper und einem integrierten holografisch optischen Element mit Linsen- und Filterwirkung.
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|---|---|---|---|---|
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| US5302778A (en) * | 1992-08-28 | 1994-04-12 | Eastman Kodak Company | Semiconductor insulation for optical devices |
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| DE4301177A1 (de) * | 1993-01-19 | 1994-07-21 | Telefunken Microelectron | UV-Strahlungsdetektor |
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| WO2001091193A2 (en) * | 2000-05-23 | 2001-11-29 | Atmel Corporation | Integrated ic chip package for electronic image sensor die |
| EP2449590B1 (de) * | 2009-07-02 | 2015-09-02 | Candela Microsystems (S) Pte. Ltd. | Lichtleiteranordnung für einen bildsensor |
| DE102015223362A1 (de) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | Minimax Gmbh & Co. Kg | Explosionsgeschütztes Gehäuse für Mittel zum Senden und Empfangen elektromagnetischer Strahlung |
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Family Cites Families (12)
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|---|---|---|---|---|
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| CH577145A5 (en) * | 1974-10-17 | 1976-06-30 | Landis & Gyr Ag | Flame sensor for gas and oil burners - has fresnel lens filter or reflector for eliminating glow interference |
| US3976875A (en) * | 1975-06-24 | 1976-08-24 | Rca Corporation | Photodetector filter structure |
| JPS586996B2 (ja) * | 1977-02-15 | 1983-02-07 | 国際技術開発株式会社 | 炎感知方式 |
| DE2833261B1 (de) * | 1978-07-28 | 1979-10-04 | Siemens Ag | Optisches Hilfsmittel zur Vergroesserung der Apertur eines Detektors |
| DE3126127A1 (de) * | 1981-07-02 | 1983-01-20 | Christoph Dr. 6500 Mainz Franz | Handliches, tragbares messgeraet zur messung von dirketer und indirekter ultraviolettstrahlung im rahmen des technischen und medizinischen arbeitsschutzes |
| GB2107112A (en) * | 1981-09-29 | 1983-04-20 | Harold Millman Butterworth | Radiation detector |
| US4578583A (en) * | 1984-04-03 | 1986-03-25 | The Babcock & Wilcox Company | Solid state ultraviolet flame detector |
| US4771325A (en) * | 1985-02-11 | 1988-09-13 | American Telephone & Telegraph Co., At&T Bell Laboratories | Integrated photodetector-amplifier device |
| JPS63182528A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ線引装置用紫外線照射器の紫外線照度測定器 |
| EP0296371B1 (de) * | 1987-06-22 | 1992-12-23 | Landis & Gyr Business Support AG | Photodetektor für Ultraviolett und Verfahren zur Herstellung |
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