CH558764A

CH558764A - Verfahren zur herstellung eines formkoerpers aus miteinander verbundenen siliciumnitrid-teilstuecken.

Info

Publication number: CH558764A
Application number: CH1059371A
Authority: CH
Original assignee: Lucas Industries Ltd
Priority date: 1971-07-19
Filing date: 1971-07-19
Publication date: 1975-02-14

Description

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus miteinander verbundenen Siliciumnitrid-Teilstücken, wobei dieses Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass man von einem ersten Siliciumnitrid-Teilstück ausgeht und auf dieses erste Teilstück eine Mischung, die Siliciumnitrid und ein Flussmittel enthält, aufträgt, wobei die Mischung bis zu 25 Gew. % Flussmittel enthält und das in ihr enthaltene Siliciumnitrid hauptsächlich aus der a-Phase des Siliciumnitrides besteht, wobei man die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel auf das zuerst genannte Teilstück aus Siliciumnitrid so aufpresst, dass sich ein zweites heissgepresstes Siliciumnitridteilstück ausbildet, das mit dem ersten Teilstück verbunden ist.

Vorzugsweise befindet sich der erste Siliciumnitridformkörper in der entsprechend geformten Höhlung einer Gussform, während der Pressvorgang stattfindet.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Ausführungsart des erfindungsgemässen Verfahrens wird die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel auf den ersten Formkörper zwischen diesen ersten Formkörper und einen weiteren Siliciumnitridformkörper aufgetragen und der Heisspressvorgang wird so durchgeführt, dass sich der zweite Formkörper als heissgepresste Siliciumnitrid-Verbindungstelle ausbildet, die den ersten Formkörper mit dem weiteren Formkörper verbindet.

Vorzugsweise befindet sich sowohl der erste Siliciumnitridformkörper als auch der weitere Siliciumnitridformkörper in der entsprechend geformten Höhlung einer Gussform oder Pressform während der Pressvorgang durchgeführt wird.

Vorzugsweise wird ferner die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel auf den ersten Formkörper in gepulverter Form oder als Paste oder Brei aufgetragen oder diese Mischung wird selbst als vergeformter Körper der benötigten Formgebung aufgebracht.

Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, als Flussmittel Magnesiumoxyd zu verwenden und im Allgemeinen ist das Magnesium in der Mischung in einer Menge von 1 bis 5 Gew. %, bezogen auf das Gewicht der Mischung anwesend.

Üblicherweise wird der Heisspressvorgang bei einer Temperatur im Bereich von 1400 9C bis 1750 C durchgeführt.

Die Erfindung sei nun anhand der Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 zeigt die Seitenansicht eines nach dem erfindungsgemässen Verfahren hergestellten zusammengesetzten Siliciumnitridkörpers.

Fig. 2 zeigt einen Schnitt, der eine Arbeitsstufe während des Verfahrens zur Herstellung des in Fig. 1 gezeigten zusammengesetzten Formkörpers veranschaulicht.

Gemäss einer speziellen Ausführungsart der Erfindung wurde der in Fig. 1 mit 11 bezeichnete zusammengesetzte Formkörper aus Siliciumnitrid hergestellt. Dieser zusammengesetzte Formkörper 11 besteht aus einem zylindrischen Oberteil 12, der einen Durchmesser von 2,54 cm und eine Länge in der Achsenrichtung von 6,4 mm aufweist, sowie aus einem zylindrischen Schaftteil 13, der sich von einer zylindrischen Endfläche des Oberteils 12 ausgehend nach unten erstreckt. Dieser Schaftteil weist einen Durchmesser von 6,4 mm auf und er besitzt eine Länge in der Achsrichtung von ebenfalls 6,4 mm.

Der zusammengesetzte Formkörper 11 besteht aus zwei miteinander verbundenen Siliciumnitridteilstücken. Er wurde dadurch hergestellt, dass als das heissgepresste zylindrische Sili ciumnitridteilstück 14 eine Mischung aus Siliciumnitridpulver und Flussmittel in heissem Zustand aufgepresst wurde. Das Teilstück 14 wies eine Länge in der Achsrichtung von 9,5 mm auf und es besass einen Durchmesser von 6,4 mm. Wie in Fig. 2 gezeigt wird, wurde zur Herstellung des zusammengesetzten Formkörpers 11 das Teilstück 14 in die Höhlung 15 einer Pressform eingebracht und darin mit einem Teil 16 der Pressform festgehalten. Der feste Teil 16 der Pressform bestand aus Atcheson CS -Graphit und die Wände der Höhlung der Form wurden mit Bornitridpulver besprühbeschichtet.

Die Höhlung 15 der Form war stufenförmig ausgebildet, sodass sie einen engen Teil 15a und einen weiten Teil 15b ausbildete, wobei das Teilstück 14 von dem engen Teil 15a gehalten wurde, jedoch an dem einen Ende in einer Länge von 3,1 mm in den weiten Teil 15b hineinragte. Das Teilstück 14 bildet dann beim fertigen zusammengesetzten Formkörper 11 den Schaftteil 13. Wie in Fig. 2 gezeigt wird, ist das Ende des Teilstückes 14, das in den weiten Teil der Pressform 15b hineinragt, vorzugsweise abgeschrägt, sodass während des Heisspressvorganges, der zur Herstellung des zusammengesetzten Formkörpers 11 durchgeführt wird, ein gewisser Teil des Pressdruckes auf die zylindrische Oberfläche des Teilstückes 14 einwirkt, die dem Ende dieses Teilstückes benachbart ist.

Es stellte sich heraus, dass es so möglich ist, einen heissgepressten zusammengesetzten Formkörper herzustellen, dessen Dichte im gesamten Formkörper im wesentlichen einheitlich ist.

Wenn sich das Teilstück 14 in der Höhlung 15 der Pressform fixiert befindet, wird eine Mischung aus Siliciumnitridpulver und 1,25 Gew. % eines gepulverten Magnesiumoxyd Flussmittels in den weiten Teil 15b der Höhlung der Pressform eingeführt. Das Siliciumnitrid, das in der Mischung vorlag, enthielt mindestens 90% der a-Phase dieses Materials und es hatte ausserdem eine Teilchengrösse von weniger als 8 Mikron, wobei die mittlere Teilchengrösse 2 Mikron betrug. Die Pulvermischung wurde in die Höhlung so eingebracht, dass sich eine dichte Pulverschicht 17 ausbildete, die oberhalb der Stufe der Höhlung 15 der Pressform eine Höhe von 12,7 mm besass. Ein zylindrischer Gesenkteil 18 wurde dann in den weiten Teil 15b der Höhlung 15 der Pressform eingebracht und zwar von dem Ende der Pressform her, das von dem Teilstück 14 entfernt liegt.

Das freie Ende des Gesenkteiles 18 kam dabei mit der Oberfläche der Pulverschicht 17 in Berührung. Das Gesenkteil 18 stellte einen Teil eines zweiteiligen Gesenkstückes 19 dar, wobei der andere Teil des gesamten Gesenkstückes 19 die Form eines hohlen zylindrischen Gesenkteilstückes 21 aufwies, das das Gesenkteilstück 18 umgab. Die Gesenkteilstücke 18 und 21 waren gegeneinander beweglich und jedes der Gesenkteilstücke bestand aus Morgan EY9-Graphit . Ein weiterer Anteil der Pulvermischung aus Siliciumnitrid und Magnesiumoxyd wurde dann in die Höhlung 15 der Pressform eingebracht und zwar auf die Pulverschicht 17, sodass sich nach der Einbringung eine zweite Pulverschicht 22 ausbildete, deren Höhe 6,4 mm, berechnet von der Oberseite der Pulverschicht 17 an, betrug.

Dann wurde der Gesenkteil 21 in die Höhlung 15 der Form eingebracht, damit er mit der Oberfläche der Pulverschicht 22 in Berührung kam. Nach diesem Arbeitsschritt war die gesamte Pressform in einem zur Durchführung des Heisspressverfahrens geeigneten Zustand.

Um den Heisspressvorgang durchzuführen wurde die gesamte Anordnung in eine hier nicht gezeigte weitere Form gegeben und in einen geeigneten Ofen eingebracht. Es wurde ein Paar von Druckkörpern 23 und 24 aus Siliciumnitrid verwendet und das Pulver innerhalb der Höhlung der Form zusammengepresst. Der Druckkörper 23 lag an den Enden des festen Teiles 16 der Gussform sowie an demjenigen Ende des Siliciumnitridteilstückes 14 an, das von den gesamten Gesenkstück 19 am weitesten entfernt lag. Der Druckkörper 24 lag dem Teilstück 21 des Gesenkes an, das in die Höhlung 15 der Form hineinragte.

Die anfängliche Pressstellung wird in Fig. 2 veranschaulicht, wobei das Ende des Gesenkteiles 18, das in die Höhlung 15 hineinragte, sich in einem Abstand von 6,4 mm vom Ende des Druckkörpers 24 entfernt befand, sodass während des Druckvorganges der Gesenkteil 21 sich im Verhältnis zum Gesenkteil 18 bewegte. Es war nötig, dass die Gesenkteile 18 und 21 zueinander beweglich sind, damit eine gleichmässige Zusammendrückung des Pulvers während des Heisspressvorganges gewährleistet war. Zwischen den Druckkörpern 23 und 24 wurde ein Druck von 281 kg/cm2 angelegt und die Temperatur des Ofens wurde auf 1740 qC erhöht, um das Heisspressverfahren durchzuführen.

Obwohl der Gesenkteil 21 am Anfang des Pressvorganges gegen den Gesenkteil 18 versetzt war, bewegten sich die unteren Enden der Gesenkteile 18 und 21 während des Pressvorganges dann, wenn Druck auf die Presskörper 23 und 24 angelegt wurde, zueinander und während des Endstadiums des Pressens des in der Höhlung 15 befindlichen Pulvers so, dass schliesslich der benötigte zusammengesetzte Formkörper erreicht wurde, wobei die unteren Enden der Gesenkteile 18 und 21 sich nach unten bewegten, um das Pulver zusammenzupressen und diese schliesslich beide die in Fig. 2 strichpunktiert angegebene Höhe erreichten. Die Zahlen für den Bruchmodul, die bei Proben entlang der Verbindungsstelle gemessen wurden, wiesen einen Mittelwert von 8440 kg/cm2 auf.

Bei einer zweiten beispielsweisen Ausführungsform des erfindungsgemässen Verfahrens, die hier nicht gezeigt wurde, mussten zwei heissgepresste Siliciumnitrid-Teilstücke miteinander verbunden werden und eine gepulverte Mischung aus Siliciumnitrid, die mindestens 95 % der a-Form des Siliciumnitrids sowie 5 Gew. % gepulvertes Magnesiumoxyd als Flussmittel enthielt, wurde zwischen die beiden Abschnitte der miteinander zu verbindenden Teilstücke aufgetragen.

Es wurde ein Druck von 1 bis 1+ Tonnen pro cm2 inch, das sind 155 bis 232 kg/cm2 zwischen den Teilen in einer solchen Richtung angewandt, dass die Mischung, die zwischen den beiden Teilstücken, die miteinander verbunden werden sollten, gelagert war, zusammengepresst wurde, wobei zur gleichen Zeit das Siliciumnitrid in der Mischung bei einer Temperatur von 1650 C gesintert wurde, sodass sich eine heissgepresste Siliciumnitrid-Verbindungsstelle zwischen den beiden Teilstücken ausbildete. Vorzugsweise waren während der Herstellung dieser Verbindungsstelle die heissgepressten Teilstücke jeweils in Graphitpressformen gelagert, vorteihafterweise denjenigen Pressformen, die zur ursprünglichen Herstellung der erwähnten Teilstücke nach einem Pressvorgang verwendet wurden.

Auf diese Weise konnte eine Deformierung der Teilstücke während des Heisspressvorganges, der zur Herstellung der Verbindungsstelle durchgeführt wurde, vermieden werden. Bei einem speziellen Beispiel wurde ein Paar von heissgepressten Sili ciumnitrid-Teilstücken nach dem oben beschriebenen Verfahren miteinander verbunden und bei der Bestimmung des Bruchmoduls an der so gebildeten Verbindungsstelle ergab sich ein Wert von über 5620 kg/cm2.

Bei einer dritten beispielsweise Ausführungsart des erfindungsgemässen Verfahrens wurde ein Paar aus heissgegressten Siliciumnitrid-Formteilen miteinander verbunden, indem man die Oberflächen dieser Teilstücke, die miteinander verbunden werden sollten, mit einem Brei aus Siliciumnitridpulver beschichtete, wobei der Brei ausser dem Siliciumnitridpulver noch 2 Gew. % Magnesiumoxydpulver enthielt, sowie 5 bis 15 Gew. %, vorzugsweise mehr als 10 Gew. % an Polyisobutylen. Das verwendete Siliciumnitrid bestand zum mindestens 95 % aus der a-Phase des Siliciumnitrids und das verwendete Polyisobutylen war dasjenige, das von der Firma B.A.S.F.

unter dem Handelsnamen Oppanol vertrieben wird. Dabei wurde der Brei mitToluol verdünnt, bis er die zum Beschichten geeignete Konsistenz aufwies. Nach der Beschichtung der Oberflächen der Teilstücke wurde das Toluol aus dem Brei abgedampft, indem man die Teilstücke bei einer Temperatur von 110 C trocknete. Die Teilstücke wurden dann auf eine Temperatur von 450 9C erhitzt, um das Polyisobutylen zu entfernen. Dann wurden die Teilstücke heiss zusammengepresst, wobei sich die erforderliche Verbindungsstelle zwischen den beiden Teilstücken ausbildete.

Die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel, die beim erfindungsgemässen Verfahren angewandt wird, kann natürlich auch in Form einer Paste oder in Form eines vorgeformten Teilstückes vorliegen. Ferner kann eines der beiden Teilstücke, oder es können auch beide der beiden Teilstücke aus Siliciumnitrid, die miteinander nach dem erfindungsgemässen Verfahren verbunden werden sollen, aus einem reaktionsgebundenen Siliciumnitrid bestehen und nicht aus einem heissgepressten Siliciumnitrid.

Es sei darauf hingewiesen, dass ein heissgepresstes Siliciumnitrid-Formstück bekanntlich ein Formstück ist, das dadurch hergestellt wird, dass man Siliciumnitridpulver unter Bildung der benötigten Form heisspresst, während man unter einem reaktionsgebundenen Siliciumnitrid-Formstück bekanntlich ein solches Formstück versteht, das durch Sintern von Silicium in einer Stickstoff enthaltenden Atmosphäre hergestellt werden.

Obwohl Magnesiumoxyd das in den angeführten Ausführungsbeispielen verwendete und als bevorzugt angeführte Flussmittel ist, kann man auch andere Flussmittel, beispielsweise Magnesiumnitrid oder Eisen (III)-Oxyd anstelle des Magnesiumoxydes verwenden.

PATENTANSPRUCH 1 Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus miteinander verbundenen Siliciumnitrid-Teilstücken, dadurch gekennzeichnet, dass man von einem ersten Siliciumnitrid-Teilstück ausgeht und auf dieses erste Teilstück eine Mischung, die Siliciumnitrid und ein Flussmittel enthält, aufträgt, wobei die Mischung bis zu 25 Gew. % Flussmittel enthält und das in ihr enthaltene Siliciumnitrid hauptsächlich aus der tx-Phase des Siliciumnitrides besteht, wobei man die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel auf das zuerst genannte Teilstück aus Siliciumnitrid so aufpresst, dass sich ein zweites heissgepresstes Siliciumnitridteilstück ausbildet, das mit dem ersten Teilstück verbunden ist.

UNTERANSPRÜCHE
1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass sich das erste Siliciumnitrid-Teilstück in einer komplementär geformten Höhlung einer Pressform während des Pressvorganges befindet.

2. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass man einen aus mehr als zwei Teilstücken zusammengesetzten Siliciumnitrid-Formkörper herstellt, indem man die Mischung, die Siliciumnitrid und Flussmittel enthält, als Zwischenschicht zwischen einem ersten Teilstück und einem weiteren Teilstück aus Siliciumnitrid aufträgt, und dass man diesen zusammengesetzten Formkörper einem Heisspressvorgang unterwirft, wobei die Schicht aus Siliciumnitrid und Flussmittel das zweite Teilstück des fertigen Formkörpers darstellt, das das erste Teilstück mit dem weiteren Teilstück verbindet.

3. Verfahren nach Unteranspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich sowohl das erste Siliciumnitrid-Teilstück als auch das zweite Siliciumnitrid-Teilstück in je einer komplementär geformten Höhlung einer Pressform während des Pressvorganges befindet.

4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischung, die Siliciumnitrid und Flussmittel enthält, in Form eines aus diesen beiden Materialien bestehendn Pulvers auf das erste Siliciumnitrid-Teilstück aufgebracht wird.

5. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Siliciumnitrid und Flussmittel enthaltende Mischung in Form einer Paste auf das erste Siliciumnitrid-Teilstück aufgebracht wird.

**WARNUNG** Ende DESC Feld konnte Anfang CLMS uberlappen**.

Claims

**WARNUNG** Anfang CLMS Feld konnte Ende DESC uberlappen **. Gesenkteile 18 und 21 zueinander beweglich sind, damit eine gleichmässige Zusammendrückung des Pulvers während des Heisspressvorganges gewährleistet war. Zwischen den Druckkörpern 23 und 24 wurde ein Druck von 281 kg/cm2 angelegt und die Temperatur des Ofens wurde auf 1740 qC erhöht, um das Heisspressverfahren durchzuführen.

Obwohl der Gesenkteil 21 am Anfang des Pressvorganges gegen den Gesenkteil 18 versetzt war, bewegten sich die unteren Enden der Gesenkteile 18 und 21 während des Pressvorganges dann, wenn Druck auf die Presskörper 23 und 24 angelegt wurde, zueinander und während des Endstadiums des Pressens des in der Höhlung 15 befindlichen Pulvers so, dass schliesslich der benötigte zusammengesetzte Formkörper erreicht wurde, wobei die unteren Enden der Gesenkteile 18 und 21 sich nach unten bewegten, um das Pulver zusammenzupressen und diese schliesslich beide die in Fig. 2 strichpunktiert angegebene Höhe erreichten. Die Zahlen für den Bruchmodul, die bei Proben entlang der Verbindungsstelle gemessen wurden, wiesen einen Mittelwert von 8440 kg/cm2 auf.

Bei einer zweiten beispielsweisen Ausführungsform des erfindungsgemässen Verfahrens, die hier nicht gezeigt wurde, mussten zwei heissgepresste Siliciumnitrid-Teilstücke miteinander verbunden werden und eine gepulverte Mischung aus Siliciumnitrid, die mindestens 95 % der a-Form des Siliciumnitrids sowie 5 Gew. % gepulvertes Magnesiumoxyd als Flussmittel enthielt, wurde zwischen die beiden Abschnitte der miteinander zu verbindenden Teilstücke aufgetragen.

Es wurde ein Druck von 1 bis 1+ Tonnen pro cm2 inch, das sind 155 bis 232 kg/cm2 zwischen den Teilen in einer solchen Richtung angewandt, dass die Mischung, die zwischen den beiden Teilstücken, die miteinander verbunden werden sollten, gelagert war, zusammengepresst wurde, wobei zur gleichen Zeit das Siliciumnitrid in der Mischung bei einer Temperatur von 1650 C gesintert wurde, sodass sich eine heissgepresste Siliciumnitrid-Verbindungsstelle zwischen den beiden Teilstücken ausbildete. Vorzugsweise waren während der Herstellung dieser Verbindungsstelle die heissgepressten Teilstücke jeweils in Graphitpressformen gelagert, vorteihafterweise denjenigen Pressformen, die zur ursprünglichen Herstellung der erwähnten Teilstücke nach einem Pressvorgang verwendet wurden.

Auf diese Weise konnte eine Deformierung der Teilstücke während des Heisspressvorganges, der zur Herstellung der Verbindungsstelle durchgeführt wurde, vermieden werden. Bei einem speziellen Beispiel wurde ein Paar von heissgepressten Sili ciumnitrid-Teilstücken nach dem oben beschriebenen Verfahren miteinander verbunden und bei der Bestimmung des Bruchmoduls an der so gebildeten Verbindungsstelle ergab sich ein Wert von über 5620 kg/cm2.

Bei einer dritten beispielsweise Ausführungsart des erfindungsgemässen Verfahrens wurde ein Paar aus heissgegressten Siliciumnitrid-Formteilen miteinander verbunden, indem man die Oberflächen dieser Teilstücke, die miteinander verbunden werden sollten, mit einem Brei aus Siliciumnitridpulver beschichtete, wobei der Brei ausser dem Siliciumnitridpulver noch 2 Gew. % Magnesiumoxydpulver enthielt, sowie 5 bis 15 Gew. %, vorzugsweise mehr als 10 Gew. % an Polyisobutylen. Das verwendete Siliciumnitrid bestand zum mindestens 95 % aus der a-Phase des Siliciumnitrids und das verwendete Polyisobutylen war dasjenige, das von der Firma B.A.S.F.

unter dem Handelsnamen Oppanol vertrieben wird. Dabei wurde der Brei mitToluol verdünnt, bis er die zum Beschichten geeignete Konsistenz aufwies. Nach der Beschichtung der Oberflächen der Teilstücke wurde das Toluol aus dem Brei abgedampft, indem man die Teilstücke bei einer Temperatur von 110 C trocknete. Die Teilstücke wurden dann auf eine Temperatur von 450 9C erhitzt, um das Polyisobutylen zu entfernen. Dann wurden die Teilstücke heiss zusammengepresst, wobei sich die erforderliche Verbindungsstelle zwischen den beiden Teilstücken ausbildete.

Die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel, die beim erfindungsgemässen Verfahren angewandt wird, kann natürlich auch in Form einer Paste oder in Form eines vorgeformten Teilstückes vorliegen. Ferner kann eines der beiden Teilstücke, oder es können auch beide der beiden Teilstücke aus Siliciumnitrid, die miteinander nach dem erfindungsgemässen Verfahren verbunden werden sollen, aus einem reaktionsgebundenen Siliciumnitrid bestehen und nicht aus einem heissgepressten Siliciumnitrid.

Es sei darauf hingewiesen, dass ein heissgepresstes Siliciumnitrid-Formstück bekanntlich ein Formstück ist, das dadurch hergestellt wird, dass man Siliciumnitridpulver unter Bildung der benötigten Form heisspresst, während man unter einem reaktionsgebundenen Siliciumnitrid-Formstück bekanntlich ein solches Formstück versteht, das durch Sintern von Silicium in einer Stickstoff enthaltenden Atmosphäre hergestellt werden.

Obwohl Magnesiumoxyd das in den angeführten Ausführungsbeispielen verwendete und als bevorzugt angeführte Flussmittel ist, kann man auch andere Flussmittel, beispielsweise Magnesiumnitrid oder Eisen (III)-Oxyd anstelle des Magnesiumoxydes verwenden.

PATENTANSPRUCH 1 Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus miteinander verbundenen Siliciumnitrid-Teilstücken, dadurch gekennzeichnet, dass man von einem ersten Siliciumnitrid-Teilstück ausgeht und auf dieses erste Teilstück eine Mischung, die Siliciumnitrid und ein Flussmittel enthält, aufträgt, wobei die Mischung bis zu 25 Gew. % Flussmittel enthält und das in ihr enthaltene Siliciumnitrid hauptsächlich aus der tx-Phase des Siliciumnitrides besteht, wobei man die Mischung aus Siliciumnitrid und Flussmittel auf das zuerst genannte Teilstück aus Siliciumnitrid so aufpresst, dass sich ein zweites heissgepresstes Siliciumnitridteilstück ausbildet, das mit dem ersten Teilstück verbunden ist.

UNTERANSPRÜCHE 1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass sich das erste Siliciumnitrid-Teilstück in einer komplementär geformten Höhlung einer Pressform während des Pressvorganges befindet.

2. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass man einen aus mehr als zwei Teilstücken zusammengesetzten Siliciumnitrid-Formkörper herstellt, indem man die Mischung, die Siliciumnitrid und Flussmittel enthält, als Zwischenschicht zwischen einem ersten Teilstück und einem weiteren Teilstück aus Siliciumnitrid aufträgt, und dass man diesen zusammengesetzten Formkörper einem Heisspressvorgang unterwirft, wobei die Schicht aus Siliciumnitrid und Flussmittel das zweite Teilstück des fertigen Formkörpers darstellt, das das erste Teilstück mit dem weiteren Teilstück verbindet.

3. Verfahren nach Unteranspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich sowohl das erste Siliciumnitrid-Teilstück als auch das zweite Siliciumnitrid-Teilstück in je einer komplementär geformten Höhlung einer Pressform während des Pressvorganges befindet.

4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischung, die Siliciumnitrid und Flussmittel enthält, in Form eines aus diesen beiden Materialien bestehendn Pulvers auf das erste Siliciumnitrid-Teilstück aufgebracht wird.

5. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Siliciumnitrid und Flussmittel enthaltende Mischung in Form einer Paste auf das erste Siliciumnitrid-Teilstück aufgebracht wird.

6. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekenn

zeichnet, dass die Siliciumnitrid und Flussmittel enthaltende Mischung in Form eines Breies auf das erste Teilstück aufgebracht wird.

7. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischung, die Siliciumnitrid und Flussmittel enthält, in Form eines vorgeformten Körpers der erwünschten Formgebung auf das erste Teilstück aufgebracht wird.

8. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Teilstück aus heissgepresstem Siliciumnitrid besteht.

9. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Teilstück aus reaktionsgebundenem Siliciumnitrid besteht.

10. Verfahren nach einem der Unteransprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das weitere Teilstück aus heissgepresstem Siliciumnitrid besteht.

11. Verfahren nach einem der Unteransprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das weitere Teilstück aus reaktionsgebundenem Siliciumnitrid besteht.

12. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass man als Flussmittel Magnesiumoxyd verwendet.

13. Verfahren nach Unteranspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnesiumoxyd in der Mischung in einer Menge von 1 bis 5 Gew. %, bezogen auf das Gewicht der Mischung, anwesend ist.

14. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass man das Heisspressen der Mischung bei einer Temperatur von 1400 C bis 1750 C durchführt.

PATENTANSPRUCH II Nach dem Verfahren gemäss Patentanspruch I hergestellter Formkörper, dadurch gekennzeichnet, dass er aus mindestens zwei miteinander verbundenen Siliciumnitrid-Teilstücken aufgebaut ist.

UNTERANSPRÜCHE 15. Formkörper nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass er aus drei Siliciumnitrid-Teilstücken aufgebaut ist, wobei sich zwischen dem ersten Teilstück und dem dritten Teilstück eine Siliciumnitrid-Schicht als Verbindungsstelle befindet.

16. Formkörper nach PatentanspruchIIoderUnteranspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsstelle zwischen zwei Siliciumnitrid-Teilstücken eine Trennfestigkeit von mindestens 5000 kg/cm2 aufweist.