CH540494A - Verfahren und Einrichtung zum Feststellen eines in einer integrierten Schaltung enthaltenen Halbleiterelementes - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zum Feststellen eines in einer integrierten Schaltung enthaltenen Halbleiterelementes

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CH540494A
CH540494A CH794371A CH794371A CH540494A CH 540494 A CH540494 A CH 540494A CH 794371 A CH794371 A CH 794371A CH 794371 A CH794371 A CH 794371A CH 540494 A CH540494 A CH 540494A
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William Mc Grath John
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Western Electric Co
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
    • G01R31/311—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of integrated circuits

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US3702437A (en) 1972-11-07

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