CH532260A - Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch - Google Patents

Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch

Info

Publication number
CH532260A
CH532260A CH1617171A CH1617171A CH532260A CH 532260 A CH532260 A CH 532260A CH 1617171 A CH1617171 A CH 1617171A CH 1617171 A CH1617171 A CH 1617171A CH 532260 A CH532260 A CH 532260A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
microscope
objects
associated therewith
visual inspection
object table
Prior art date
Application number
CH1617171A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Feinheimer Guenter
Lisfeld Robert
Original Assignee
Leitz Ernst Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leitz Ernst Gmbh filed Critical Leitz Ernst Gmbh
Publication of CH532260A publication Critical patent/CH532260A/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Screen Printers (AREA)
CH1617171A 1970-11-10 1971-11-05 Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch CH532260A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE7041450 1970-11-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH532260A true CH532260A (de) 1972-12-31

Family

ID=6615596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1617171A CH532260A (de) 1970-11-10 1971-11-05 Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch

Country Status (3)

Country Link
AT (1) AT314861B (enrdf_load_stackoverflow)
CH (1) CH532260A (enrdf_load_stackoverflow)
GB (1) GB1297880A (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3508094A1 (de) * 1985-03-07 1986-09-11 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Kreuztisch fuer mikroskope
FR2638240B1 (fr) * 1988-10-21 1991-10-18 Biocom Sa Platine pour l'analyse rapide et indexee sous microscope de filtres et d'autres supports porteurs d'echantillons multiples et procede d'analyse de ces echantillons utilisant cette platine

Also Published As

Publication number Publication date
AT314861B (de) 1974-04-25
GB1297880A (enrdf_load_stackoverflow) 1972-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH539544A (de) Verpackungsverfahren und Vorrichtung zur Durchführung desselben
CH520941A (de) Verfahren zum Sortieren von Halbleiter-Bauelementen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH528152A (de) Halbleiteranordnung und Verfahren zu deren Herstellung
AT324943B (de) Vorrichtung zum transportieren und positionieren von gegenständen, insbesondere werkstücken
AT277602B (de) Vorrichtung zur photoelektrischen Sichtkontrolle von Kugeln
AT313163B (de) Vorrichtung zur gleichzeitigen Abgabe von zwei verscheidenen Pasten
AR193866A1 (es) Dispositivo semiconductor y metodo para su fabricacion
AT321994B (de) Reaktor und verfahren zur herstellung einer halbleiteranordnung in diesem reaktor
NL162246B (nl) Halfgeleiderinrichting met een halfgeleiderweerstand en werkwijze ter vervaardiging van een dergelijke halfgeleiderinrichting.
AT310253B (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleitern, insbesondere Halbleiterdioden
AT324421B (de) Halbleitervorrichtung mit einem lateralen transistor und verfahren zur herstellung einer solchen
CH514932A (de) Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgerät mit einem Objekttisch und Ablenkmitteln für den Strahl
CH514236A (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
AT316894B (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
CH532260A (de) Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch
CH474157A (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
IT962345B (it) Dispositivo di visualizzazione e metodo per la fabbricazione del lo stesso
AT308850B (de) Halbleitervorrichtung mit einem Halbleiterkörper und Verfahren zur Herstellung einer solchen Halbleitervorrichtung
CH477691A (de) Verfahren und Einrichtung zur Feststellung von Fehlern in Flachmaterial
CH495629A (de) Halbleiteranordnung und Verfahren zu deren Herstellung
CH510331A (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
CH493936A (de) Halbleiteranordnung und Verfahren zur Herstellung der Halbleiteranordnung
CH474860A (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
CH393562A (de) Halbleitervorrichtung, insbesondere photoempfindliche Vorrichtung, und Verfahren zu deren Herstellung
AT195355B (de) Vorrichtung in Anlagen für die Belüftung von Flüssigkeiten

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased