CH532260A - Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch - Google Patents

Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch

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CH532260A
CH532260A CH1617171A CH1617171A CH532260A CH 532260 A CH532260 A CH 532260A CH 1617171 A CH1617171 A CH 1617171A CH 1617171 A CH1617171 A CH 1617171A CH 532260 A CH532260 A CH 532260A
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CH1617171A
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Feinheimer Guenter
Lisfeld Robert
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Leitz Ernst Gmbh
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    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor

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CH1617171A 1970-11-10 1971-11-05 Einrichtung zur visuellen Prüfung von Objekten, insbesondere von Halbleiterplättchen für Halbleitervorrichtungen, mit einem Mikroskop und einem diesem zugeordneten Objekttisch CH532260A (de)

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