CH497259A

CH497259A - Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahlung

Info

Publication number: CH497259A
Application number: CH1679167A
Authority: CH
Inventors: Gugger Gottfried
Original assignee: Laser Tech Sa
Priority date: 1967-09-25
Filing date: 1967-09-25
Publication date: 1970-10-15
Also published as: GB1229876A; FR1595621A; CH1335767A4; SE333678B; US3576965A; DE1790128B2; CH534570A; NL6813465A; AT294701B; DE1790128A1; BE721321A

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahlung
Es ist bereits bekannt, dass besonders schwer be arbeitbare Werkstücke mittels Laserstrahlung gebohrt werden können. Trotz erheblicher Anstrengungen und Forschungsarbeilen ist es bisher nicht gelungen, Verfahren zu entwickeln, die mit der für grosse Serien erforderlichen Reproduzierbarkeit sowie ohne Beschädigung von Steinen brauchbare Bohrungen zu erzielen gestatten.

Aus wirtschaftlichen Gründen, insbesondere im Hinblick auf die Lebensdauer der im Feststofflaser verwendeten Blitzröhre wurde bisher stets danach getrachtet, jede Bohrung mit einem einzigen Laserimpuls zu erstellen. Es hat sich jedoch gezeigt, dass besonders bei den grösseren, für Lagersteine üblichen Bohrungsdurchmessern, dieses Vorgehen ungeeignet ist, weil zu hohe Impulsenergien erforderlich sind, bei welchen die Bohrungen nicht mehr genügend gleichmässige reproduzierbare Formen und Abmessungen aufweisen, und bei welchen die Steine oft gespalten werden. Es ergaben sich hierbei zu hohe Ausschusszahlen für eine seriemässige, industrielle Durchführung des Verfahrens, und da für Einzelimpulse verhältnismässig hohe Energien erforderlich waren, resultierten verhältnismässig hohe Anschaffungs- und Unterhaltskosten für die Blitzröhre, den Laserstab und das Netzgerät.

Eingehende Versuche haben gezeigt, dass das Herstellen eindeutig reproduzierbarer Bohrungen ohne Zerstörung der Werkstücke, insbesondere der Lagersteine möglich ist, wenn gemäss vorliegender Erfindung jede Bohrung mittels mehrerer, aufeinanderfolgender Impulse bearbeitet wird, deren Brennpunkte quer zur Bohrungsachse gegeneinander versetzt sind. Die Anwendung mehrerer Impulse etwas geringerer Energie ergibt eine leichter kontrollierbare Bearbeitung des Materials und zugleich eine geringere thermisch-mechanische Beanspruchung desselben, was gesamthaft dazu führt, dass insbesondere in Lagersteinen praktisch ohne jeden Ausschuss Bohrungen der gewünschten Dimensionen erstellt werden können.

Beim oben erwähnten bekannten Verfahren ist es nämlich äusserst schwierig, die Einstellung des Brennpunktes der Impulsenergie und anderer Bedingungen so zu wählen, dass Bohrungen des gewünschten Durchmessers entstehen. Beim Verfahren gemäss vorliegender Erfindung ist es dagegen wesentlich leichter, beispielsweise durch ringförmig um die Achse der zu erstellenden Bohrung einwirkende Einzelimpulse den gewünschten Bohrungsdurchmesser dadurch genau vorzubestimmen, dass die Exzentrizität der Brennpunkte der einzelnen Impulse bezogen auf die Achse der zu erstellenden Bohrung entsprechend eingestellt wird.

Bei der bereits bekannten Anwendung je eines einzigen Impulses zur Erstellung einer Bohrung ist es selbstverständlich, dass die Achse der einfallenden La- serstrahlung in der Achse der zu erstellenden Bohrung liegen muss. Es erweist sich hierbei oft als sehr schwierig, auch nur annähernd zylindrische Bohrungen zu erstellen. Beim Verfahren gemäss vorliegender Erfindung ist es nun möglich, die einzelnen Strahlungsimpulse nicht nur zur Achse der zu erstellenden Bohrung exzentrisch einfallen zu lassen, sondern die Strahlung kann auch unter einem gewissen spitzen Winkel zur Achse der zu erstellenden Bohrung einfallen. Die Kombination dieser beiden Massnahmen ermöglicht es in vielen Fällen, praktisch vollkommen zylindrische Bohrungen, eines bestimmten gewünschten Durchmessers zu erzielen.

Das oben erwähnte erfindungsgemässe Verfahren stellt gewisse Probleme in bezug auf die automatische Zuführung der Werktücke. Es müsste eine einstellbar exzentrische Anordnung eines drehbaren Halters für das Werkstück, und zugleich eine einstellbare Schiefstellung des Halters bezogen auf die Achse der Laseroptik vorgesehen werden. Die Erfindung betrifft nun auch eine Vorrichtung zur Durchführung des oben beschriebenen Verfahren, welche diese Schwierigkeiten vermeidet. Die Vorrichtung ist gekennzeichnet durch eine Optik mit beweglichen optischen Mitteln zur Verlagerung des Brennpunktes quer zur optischen Achse.

Vorzugsweise sind ausserdem optische Mittel zur Erzielung einer gewissen Schiefstellung des Lichteinfalls, bezogen auf die Achse der zu erstellendun Bohrung vorhanden. Damit fällt jede Einstellung und Bewegung des Werkstückes während der Bearbeitung weg, was die Automatik wesentlich vereinfacht.

Im folgenden ist die Erfindung anhand von zwei in der Zeichnung dargestellten Ausführungsformen einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens näher erläutert.

Fig. 1 zeigt die erste Ausführungsform im Vertikalschnitt.

Fig. 2 zeigt ein Detail der Vorrichtung nach Fig. 1 in Seitenansicht, und
Fig. 3 zeigt die zweite Ausführungsforin im Verti kalschnitt.

Die Ausführungsform nach Fig. 1 weist einen vertikalachsigen Tubus 1 auf, der in einem Träger 2 drehbar gelagert ist. Auf das obere Ende des Tubus 1 ist ein Zahnrad 3 aufgesetzt, welches von einem nicht dargestellten Antrieb mit einer verhältnismässig niedrigen Drehzahl von beispielsweise einer Umdrehung pro Sekunde angetrieben werden kann. Unterhalb des Zahnrades 3 ist ein Nockenkranz 4 auf den Tubus aufgesetzt, welcher mit dem Zahnrad 3 und dem Tubus 1 mitrotiert, wenn das Zahnrad 3 angetrieben wird. Im Tubus 1 ist ein innerer Tubus 5 längsverschiebbar eingesetzt.

Er trägt an seinem oberen Ende einen Mitneher 6 mit einer Mitnehmernut 7. In diese Mitnehmemut 7 greift ein nicht dargestellter Mitnehmer ein, der dazu dient, den Tubus 5 im Tubus 1 axial zu verschieben.

Am unteren Ende des Tubus 5 ist die Sammellinse 8 der Laseroptik eingesetzt. Die gemeinsame Achse der Tubusse 1 und 5 fällt mit der Achse 9 des aus dem nicht dargestellten Laserstab nach unten einfallenden Laserstrahles zusammen.

Der Tubus 1 ist an der unteren Stirnseite mit einer flachen zylindrischen Ausnehmung 10 versehen. Diese Ausnehmung dient zur Aufnahme einer Planscheibe 11 aus Glas. Mit dem unteren Ende des Tubus 1 ist eine Überwurfmutter 12 verschraubt, die an der Fläche 13 mit einer geeichten Skala versehen sein kann. Die Überwurfmutter 12 weist in der Mitte einen hochstehenden Kragen 14 auf, weicher eine ringförmige Stütze für die Planscheibe 11 darstellt. In eine Bohrung des Tubus 1 ist ein federbelasteter Stift 15 eingesetzt, der mittels eines in eine Nut 16 des Tubus 1 greifenden Stiftes 17 gegen Verdrehung gesichert ist. Das nach unten aus dem Tubus 1 herausragende Ende des Stiftes 15 ist als Schneide 18 ausgebildet, die in eine geschliffene V-Nut 19 der Planscheibe 11 greift und diese somit gegen Drehung und Verschiebung quer zur Schneide 18 sichert.

Durch die über den Stift 15 auf die eine Seite der Planscheibe 11 wirkende Federkraft wird die Planscheibe in eindeutiger Lage gegen die ringförmige Stütze 14 und gegen den Grund der Ausnehmung 10 gedrückt. Die Überwurfmutter 12 kann mittels einer Madenschraube 20 in der gewünschten Drehlage am Tubus 1 gesichert werden. Unterhalb der durch den Kragen 14 begrenzten Öffnung der Überwurfmutter 12 ist in einem nicht dargestellten Halter das Werkstück 21, beispielsweise ein Lagerstein, angeordnet. Im Interesse einer klaren Darstellung ist dieses Werkstück im Verhältnis zu den mechanischen Teilen der Optik wesentlich vergrössert dargestellt.

Die Arbeitsweise der dargestellten Vorrichtung ist wie folgt:
Wenn das Werkstück 21 in die dargestellte Bearbeitungslage gebracht ist, wird der Tubus 1 über das Zahnrad 3 mit der erwähnten geringen Geschwindigkeit angetrieben und führt eine volle Umdrehung aus. Während dieser Umdrehung wirkt die Nockenscheibe 4 auf einen Schalter oder Fühler, durch welchen entsprechend der Zahl von wirksamen Nocken während der einen Umdrehung des Tubus 1 eine bestimmte Zahl von Laserimpulsen ausgelöst werden. Als Fühler kann beispielweise eine Spule mit einem permanentmagnetisehen Kern vorgesehen sein, dessen Feld durch die am Kern vorbeilaufenden Nocken der Scheibe 4 beeinflusst wird.

Die durch den Tubus 5 längs der Achse 9 eintretende Laserstrahlung wird nun unterhalb der Sammellinse 8 durch die schiefstehende Planscheibe 11 bezüglich der Achse 9 seitlich versetzt und fällt längs einer Achse 9a etwas exzentrisch auf das Werkstück 21 auf. Bei der Drehung des Tubus 1, welche Drehung auch auf die Planscheibe 11 übertragen wird, werden nun die einzelnen, durch die Scheibe 4 ausgelösten Laserimpulse je um den gleichen Betrag exzentrisch auf das Werkstück 21 auftreffen, wobei jedoch die Achse 9a eine Kreisbewegung um die Achse 9 bzw. die Achse des Werkstückes 21 beschreibt.

Die einzelnen Impulse wirken also auf Steilen ein, die ringförmig um die Achse 9 bzw. die Werkstückachse verteilt sind, womit eine gleichmässige Abarbeitung des Materials des Werkstückes 21 mittels mehrerer, verhältnismässig schwacher Laserimpulse erfolgt. Zum Bohren von Lagersteinen sind beispielsweise Impulse mit Energien von 0,1-0,8 Joule durchaus genügend. Die Zahl der erforderlichen Impulse kann je nach dem Durchmesser der zu erstellenden Bohrung etwas verschieden gewählt werden, aber es sollten im allgemeinen etwa 3-10 Impulse ausgelöst werden. Die lmpulszahl kann entweder durch Auswechseln der Scheibe 4 verändert werden, oder aber es können mehrere Scheiben auf dem Tubus 1 angeordnet werden, in deren Bereich ein Schalter oder Fühler wahlweise gebracht werden kann.

Die Vorwahl des Bohrungsdurchmessers erfolgt durch Einstellung der Exzentrizität der Einfallsachse 9a bezüglich der Achse 9. Diese Verstellung erfolgt durch Änderung der Schiefstellung der Planscheibe 11 indem bei gelöster Stellschraube 20 die Überwurfmutter 12 verdreht und damit gegenüber dem Tubus l axial verstellt wird. Trotz der Reibung des Kragens 14 an der Planscheibe 11 kann dieselbe nicht mitgedreht werden weil sie einerseits durch das teilweise spielfreie Eingreifen in die Vertiefung 10 gegen Drehung gesichert ist, und weil insbesondere die Schneide 18 des Stiftes 15 die Planscheibe 11 durch ihr Eingreifen in die Nut 19 sichert.

Der Stift 15 sichert die Planscheibe desgleichen gegen Verschiebung quer zur Achse, so dass stets Gewähr dafür geboten ist, dass die Scheibe beim vollständigen Hochschrauben der Überwurfmutter 12 ganz in die Vertiefung 10 eintreten kann. In dieser Weise kann die Neigung der Planscheibe 11 und damit die Exzentrizität der Einfallsache 9a stufenlos zwischen 0 und einem gewissen Maximum verstellt werden, um Bohrungen verschiedenen Durchmessers zu bearbeiten.

Zum Einrichten der Vorrichtung oder während der Bearbeitung einer Bohrung kann nötigenfalls der Tubus 5 mit der Linse 8 mittels eines in die Ringnut 7 eingreifenden Mitnehmers axial verstellt werden, um den Brennpunkt der das Werkstück 21 bearbeitenden Strahlung in die gewünschte axiale Lage zu bringen. Es ist auch möglich, während der Bearbeitung einer Bohrung mit mehreren Impulsen den Tubus 5 etwas axial zu verstellen, d. h. den Brennpunkt aufeinanderfolgender
Impulse nicht nur in Umfangsrichtung, sondern auch in Axialrichtung etwas zu versetzen, was durch Steue rung des Mitnehmers mittels einer geeigneten Nocken scheibe erfolgen kann.

In Fig. 3 ist eine Ausführungsform dargestellt, welche nicht nur eine seitliche Verstellung, sondern auch eine Schiefstellung der Einfallsrichtung der Laser strahlung gestattet. Bei dieser Ausführungsform ist ein dem Tubus 1 entsprechender, drehbar gelagerter Tubus la vorgesehen, der gegebenenfalls nicht nur drehbar ist, sondern auch mittels eines Mitnehmers 6 etwas axial verstellt werden kann. Auf dem Tubus la ist ebenfalls eine Nockenscheibe 4 angeordnet, welche zur Auslösung der einzelnen Impulse dient. Am unteren Ende des Tubus la ist ein Gehäuse 22 angebracht, in welchem ein Schlitten 23 längs einer Führungsnut 24 quer zur Drehachse des Systems verschiebbar ist. Die Verschiebung erfolgt mittels einer Mikrometerschraube 25, wobei das Bewegungsspiel durch eine Druckfeder 26 ausgeschaltet wird. Im Schlitten 23 ist die Linse 28 der Laseroptik angebracht.

Ihre Achse ist leicht geneigt gegenüber der Einfallsachse 9 der Laserstrahlung bzw. der Drehachse des Tubus 1 a. Im oberen Teil des Schlittens 23 ist ein Spiegel 27 schwenkbar gelagert. Der Mechanismus zur Einstellung des Spiegels 27 ist nicht dargestellt. Im Gehäuse 22 sind ferner Spiegel 28, 29 und 30 angeordnet, welche dazu dienen, die vertikal einfallende Strahlung horizontal auf den Spiegel 27 auftreffen zu lassen. Da der Spiegel 27 und die Linse 28 gegenüber der Einfallsachse 9 seitlich verschoben sind, ergibt sich schliesslich die geneigte Einfallsachse 31 für die auf das Werkstück 21 auftreffende Strahlung. Wie in Fig. 3 angedeutet, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, den Schnittpunkt der Achse 31 der einfallenden Laserstrahlung mit der Achse der zu erstellenden Bohrung, im vorliegenden Fall der Achse 9, auf die Seite des Lichteinfalls zu verlegen.

Der Einfallswinkel beträgt vorzugsweise 3-5 .

Die in Fig. 3 dargestellte Vorrichtung gestattet nicht nur die Exzentrizität, sondern auch die Neigung des Strahlungseinfalls einzustellen. Zur Änderung der Exzentrizität braucht lediglich der Schlitten 23 längs der Führung 24 verstellt zu werden. Zur Veränderung des Einfallwinkels der Strahlung ist der Spiegel 27 zu drehen Die Strahlungsachse verläuft allerdings dann nicht mehr unbedingt symmetrisch durch die Linse 8, was jedoch ohne praktische Bedeutung ist. Im übrigen könnte gegebenenfalls die Linse horizontalachsig vor dem Spiegel 27 im Schlitten 23 angeordnet werden, wodurch jede Açymmetrie der Optik vermieden werden könnte.

Versuche haben gezeigt, dass sich die beschriebenen Bohrverfahren für alle technisch wesentlichen, schwer bearbeitbaren Materialien, z. B. Hartmetall, Diamant und andere Edelsteine eignen.

PATENTANSPRÜCHE
I. Verfahren zum Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahlung, wobei das Werkstück in den Brennpunkt der Laseroptik gebracht und die Laserstrahlung impulsweise ausgelöst wird, dadurch gekennzeichnet, dass jede Bohrung mittels mehrerer aufeinanderfolgender Laserstrahlungsimpulse erstellt wird, deren Brennpunkte quer zur Bohrungsachse gegeneinander versetzt sind.

II. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Patentanspruch I, gekennzeichnet durch eine Optik mit beweglichen optischen Mitteln zur Verlagerung der Brennpunkte der einzelnen Impulse quer zur optischen Achse.

UNTERANSPRÜCHE
1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte der einzelnen Impulse konzentrisch zur Bohrungsachse längs eines Kreises versetzt werden.

2. Verfahren nach Unteranspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte der Impulse gleichmässig bzw. zentralsymmetrisch verteilt werden.

3. Verfahren nach Patentanspruch I, zum Bohren von Steinen, dadurch gekennzeichnet, dass 3-10 Impulse ausgelöst werden.

4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass Impulse verschiedener Energie ausgelöst werden.

5. Verfahren nach Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zu Beginn der Bearbeitung mit Impulsen zunehmender Energie gearbeitet wird.

6. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Achse der einfallenden Laserstrahlung zur Achse der zu erstellenden Bohrung geneigt angeordnet wird.

7. Verfahren nach Unteranspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Schnittpunkt der Achse der Laserstrahlung mit der Achse der zu erstellenden Bohrung nach der dem Lichteinfall zugewandten Seite des Werkstückes, z. B. mindestens annähernd in die dem Lichteinfall zugewandte Oberfläche des Werkstückes verlegt ist.

8. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte aufeinanderfolgender Impulse auch in Richtung der Bohrungsachse versetzt werden.

9. Vorrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik drehbar angeordnet ist und eine zur Achse der Optik geneigte Planscheibe aufweist.

10. Vorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigung der Planscheibe einstellbar ist.

11. Vorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Planscheibe zwischen der Sammellinse und der Werkstückaufnahme liegt.

12. Vorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Planscheibe beweglich zwischen einem in einer Radialebene liegenden Auflager und einer axial verstellbaren Überwurfmutter angeordnet ist.

13. Vorrichtung nach Unteranspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die an einer ringförmigen Stütze in der Mitte der Überwurfmutter aufliegende Planscheibe durch einseitigen Federdruck in einer durch ihre Auflage an der Stütze und am Auflager bestimmten geneigten Lage gehalten ist.

14. Vorrichtung nach Unteranspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Auflager eine flache Vertiefung zur praktisch spielfreien Aufnahme der Planscheibe aufweist.

15. Vorrichtung nach Unteranspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass Planscheibe und Vertiefung kreisförmig sind.

**WARNUNG** Ende DESC Feld konnte Anfang CLMS uberlappen**.

Claims

**WARNUNG** Anfang CLMS Feld konnte Ende DESC uberlappen **. mit mehreren Impulsen den Tubus 5 etwas axial zu verstellen, d. h. den Brennpunkt aufeinanderfolgender Impulse nicht nur in Umfangsrichtung, sondern auch in Axialrichtung etwas zu versetzen, was durch Steue rung des Mitnehmers mittels einer geeigneten Nocken scheibe erfolgen kann.

In Fig. 3 ist eine Ausführungsform dargestellt, welche nicht nur eine seitliche Verstellung, sondern auch eine Schiefstellung der Einfallsrichtung der Laser strahlung gestattet. Bei dieser Ausführungsform ist ein dem Tubus 1 entsprechender, drehbar gelagerter Tubus la vorgesehen, der gegebenenfalls nicht nur drehbar ist, sondern auch mittels eines Mitnehmers 6 etwas axial verstellt werden kann. Auf dem Tubus la ist ebenfalls eine Nockenscheibe 4 angeordnet, welche zur Auslösung der einzelnen Impulse dient. Am unteren Ende des Tubus la ist ein Gehäuse 22 angebracht, in welchem ein Schlitten 23 längs einer Führungsnut 24 quer zur Drehachse des Systems verschiebbar ist. Die Verschiebung erfolgt mittels einer Mikrometerschraube 25, wobei das Bewegungsspiel durch eine Druckfeder 26 ausgeschaltet wird. Im Schlitten 23 ist die Linse 28 der Laseroptik angebracht.

Ihre Achse ist leicht geneigt gegenüber der Einfallsachse 9 der Laserstrahlung bzw. der Drehachse des Tubus 1 a. Im oberen Teil des Schlittens 23 ist ein Spiegel 27 schwenkbar gelagert. Der Mechanismus zur Einstellung des Spiegels 27 ist nicht dargestellt. Im Gehäuse 22 sind ferner Spiegel 28, 29 und 30 angeordnet, welche dazu dienen, die vertikal einfallende Strahlung horizontal auf den Spiegel 27 auftreffen zu lassen. Da der Spiegel 27 und die Linse 28 gegenüber der Einfallsachse 9 seitlich verschoben sind, ergibt sich schliesslich die geneigte Einfallsachse 31 für die auf das Werkstück 21 auftreffende Strahlung. Wie in Fig. 3 angedeutet, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, den Schnittpunkt der Achse 31 der einfallenden Laserstrahlung mit der Achse der zu erstellenden Bohrung, im vorliegenden Fall der Achse 9, auf die Seite des Lichteinfalls zu verlegen.

Der Einfallswinkel beträgt vorzugsweise 3-5 .

Die in Fig. 3 dargestellte Vorrichtung gestattet nicht nur die Exzentrizität, sondern auch die Neigung des Strahlungseinfalls einzustellen. Zur Änderung der Exzentrizität braucht lediglich der Schlitten 23 längs der Führung 24 verstellt zu werden. Zur Veränderung des Einfallwinkels der Strahlung ist der Spiegel 27 zu drehen Die Strahlungsachse verläuft allerdings dann nicht mehr unbedingt symmetrisch durch die Linse 8, was jedoch ohne praktische Bedeutung ist. Im übrigen könnte gegebenenfalls die Linse horizontalachsig vor dem Spiegel 27 im Schlitten 23 angeordnet werden, wodurch jede Açymmetrie der Optik vermieden werden könnte.

Versuche haben gezeigt, dass sich die beschriebenen Bohrverfahren für alle technisch wesentlichen, schwer bearbeitbaren Materialien, z. B. Hartmetall, Diamant und andere Edelsteine eignen.

PATENTANSPRÜCHE I. Verfahren zum Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahlung, wobei das Werkstück in den Brennpunkt der Laseroptik gebracht und die Laserstrahlung impulsweise ausgelöst wird, dadurch gekennzeichnet, dass jede Bohrung mittels mehrerer aufeinanderfolgender Laserstrahlungsimpulse erstellt wird, deren Brennpunkte quer zur Bohrungsachse gegeneinander versetzt sind.

II. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Patentanspruch I, gekennzeichnet durch eine Optik mit beweglichen optischen Mitteln zur Verlagerung der Brennpunkte der einzelnen Impulse quer zur optischen Achse.

UNTERANSPRÜCHE 1. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte der einzelnen Impulse konzentrisch zur Bohrungsachse längs eines Kreises versetzt werden.

2. Verfahren nach Unteranspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte der Impulse gleichmässig bzw. zentralsymmetrisch verteilt werden.

3. Verfahren nach Patentanspruch I, zum Bohren von Steinen, dadurch gekennzeichnet, dass 3-10 Impulse ausgelöst werden.

4. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass Impulse verschiedener Energie ausgelöst werden.

5. Verfahren nach Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zu Beginn der Bearbeitung mit Impulsen zunehmender Energie gearbeitet wird.

6. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Achse der einfallenden Laserstrahlung zur Achse der zu erstellenden Bohrung geneigt angeordnet wird.

7. Verfahren nach Unteranspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Schnittpunkt der Achse der Laserstrahlung mit der Achse der zu erstellenden Bohrung nach der dem Lichteinfall zugewandten Seite des Werkstückes, z. B. mindestens annähernd in die dem Lichteinfall zugewandte Oberfläche des Werkstückes verlegt ist.

8. Verfahren nach Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennpunkte aufeinanderfolgender Impulse auch in Richtung der Bohrungsachse versetzt werden.

9. Vorrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik drehbar angeordnet ist und eine zur Achse der Optik geneigte Planscheibe aufweist.

10. Vorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Neigung der Planscheibe einstellbar ist.

11. Vorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Planscheibe zwischen der Sammellinse und der Werkstückaufnahme liegt.

12. Vorrichtung nach Unteranspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Planscheibe beweglich zwischen einem in einer Radialebene liegenden Auflager und einer axial verstellbaren Überwurfmutter angeordnet ist.

13. Vorrichtung nach Unteranspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die an einer ringförmigen Stütze in der Mitte der Überwurfmutter aufliegende Planscheibe durch einseitigen Federdruck in einer durch ihre Auflage an der Stütze und am Auflager bestimmten geneigten Lage gehalten ist.

14. Vorrichtung nach Unteranspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Auflager eine flache Vertiefung zur praktisch spielfreien Aufnahme der Planscheibe aufweist.

15. Vorrichtung nach Unteranspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass Planscheibe und Vertiefung kreisförmig sind.

i6. Vorrichtung nach Unteranspruch 12, dadurch

gekennzeichnet, dass die Planscheibe gegen Drehung um die Achse der Optik gesichert ist.

17. Vorrichtung nach den Unteransprüchen 13 und 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein federbelasteter Stift mit einer Schneide in eine V-Nut der Planscheibe greift.

18. Vorrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik drehbar und axial verschiebbar angeordnet ist.

19. Vorrichtung nach Unteranspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Optik eine Steuerscheibe zur Auslösung der Impulse in Funktion der Drehlage der Optik gekuppelt ist 20. Vorrichtung nach Patentanspruch II, gekennzeichnet dadurch optische Mittel zur Einstellung der Neigung der Achse des Lichtaustritts aus der Optik bezüglich der Achse des Lichteinfalls in die Optik.

21. Vorrichtung nach Unteranspruch 20, gekennzeichnet durch einen schwenkbaren und verschiebbaren Spiegel im Strahlengang zur Bestimmung des Einfallswinkels und der Einfallsstelle des Strahles.