CH486121A - Verfahren zum Herstellen von homogenen Oxidschichten auf Halbleiterkristallen - Google Patents

Verfahren zum Herstellen von homogenen Oxidschichten auf Halbleiterkristallen

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CH486121A
CH486121A CH966566A CH966566A CH486121A CH 486121 A CH486121 A CH 486121A CH 966566 A CH966566 A CH 966566A CH 966566 A CH966566 A CH 966566A CH 486121 A CH486121 A CH 486121A
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CH
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production
oxide layers
semiconductor crystals
homogeneous oxide
homogeneous
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CH966566A
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German (de)
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Pammer Erich Dr Dipl-Chem
Eduard Dipl Ing Folkmann
Original Assignee
Siemens Ag
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    • H10P14/6322—
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