CH439570A - Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums in einem Vakuumsystem - Google Patents

Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums in einem Vakuumsystem

Info

Publication number
CH439570A
CH439570A CH1479464A CH1479464A CH439570A CH 439570 A CH439570 A CH 439570A CH 1479464 A CH1479464 A CH 1479464A CH 1479464 A CH1479464 A CH 1479464A CH 439570 A CH439570 A CH 439570A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
vacuum
achieving
high vacuum
vacuum system
Prior art date
Application number
CH1479464A
Other languages
English (en)
Inventor
Lawrence Jepsen Robert
Tony King Leonard
Mont Rogers Rene
Original Assignee
Varian Associates
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Varian Associates filed Critical Varian Associates
Publication of CH439570A publication Critical patent/CH439570A/de

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
    • F04B37/08Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/385Exhausting vessels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
CH1479464A 1959-03-30 1960-03-29 Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums in einem Vakuumsystem CH439570A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US802731A US3116764A (en) 1959-03-30 1959-03-30 High vacuum method and apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH439570A true CH439570A (de) 1967-07-15

Family

ID=25184539

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1479464A CH439570A (de) 1959-03-30 1960-03-29 Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums in einem Vakuumsystem
CH352360A CH385408A (de) 1959-03-30 1960-03-29 Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums und Anordnung zur Ausführung des Verfahrens
CH1479364A CH434548A (de) 1959-03-30 1960-03-29 Vakuumpumpe

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH352360A CH385408A (de) 1959-03-30 1960-03-29 Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums und Anordnung zur Ausführung des Verfahrens
CH1479364A CH434548A (de) 1959-03-30 1960-03-29 Vakuumpumpe

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3116764A (de)
CH (3) CH439570A (de)
DE (2) DE1136448C2 (de)
FR (1) FR1248387A (de)
GB (3) GB932013A (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3172748A (en) * 1965-03-09 Sorption pump
US3172745A (en) * 1965-03-09 Sorption pump apparatus
US3197945A (en) * 1961-02-27 1965-08-03 Varian Associates Sorption pump apparatus
US3200569A (en) * 1962-01-31 1965-08-17 Varian Associates Sorption gas and vapor trap apparatus
US3338034A (en) * 1963-11-12 1967-08-29 Union Carbide Corp Adsorbent-coated thermal panels
US3296773A (en) * 1964-03-24 1967-01-10 Union Carbide Corp Adsorbent-coated thermal panels
US3332213A (en) * 1964-08-19 1967-07-25 Union Carbide Corp Method of cryosorption pumping
US3300992A (en) * 1964-11-03 1967-01-31 Pittsburgh Activated Carbon Co High vacuum pumping with impregnated adsorbents
US3383032A (en) * 1967-01-31 1968-05-14 Atomic Energy Commission Usa Vacuum pumping method and apparatus
DE1619995A1 (de) * 1967-03-11 1971-07-01 Siemens Ag Verfahren zum Beseitigen von Kohlenstoffverunreinigungen in einem Siliziumkoerper und Vorrichtung zur Durchfuehrung dieses Verfahrens
US3811794A (en) * 1972-11-22 1974-05-21 Bell Telephone Labor Inc Ultrahigh vacuum sublimation pump
CH644442A5 (de) * 1980-04-29 1984-07-31 Sulzer Ag Vorrichtung zum erzeugen von kaelte.

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1189664A (en) * 1915-02-12 1916-07-04 Georges Claude Neon-tube.
US1789556A (en) * 1925-09-16 1931-01-20 Rainbow Light Inc Method of manufacturing gas-filled envelopes
US1874537A (en) * 1930-10-23 1932-08-30 Bell Telephone Labor Inc Manufacture of vacuum devices
US2749002A (en) * 1954-01-28 1956-06-05 Westinghouse Electric Corp Method and apparatus for exhausting incandescent lamps
US2841323A (en) * 1954-11-19 1958-07-01 Rca Corp Adsorption pumping
DE1010695B (de) * 1955-08-05 1957-06-19 Commissariat Energie Atomique Verfahren zur Vakuumerzeugung mittels einer Diffusionspumpe

Also Published As

Publication number Publication date
GB932013A (en) 1963-07-24
GB932012A (en) 1963-07-24
CH434548A (de) 1967-04-30
GB932014A (en) 1963-07-24
DE1136448B (de) 1962-09-13
US3116764A (en) 1964-01-07
DE1414568A1 (de) 1969-06-19
DE1136448C2 (de) 1973-02-01
CH385408A (de) 1964-12-15
FR1248387A (fr) 1960-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH399744A (de) Verfahren zur Erzeugung eines Einkristalls
CH392195A (de) Verfahren zur Herstellung eines Elektrolyten
CH369519A (de) Verfahren zur Herstellung eines hochdotierten p-Bereiches an einem Halbleiterkörper
CH439570A (de) Verfahren zur Erzielung eines Hochvakuums in einem Vakuumsystem
CH388663A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung chromatographischer Analysen
CH420923A (de) Verfahren zum Überziehen von Gegenständen
CH373115A (de) Verfahren zum Erhitzen wenigstens eines Körpers in einem Vakuum durch Elektronenbeschuss
CH428803A (de) Verfahren zur Wiedergabe eines graphischen Originals
CH425735A (de) Verfahren zum Umschmelzen eines stabförmigen Körpers
CH392439A (de) Verfahren zur Bearbeitung eines Plattenkörpers und nach diesem Verfahren hergestellter Plattenkörper
CH417968A (de) Verfahren zur Herstellung eines Harzes
CH419773A (de) Verfahren zur Grünpatinierung von Gegenständen
CH399527A (de) Verfahren zur Fehlererkennung in Fernschreibnachrichten
CH340281A (de) Verfahren zur Ableitung von Wärme aus einem Kernreaktor oder dergleichen
CH404778A (de) Verfahren zur Herstellung eines supraleitenden Körpers
AT261638B (de) Verfahren zur Aufarbeitung eines Ammoniak-Kohlensäure-Gasgemisches
CH398284A (de) Verfahren zur Herstellung von Sauerkraut
AT262473B (de) Verfahren zur Herstellung eines Backfettzusatzes
CH375799A (de) Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers
CH408285A (de) Verfahren zum Konservieren eines Impfstoffes
CH378661A (de) Verfahren zur Herstellung eines Vollmichpulvers
CH393379A (de) Verfahren zur Verbesserung des Pflanzenwachstums
CH396619A (de) Verfahren zur Herstellung eines Übertragungsblattes oder -streifens
AT282385B (de) Verfahren zur Herstellung eines Schleifmittelproduktes
CH385419A (de) Verfahren zur Reinigung von Desmethylchlortetracyclin