CH402216A - Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Profilfräsungen mittels eines Ladungsträgerstrahls - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Profilfräsungen mittels eines Ladungsträgerstrahls

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CH402216A
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CH
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deflection
profile
charge carrier
carrier beam
dependent
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CH905461A
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Wolfgang Dr Opitz
Fritz Dipl Ing Schleich
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United Aircraft Corp
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1292418B (de) * 1965-05-05 1969-04-10 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren zur Programmsteuerung bei der automatischen Bearbeitung von Duennschichtbauelementen der Elektrotechnik mittels eines Ladungstraegerstrahles
US5017789A (en) * 1989-03-31 1991-05-21 Loma Linda University Medical Center Raster scan control system for a charged-particle beam
DE4028842C2 (de) * 1990-09-11 1995-10-26 Balzers Hochvakuum Verfahren und Anordnung zur Steuerung der Bedampfungsstromdichte und/oder deren Verteilung
WO2012008025A1 (ja) * 2010-07-14 2012-01-19 三菱電機株式会社 粒子線照射装置および粒子線治療装置
DE102014004035A1 (de) 2014-03-21 2015-10-08 Probeam Ag & Co. Kgaa Verfahren zum Erzeugen kleiner Bohrungen in Werkstücken

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