Apparatur zur Untersuchung von Objekten mittels eines Korpuskularstrahlenbiindels. Zur L7rrtersuclrung von Objekten dienende liorpuskular;strahlapparate, insbesondere Elek tronenmikroskope, werden meist auf einem Stativ mit senkrecht stehender Achse so ange ordnet, dass sich das Strahlerzeugungssystem oben befindet.
Diese Anordnung ermöglicht es, die Hochspannungsführenden Teile des Ge rätes vom Bedienenden durch eine oben auf dem Stativ angeordnete Schutzwanne gut ab zuschirmen. Wenn es sich beispielsweise run zweistufige Elektronenmikroskope handelt, die insbesondere bei Anwendung hoher Strahl spannungen eine beträchtliche Bauhöhe besit zen, muss man dann, um den sitzenden Beob achter die Objektverstellung bequem zu er möglichen, besondere Einstellvorrichtungen mit verlängerten Handgriffen anwenden, die dazu dienen,
die bei den Untersuchungen er forderlichen Querbewegungen des Objektes rie genüber der optischen Achse des Systems zu ermöglichen. Die Schaugläser zum Betrachten des Endbildletrchtschirmes lassen sich bei dieser Anordnung leicht so in der Mikroskop wand anordnen, dass der sitzende Beobachter den Leuehtsehirm in normaler Bliekriehtung, schräg nach unten sehend, betrachten kann.
Bei einer andern bekannten Anordnung wird eine besonders kleine Baulänge eines mit elek- trost.atisehen Linsen arbeitenden Elektronen mikroskops dadurch erzielt, da.ss die Projek- tivlinse als Spiegel dient, der die Strahlen in Richtung auf das Objektiv hin zurückwirft.
Hierbei müssen die Schwierigkeiten der Hoch spannungszuführung am Objektiv und am Spiegel in Kauf genommen werden, ausserdem ist nachteilig; dass im Endbild gerade der mittlere Bereich des Objektes bei der jeweili gen Einstellung nicht abgebildet wird, weil hier im Film für den Durchgang der Strahlen zum Spiegel ein mittleres Loch ausgespart werden muss. Es sind auch Elektronenmikro skope bekannt, bei denen die optische Achse des Gerätes waagrecht liegend angeordnet ist. In diesem Falle ist ein verhältnismässig grosser Aufwand für die Halterung der einzelnen Bauteile des Gerätes notwendig.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Appa ratur zur Untersuchung von Objekten mittels eines Korpuskularstrahlenbündels, mit prak tisch vertikaler Achse. Erfindungsgemäss ist der Korpuskularstrahlengang in seinem gan zen Verlauf von amten nach oben gerichtet. Bei einer beispielsweise ein Elektronenmikro skop umfassenden Apparatur kann man nun mehr das Vakuumgefäss im Stativ wesentlich tiefer als bisher haltern.
Wenn man beispiels weise eine Konstruktion in Betracht zieht, bei der als Stativ ein Tisch dient, kann man nun mehr die Anordnung so wählen, dass sich das Strhhlerzeugungssystem unterhalb der Tischplatte befindet.
Damit kommt der Be reich des Apparates, in welchem das zu unter suchende Objekt liegt, in eine Höhenlage, die nur wenig oberhalb der Tischfläche liegt, so dass man nunmehr in der Lage ist, die Ein stellvorrichtungen, welche dazu dienen, das Objekt quer zur Strahlachse zii verschieben, gegenüber den bisher bekannten Konstruk tionen mit von oben nach unten gerichtetem Strahlengang wesentlich zu vereinfachen. Es brauchen nämlich nunmehr keine besonderen Verlängerungsstangen für die Querverstel lung des Objektes angewendet zu werden.
Da die gesamte Bauhöhe des Gerätes kleiner wird, ergibt sich auch im ganzen eine handliche Konstruktion, was insbesondere dann von wesentlicher Bedeutung ist, wenn es sich uni Mikroskope geringerer Leistung handelt. Der Endbildleuehtsehirm befindet sich nunmehr, insbesondere bei Mikroskopen kurzer Bau länge, in einer Höhenlage, dass der sitzende Beobachter ihn nicht ohne weiteres direkt be trachten kann.
Uni aber auch in diesem Falle ein bequemes Betrachten des Endbildes zu er möglichen, wird zweckmässig dem Endbild- leuchtschirm ein Spiegel zugeordnet, so dass der sitzende Beobachter den Leuelitsehirrn in normaler Bliekriclrtung (das heisst schräg nach unten sehend) betrachten kann.
Bei Mikroskopen, die ein auf einer Tisch platte montiertes Vakuumgefäss besitzen, wird man mit. Vorteil den Strahlerzeuger und die ihm zugeordneten Verstelleinrichtungen unterhalb und die vergrössernden Optiken mit den Verstelleinriehtungen für die Objekt bewegung und den Regeleinrichtungen für die Brennweite oberhalb der Tischplatte anord nen. Diejenigen Verstell- und Regeleinrich tungen, welche bei den laufenden Unter suchungen öfter bedient werden müssen, be finden sieh dabei in besonders handlicher Lage für den Beobachter oberhalb der Tisch platte.
Mit Vorteil wird man in der Tisch platte auf der Sitzplatzseite eine Aussparung vorsehen, die etwa bis in den Bereich des Vakuumgefässes reicht. Eine solche Ausspa rung hat den Vorteil, dass der Beobachter bequem von den oberhalb der Tischplatte zu den unterhalb angeordneten Verstell- und Regeleinrichtungen übergreifen kann. Die zum Einsetzen und Entnehmen des Objektes dienende Öffnung wird man etwa in der Höhe der Tischplatte anordnen.
Es kann sich dabei entweder uni eine Objektschleuseinrichtung handeln oder aber auch - insbesondere bei kleinen Mikroskopen - um eine einfache Öff nung, die mit einer Klappe verschlossen wer den kann. Unterhalb der Tischplatte kann man den Spannungsgleichlialter und den Transformator der Iloelrspannungsanlage an ordnen.
Die Figuren zeigen schematisch als Aus führungsbeispiel der Erfindung ein auf einem Tisch angeordnetes Elektronenmikroskop mit von unten nach oben gerichtetem Elektronen strahlengang. Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht und Fig. 2 eine Draufsicht auf die Apparatur.
Auf dem Tisch 1 ist. das Vakuumgefäss 2 des l11ihroskops so befestigt, dass sieh oberhalb der Tischplatte das Objektiv 3 und das Projek- tiv 4 befinden, während unterhalb der Tisch platte das Stralrlerzeugungssystern 5 liegt. Bei 6 befindet sich der Eridbildleuchtscliirm und der Aufnahmeraum für das Photomate rial. Mit 7 ist eine Klappe bezeichnet, durch die die Objekte eingesetzt und entnommen werden können.
Diese Klappe befindet sich etwa in der Höhe der Tischplatte. über eine Leitung 3 ist die unterhalb der Tischplatte montierte Vakuumpumpe 9 an das Mikroskop angeschlossen. Mit 10 ist die Vakuumprüfein richtung bezeichnet. Die Hochspannung wird dem Strahlerzeuger mit Hilfe eines Kabels 11 über einen unterhalb der Tischplatte ange ordneten Transformator 12 zugeführt. Bei 13 ist eine der Verstellschrauben für die Quer bewegung des Kathodensystems, bei 14 eine der beiden V erstellsehrauiben für die Querbe wegung des Objektes angedeutet.
Im Falle des Ausführungsbeispiels ist an ein mit magnetostatisehen Linsen arbeitendes Mikro skop gedacht, bei dem die Brennweite der Lin sen mit Hilfe von als Schraubenmuttern aus gebildeten magnetischen Nebenschlüssen 15 und 16 geregelt erden kann. Mit<B>17</B> ist eine Verstellschraube bezeichnet, die dazu dient, die. Kathode in der Strahlrichtung um gering fügige Beträge zui verschieben.
Um ein bequemes Betrachten des Endbil- des für den sitzenden Beobachter zu ermög- liehen, ist ein Spiegel 18 so angeordnet, dass der sitzende Beobachter schräg nach unten sehend mit Hilfe dieses Spiegels den Leucht schirm betrachten kann. Um nicht durch seit liches Licht gestört zu werden, kann man einen Schirm 19 vor dem Spiegel anordnen.
Das Mikroskop ist in der aus Fig. 2 er sichtlichen Weise auf dem Tisch so angeord net, dass sieh zur rechten Hand des Beobach ters eine Schreibfläche 20 befindet. An dieser Stelle befinden sich unter der Tischplatte die Reglerhandgriffe 21 zur Einregelung der Hochspannung, der Glühkathode, des Vakuum prüfgerätes und gegebenenfalls auch bei Mikroskopen, die mit elektromagnetischen Lin sen arbeiten, die Spulenstromregler. In einem auf dem Tisch hinter der Schreibfläche 20 be findlichen Kasten 22 sind die Messinstrumente '?3 untergebracht, an denen Emission,
Katho denstrom und Helligkeit des Leuchtschirm bildes abgelesen werden kann. Daneben kann eine Belichtungstabelle 24 angeordnet sein, mit deren Hilfe man leicht aus den Angaben des Helligkeitsinstrumentes die richtige Belich ten gszeit ermitteln kann. Im Kasten 22 befin den sieh auch die Hähne 25 für das Kühl wasser und für die Vakuumpumpe 9, gege benenfalls für eine Vorvakuumpumpe und eine Ilauptv akuumpumpe.
Zur linken Hand des Beobachters ist die Tischplatte bei 26 als Arbeitsplatz für das Präparieren von Objektblenden oder derglei ehen eingerichtet. Unterhalb der Tischplatte und vorzugsweise zur linken Hand des Beob achters kann man mit Vorteil im Mikroskop- tiseh ein Aufnahmefach 27 für das Photo material, beispielsweise die Kassetten, vor sehen. Bei 28 befindet sich unterhalb der Tischplatte der Spannungsgleichhalter. Auf der Sitzplatzseite besitzt der Tisch eine Aus sparung 29, die bis an das Mikroskop heran reicht.
Diese Aussparung ermöglicht es dem Beobachter, bequem von den unterhalb der Tischplatte befindlichen Regeleinrichtungen 13 und 17 zu den oberhalb der Tischplatte befindlichen Regeleinrichtungen überzugrei fen.