CA2431943A1 - Dispositif de visualisation bidimensionnelle ellipsometrique d'un echantillon, procede de visualisation et procede de mesure ellipsometrique avec resolution spatiale - Google Patents
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Abstract
La pr~sente invention concerne un dispositif de visualisation bidimensionnelle ellipsom~trique d'un ~chantillon plac~ dans un milieu incident, observ~ entre un analyseur et un polariseur crois~s par r~flexion en lumire convergente, dans lequel les paramtres ellipsom~triques de l'ensemble form~ par l'~chantillon et un substrat sur lequel il est plac~, sont exploit~s. Le substrat comporte un support et un empilement de couches de base et ses propri~t~s ellipsom~triques sont connues. Les propri~t~s ellipsom~triques du substrat sont telles que les variations des paramtres ellipsom~triques de l'~chantillon soient visualis~es avec un contraste sup~rieur au contraste produit en l'absence de ce substrat. L'invention concerne ~galement un proc~d~ de visualisation et un proc~d~ de mesure ellipsom~trique avec r~solution spatiale.
Claims (43)
1. Dispositif de visualisation bidimensionnelle ellipsométrique d'un échantillon, comportant un objet, placé dans un milieu incident, observé entre un analyseur et un polariseur croisés par réflexion en lumière convergente, dans lequel les paramètres ellipsométriques de l'ensemble formé par l'objet (4) et un substrat (8) sur lequel il est placé, sont exploités, caractérisé en ce que:
- le substrat comporte un support et un empilement de couches et que ses propriétés ellipsométriques sont connues, - les propriétés ellipsométriques du substrat étant telles que les variations des paramètres ellipsométriques de l'échantillon dues à
l'objet soient visualisées avec un contraste supérieur au contraste produit en l'absence de ce substrat.
- le substrat comporte un support et un empilement de couches et que ses propriétés ellipsométriques sont connues, - les propriétés ellipsométriques du substrat étant telles que les variations des paramètres ellipsométriques de l'échantillon dues à
l'objet soient visualisées avec un contraste supérieur au contraste produit en l'absence de ce substrat.
2. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon salon la revendication 1, caractérisé en ce que l'échantillon est éclairé
au travers d'un objectif à grande ouverture tel qu'un objectif de microscope.
au travers d'un objectif à grande ouverture tel qu'un objectif de microscope.
3. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon salon la revendication 2, caractérisé en ce que le microscope est un microscope à contraste interférentiel différentiel.
4. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 2, caractérisé en ce que le microscope est un microscope de fluorescence.
5. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon salon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'épaisseur e de la couche de l'empilement en contact avec l'objet est telle que les coefficients de réflexion complexes r p et r s du substrat vérifient la condition d2/de2[Ln|r p +r s|] = 0.
6. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 5, caractérisé en ce que les propriétés optiques du substrat sont telles que la valeur minimum prise par la quantité
|r p + r s| sur l'ensemble des valeurs de e est aussi faible que possible.
|r p + r s| sur l'ensemble des valeurs de e est aussi faible que possible.
7. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte une source lumineuse polychromatique.
8. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte une source lumineuse monochromatique.
9. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le support est en silicium.
10. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'empilement est constitué dune couche unique.
11. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche de silice.
12. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche de silice est de l'ordre de 1025 .ANG., le milieu incident étant de l'air.
13. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche de fluorure de magnésium.
14. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche de polymère.
15. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche de polymère, d'indice optique approximativement égal à 1,343, le milieu incident étant de l'air.
16. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche minérale, d'indice optique approximativement égal à
1,74, le milieu incident étant de l'eau.
1,74, le milieu incident étant de l'eau.
17. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche minérale, d'indice optique approximativement égal à
1,945, le milieu incident étant une huile d'indice optique 1,5.
1,945, le milieu incident étant une huile d'indice optique 1,5.
18. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est discontinue et formée de plots de silice et d'indice 1,343, de même hauteur dfinissant l'épaisseur de la couche et de dimensions en section très inférieures au micromètre, le milieu incident étant de l'air.
19. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est une couche organique ou minérale mésoporeuse ou nanoporeuse d'indice approximativement égal à 1,343, le milieu incident étant l'air.
20. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche est un aérogel minéral d'indice approximativement égal à 1,343, le milieu incident étant l'air.
21. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une des revendications 2 à 20, caractérisé en ce qu'il comporte un microscope comportant un diaphragme d'ouverture en forme de fente longitudinale orientable autour de l'axe du microscope permettant de restreindre le cône d'éclairage à un seul plan d'incidence dans une direction choisie.
22. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une des revendications 1 à 19, caractérisé en ce qu'il comporte un microscope comportant un diaphragme d'ouverture en forme d'anneau limitant le cone d'éclairage de l'échantillon autour d'un angle d'incidence.
23. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'objet est un film mince et l'empilement comporte une couche en biseau dont l'épaisseur varie de façon monotone dans une direction X le long de la surface.
24. Procédé de mesure à l'aide du dispositif de la revendication 23, caractérisé en ce que:
-l'on découpe le dispositif de visualisation parallelement à la direction X en deux éléments, -l'on dépose le film mince sur l'un de ces éléments, -l'on place les deux éléments entre un polariseur et un analyseur croisés sous un microscope polarisant éclairé en lumière polychromatique, de façon à former des franges d'interférences colorées sur chacun des éléments, -l'on mesure le décalage des franges formées respectivement dans chacun des éléments pour en déduire les propriétés de la couche déposée sur l'un d'eux.
-l'on découpe le dispositif de visualisation parallelement à la direction X en deux éléments, -l'on dépose le film mince sur l'un de ces éléments, -l'on place les deux éléments entre un polariseur et un analyseur croisés sous un microscope polarisant éclairé en lumière polychromatique, de façon à former des franges d'interférences colorées sur chacun des éléments, -l'on mesure le décalage des franges formées respectivement dans chacun des éléments pour en déduire les propriétés de la couche déposée sur l'un d'eux.
25. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une quelconque des revendications 1 à 23, caractérisé en ce que le substrat est le fond d'une boîte de Petri.
26. Dispositif de visualisation bidimensionnelle d'un échantillon selon l'une quelconque des revendications 1 à 23, caractérisé en ce que l'échantillon est un multicapteur matriciel.
27. Dispositif de lecture parallèle d'un multicapteur matriciel selon la revendication 26, caractérisé en ce que chaque plot ou pastille de la matrice constitue la dernière couche de l'empilement.
28. Dispositif de lecture parallele d'un multicapteur matriciel selon la revendication 26, caractérisé en ce que le multicapteur est une biopuce à bactéries, à virus, à antigenes, à anticorps, à protéines, à
ADN, à ARN, à chromosomes.
ADN, à ARN, à chromosomes.
29. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec résolution spatiale sous microscope polarisant formant une image de l'échantillon, dans lequel:
-l' échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragms d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analyses par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .PHI. de sa direction de polarisation par rapport a celle du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que:
- le diaphragme d'ouverture du faisceau d'éclairage est un anneau centré sur l'axe du faisceau délimitant un seul angle d'incidence, -l'on mesure, simultanément en chaque point de l'image obtenue de l'échantillon, le flux moyen .PHI.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .PHI.m(x,y), -l'on traite les mesures .PHI.M(x,y) et .PHI.m(x,y) pour en déduire simultanement en chaque point de l'échantillon deux combinaisons des paramètres ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) et du coefficient de réflexion ¦r s¦2(x,y) à partir des formules:
1/2¦r s¦2(1 + tan2.PSI.)=.PHI.M et 1/2¦r s¦2(tan2.PSI. - 2tan.PSI.cos.DELTA.) = .PHI.m -l'on traits les mesures .PHI.M(x,y) et .PHI.m(x,y) pour en déduire la combinaison sin(2.PSI.)cos des seuls paramètres ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) à partir de la formule :
.PHI.m = .PHI.M(1 - sin(2.PSI.)cos.DELTA.)
-l' échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragms d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analyses par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .PHI. de sa direction de polarisation par rapport a celle du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que:
- le diaphragme d'ouverture du faisceau d'éclairage est un anneau centré sur l'axe du faisceau délimitant un seul angle d'incidence, -l'on mesure, simultanément en chaque point de l'image obtenue de l'échantillon, le flux moyen .PHI.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .PHI.m(x,y), -l'on traite les mesures .PHI.M(x,y) et .PHI.m(x,y) pour en déduire simultanement en chaque point de l'échantillon deux combinaisons des paramètres ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) et du coefficient de réflexion ¦r s¦2(x,y) à partir des formules:
1/2¦r s¦2(1 + tan2.PSI.)=.PHI.M et 1/2¦r s¦2(tan2.PSI. - 2tan.PSI.cos.DELTA.) = .PHI.m -l'on traits les mesures .PHI.M(x,y) et .PHI.m(x,y) pour en déduire la combinaison sin(2.PSI.)cos des seuls paramètres ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) à partir de la formule :
.PHI.m = .PHI.M(1 - sin(2.PSI.)cos.DELTA.)
30. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec résolution spatiale sous microscope polarisant formant une image de l'échantillon, dans lequel :
-l'échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragms d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analysée par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .PHI. de sa direction de polarisation par rapport à celle du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que, dans une étape de mesure :
-l'orientation de l'analyseur par rapport au polariseur est fixée à une valeur différente de .pi./2 modulo .pi., - le diaphragms d'ouverture du faisceau d'éclairage est une fente orientable autour de l'axe optique du microscope superposée à
un anneau délimitant un seul angle d'incidence, -l'on mesure 1'intensité du faisceau réfléchi pour au moins deux orientations .phi. differentes et non redondantes de la fente, -l'on traite ces mesures d'intensité à partir de la relation :
-l'on en déduit simultanément en chaque point de l'echantillon les valeurs des deux angles ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) et celles des modules des coefficients de réflexion ¦r p¦ et ¦r s¦.
-l'échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragms d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analysée par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .PHI. de sa direction de polarisation par rapport à celle du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que, dans une étape de mesure :
-l'orientation de l'analyseur par rapport au polariseur est fixée à une valeur différente de .pi./2 modulo .pi., - le diaphragms d'ouverture du faisceau d'éclairage est une fente orientable autour de l'axe optique du microscope superposée à
un anneau délimitant un seul angle d'incidence, -l'on mesure 1'intensité du faisceau réfléchi pour au moins deux orientations .phi. differentes et non redondantes de la fente, -l'on traite ces mesures d'intensité à partir de la relation :
-l'on en déduit simultanément en chaque point de l'echantillon les valeurs des deux angles ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) et celles des modules des coefficients de réflexion ¦r p¦ et ¦r s¦.
31. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec resolution spatiale sous microscope polarisant selon la revendication 30, caractérisé en ce que, dans une étape complémentaire :
-l'analyseur est fixé dans une orientation non perpendiculaire au polariseur, par example .PHI. = 0, - le diaphragme d'ouverture du faisceau d'éclairage est une fente orientable autour de l'axe optique du microscope superposée à
un anneau délimitant un seul angle d'incidence, -l'on mesure l'intensité réfléchie pour les deux orientations .phi. = 0 et .phi. = .pi./2 de la fente, -l'on traite ces mesures d'intensité pour obtenir tan.PSI. en prenant la ravine carrée de leur rapport salon les trois formules :
-l'analyseur est fixé dans une orientation non perpendiculaire au polariseur, par example .PHI. = 0, - le diaphragme d'ouverture du faisceau d'éclairage est une fente orientable autour de l'axe optique du microscope superposée à
un anneau délimitant un seul angle d'incidence, -l'on mesure l'intensité réfléchie pour les deux orientations .phi. = 0 et .phi. = .pi./2 de la fente, -l'on traite ces mesures d'intensité pour obtenir tan.PSI. en prenant la ravine carrée de leur rapport salon les trois formules :
32. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec résolution spatiale sous microscope polarisant formant une image de l'échantillon, dans lequel :
- l'échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragms d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analysée par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .PHI. de sa direction de polarisation par rapport à celle du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que, dans une étape de mesure :
- l'orientation de l'analyseur par rapport au polariseur est fixée à une valeur différente de .pi./2 modulo .pi., - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation du diaphragms D autour de l'axe optique, - l'on mesure simultanément en chaque point de l'échantillon le flux moyen .PHI.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .PHI.m(x,y), - l'on traits les mesures .PHI.M(x,y) et .PHI.m(x,y) pour en déduire les deux angles ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) et les modules ¦r p et ¦r s¦
des coefficients de réflexion à partir de la relation :
- l'échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragms d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analysée par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .PHI. de sa direction de polarisation par rapport à celle du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que, dans une étape de mesure :
- l'orientation de l'analyseur par rapport au polariseur est fixée à une valeur différente de .pi./2 modulo .pi., - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation du diaphragms D autour de l'axe optique, - l'on mesure simultanément en chaque point de l'échantillon le flux moyen .PHI.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .PHI.m(x,y), - l'on traits les mesures .PHI.M(x,y) et .PHI.m(x,y) pour en déduire les deux angles ellipsométriques .PSI.(x,y) et .DELTA.(x,y) et les modules ¦r p et ¦r s¦
des coefficients de réflexion à partir de la relation :
33. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec résolution spatiale sous microscope polarisant selon la revendication 31, caractérisé en ce que, dans une étape complémentaire :
- l'orientation de l'analyseur par rapport au polariseur est fixée à .PHI. = 0, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation du diaphragms D autour de l'axe optique, - l'on mesure simultanément en chaque point de l'échantillon le flux moyen .PHI.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .PHI.m(x,y), - l'on traits les mesures .phi.M(x,y) et .phi.m(x,y) pour en déduire les deux angles ellipsométriques .psi.(x,y) et .DELTA.(x,y) et les modules ¦r p¦
et ¦r s¦
des coefficients de réflexion à partir de la relation :
- l'orientation de l'analyseur par rapport au polariseur est fixée à .PHI. = 0, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation du diaphragms D autour de l'axe optique, - l'on mesure simultanément en chaque point de l'échantillon le flux moyen .PHI.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .PHI.m(x,y), - l'on traits les mesures .phi.M(x,y) et .phi.m(x,y) pour en déduire les deux angles ellipsométriques .psi.(x,y) et .DELTA.(x,y) et les modules ¦r p¦
et ¦r s¦
des coefficients de réflexion à partir de la relation :
34. Procédé de mesure selon l'une quelconque des revendications 30 à 32, caractérisé en ce que la mesure de la revendication 29 y est associée.
35. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec resolution spatiale sous microscope polarisant formant une image de l'échantillon, dans lequel :
- l'échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragme d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analysée par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .phi. de sa direction de polarisation par rapport à cells du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que :
- le diaphragms d'ouverture du faisceau d'éclairage est un disque centré sur l'axe de ce faisceau, - l'on mesure, simultanément en chaque point de l'image obtenue de l'echantillon, le flux moyen .phi.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .phi.m(x,y), - l'on traits les mesures .phi.M(x,y) et .phi.m(x,y) pour en déduire simultanément en chaque point de l'echantillon deux combinaisons des paramètres ellipsométriques effectifs .psi.eff(x,y) et .DELTA.eff(x,y) et du coefficient de réflexion effectif ¦r s eff¦2(x,y) à partir des formules :
~¦r s¦2(1 + tan2.psi.eff)=.phi.M et ~¦r s¦2(tan2.psi.eff -2tan.psi.cos.DELTA.eff)=.phi.m - l'on traite les mesures .phi.M(x,y) et .phi.m(x,y) pour en déduire la combinaison sin(2.psi.)cos des seuls paramètres ellipsométriques effectifs .psi.eff(x,y) et .DELTA.eff(x,y) à partir de la formule :
- l'échantillon est éclairé par un faisceau d'éclairage polarisé
linéairement au travers d'un diaphragme d'ouverture, - la lumière réfléchie par l'échantillon est analysée par un polariseur-analyseur, caractérisé par l'orientation relative .phi. de sa direction de polarisation par rapport à cells du polariseur, - une modulation de l'intensité réfléchie est assurée par la rotation relative de la polarisation de faisceau d'éclairage et du polariseur-analyseur, caractérisé en ce que :
- le diaphragms d'ouverture du faisceau d'éclairage est un disque centré sur l'axe de ce faisceau, - l'on mesure, simultanément en chaque point de l'image obtenue de l'echantillon, le flux moyen .phi.M(x,y) réfléchi et son amplitude de modulation .phi.m(x,y), - l'on traits les mesures .phi.M(x,y) et .phi.m(x,y) pour en déduire simultanément en chaque point de l'echantillon deux combinaisons des paramètres ellipsométriques effectifs .psi.eff(x,y) et .DELTA.eff(x,y) et du coefficient de réflexion effectif ¦r s eff¦2(x,y) à partir des formules :
~¦r s¦2(1 + tan2.psi.eff)=.phi.M et ~¦r s¦2(tan2.psi.eff -2tan.psi.cos.DELTA.eff)=.phi.m - l'on traite les mesures .phi.M(x,y) et .phi.m(x,y) pour en déduire la combinaison sin(2.psi.)cos des seuls paramètres ellipsométriques effectifs .psi.eff(x,y) et .DELTA.eff(x,y) à partir de la formule :
36. Dispositif de mesure ellipsométrique sous microscope avec résolution spatiale latérale, caractérisé en ce que :
- il ne comporte qu'un seul polariseur situé entre le miroir d'éclairage et l'échantillon de part ou d'autre de l'objectif, - il comporte une fente tournante dans le plan de son diaphragme d'ouverture, éventuellement superposée à un diaphragme en anneau permettant d'extraire les paramètres ellipsométriques de l'échantillon à l'aide d'au moins trois mesures pour trois orientations différentes de la fente et de la formule :
appliquée à ces trois mesures, dans laquelle les paramètres r s, .psi. et .DELTA. sont éventuellement des paramètres effectifs issus de moyennes sur tous les angles d'incidence présents :
4l
- il ne comporte qu'un seul polariseur situé entre le miroir d'éclairage et l'échantillon de part ou d'autre de l'objectif, - il comporte une fente tournante dans le plan de son diaphragme d'ouverture, éventuellement superposée à un diaphragme en anneau permettant d'extraire les paramètres ellipsométriques de l'échantillon à l'aide d'au moins trois mesures pour trois orientations différentes de la fente et de la formule :
appliquée à ces trois mesures, dans laquelle les paramètres r s, .psi. et .DELTA. sont éventuellement des paramètres effectifs issus de moyennes sur tous les angles d'incidence présents :
4l
37. Dispositif de mesure ellipsométrique sous microscope, caractérisé en ce que :
- le polariseur et l'analyseur ont une orientation relative fixée, - le diaphragme d'ouverture est un trou ou un anneau, - l'image du plan focal arrière de l'objectif est formée dans le plan focal objet de l'oculaire par une lentille de Bertrand, - une caméra CCD est placée dans ce plan, - la mesure de l'intensité obtenue en cheque point de la caméra CCD est exploitée grâce à la formula generale :
afin d'obtenir directement la totalité des paramètres ellipsométriques de l'échantillon.
- le polariseur et l'analyseur ont une orientation relative fixée, - le diaphragme d'ouverture est un trou ou un anneau, - l'image du plan focal arrière de l'objectif est formée dans le plan focal objet de l'oculaire par une lentille de Bertrand, - une caméra CCD est placée dans ce plan, - la mesure de l'intensité obtenue en cheque point de la caméra CCD est exploitée grâce à la formula generale :
afin d'obtenir directement la totalité des paramètres ellipsométriques de l'échantillon.
38. Dispositif de mesure ellipsométrique sous microscope selon la revendication 37, caractérisé en ce que :
- une modulation de l'intensité réfléchie est obtenue par une rotation relative de l'analyseur et du polariseur, - le diaphragme d'ouverture est un trou ou un anneau, - l'image du plan focal arrière de l'objectif est formée dans le plan focal objet de l'oculaire par une lentille de Bertrand, - une caméra CCD ou éventuellement tri-CCD est placée dans ce plan, - la mesure de l'intensité obtenue en chaque point de la caméra CCD ou en éventuellement en chaque point et pour chaque composante de couleur de la caméra tri-CCD est exploitée grâce à la formula générale :
afin d'obtenir directement la totalité des paramètres ellipsométriques de l'échantillon.
- une modulation de l'intensité réfléchie est obtenue par une rotation relative de l'analyseur et du polariseur, - le diaphragme d'ouverture est un trou ou un anneau, - l'image du plan focal arrière de l'objectif est formée dans le plan focal objet de l'oculaire par une lentille de Bertrand, - une caméra CCD ou éventuellement tri-CCD est placée dans ce plan, - la mesure de l'intensité obtenue en chaque point de la caméra CCD ou en éventuellement en chaque point et pour chaque composante de couleur de la caméra tri-CCD est exploitée grâce à la formula générale :
afin d'obtenir directement la totalité des paramètres ellipsométriques de l'échantillon.
39. Dispositif de mesure ellipsométrique sous microscope selon la revendication 36, caractérisé en ce que :
- l'image du plan focal arriere de l'objectif est formée dans le plan focal objet de l'oculaire par une lentille de Bertrand, - une caméra CCD est placée dans ce plan, - la mesure de l'intensité obtenue en chaque point de la caméra CCD est exploitée grâce à la formule générale :
afin d'obtenir directement la totalité des paramètres ellipsométriques de l'échantillon.
- l'image du plan focal arriere de l'objectif est formée dans le plan focal objet de l'oculaire par une lentille de Bertrand, - une caméra CCD est placée dans ce plan, - la mesure de l'intensité obtenue en chaque point de la caméra CCD est exploitée grâce à la formule générale :
afin d'obtenir directement la totalité des paramètres ellipsométriques de l'échantillon.
40. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 37 à
39, caractérisé en ce que la caméra est une caméra couleur tri-CCD et que la mesure de l'intensité en chaque point est faite et exploitée pour chacune des couleurs.
39, caractérisé en ce que la caméra est une caméra couleur tri-CCD et que la mesure de l'intensité en chaque point est faite et exploitée pour chacune des couleurs.
41. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec résolution spatiale sous microscope polarisant selon les revendications 29 à 35, l'objet étudié étant placé sur un substrat comportant un objet, caractérisé en ce que l'épaisseur e de la couche de l'empilement en contact avec l'objet est telle que les coefficients de réflexion complexes r p et r s du substrat vérifient la condition d2/de2[Ln¦r p +r s¦] = 0.
42. Procédé de mesure ellipsométrique d'un échantillon avec résolution spatiale sous microscope polarisant selon l'une quelconque des revendications 29 à 35, caractérisé en ce que l'objet est placé sur un substrat dont les propriétés optiques sont telles que la valeur
43 minimum prise par la quantité ¦r p + r s¦ sur l'ensemble des valeurs de e est aussi faible que possible.
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