BR112013008665B1

BR112013008665B1 - Processo para remoção de camadas de peças de trabalho

Info

Publication number: BR112013008665B1
Application number: BR112013008665-3A
Authority: BR
Inventors: Mirco Elias Kostner; Udo Rauch
Original assignee: Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfãffikon
Priority date: 2010-09-24
Filing date: 2011-09-22
Publication date: 2022-04-05
Also published as: RU2579717C2; CN103109000A; CN103109000B; CA2811530A1; EP2619354B1; US20130240373A1; MX336499B; MY162839A; WO2012038083A1; BR112013008665A2; JP2013544955A; SG189041A1; MX2013003347A; RU2013118686A; EP2619354A1; KR101781244B1; KR20130108313A; US9512539B2; JP6086866B2; DE102010046372A1

Abstract

PROCESSO PARA REMOÇÃO DE CAMADAS DE PEÇAS DE TRABALHO. A presente invenção refere-se a um processo para remoção eletroquímica de camadas de peças de trabalho revestidas por meio de uma tensão aplicada em um banho de eletrólito entre a peça de trabalho e um contra eletrodo de acordo com a invenção, durante a remoção da camada é selecionado um percurso de tensão crescente.Desta maneira consegue-se que a tensão inicialmente aplicada é reduzida de maneira que as peças de trabalho não são danificadas, porem pelo aumento da tensão mesmo assim é evitado que o processo de remoção de camadas exige um tempo longo de modo antieconômico.

Description

[001] A presente invenção refere-se a um processo para a re moção de camadas de peças de trabalho com um revestimento não condutor, especialmente de sistemas de duas ou de várias camadas e/ou suportes correspondentes de peças de trabalho. Processos para remoção de revestimentos são empregados para remover, por exemplo, suportes de peça de trabalho, empregados em conjuntos de revestimento e ali forçosamente também revestidos, do seu revestimento e tornando-os novamente aptos para emprego. Além disso, são usados processos de remoção de camadas para remoção de camadas de peças de trabalho gastas ou revestidas de forma fa-lha e preparando desta maneira um novo revestimento.

[002] Para a remoção de camadas de peças de trabalho gastas e revestidas de uma maneira falha são empregados, entre outros, processos eletroquímicos como descrito, por exemplo, no documento WO 08/028 311. Para tanto são usados, por exemplo, instalação de remoção de camadas que abrangem um tanque para receber um eletrólito líquido sendo que no interior do tanque está previsto um contra eletrodo acoplável em um polo de um conjunto de abastecimento de corrente. A maioria das instalações para remoção de camadas apresentam meios para receber peças de trabalho das quais deve ser removido o revestimento. Geralmente as peças de trabalho são contatadas individualmente de tal maneira que estão acopladas em um conjunto de abastecimento de corrente como anodo e o contra eletrodo como ca- todo.

[003] No emprego será cheio de eletrólito o referido tanque e a peça de trabalho será mergulhada no eletrólito. Entre a peça de trabalho e o contra eletrodo será aplicada uma tensão constante prede- terminada que terá por consequência a remoção de camada da peça de trabalho. A superfície do contra eletrodo terá de ser conformada e posicionada de tal maneira que o fluxo da corrente seja distribuído da maneira mais uniforme possível pelas áreas de superfície onde devem ser removidas as camadas nas peças de trabalho a fim de que seja lograda uma remoção uniforme dos revestimentos, sendo evitada a corrosão dos corpos básicos que portam o revestimento.

[004] Diferentes fatores influenciam o processo da remoção de revestimentos. Daí faz parte, entre outros aspectos, a temperatura, o eletrólito usado, a tensão, a corrente bem como a geometria, posição de distância da peça de trabalho em relação ao contra eletrodo. No caso deve ser observar que esses fatores também se influenciam reciprocamente. Por exemplo, um aumento da temperatura no banho resulta normalmente em uma capacidade condutora aumentada. Se o banho estiver sendo controlado pela tensão então aumentará nesta hipótese o fluxo da corrente. Se o banho estiver sendo controlado pela corrente então isto resulta em uma tensão menor. Também fica claro neste caso que eletrólitos diferentes resultam em um comportamento diferenciado de temperatura - condutibilidade.

[005] Outro fator que influencia o processo da remoção de ca madas é a condutibilidade da camada ou camadas a serem removidas. Um problema que pode se apresentar na remoção de camadas especialmente de camadas não condutoras são danos na superfície do corpo básico de tal maneira que este, após a remoção da camada, de acordo com o estado da técnica, apresentará concavidades estatisticamente distribuídas. Estas concavidades serão em seguida designadas como orifícios.

[006] Pode se observar que o caso de uma maior tensão apli cada, o tamanho dos orifícios, isto é, os danos na superfície, au- mentam de modo inverso, uma tensão menor resulta em orifícios menores e, portanto, em menores danos na superfície do substrato. Isto representaria que a tensão teria de ser selecionada a menor possível a fim de que seja logrado o menor índice de danos possível na superfície do substrato. Não obstante, isto resulta em tempos muito longos para remoção de camadas que tornam caro o processo da remoção de camadas e eventualmente até antieconômico. Quando por exemplo uma tensão 16V resultar em um tempo de remoção de camada de cerca de 10 min porém em orifícios demasiados grande, então pode acontecer que com uma tensão de apenas 5V a superfície é muito menos danificada, porém o processo da remoção da camada dura mais de três horas. Isto é de acordo com o estado da técnica terá de ser encontrado um equilíbrio entre danos de superfície aceitáveis e tempo de remoção de camada aceitável.

[007] A composição química que durante a remoção da camada se processa em um limite de fase de metal/eletrólito pode ser representado com o auxílio de correntes parciais l1 e l2. l1 representa no caso a corrente parcial anódica unida com a solução de metal, I2 representa a corrente parcial unida com a redução de oxigênio. Caso não for aplicada a tensão, então a corrente somatória resultante será IG = 0, d.h.ll = 12. Na influência de correntes externa altera-se a corrente somatória IG e de modo correspondente o potencial U (IG). Este processo se chama polarização às cotas diferenciais ΔU/Δl = Resistência de polarização e o seu valor recíproco se chama condu- tância de polarização. De acordo com o documento DE 102004002763 a corrente de polarização medida, ou seja, a condu- tância da polarização medida se modifica como função da tensão contínua aplicada. Desta maneira poderá assim ser determinada uma linha característica de corrente de polarização - potencial de comando, ou seja, uma linha característica de condutância de pola- rização - potencial de comando. No documento DE 102004002763 será fixado o ponto de trabalho ali onde a corrente de polarização como função do potencial de tensão contínua registro um máximo, isto é a condutância da polarização expressa o valor zero. Infelizmente essa base conduz apenas ao resultado para materiais de revestimento condutores elétricos. Caso a camada mais externa for um revestimento de uma camada não condutora, passivada apenas por oxidação ambiente, porém controladamente aplicada e não con-dutora de eletricidade, então também este processo resulta nos orifícios inaceitáveis acima descritos.

[008] No documento DE 19840471 e também na WO_9954528 também são descritos processos eletrolíticos de remoção de camadas, os quais, todavia se referem também apenas a peças de trabalho revestidas e condutoras de eletricidade.

[009] Existe, portanto uma necessidade de um processo de re moção de camadas para camadas com superfícies não condutoras de eletricidade, os quais, com tempo de remoção de camada mais curto, resulte em uma superfície menos danificada.

[0010] Constitui, portanto objeto da presente invenção propor um processo na base de um processo de remoção de camadas eletro- químicas que resulta em períodos de duração de processo curtos, mas no qual é protegida a superfície da peça de trabalho da qual deve ser removida a camada.

[0011] De acordo com a invenção esta tarefa será solucionada pelo fato de que a tensão aplicada na peça de trabalho será aumentada durante o processo da remoção de camada. De acordo com a invenção, durante o processo da remoção de camada pode ser selecionado tanto um aumento gradual como também um aumento contínuo. O percurso de tensão selecionado de acordo com a invenção não é necessariamente monótono. É importante, todavia que no início do processo de remoção de camadas existe uma fase de tensão comparadamente baixa que depois será aumentada ao menos na metade durante a sequência da remoção de camada.com um sequencialmente de tensão desta natureza ficou demonstrado surpreendentemente que os danos na superfície são muito menores do que com um processo, o qual, com tensão constante, resultam em tempos de remoção de camadas comparáveis.

[0012] Os inventores não podem dizer com segurança por que a superfície do substrato é protegida contra um percurso crescente da tensão. Não obstante, pode ser especular amplamente que especialmente na remoção de camadas não condutoras são liberadas inicialmente regiões pequenas do substrato condutor. Nessas áreas localizadas verifica-se então de modo saltiforme um aumento da densidade da corrente. Todo o fluxo da corrente concentra-se nessas pequenas áreas. Desta maneira resulta presumivelmente um aquecimento local concentrado o que por um lado ali resulta em um aumento da força de oxidação. No caso não se poderá excluir que partículas sejam fragmentadas regularmente da camada arrastando partes do substrato. Isto poderá ser evitado por ser inicialmente aplicada uma tensão tão baixa que tais danos não se verificam.

[0013] Quando no decurso da remição do revestimento estive rem liberadas cada vez maiores áreas do substrato condutor, com fluxo global de corrente constante diminui consideravelmente a densidade da corrente. Agora a tensão poderá ser aumentada, com o que se obtém uma taxa de remoção maior.

[0014] Além disso, os inventores verificaram que no emprego de um percurso de tensão de acordo com a invenção a estabilidade do processo é nitidamente aprimorada e os fatores acima descritos causados por oscilações influenciam o processo da remoção de camadas nitidamente em forma negativa reduzida. Isto se aplica espe- cialmente também para peças de trabalho bem contatadas de uma forma diversificada.

[0015] As figuras mostram: Figura 1 - dispositivo típico para remoção de camadas em processo eletrolítico de peças de trabalho. Figura 2 - superfície de uma peça de trabalho nova isto é ainda não revestida anteriormente. Figura 3 - superfície de uma peça de trabalho com camada removida com uma tensão constante de 8V Figura 4 - superfície de uma peça de taralho com camada removida com uma tensão constante de 16V. Figura 5 - sequenciamento da tensão de processo escalonado de acordo com a invenção. Figura 6 - apresenta superfície de uma peça de trabalho cuja remoção foi removida com a sequência do processo escalonado de acordo com a figura 5.

[0016] A invenção será agora descrita detalhadamente com relação as figuras e os exemplos

[0017] No exemplo devem ser liberados de camadas os chama dos tapetes de aço que estão revestidos com uma camada de CrN com espessura de 2 um e uma camada DLC com espessura de 2 um. Ou seja, trata-se no exemplo de um chamado sistema de duas camadas.

[0018] A figura 1 apresenta uma instalação de remoção de camadas que contem um alojamento 1 em forma de paralelepípedo que contem um tanque 2 que consiste de material não condutor ou que no lado interno está revestido com um material não condutor de maneira que a parede interna não é condutora. Ela serve para receber um eletrólito. Além do tanque 1 está previsto uma saída de transbordamento 3 com uma peneira ou filtro.

[0019] O eletrólito no exemplo é DECONEX HT1175 de cerca de 5% (% em vol.) em água de osmose.

[0020] Em uma retenção 5, está acoplado um polo 72 de uma fonte de tensão 70 bipolar regulável. Na operação, a retenção 5 está ocupada com peças de trabalho 9 com camadas a serem removidas. Por motivo de melhor visibilidade a referencia mostra apenas três das peças trabalhadas. A fonte de tensão 70 é conformada como uma fonte de tensão regulável que permite uma regulagem contínua e/ou escalonado. Retenção 5 está de tal maneira unida com o alojamento 1 que pode ser removida sem grande esforço.

[0021] O outro polo da fonte de tensão 70 está unido com um contra eletrodo 12 conformado, por exemplo, como eletrodo de grade que está integrado no interior do tanque 2. O contra eletrodo 12 apresenta uma superfície voltada na direção do encaixe e que se estende essencialmente sobre toda a altura do tanque 2.

[0022] No tanque 2 estão dispostos além disso um dispositivo de aquecimento e de arrefecimento e um indicador de ultrassom bem como uma entrada para o eletrólito e conjuntos para a sua movimentação como bombas ou misturadores (todos não mostrados).

[0023] Durante a operação o tanque 2 está cheio de um eletrólito liquido ate próxima da borda superior. A retenção 5 como também todos os demais componentes da instalação de remoção de camadas integrados no tanque 2 precisam consistir em um material que não seja atacado pelo eletrólito, geralmente de aço inoxidável ou, onde isto não for possível, como no caso de muitos materiais magnéticos, pode estar blindado em um laminado inoxidável.

[0024] A fonte de tensão 70 gera um diferencial de potencial entre a peça trabalhada e o contra eletrodo, cujo percurso corresponde aquele da figura 5.

[0025] Para poder compreender a vantagem do presente pro- cesso será útil comparar a superfície de peças de trabalho com camadas removidas em um processo de remoção convencional e aquela de uma nova peça de trabalho não revestida com aquela superfície de uma peça de trabalho com a camada removida de acordo com a invenção.

[0026] Neste sentido, a figura 2 apresenta uma nova peça de trabalho sem camadas. Apresenta apenas de forma muito reduzida e separada pequenos defeitos superficiais como, por exemplo, indicado com o número "1". Este defeito tem um diâmetro de apenas 3 um. Ao contrário a figura 3 apresenta superfície de uma peça de trabalho com camada removida com uma tensão constante de 8. Uma tensão desta intensidade resulta em um tempo de remoção de camada de cerca de duas horas. A peça de trabalho corresponde a peça de trabalho da figura 2. Podem se ver nitidamente defeitos na superfície. O número dos defeitos de superfície aumentou e também o seu diâmetro como mostra claramente a figura. Foram medidos três pontos de defeito "1, 2, 3" que produziram o diâmetro entre 13 μm e 18 μm. Também a figura 4 mostra uma peça de trabalho correspondente aquela da figura 1 cuja camada foi removida com tensão constante. A tensão aplicada durante a remoção da camada foi agora, todavia 16V. Desta maneira o tempo da remoção de camada pode ser reduzido a 10 min. Não obstante, comparado com a figura 3, verifica-se que o número dos defeitos e o seu tamanho novamente aumentou de forma dramática. Por exemplo, foram medidos três defeitos cujos diâmetros estavam situados entre 10 μm e 36 μm.

[0027] Contrário a este estado, a figura 6 mostra uma peça de trabalho com camada removida de acordo com o processo da invenção. A peça de trabalho correspondeu novamente àquela peça precedente. De modo correspondente a figura 5, durante os primeiros três minutos a tensão foi mantida em 3V. Este chamado estágio de segurança forma a primeira fase da remoção de camada. Neste supostamente será removido material de camada nos poros finos do substrato. Pelo fato de a tensão ser mantida reduzida, flui inicialmente, ao todo, corrente relativamente reduzido. A partir do terceiro minuto a tensão será ligeiramente aumentada para 3.5V. Já se formaram orifícios de camada na superfície do substrato cuja expansão aumenta continuamente. Supostamente o desbaste é feito princi-palmente na borda dos orifícios da camada. Com crescente expansão dos orifícios da camada também aumenta a borda ao todo existente de maneira que a quantidade global da corrente pode ser majorada sem danificar o substrato. Neste sentido, a partir do sexto minuto será feito um aumento para 4.5V. A partir do nono minuto será regulado uma tensão de 6V. A tensão será elevada a partir do décimo segundo minuto para 9V. A partir do décimo quinto minuto do processo a tensão será aumentada para 12V. Outro aumento da tensão agora para 16V será realizada a partir do décimo nono minuto. Se esta for a primeira remoção de camada após uma renovação do eletrólito, então a partir do vigésimo quarto minuto será regulada uma tensão de 17.5V. Ao todo, a remoção da camada durou, portanto apenas uma meia hora. Isto é nitidamente menos tempo do que em uma remoção de camada com o auxilio onde é necessário a tensão de 8V constante. Não obstante o menor tempo de remoção de camada, a superfície, como a figura 8 mostra nitidamente, será consideravelmente menos danificada do que no caso de aplicação de 8V constantes. Em comparação com a superfície de peça trabalhada não tratada de acordo com a figura 2, o número dos defeitos aumentou apenas de modo insignificante. O tamanho dos defeitos estava situado em 2 μm e 4 μm também na área da superfície não tradada. Desta maneira conseguiu-se, portanto que não obstante menor tempo de remoção de camadas é obtido uma superfície menos danifica- da.

[0028] A sequência da tensão a ser selecionada será preferencialmente adequada a diferentes tipos de peças de trabalho e a diferentes tipos de camada a fim de aperfeiçoar o processo. É, todavia, importante que se inicie com uma tensão reduzida e visando evitar defeitos. De acordo com a invenção está tensão será depois aumentada para minimizar o tempo de remoção de camada necessário.

[0029] Existem diferentes possibilidade como o especialista po de alcançar um sequenciamento de tensão otimizado, por exemplo, em uma primeira série de testes poderá realizar processos sequenciais de remoção de camadas com uma tensão constante porem variável e intensa, examinado desta maneira até qual tensão permanece intacta uma superfície ainda aceitável, isto é suficientemente intacta. Esta tensão será depois determinada como tensão de partida V1

[0030] Em uma segunda série de testes, o especialista fará en tão através de um intervalo de partida de remoção de camada El1 a regulagem desta tensão de partida determinada V1, e após este intervalo do tempo de remoção de camadas El1 aumentará a tensão e a partir dali novamente com tensão agora constante mais diferenciado por cada teste continuará a remoção de camada. Desta maneira poderá testar em que intensidade ele poderá selecionar a tensão após o intervalo da partida sem danificar a superfície adicionalmente. A tensão V2 assim determinada e que na sua extensão é maior do que V1 será novamente em nível constante durante o segundo intervalo de remoção de camada El2.

[0031] Segue-se uma série de testes até o terceiro intervalo de remoção de camada El3 sendo inicialmente através de El1 com V1 e depois através de El2 é feita a remoção de camadas com V2 e depois com uma tensão variada porém constante será feita a remoção completa de camadas. Desta maneira alcança-se uma tensão V3 máxima na qual a superfície essencialmente não é atacada adicionalmente.

[0032] Fica a cargo do especialista a escolha dos intervalos. Es tes podem ser todos de duração igual ou também podem ser selecionados de duração variada. Quanto menores forem os diferentes intervalos de remoção de camada tanto mais complexa será a realização das séries de testes e tanto melhor poderá ser feita, todavia uma próxima ao processo escalonado ótimo. Em caso extremo pode até mesmo ser logrado um percurso de tensão de aumento contínuo. A partir de um determinado período curto de intervalo este poderá também ser interpolado sem outras séries de testes.

[0033] Preferencialmente, o sequenciamento da tensão aplicado de acordo com a invenção ficara monótono, e preferencialmente até mesmo aumentará de forma intensamente monótona. Não obstante a partir do acima exposto deve ficar claro que uma redução por curto espaço de tempo da tensão não danificará a superfície do substrato de maneira que também percursos de tensão devem ser considerados como inventivos que não aumentam de forma monótona, porém permitem uma tensão menor por uma determinada faixa. Isto vale especialmente também para tensões alternadas aplicadas que, por exemplo, na fase de partida são limitadas a amplitudes pequenas e durante o processo da remoção de camadas aumentam ate amplitude mais elevadas. Séries de testes análogos as acima descritas permitem ao especialista novamente aproximar-se do percurso de tensão ótimo.

[0034] De preferência, naquelas camadas que devem ser remo vidas de peças de trabalho trata-se de camadas porosas. Desta maneira é assegurado que na aplicação de uma tensão fraca já se verifica um fluxo de corrente e, portanto, uma reação eletrolítica.

[0035] Uma característica do processo discutido é que no caso de uma peça totalmente livre de camada e com a tensão elevada continuando aplicada (por exemplo, 16V) não se apresentou dano no substrato. Desta maneira um critério de desligamento para o processo de remoção de camadas não é crítico

[0036] Nos exemplos seguintes o processo foi testado com base de camadas substratos e eletrólitos diferenciados e não metálicos e comparados com o processo de tensão constante de acordo com o estado da técnica:

Exemplo 1:

[0037] Substrato TIAL liga como, por exemplo, é emprego no es porte de corridas para componentes. Camada igual CRC entre 3 - 5um

[0038] Eletrólito: 5% Deconex HT1175

[0039] Percursos de tensão: a) Constante 10V durante 7 - 10 min b) Constante 8V durante 10 a 15 min c) 3V 3m, 5V 5 min, 6V 5 min

[0040] As peças tiveram as camadas removidas com o processo a) - c) a qualidade da remoção da camada de a) - c) foi realizada o que é mostrado em uma diminuição da coloração do substrato sem camadas de a) até c), de modo correspondente, o substrato com camada removida de acordo com a) apresenta um tingimento muito forte, o substrato com a camada removida de acordo com b) apresenta um tingimento parcial e o substrato com camada removida de acordo com a invenção c) não apresenta tingimento.

Exemplo 2:

[0041] Substrato: aço 1.2379 como, por exemplo, empregado pa ra construção de formas.

[0042] Camada: CrN entre 3 - 5 um

[0043] Eletrólito: 2% Na0H

[0044] Percursos de tensão a) Constante 12V durante 10 a 15 min. b) Constante 7,5v durante 10 a 25 min. c) 2.5V 3 min, 5V 5min, 8V 7min, 10V 7min.

[0045] As peças tiveram as camadas removidas como processo a) - c) e a qualidade da remoção de camada aumenta de a) - ate c)

Exemplo 3:

[0046] Substrato: aço HSS (fresa de cilindro) como, por exemplo, usado para ferramentas.

[0047] Camada: AlCrN entre 3 - 5um

[0048] Eletrólito: 5% Deconex HT1175

Exemplo 4:

[0049] Substrato: metal duro K - tipo (perfuratriz) como, por exemplo usado para ferramentas.

[0050] Camada: AlCrN entre 3 - 5um

[0051] Eletrólito: NH4/NO3/CH3COOH (ver EP 1080254)

[0052] Percursos de tensão: a) Constante 15V durante 3 - 60s b) 2.8V 10 s, 5V 10s, 8V 10s, 10V 10s,

[0053] As peças tiveram a camada removida uma vez com o pro cesso a) e uma vez com o processo b), a qualidade da remoção de camadas em b) é melhor do que em a), para remoção das camadas foi usado um catodo cilíndrico.

[0054] Foi realizado um processo para remoção de camadas em peças de trabalho com revestimento de superfícies não condutoras elétricas, sendo que o processo foi realizado com eletrólito e abrange os seguintes passos: - preparação de um tanque sendo que no interior do tanque está previsto um eletrodo que pode ser acoplado em um conjunto de abastecimento de corrente, - enchimento de um eletrólito no tanque de maneira que o eletrodo entra em contado com o eletrólito, - submersão de uma ou varias peças trabalhadas no eletró- lito, - aplicação de uma tensão entre a peça de trabalho e o eletrodo para a remoção de camadas ao menos parcial na peça de trabalho, sendo que durante a remoção de camadas ao menos parcial a tensão será regulado de tal maneira que em um primeiro momento é aplicado uma primeira tensão e um momento posterior é aplicado uma segunda tensão mais elevada em comparação com a primeira tensão, a qual não conduz na formação de orifícios, sendo que a aplicação da segunda tensão mais elevada no primeiro momento teria resultado na formação de orifícios.

[0055] De preferência, durante ao menos a remoção de camada parcial a tensão será regulada de tal maneira que a extensão da diferença potencial entre o eletrodo e a peça de trabalho aumenta de forma contínua e/ou gradual.

[0056] Preferencialmente a tensão será especialmente regulada de tal maneira que a diferença potencial durante a remoção de camadas parcial aumenta de forma monótona, preferencialmente intensamente monótona.

[0057] A tensão também poderá ser regulada de tal maneira que no início da remoção de camadas, através de um primeiro intervalo de tempo El1 a diferença de potencial é essencialmente mantida constante em um primeiro valor U1 e a diferença potencial em um intervalo de tempo El2, sequencial ao primeiro intervalo de tempo, é mantida em nível constante em um segundo valor U2 sendo que é válido U1 < U2

Claims

1. Processo para remoção de camadas em peças de trabalho com revestimentos com superfície elétrica não condutora, sendo o processo realizado por meio de eletrólito e abrange as seguintes etapas: - colocação de um tanque, sendo que no interior do tanque está previsto um eletrodo que pode ser acoplado em um polo de um conjunto de abastecimento de corrente, - enchimento de um eletrólito no tanque de maneira que o eletrodo entra em contato com o eletrólito, - mergulho de uma ou de várias peças de trabalho no ele- trólito, - aplicação de uma tensão entre a peça de trabalho e o eletrodo para a remoção ao menos parcial de camadas da peça de trabalho, caracterizado pelo fato de que a tensão durante a remoção de camadas ao menos parcial será de tal modo regulada que em um primeiro momento é aplicada uma primeira tensão e um momento posterior é aplicada uma segunda tensão, maior em comparação com a primeira tensão, e que isenta a formação de orifícios, sendo que a aplicação da segunda tensão mais elevada no primeiro momento teria conduzido a formação de orifícios.

2. Processo de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a tensão durante ao menos a remoção de camada parcial é regulada de tal maneira que a extensão da diferença potencial entre eletrodo e peça de trabalho aumenta de forma contínua e/ou gradual.

3. Processo de acordo com a reivindicação 1 ou 2, caracterizado pelo fato de que a diferença de potencial durante ao menos a remoção parcial da camada aumenta de forma monótona, preferenci- almente monótona intensamente.

4. Processo de acordo com qualquer uma das reivindicações precedentes, caracterizado pelo fato de que a tensão é regulada de tal maneira que no início da decisão sobre um primeiro intervalo de tempo El1 a diferença de potencial essencialmente é mantida constantemente e um primeiro valor U1 e a diferença de potencial em um intervalo de tempo El2 sequencial ao primeiro intervalo de tempo, é mantida constantemente em um segundo valor U2, sendo que vale U1 < U2.