BE809464A - Werkwijze en inrichting voor het neerslaan van een dunne film op een substraat - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het neerslaan van een dunne film op een substraat

Info

Publication number
BE809464A
BE809464A BE139580A BE139580A BE809464A BE 809464 A BE809464 A BE 809464A BE 139580 A BE139580 A BE 139580A BE 139580 A BE139580 A BE 139580A BE 809464 A BE809464 A BE 809464A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
een
substraat
neerslaan
werkwijze
dunne
Prior art date
Application number
BE139580A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of BE809464A publication Critical patent/BE809464A/fr

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
    • H01J37/32752—Means for moving the material to be treated for moving the material across the discharge
    • H01J37/32761—Continuous moving
    • H01J37/3277—Continuous moving of continuous material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3464—Sputtering using more than one target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
BE139580A 1973-01-12 1974-01-07 Werkwijze en inrichting voor het neerslaan van een dunne film op een substraat BE809464A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US323133A US3884787A (en) 1973-01-12 1973-01-12 Sputtering method for thin film deposition on a substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE809464A true BE809464A (fr) 1974-07-08

Family

ID=23257860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE139580A BE809464A (fr) 1973-01-12 1974-01-07 Werkwijze en inrichting voor het neerslaan van een dunne film op een substraat

Country Status (15)

Country Link
US (1) US3884787A (fr)
JP (1) JPS5747267B2 (fr)
AT (1) AT341335B (fr)
BE (1) BE809464A (fr)
CA (1) CA1018475A (fr)
CH (1) CH597622A5 (fr)
DD (1) DD109035A5 (fr)
DE (1) DE2400587A1 (fr)
FR (1) FR2322667A1 (fr)
GB (1) GB1461921A (fr)
IL (1) IL43966A (fr)
IT (1) IT1002650B (fr)
LU (1) LU69122A1 (fr)
NL (1) NL7317670A (fr)
SE (1) SE392919B (fr)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3939052A (en) * 1975-01-15 1976-02-17 Riley Leon H Depositing optical fibers
GB2010676B (en) * 1977-12-27 1982-05-19 Alza Corp Diffusional drug delivery device with block copolymer as drug carrier
US4331526A (en) * 1979-09-24 1982-05-25 Coulter Systems Corporation Continuous sputtering apparatus and method
US4290877A (en) * 1980-09-08 1981-09-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Interior Sputtering apparatus for coating elongated tubes and strips
US4384532A (en) * 1980-10-31 1983-05-24 Staff Arthur B Table extension for the handicapped
US4343881A (en) * 1981-07-06 1982-08-10 Savin Corporation Multilayer photoconductive assembly with intermediate heterojunction
US4389295A (en) * 1982-05-06 1983-06-21 Gte Products Corporation Thin film phosphor sputtering process
JPS5976571A (ja) * 1982-10-25 1984-05-01 Natl House Ind Co Ltd 塗布装置
GB8332394D0 (en) * 1983-12-05 1984-01-11 Pilkington Brothers Plc Coating apparatus
US5219668A (en) * 1986-10-31 1993-06-15 N.V. Bekaert S.A. Process and apparatus for the treatment of coated, elongated substrate, as well as substrates thus treated and articles of polymeric material reinforced with these substrates
NL8602759A (nl) * 1986-10-31 1988-05-16 Bekaert Sa Nv Werkwijze en inrichting voor het behandelen van een langwerpig substraat, dat van een deklaag voorzien is; alsmede volgens die werkwijze behandelde substraten en met deze substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal.
US4849087A (en) * 1988-02-11 1989-07-18 Southwall Technologies Apparatus for obtaining transverse uniformity during thin film deposition on extended substrate
DE3886754D1 (de) * 1988-10-19 1994-02-10 Ibm Deutschland Vorrichtung zum Plasma- oder reaktiven Ionenätzen und Verfahren zum Ätzen schlecht wärmeleitender Substrate.
DE29600991U1 (de) * 1996-01-20 1997-05-22 Straemke Siegfried Dr Ing Plasmareaktor
US5725706A (en) * 1996-03-12 1998-03-10 The Whitaker Corporation Laser transfer deposition
US6066826A (en) * 1998-03-16 2000-05-23 Yializis; Angelo Apparatus for plasma treatment of moving webs
ATE326556T1 (de) * 2002-03-15 2006-06-15 Vhf Technologies Sa Vorrichtung und verfahren zur herstellung von flexiblen halbleiter-einrichtungen
CH696013A5 (de) * 2002-10-03 2006-11-15 Tetra Laval Holdings & Finance Vorrichtung zur Behandlung eines bandförmigen Materials in einem Plasma-unterstützten Prozess.
US6906008B2 (en) * 2003-06-26 2005-06-14 Superpower, Inc. Apparatus for consecutive deposition of high-temperature superconducting (HTS) buffer layers
US7169232B2 (en) * 2004-06-01 2007-01-30 Eastman Kodak Company Producing repetitive coatings on a flexible substrate
MX2007007907A (es) * 2004-12-29 2007-08-17 Sca Hygiene Prod Ab Un dispensador a manos libres de toallas de papel y sistema de distribucion.
DE102005058869A1 (de) * 2005-12-09 2007-06-14 Cis Solartechnik Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Bändern
KR100750654B1 (ko) * 2006-09-15 2007-08-20 한국전기연구원 장선 테이프 증착장치
KR100928222B1 (ko) * 2007-10-31 2009-11-24 한국전기연구원 가이드 롤러가 구비된 장선 증착 장치
WO2009094622A2 (fr) * 2008-01-24 2009-07-30 Microcontinuum, Inc. Techniques de revêtement sous vide
EP2113585A1 (fr) * 2008-04-29 2009-11-04 Applied Materials, Inc. Dispositif et procédé de revêtement de bandes sous vide par tordre et guider la bande à plusiers reprises le long d'un cylindre devant un région de traitement
TW201110831A (en) * 2009-09-03 2011-03-16 Chunghwa Picture Tubes Ltd Plasma apparatus and method of fabricating nano-crystalline silicon thin film
SI2508315T1 (sl) 2011-04-07 2014-01-31 Gedore-Werkzeugfabrik Gmbh & Co. Kg Cepilni klin
EP2909355B1 (fr) * 2012-10-22 2018-09-26 Proportional Technologies, Inc. Procédé et appareil permettant de recouvrir une mince feuille avec un revêtement de bore
KR20140061808A (ko) * 2012-11-14 2014-05-22 삼성디스플레이 주식회사 유기물 증착 장치
US10112836B2 (en) * 2012-11-26 2018-10-30 The Regents Of The University Of Michigan Continuous nanosynthesis apparatus and process
JP2023538038A (ja) * 2020-08-21 2023-09-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド フレキシブル基板を処理するための処理システム並びにフレキシブル基板の特性及びフレキシブル基板上の１つ又は複数のコーティングの特性のうちの少なくとも１つを測定する方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2249710A (en) * 1935-02-18 1941-07-15 Ind Rayon Corp Apparatus for continuously processing thread or the like
NL143409C (fr) * 1947-11-20
US3068510A (en) * 1959-12-14 1962-12-18 Radiation Res Corp Polymerizing method and apparatus
BE599444A (fr) * 1960-02-03
US3343207A (en) * 1963-10-14 1967-09-26 Monsanto Co Novelty yarn apparatus
US3272175A (en) * 1965-05-12 1966-09-13 Heraeus Gmbh W C Vapor deposition means for strip-coating continuously moving, helically wound ribbon
US3477902A (en) * 1965-10-14 1969-11-11 Radiation Res Corp Process for making tires by exposure to an ionized gas and treatment with resorcinol-formaldehyde/latex composition and the product
DE1802932B2 (de) * 1968-10-14 1974-11-14 W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schaltkontaktes
US3598639A (en) * 1968-12-09 1971-08-10 Bror Olov Nikolaus Hansson Method of continuously producing metal wire and profiles
US3700489A (en) * 1970-07-30 1972-10-24 Ethicon Inc Process for applying a thin coating of polytetrafluoroethylene

Also Published As

Publication number Publication date
US3884787A (en) 1975-05-20
FR2322667A1 (fr) 1977-04-01
DE2400587A1 (de) 1974-07-18
LU69122A1 (fr) 1975-12-09
DD109035A5 (fr) 1974-10-12
CA1018475A (en) 1977-10-04
NL7317670A (fr) 1974-07-16
JPS5747267B2 (fr) 1982-10-08
GB1461921A (en) 1977-01-19
SE392919B (sv) 1977-04-25
ATA9674A (de) 1977-05-15
JPS49104972A (fr) 1974-10-04
CH597622A5 (fr) 1978-04-14
IL43966A0 (en) 1974-06-30
AT341335B (de) 1978-02-10
IT1002650B (it) 1976-05-20
FR2322667B1 (fr) 1978-10-27
IL43966A (en) 1976-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE809466A (fr) Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van een dunne film op een substraat
BE809464A (fr) Werkwijze en inrichting voor het neerslaan van een dunne film op een substraat
BE816521A (fr) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van oliehoudende zaden
NL7415450A (nl) Inrichting voor het opbrengen van dunne lagen.
BE800931A (fr) Enkelzijbandsysteem voor het digitaal verwerken van een gegeven aantal kanaalsignalen
BE814192A (fr) Werkwijze voor het vormen van een neerslag op een groot aantal vlakke substraten
BE812978A (fr) Inrichting voor het ontsteken van een van voorverhitbare elektroden voorziene gas- en/of dampontladingslamp
BE820603A (fr) Inrichting voor het snijden van ringen van een hol
BE843932A (fr) Werkwijze voor het optekenen en weergeven van informatie op een schijfvormige registratiedrager en inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze
BE790708A (fr) Samenstel voor het afscheiden van een gedeelte van een ruimte
BE822578A (fr) Werkwijze en inrichting voor het samenlassen van voorwerpen uitpolyolefinen
NL7410858A (nl) Inrichting voor het vormen van nagalm.
BE817595A (fr) Werkwijze en inrichting voor het in een groep opsporen van een lichamelijke afwijking
BE795273A (fr) Inrichting voor het nemen van grondmonsters met behulp van een hydraulisch monstersteekapparaat met stilstaande zuiger
BE809465A (fr) Werkwijze en inrichting voor het verwerken van elektrostatischebeelden
BE796707A (fr) Werkwijze en inrichting voor het vormen van monokristallen
NL7412944A (nl) Werkwijze voor het epoxyderen van alkenen.
NL170711C (nl) Inrichting voor het doorlopend vervaardigen van houders.
BE813434A (fr) Magnetische korrektieinrichting voor een katodestraalbuis
NL7411469A (nl) Fotografische inrichting voor het vervaardigen van kleuruittreksels.
BE820781A (fr) Deksels voor houders
BE810034A (fr) Werkwijze en inrichting voor het kopieren op een elektrofotografische filmstrook
BE820643A (fr) Gecombineerde inrichting voor het produceren en uitwisselen vanwarmte met een warmte verbruikende inrichting
BE812979A (fr) Inrichting voor het aftasten van een oppervlak en micro-endoscoop voorzien van een dergelijke inrichting
BE795119A (fr) Wapeningselement voor metselwerk en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijk wapeningselement

Legal Events

Date Code Title Description
RE Patent lapsed

Owner name: COULTER SYSTEMS CORP.

Effective date: 19850107