BE814192A - Werkwijze voor het vormen van een neerslag op een groot aantal vlakke substraten - Google Patents
Werkwijze voor het vormen van een neerslag op een groot aantal vlakke substratenInfo
- Publication number
- BE814192A BE814192A BE143618A BE143618A BE814192A BE 814192 A BE814192 A BE 814192A BE 143618 A BE143618 A BE 143618A BE 143618 A BE143618 A BE 143618A BE 814192 A BE814192 A BE 814192A
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- een
- vlakke
- neerslag
- vormen
- aantal
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
- C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
- C23C16/4587—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially vertically
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S148/00—Metal treatment
- Y10S148/006—Apparatus
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S148/00—Metal treatment
- Y10S148/065—Gp III-V generic compounds-processing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7315461A FR2227640B1 (fr) | 1973-04-27 | 1973-04-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
BE814192A true BE814192A (fr) | 1974-10-25 |
Family
ID=9118616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
BE143618A BE814192A (fr) | 1973-04-27 | 1974-04-25 | Werkwijze voor het vormen van een neerslag op een groot aantal vlakke substraten |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3922467A (fr) |
JP (1) | JPS5314464B2 (fr) |
AU (1) | AU6831374A (fr) |
BE (1) | BE814192A (fr) |
DE (1) | DE2418662A1 (fr) |
FR (1) | FR2227640B1 (fr) |
GB (1) | GB1460758A (fr) |
IT (1) | IT1010097B (fr) |
NL (1) | NL7405442A (fr) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5242075A (en) * | 1975-09-29 | 1977-04-01 | Nippon Denso Co Ltd | Device for controlling gas atmosphere in semiconductor producing equip ment |
US4279947A (en) * | 1975-11-25 | 1981-07-21 | Motorola, Inc. | Deposition of silicon nitride |
SE432162B (sv) * | 1976-04-22 | 1984-03-19 | Fujitsu Ltd | Forfarande for att utifran en anga bringa en tunn film att tillvexa |
FR2354810A1 (fr) * | 1976-06-14 | 1978-01-13 | Anvar | Couches monocristallines, procedes de fabrication de telles couches, et structures comportant une couche monocristalline |
US4062318A (en) * | 1976-11-19 | 1977-12-13 | Rca Corporation | Apparatus for chemical vapor deposition |
JPS53126271A (en) * | 1977-04-11 | 1978-11-04 | Kokusai Electric Co Ltd | Reduced pressure gaseous growing method and boarding jig |
US4225647B1 (en) * | 1977-12-02 | 1995-05-09 | Richard A Parent | Articles having thin, continuous, impervious coatings |
US4220116A (en) * | 1978-10-30 | 1980-09-02 | Burroughs Corporation | Reactant gas flow structure for a low pressure chemical vapor deposition system |
NL7812388A (nl) * | 1978-12-21 | 1980-06-24 | Philips Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleider- inrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze. |
US4263872A (en) * | 1980-01-31 | 1981-04-28 | Rca Corporation | Radiation heated reactor for chemical vapor deposition on substrates |
US4401689A (en) * | 1980-01-31 | 1983-08-30 | Rca Corporation | Radiation heated reactor process for chemical vapor deposition on substrates |
US4355974A (en) * | 1980-11-24 | 1982-10-26 | Asq Boats, Inc. | Wafer boat |
KR830002904Y1 (ko) * | 1982-06-16 | 1983-12-13 | 채이순 | 차수용(遵水用)매드 |
US4574093A (en) * | 1983-12-30 | 1986-03-04 | At&T Bell Laboratories | Deposition technique |
US4640223A (en) * | 1984-07-24 | 1987-02-03 | Dozier Alfred R | Chemical vapor deposition reactor |
JPS6223983A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-01-31 | Anelva Corp | 真空化学反応装置 |
US4834022A (en) * | 1985-11-08 | 1989-05-30 | Focus Semiconductor Systems, Inc. | CVD reactor and gas injection system |
FR2604297B1 (fr) * | 1986-09-19 | 1989-03-10 | Pauleau Yves | Reacteur de depot de silicium dope |
JPS63162862U (fr) * | 1988-03-16 | 1988-10-24 | ||
US4993358A (en) * | 1989-07-28 | 1991-02-19 | Watkins-Johnson Company | Chemical vapor deposition reactor and method of operation |
JP2005528777A (ja) * | 2001-09-29 | 2005-09-22 | クリー インコーポレイテッド | 反転型cvdのための装置 |
JP2012004408A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Tokyo Electron Ltd | 支持体構造及び処理装置 |
JP2015145317A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-13 | ヤマハ株式会社 | カーボンナノチューブの製造装置 |
JP2015185750A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3409483A (en) * | 1964-05-01 | 1968-11-05 | Texas Instruments Inc | Selective deposition of semiconductor materials |
US3816166A (en) * | 1970-03-11 | 1974-06-11 | Philips Corp | Vapor depositing method |
US3678893A (en) * | 1970-05-01 | 1972-07-25 | Stewart Warner Corp | Improved device for supporting semiconductor wafers |
-
1973
- 1973-04-27 FR FR7315461A patent/FR2227640B1/fr not_active Expired
-
1974
- 1974-04-18 DE DE2418662A patent/DE2418662A1/de active Pending
- 1974-04-23 NL NL7405442A patent/NL7405442A/xx not_active Application Discontinuation
- 1974-04-24 GB GB1788974A patent/GB1460758A/en not_active Expired
- 1974-04-24 IT IT21909/74A patent/IT1010097B/it active
- 1974-04-25 BE BE143618A patent/BE814192A/fr unknown
- 1974-04-26 JP JP4671574A patent/JPS5314464B2/ja not_active Expired
- 1974-04-26 AU AU68313/74A patent/AU6831374A/en not_active Expired
- 1974-04-26 US US464574A patent/US3922467A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2227640A1 (fr) | 1974-11-22 |
GB1460758A (en) | 1977-01-06 |
NL7405442A (fr) | 1974-10-29 |
AU6831374A (en) | 1975-10-30 |
IT1010097B (it) | 1977-01-10 |
US3922467A (en) | 1975-11-25 |
JPS5314464B2 (fr) | 1978-05-17 |
DE2418662A1 (de) | 1974-11-21 |
FR2227640B1 (fr) | 1977-12-30 |
JPS5016476A (fr) | 1975-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
BE814192A (fr) | Werkwijze voor het vormen van een neerslag op een groot aantal vlakke substraten | |
BE816523A (fr) | Werkwijze voor het terugwinnen van oplosmiddel uit een oplossing van geextraheerd oplosbaar materiaal | |
BE834872A (fr) | Werkwijze voor het bereiden van een verdunningsmiddel voor bloedmonsters en werkzijze voor het onderzoeken van bloedmonsters | |
BE800931A (fr) | Enkelzijbandsysteem voor het digitaal verwerken van een gegeven aantal kanaalsignalen | |
BE812978A (fr) | Inrichting voor het ontsteken van een van voorverhitbare elektroden voorziene gas- en/of dampontladingslamp | |
BE820603A (fr) | Inrichting voor het snijden van ringen van een hol | |
BE790708A (fr) | Samenstel voor het afscheiden van een gedeelte van een ruimte | |
BE822578A (fr) | Werkwijze en inrichting voor het samenlassen van voorwerpen uitpolyolefinen | |
NL7416990A (nl) | Freem voor het ondersteunen van voorwerpen. | |
NL7412824A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een benzochi- | |
BE817595A (fr) | Werkwijze en inrichting voor het in een groep opsporen van een lichamelijke afwijking | |
NL7410318A (nl) | Werkwijze voor het bereiden van fenylpropana- | |
BE809465A (fr) | Werkwijze en inrichting voor het verwerken van elektrostatischebeelden | |
NL7412944A (nl) | Werkwijze voor het epoxyderen van alkenen. | |
BE796707A (fr) | Werkwijze en inrichting voor het vormen van monokristallen | |
BE813434A (fr) | Magnetische korrektieinrichting voor een katodestraalbuis | |
BE836238A (fr) | Werkwijze en inrichting voor het afscheiden van kristalliseerbare stoffen uit een meercomponentensysteem | |
BE820781A (fr) | Deksels voor houders | |
BE820643A (fr) | Gecombineerde inrichting voor het produceren en uitwisselen vanwarmte met een warmte verbruikende inrichting | |
BE812979A (fr) | Inrichting voor het aftasten van een oppervlak en micro-endoscoop voorzien van een dergelijke inrichting | |
BE810034A (fr) | Werkwijze en inrichting voor het kopieren op een elektrofotografische filmstrook | |
BE795119A (fr) | Wapeningselement voor metselwerk en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijk wapeningselement | |
BE819728A (fr) | Inrichting voor het vervaardigen van kunststofbuis | |
BE837799A (fr) | Werkwijze voor het bereiden van een versnapering | |
BE819027A (fr) | Werkwijze voor het granuleren van hygroscopisch fijn poeder |