BE547209A - - Google Patents

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BE547209A
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01FMIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F31/00Mixers with shaking, oscillating, or vibrating mechanisms
    • B01F31/46Mixers with shaking, oscillating, or vibrating mechanisms with an annular vibrating trough

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Jigging Conveyors (AREA)

Description

       

   <Desc/Clms Page number 1> 
 



   L'invention se rapporte à un procédé pour le traitement d'un pro- duit granuleux ou pulvérulent, au moyen de vibrations imprimées à l'organe portant le produit-0 
Il est déjà connu, pour le transport et le brassage d'un produit granuleux ou pulvérulent, d'imprimer aux auges ou aux couloirs qui le con- tiennent des vibrations, au cours desquelles le produit subit un traitement chimique et/ou physique. 



   On connaît également déjà des dispositifs, dans lesquels un vibra- teur magnétique ou un générateur de balourd à axe de rotation horizontal im- prime au support du produit un mouvement de vibration circulaire. 



   L'invention a pour objet un procédé pour le traitement d'un pro- duit granuleux ou pulvérulent, au moyen de vibrations imprimées au support du produit, procédé grâce auquel les particules du produit en couche épais- se sur leur support sont soumises à un mouvement de révolution   et,   en cou- che mince,   à   un soulèvement sur le fond du support, 
Ce résultat est obtenu, conformément à l'invention, grâce au fait que le support de produit est animé d'un mouvement giratoire de translation auquel se superpose un mouvement pendulaire. 



   Lors de la mise en oeuvre de ce procédé, on constate qu'il se pro- duit des mouvements de révolution du produit, du centre vers la périphérie, suivant un diamètre qu'une action convenable sur les vibrations permet de réduire suffisamment pour que les particules de produit oheminent pratique- ment vers l'extérieur en se soulevant légèrement sur leur support. Il se produit, de plus, dans le procédé selon l'invention, un cheminement du pro- duit sur son support, suivant une   trajectoire   circulaire autour de l'axe de gravité vertical du dit supporte 
Le mouvement circulaire de translation peut être engendré, par exemple, de manière très simple, au moyen d'un générateur de balourd dont l'axe de rotation est confondu avec l'axe de gravité vertical du système. 



  Le mouvement pendulaire, qui se superpose à ce premier mouvement, est déter- miné par des forces motrices obliques, qui assurent au support du produit un mouvement de basculement autour de l'axe   horizontal.   De même que le mou- vement de translation, le mouvement pendulaire peut être produit par le gé- nérateur de balourdo 
Le procédé selon l'invention peut être mis en oeuvre à l'aide de dispositifs de constructions différentes.

   Un de ceux-ci est, par exemple, caractérisé par un générateur de balourd dont l'axe de rotation coïncide, au moins approximativement, avec l'axe de gravité vertical du support de pro- duit, et par des appuis excentrés recevant le support de produit et inclinés sur la verticaleg les dits appuis étant relativement rigides dans le sens de la ligne allant de leur point d'ancrage à leur point de fixation au support, et présentant, par contre, de la souplesse dans une direction perpendiculai- re à la précédente. 



   Un autre mode de réalisation d'un dispositif permettant la mise en oeuvre du procédé selon l'invention est caractérisée par deux masses ooaxia- les, décalées de 0 à   1800   l'une par rapport   à   l'autre relativement à l'axe de rotation, et reliées au support, l'une de ces deux masses se trouvant plus rapprochée que l'autre du centre de gravité du systèmeo 
Dans ce dernier mode de réalisation, les masses peuvent être   indif-   féremment disposées au-dessus ou au-dessous du centre de gravité du système oscillant, ou même l'une au-dessus et l'autre au-dessous de ce   oentreo   

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En faisant varier la vitesse de rotation des masses ou les forces de balourd   effectives,

     il est possible d'obtenir les formes de réalisation les plus diverses du mouvement du produit sur son support. 



   L'efficacité des mesures précitées peut être encore accrue grâce à une disposition excentrée et/ou inclinée de l'axe de rotation d'au moins l'une des deux masses. 



   Le mode d'exécution du support de produit lui-même dépend de   l'usa   ge auquel doit être appliqué le procédé selon l'invention. C'est ainsi, par exemple, que le support de produit peut être constitué par un plateau, avantageusement circulaire, ou par une auge munie d'un rebord. Il peut éga- lement présenter la forme d'un couloir ou d'un tube, de section quelconque, par exemple   semi-circulaire,   elliptique, ou similaire, et qui peut consti- tuer un support fermé, spiroïdal, ou en colimaçon. 



   La section du support du produit peut présenter, en outre, une forme différente aux divers points de sa longueur et en fonction des condi- tions de traitement. La forme de plateau, conférée audit support convient, par exemple, tout particulièrement au cas où le dipsositif selon l'invention est utilisé comme obturateur de trémie. Un support de produit établi sous la forme d'un tamis permet l'application du procédé selon l'invention   à   des opérations de criblage. 



   Un autre avantage très important du procédé selon l'invention ré- side dans la possibilité qu'il offre de combiner divers modes d'exécution du support de produit, ce qui permet d'assurer, en même temps   qu'un   traite- ment   phyisque   et/ou chimique du produit, le véhioulage de celui-ci. 



   Les essais pratiques effectués jusqu'à présent ont démontré les possibilités d'application du procédé selon l'invention à des traitements divers physiques et/ou chimiques. Parmi ceux-ci, il faut citer, notamment, les opérations de séchage, de filtration, de mélange, de transport, de sépa- ration, de classement, les traitements thermiques,   l'humidification,   la transformation chimique, de tous produits granuleux ou pulvérulents. 



   Divers exemples de réalisation de l'invention sont représentés au] dessins annexés, dans lesquels t - les figures 1 et 2 montrent, respectivement en coupe verticale et en plan, un premier mode d'exécution d'un dispositif pour la mise en oeu- vre du procédé selon   l'invention;   - les figures 3 et 4 sont des vues, correspondant aux précédentes, d'un autre mode de réalisation du dispositif; - les figures 5, 6 et 7 représentent divers modes d'exécution du support de produit. 



   Comme le montrent les figures 1 et 2, le support de produit est établi sous la forme d'un couloir torique 1= de section semi-circulaire mon- té sur un châssis 2, porté par des appuis 3, 4, 5, 6 sur une assise 7, Au centre du châssis est disposé un moteur 8, sur l'arbre 9 duquel est fixée une masse formant balourd 10. Les appuis 3 à 6 sont sensiblement rigides dans le sens de la ligne qui relie leur ancrage sur l'assise   7   à leur fixa- tion au châssis 2, tandis que, dans une direction perpendiculaire à la pre-   mière,   ils sent susceptibles de se déplacer, de préférence tangentiellement au couloir torique 1. De plus, les appuis 3 à 6 sont inclinés d'un angle a sur la verticale.

   Au cours de sa rotation l'ensemble générateur de ba- lourd   8,   9, 10 détermine donc un mouvement de translation du couloir   toriqu   1, mouvement auquel se superpose un déplacement pendulaire résultant de l'au 

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 orage du couloir par l'intermédiaire des appuis 3   à   6,   L'amplitude   du bat- tement pendulaire du système est pratiquement déterminée par l'angle A 
On constate que, par suite de ce déplacement, le produit exécute dans le couloir torique 1 une révolution qui, dans l'exemple représenté, a lieu de l'extérieur en bas vers le centre en haut dans la moitié gauche du couloir et en sens inverse dans la moitié droite.

   A cette révolution se superpose un mouvement de cheminement vers l'avant du produit dans le couloir tori-   que.   



   Un autre dispositif pour la mise en oeuvre du procédé conforme à   l'invention   est représenté aux figures 3 et 4. Le couloir circulaire 11 re- pose, dans ce cas, sur une plaque-support 12, qui porte le moteur 13 entrai- nant des masses de balourd 14 et 15, La plaque-support prend appui, par l'intermédiaire de ressorts 16, 17 disposés symétriquement par rapport à l'axe central du système, sur des pieds 18, 19. La masse de balourd 14 se trouve placée sensiblement au centre de gravité du système, tandis que la masse 15 est, dans le présent exemple, déportée vers le bas sur la   vertica-   le du centre de gravité. 



   La figure 4 montre clairement le déphasage des deux masses de ba- lourd 14, 15, déphasage qui, dans l'exemple représenté, est de 90 , mais qui peut être compris entre 0 et 180 . 



   Dans le mode de réalisation des figures 1 et 2, on peut obtenir des modifications du mouvement pendulaire en faisant varier l'angle a,tan- dis que, dans l'exemple de réalisation des figures 3 et 4, le même résultat peut être obtenu en faisant varier le décalage entre les masses 14 et 15, 
La figure 5 représente une disposition, dans laquelle le support de produit est établi sous la forme d'un plateau circulaire 21, muni d'un rebord 22. Cet appareil convient particulièrement au cas où l'alimentation du produit n'est pas continue et où chaque quantité déterminée de produit doit être soumise à un traitement défini. Dans cette forme de réalisation, le produit à traiter chemine jusqu'à la périphérie du plateau   21,   en roulant dans le sens des flèches. 



   Si le rebord 22 est supprimé,   le produit,   distribué par exemple au centre du plateau 21 par une goulotte 23, se déplace en spirale jusqu'au bord du plateau, d'où il tombe. Le rapport des vitesses tangentielles et radiale et, par suite, la nature du mouvement   spiriforme   résultant, dépend essentiellement de la valeur de l'angle a On dispose ainsi d'un moyen permettant de faire varier, entre de larges limites, le temps de séjour ou la vitesse du mouvement de révolution des particules du produit sur le   pla-   teau   21.   



   Le dispositif ci-dessus, sans rebord 22, peut être avantageusement utilisé, par exemple, comme obturateur de trémie. Le produit granuleux, dé- versé par la goulotte 23, chemine sur le plateau vibrant 21, d'où il peut retomber sur un transporteur à auget circulaire ou spiriforme, raccordé au plateau 21 et dans lequel le produit brassé peut être amené, le cas échéant, à un plateau séparateur, puis être évacué du dispositif transporteur. 



   Le mouvement de révolution du produit peut encore être amélioré si l'on confère au support de produit de la figure 6 la forme d'une auge de section sensiblement semi-circulaire. Il se produit alors un mouvement de révolution, partant de la périphérie inférieure vers le haut et le centre. 



   La figure 7 représente un autre mode de réalisation du support de produit. Sur le plateau 24, qui repose sur des appuis non représentés et auquel un générateur de balourd imprime des vibrations, est montée une auge 25 en forme de   colimaçon,   dans laquelle le produite brassé en permanence, 

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 chemine vers le haut ou vers le   bas.,   Etant donné la forme de colimaçon spiriforme de   l'auge   25, le produit chemine vers le haut ou vers le bas et, en même temps, de l'intérieur vers l'extérieur de   l'auge.   



   Bans le dispositif selon l'invention, il existe un autre facteur permettant d'agir sur la forme des vibrations imprimées au produit,   c'est   l'épaisseur de la couche de celui-ci. Il a été constaté, en effet, que le mouvement de révolution qui se produit lorsque l'épaisseur de la couche est importante, ce en s'aplatissant au fur et   à   mesure que cette épaisseur di-   minue,   pour se transformer finalement en un mouvement spiriforme dirigé vers l'extérieur lorsque la couche est mince. 



   11 va de soi que   l'invention   ne se limite pas aux exemples de réalisation décrits ci-dessus et représentés aux dessins et qu'il peut être apporté à   ceux-ci   de nombreuses modifications, sans sortir pour cela, du cadre de l'invention. 



   REVENDICATIONS. 



   L'invention a principalement pour objet s   le)     'Un   procédé pour le traitement d'un produit granuleux ou pul- vérulentg au moyen de vibrations imprimées au support du produit,, remarqua- ble notamment, par les caractéristiques suivantes, considérées séparément ou en combinaisons; a) le support de produit est animé d'un mouvement giratoire de translation autour d'un axe verticale et d'un mouvement pendulaire superpo- sé au précédent; b) le mouvement pendulaire, qui se superpose au mouvement giratoi- re de translation, est engendré par des forces motrices obliques; c) le mouvement giratoire de translation   et/ou   le mouvement pendu- laire sont engendrés par des masses formant balourd. 

**ATTENTION** fin du champ DESC peut contenir debut de CLMS **.



   <Desc / Clms Page number 1>
 



   The invention relates to a process for the treatment of a granular or pulverulent product, by means of vibrations imparted to the member carrying the product.
It is already known, for the transport and stirring of a granular or pulverulent product, to impart vibrations to the troughs or lanes which contain it, during which the product undergoes a chemical and / or physical treatment.



   Devices are also already known in which a magnetic vibrator or an unbalance generator with a horizontal axis of rotation imparts a circular vibrating movement to the support of the product.



   The subject of the invention is a process for the treatment of a granular or powdery product by means of vibrations imparted to the support of the product, by means of which the particles of the product in a thick layer on their support are subjected to a movement of revolution and, in a thin layer, to a lifting on the bottom of the support,
This result is obtained, in accordance with the invention, thanks to the fact that the product support is driven by a translational gyratory movement on which a pendular movement is superimposed.



   During the implementation of this process, it is observed that there are movements of revolution of the product, from the center to the periphery, according to a diameter which a suitable action on the vibrations makes it possible to reduce sufficiently so that the particles of product move outwards practically, lifting themselves slightly on their support. In the process according to the invention, there also occurs a path of the product on its support, following a circular path around the vertical axis of gravity of said support.
The circular translational movement can be generated, for example, very simply, by means of an unbalance generator whose axis of rotation coincides with the vertical axis of gravity of the system.



  The pendulum movement, which is superimposed on this first movement, is determined by oblique driving forces, which provide the product support with a tilting movement around the horizontal axis. Like the translational movement, the pendular movement can be produced by the unbalance generator.
The method according to the invention can be implemented using devices of different constructions.

   One of these is, for example, characterized by an unbalance generator whose axis of rotation coincides, at least approximately, with the vertical axis of gravity of the product support, and by eccentric supports receiving the support. of product and inclined on the verticalg said supports being relatively rigid in the direction of the line going from their anchoring point to their point of attachment to the support, and having, on the other hand, flexibility in a direction perpendicular to the previous.



   Another embodiment of a device allowing the implementation of the method according to the invention is characterized by two ooaxial masses, offset from 0 to 1800 with respect to one another relative to the axis of rotation. , and connected to the support, one of these two masses being closer than the other to the center of gravity of the system.
In this latter embodiment, the masses may be arranged indiscriminately above or below the center of gravity of the oscillating system, or even one above and the other below this center.

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By varying the speed of rotation of the masses or the effective unbalance forces,

     it is possible to obtain the most diverse embodiments of the movement of the product on its support.



   The effectiveness of the aforementioned measures can be further increased by virtue of an eccentric and / or inclined arrangement of the axis of rotation of at least one of the two masses.



   The mode of execution of the product support itself depends on the use to which the method according to the invention must be applied. Thus, for example, the product support can be constituted by a plate, advantageously circular, or by a trough provided with a rim. It can also have the shape of a passage or of a tube, of any cross section, for example semi-circular, elliptical, or the like, and which can constitute a closed, spiral or spiral support.



   In addition, the section of the product support may have a different shape at various points along its length and depending on the processing conditions. The shape of a plate, given to said support, is suitable, for example, very particularly in the case where the device according to the invention is used as a hopper shutter. A product support established in the form of a sieve allows the application of the method according to the invention to screening operations.



   Another very important advantage of the process according to the invention lies in the possibility that it offers of combining various embodiments of the product support, which makes it possible to ensure, at the same time as a physical treatment. and / or chemical of the product, the vehicle of the latter.



   The practical tests carried out so far have demonstrated the possibilities of applying the process according to the invention to various physical and / or chemical treatments. Among these, it is necessary to cite, in particular, the operations of drying, filtration, mixing, transport, separation, classification, heat treatments, humidification, chemical transformation, of all granular or granular products. powdery.



   Various embodiments of the invention are shown in the accompanying drawings, in which t - Figures 1 and 2 show, respectively in vertical section and in plan, a first embodiment of a device for putting into operation. vre of the method according to the invention; - Figures 3 and 4 are views, corresponding to the previous ones, of another embodiment of the device; - Figures 5, 6 and 7 show various embodiments of the product support.



   As shown in figures 1 and 2, the product support is established in the form of a toric corridor 1 = of semi-circular section mounted on a frame 2, carried by supports 3, 4, 5, 6 on a seat 7, In the center of the frame is placed a motor 8, on the shaft 9 of which is fixed a mass forming an unbalance 10. The supports 3 to 6 are substantially rigid in the direction of the line which connects their anchoring to the seat 7 to their attachment to the frame 2, while, in a direction perpendicular to the first, they feel capable of moving, preferably tangentially to the toric corridor 1. In addition, the supports 3 to 6 are inclined by an angle a on the vertical.

   During its rotation, the heavy load generator assembly 8, 9, 10 therefore determines a translational movement of the toric corridor 1, a movement on which is superimposed a pendular movement resulting from the au

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 thunderstorm of the corridor via supports 3 to 6, The amplitude of the pendulum beat of the system is practically determined by the angle A
It can be seen that, as a result of this displacement, the product executes in the toric corridor 1 a revolution which, in the example shown, takes place from the outside at the bottom towards the center at the top in the left half of the corridor and in the direction reverse in the right half.

   To this revolution is superimposed a forward movement of the product in the toric corridor.



   Another device for carrying out the method according to the invention is shown in FIGS. 3 and 4. The circular passage 11 rests, in this case, on a support plate 12, which carries the driving motor 13. unbalance masses 14 and 15, The support plate is supported by means of springs 16, 17 arranged symmetrically with respect to the central axis of the system, on feet 18, 19. The unbalance mass 14 is located placed substantially at the center of gravity of the system, while the mass 15 is, in the present example, offset downward on the vertical of the center of gravity.



   FIG. 4 clearly shows the phase shift of the two weighing masses 14, 15, a phase shift which, in the example shown, is 90, but which can be between 0 and 180.



   In the embodiment of Figures 1 and 2, modifications of the pendulum motion can be obtained by varying the angle α, while in the embodiment of Figures 3 and 4 the same result can be obtained by varying the offset between masses 14 and 15,
Figure 5 shows an arrangement, in which the product support is established in the form of a circular plate 21, provided with a rim 22. This apparatus is particularly suitable in the case where the supply of the product is not continuous and where each determined quantity of product must be subjected to a defined treatment. In this embodiment, the product to be treated travels to the periphery of the plate 21, rolling in the direction of the arrows.



   If the rim 22 is removed, the product, distributed for example in the center of the plate 21 by a chute 23, moves in a spiral to the edge of the plate, from where it falls. The ratio of tangential and radial velocities and, consequently, the nature of the resulting spiral movement, depends essentially on the value of the angle a. We thus have a means allowing to vary, between wide limits, the residence time or the speed of the rotational movement of the particles of the product on the plate 21.



   The above device, without rim 22, can be advantageously used, for example, as a hopper shutter. The granular product, discharged by the chute 23, travels on the vibrating plate 21, from where it can fall on a conveyor with a circular or spiral bucket, connected to the plate 21 and in which the stirred product can be brought, if necessary. if necessary, to a separator plate, then be discharged from the conveyor device.



   The rotational movement of the product can be further improved if the product support of Figure 6 is given the shape of a trough of substantially semi-circular section. There is then a movement of revolution, starting from the lower periphery upwards and to the center.



   Figure 7 shows another embodiment of the product carrier. On the plate 24, which rests on supports not shown and to which an unbalance generator imparts vibrations, is mounted a trough 25 in the form of a spiral staircase, in which the product constantly stirred,

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 travels up or down., Given the spiral spiral shape of the trough 25, the product travels up or down and, at the same time, from the inside to the outside of the trough.



   Bans the device according to the invention, there is another factor making it possible to act on the shape of the vibrations imparted to the product, it is the thickness of the layer thereof. It has been observed, in fact, that the movement of revolution which occurs when the thickness of the layer is important, this by flattening as this thickness decreases, to finally transform into a movement spiriform directed outwards when the layer is thin.



   It goes without saying that the invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings and that numerous modifications can be made to these without departing from the scope of the invention. .



   CLAIMS.



   The main object of the invention is the) 'A process for the treatment of a granular or pulverulent product by means of vibrations imparted to the support of the product, remarkable in particular by the following characteristics, considered separately or in conjunction. combinations; a) the product support is driven in a rotary translational movement around a vertical axis and in a pendulum movement superimposed on the previous one; b) the pendular movement, which is superimposed on the rotational translational movement, is generated by oblique driving forces; c) the translational gyratory movement and / or the hanging movement are generated by masses forming unbalance.

** ATTENTION ** end of DESC field can contain start of CLMS **.


    

Claims (1)

2.- Un dispositif pour la mise en pratique du procédé défini sous 1 ) remarquable, notamment, par les caractéristiques suivantes, considérées séparément ou en combinaisons @ a) il est constitué par un générateur de balourd dont l'axe de ro- tation coïncide, au moins approximativement avec l'axe de gravité vertical du support du produit, et par des appuis excentrés recevant le support de produit et inclinés sur la verticale, lesdits appuis étant relativement ri- gides dans le sens de la ligne allant de leur point d'ancrage à leur point de fixation au support;, et présentant par contre, de la souplesse dans une direction perpendiculaire à la précédente ; 2.- A device for the practice of the method defined under 1) remarkable, in particular, by the following characteristics, considered separately or in combinations @ a) it is constituted by an unbalance generator whose axis of rotation coincides , at least approximately with the vertical axis of gravity of the product support, and by eccentric supports receiving the product support and inclined on the vertical, said supports being relatively rigid in the direction of the line going from their point d 'anchoring at their point of attachment to the support ;, and exhibiting on the other hand, flexibility in a direction perpendicular to the previous one; b) il comporte deux masses coaxiales, décalées de 0 à 180 l'nue par rapport à l'autre relativement à l'axe de rotation, et reliées au sup- port, l'une de ces deux masses se trouvant plus rapprochée que l'autre du centre de gravité du système; e) la vitesse de rotation des masses formant balourds et/ou la va- leur des efforts qu'elles exercent sont variables; d)l'axe de rotation d'au moins l'une des masses est excentré par rapport à l'axe vertical de gravité du système; e) l'axe de rotation d'au moins l'une des masses est incliné sur la verticale; <Desc/Clms Page number 5> f) le support de produit est un plateau circulaire ; g) le support de produit présente la forme d'une auge; b) it has two coaxial masses, offset from 0 to 180 l'nu with respect to the other relative to the axis of rotation, and connected to the support, one of these two masses being closer than l other of the system's center of gravity; e) the speed of rotation of the masses forming unbalance and / or the value of the forces which they exert are variable; d) the axis of rotation of at least one of the masses is eccentric with respect to the vertical axis of gravity of the system; e) the axis of rotation of at least one of the masses is inclined to the vertical; <Desc / Clms Page number 5> f) the product support is a circular tray; g) the product support has the shape of a trough; h) le support de produit est établi sous forme d'un couloir ou d'un tube de sectinn quelconque, par exemple semi-circulaire, elliptique ou similaire; i) le support en forme de couloir ou de tube est disposé en spira- le; j) le support de produit présente la forme d'un colimagon; k) le support en forme de couloir ou de tube présente une section variable dans le sens de la longueur du couloir; 1) l'alimentation du produit s'effectue au centre du support; m) le support de produit forme tamis. h) the product support is established in the form of a corridor or a tube of any section, for example semi-circular, elliptical or the like; i) the support in the form of a corridor or tube is arranged in a spiral; j) the product support has the shape of a colimagon; k) the support in the form of a corridor or a tube has a section that varies along the length of the corridor; 1) the product is fed in the center of the support; m) the product support in the form of a sieve. 3 - L'application industrielle du procédé défini sous 1 - pour soumettre des produits granuleux ou pulvérulents à un traitement physique et/ou chimique tel que séchage, tamisage, mélange, transport, classement, séparation, traitement thermique, humidification, transformation chimique, etc... 3 - The industrial application of the process defined under 1 - to subject granular or pulverulent products to a physical and / or chemical treatment such as drying, sieving, mixing, transport, classification, separation, heat treatment, humidification, chemical transformation, etc. ... 4 - L'application industrielle du dispositif à plateau circulaire défini sous 2 ) comme organe d'évacuation de trémie, le cas échéant en com- binaison avec l'un des modes de réalisation du support du produit défini sous 2 g à m). 4 - The industrial application of the circular plate device defined under 2) as a hopper discharge member, where appropriate in combination with one of the embodiments of the support for the product defined under 2 g to m).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2692810A1 (en) * 1992-06-25 1993-12-31 Futaba Denshi Kogyo Kk Powder agitator for ion implantation unit - using piezoelectric elements on elastic supports to provide oscillatory movement

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2692810A1 (en) * 1992-06-25 1993-12-31 Futaba Denshi Kogyo Kk Powder agitator for ion implantation unit - using piezoelectric elements on elastic supports to provide oscillatory movement

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