BE1019874A5 - Dispositif de support pour un systeme de magnetron avec une cible rotative. - Google Patents

Abstract

Il est proposé pour dispositif de support (2) pour un système de magnétron avec une cible rotative, comprenant un logement (22) avec un arbre d'entraînement (26) monté à rotation, disposé dans le logement (22), lequel est conçu à son extrémité accessible par l'extérieur du logement (22) pour être relié directement ou indirectement à la cible rotative (3) et lequel est conçu à son extrémité situé à l'intérieur du logement (22) pour induire un couple de rotation, qu'un moteur électrique (4) avec un stator (42) et un rotor (43) pour produire un couple de rotation soit disposé à l'intérieur du logement (22).

Description

« Dispositif de support pour un système de magnétron avec une cible rotative »

Un dispositif de support pour un système de magnétron avec une cible rotative, lequel présente une sensibilité minime aux dérangements lors d'un fonctionnement avec un courant de fréquence moyenne, c'est-à-dire dans la plage de quelques centaines de hertz jusqu'à environ 50 kilohertz, sera décrit ci-dessous.

Dans la technologie de revêtement sous vide, on connaît des systèmes de magnétron avec une cible rotative, dans lesquels une cible le plus souvent tubulaire entoure une structure d'aimant, la cible tubulaire étant montée à rotation et entraînée de telle manière que le matériau cible soit enlevé de manière uniforme. La cible tubulaire est en général fixée dans la chambre à vide entre deux blocs terminaux qui sont construits de telle manière qu'ils permettent respectivement le montage rotatif de la cible tubulaire. Le plus souvent, des fonctions différentes sont, dans ce cas, assignées aux deux blocs terminaux. Un des blocs terminaux est, en général, réalisé comme un bloc terminal d'alimentation pour alimenter le magnétron en eau de refroidissement et en énergie électrique et l'autre bloc terminal est réalisé comme un bloc terminal d'entraînement pour induire un couple de rotation destiné à engendrer la rotation de la cible tubulaire.

Des blocs terminaux connus présentent à cet effet un dispositif d'entraînement électromécanique sous la forme d'un moteur électrique à engrenages qui induit le couple de rotation, par exemple par l'intermédiaire de roues dentées coniques, de roues dentées cylindriques ou de courroies dentées. Ce dispositif d'entraînement doit être libre de potentiel et doit, par conséquent, être monté en étant isolé par rapport à la cible et par rapport à la chambre à vide. C'est pourquoi dans des blocs terminaux d'entraînement connus, le dispositif d'entraînement est incorporé dans le bloc terminal d'entraînement en utilisant des isolateurs de sorte que le moteur électrique se trouve en général du côté atmosphère en dehors de la chambre à vide et qu'une transmission ou des parties d'une transmission ou d'autres dispositifs de transmission de couple tel que des entraînements par courroie et similaires sont disposés à l'intérieur du bloc terminal d'entraînement. En fonction de la hauteur de la tension électrique du processus, le coût pour la séparation du potentiel peut être très élevé pour obtenir de manière fiable que la tension du processus appliquée à la cible tubulaire n'envoie pas une décharge sur le dispositif d'entraînement ou la chambre à vide. On connaît un exemple d'un tel bloc terminal par la demande de brevet EP 1 365 436 A2.

On connaît par contre par le document DE 10 2008 033 904 un bloc terminal d'entraînement pour un système de magnétron avec une cible rotative, lequel présente un logement de bloc terminal avec un arbre d'entraînement qui est monté à rotation, est disposé dans le logement de bloc terminal et est conçu à son extrémité accessible par l'extérieur du logement de bloc terminal pour être relié à la cible rotative et est conçu à son extrémité se trouvant à l'intérieur dù logement de bloc terminal pour induire un couple de rotation, et comprend un moteur électrique avec un stator et un rotor pour produire un couple de rotation, le moteur électrique étant disposé à l'intérieur du logement de bloc terminal. Dans ce cas, il peut être prévu selon une forme de réalisation que le moteur électrique soit disposé coaxialement à l'arbre d'entraînement et / ou que le couple de rotation soit directement transmis à l'arbre d'entraînement.

Le but de l'invention est de fournir, en partant de l'état de la technique décrit, un dispositif de support amélioré qui présente une sensibilité minime aux dérangements lorsqu'il fonctionne avec un courant de moyenne fréquence. Par dispositif dé support, il faut entendre des blocs terminaux, en particulier des blocs terminaux d'entraînement du type décrit ci-dessus, c'est-à-dire des dispositifs qui sont disposés à l'intérieur de la chambre à vide mais aussi des dispositifs de support conçus autrement qui sont disposés, par exemple, du côté atmosphère en dehors de la chambre à vide.

C'est pourquoi il est proposé un dispositif de support pour un système de magnétron avec une cible rotative, comprenant un logement avec un arbre d'entraînement qui est monté à rotation, est disposé dans le logement et est conçu à son extrémité accessible par l'extérieur du logement pour être relié indirectement ou directement à la cible rotative et qui est conçu à son extrémité se trouvant à l'intérieur du logement pour induire un couple de rotation, l'arbre d'entraînement étant fabriqué à partir d'un matériau céramique non conducteur.

De ce fait, aucun arbre métallique ne fait saillie du logement comme dans les blocs terminaux connus mais uniquement un tourillon d'arbre non conducteur qui est approprié pour être relié à la cible rotative et qui est d'une longueur telle que la résistance d'isolement formée par le tourillon d'arbre en céramique est suffisamment grande pour protéger le bloc terminal et les éléments disposés dans celui-ci d'une influence par le courant de fonctionnement de la cible rotative. L'homme de métier peut, le cas échéant, calculer ou déterminer de manière simple le choix de la longueur du tourillon de l'arbre d’entraînement faisant saillie du logement en fonction de la tension et de l'intensité du courant. La sensibilité aux dérangements face au courant de moyenne fréquence peut de ce fait être réduite de manière significative par comparaison avec des blocs terminaux connus.

L'arbre d'entraînement est conçu à son extrémité accessible par l'extérieur du logement pour être relié directement à la cible rotative quand la cible peut être reliée directement à l'arbre d'entraînement, c'est-à-dire quand il y a un contact physique entre l'extrémité de l'arbre d'entraînement et la cible. Par contre, l'arbre d'entraînement est conçu à son extrémité accessible par l'extérieur du logement pour être relié indirectement à la cible rotative quand un autre élément de liaison est disposé entre la cible et l'arbre d'entraînement, c'est-à-dire quand il n'y a aucun contact physique entre l'extrémité de l'arbre d'entraînement et la cible. De tels éléments de liaison peuvent être, par exemple, des pièces d'écartement, des adaptateurs et des éléments similaires.

Dans un perfectionnement, il est prévu que l’arbre d'entraînement en céramique présente dans la région qui se situe à l'intérieur du logement un élément enveloppant métallique enveloppant cette région. Un élément enveloppant métallique dans ce sens est une enveloppe en matériau métallique qui ne fait toutefois pas saillie du logement. L'élément enveloppant peut être ouvert ou fermé à l’extrémité de l'arbre d'entraînement située à l'intérieur du logement. Il peut être relié solidaire en rotation à l'arbre d'entraînement en céramique afin qu'une transmission de couple de rotation entre l'arbre en céramique et l'élément enveloppant métallique soit possible. L'élément enveloppant métallique facilite le montage à rotation de l'arbre d'entraînement dans le logement et par rapport à celui-ci, réduit l'usure due à la friction qui survient sur les garnitures d'étanchéité et accroît la résistance de l'arbre d'entraînement.

Comme déjà habituel jusqu'à présent, il est possible avec le dispositif de support proposé d'incorporer un dispositif d'entraînement dans le dispositif de support de telle manière qu'un moteur électrique se trouve du côté atmosphère à l'extérieur de la chambre à vide et qu'une transmission ou des parties d'une transmission ou d'autres dispositifs de transmission de couple tels que des entraînements par courroie et similaires soient disposés à l'intérieur du dispositif de support.

Dans une autre forme de réalisation du dispositif de support proposé, il est au contraire prévu qu'un moteur électrique avec un stator et un rotor pour produire un couple de rotation soit disposé à l'intérieur du logement. Le moteur électrique peut en outre être disposé coaxialement à l'arbre d'entraînement. Dans ce cas, le couple de rotation peut être transmis directement de manière particulièrement simple à l'arbre d'entraînement.

Il faut entendre par transmission directe du couple de rotation l'arbre d'entraînement le fait que le couple de rotation est transmis sans patinage et avec le même sens de rotation à l'arbre d'entraînement. Cela peut par exemple être obtenu du fait que l'arbre moteur sur lequel se trouve le rotor est disposé concentriquement à l'arbre d'entraînement et est relié de manière solidaire ou par un embrayage à l'arbre d'entraînement. Dans ce cas, aucun composant de transmission n'est nécessaire pour transmettre à l'arbre d'entraînement le couple de rotation que produit le moteur électrique. La structure du dispositif de support est considérablement simplifiée par rapport à des solutions connues. Cela implique en même temps que le moteur électrique est disposé à l'intérieur du logement. Il est évident que le moteur électrique doit être installée de manière électriquement isolée dans le logement et / ou que le carter de moteur doit être fabriqué à partir de matériau électriquement non conducteur.

Selon une autre forme de réalisation, il peut être prévu qu'une transmission qui est conçue comme un engrenage planétaire soit disposée entre le moteur électrique et l'arbre d'entraînement. Les engrenages planétaires présentent une forme de construction compacte et permettent la disposition coaxiale du moteur et de l'arbre d'entraînement. La transmission peut être reliée au moteur électrique et/ou à l'arbre d'entraînement par un embrayage ou peut être reliée à chacun d'eux par un embrayage.

Dans une forme de réalisation, il est prévu que le rotor soit disposé directement sur l'arbre d'entraînement de sorte que l'arbre d'entraînement est en même temps l'arbre moteur du moteur électrique. En d'autres termes, l'arbre moteur du moteur électrique est en même temps, dans ce cas, l'arbre d'entraînement. On obtient de ce fait une simplification supplémentaire parce que l’arbre d'entraînement n'est plus un élément séparé qui doit être monté dans le logement et parce qu'il ne faut plus réaliser de liaison entre l'arbré d'entraînement èt l'arbré moteur pour transmettre le couple de rotation.

Dans une autre forme de réalisation, le moteur électrique est disposé dans un logement auxiliaire en matériau électriquement non conducteur et l'arbre d'entraînement est monté à rotation dans le logement auxiliaire. Grâce à cette mesure, le coût de l'isolement électrique de l'arbre d'entraînement se réduit encore parce que le logement auxiliaire agit pour l'arbre d'entraînement comme élément d'isolement électrique par rapport au logement. Dans ce cas également, l'arbre d'entraînement et l'arbre moteur peuvent, bien entendu, être un seul et même élément même si cela n'est pas obligatoirement nécessaire.

Il peut, par exemple, être prévu que le rotor du moteur électrique soit disposé directement sur l'arbre d'entraînement de sorte que l'arbre d'entraînement est en même temps l'arbre moteur du moteur électrique. Toute l'unité d'entraînement peut, de ce fait, être réalisée de manière plus compacte.

Une autre simplification de l'unité d'entraînement résulte, quand cela est prévu, du fait que le stator du moteur électrique est disposé directement dans le logement auxiliaire de sorte que le logement auxiliaire est en même temps le logement du moteur électrique.

Il peut également être prévu que le logement auxiliaire soit disposé sans possibilité de rotation et sans autre moyen de fixation dans des évidements du logement prévus à cet effet. Cela peut être obtenu par exemple du fait que des évidements dont les contours correspondent exactement en section transversale à ceux du côté extérieur du logement auxiliaire sont prévus dans le logement de sorte que le moteur électrique doit seulement être poussé dans ces évidements et est, par conséquent, monté sans possibilité de rotation. Il est évident que pour obtenir cet effet, un contour de section transversale circulaire n'est pas approprié. Tout contour de section transversale s'écartant de la forme circulaire, par exemple un carré ou un polygone, a par contre l'effet décrit. Pour la fixation axiale du moteur électrique, il peut être approprié de prévoir des moyens de fixation qui empêchent un déplacement axial du moteur électrique dans les évidements du logement. Mais cette fonction peut aussi être réalisée par exemple par les évidements pour le logement auxiliaire qui se trouvent dans le logement.

Dans un perfectionnement, il peut être prévu que le logement ne présente aucune ouverture en direction du côté atmosphère. Cette forme de réalisation présente l'avantage que l'étanchéité au vide de la chambre à vide est nettement facilitée. Dans ce cas, on peut renoncer à la mise sous vide habituelle permanente et nécessaire de l'intérieur du logement pour les blocs terminaux d'entraînement connus. Seul un passage du courant pour l'alimentation en énergie du moteur électrique est encore nécessaire.

Il peut également être prévu que le moteur électrique soit un servomoteur ou/et un moteur à courant continu sans balai.

La réalisation du moteur peut aussi avoir lieu de telle manière que le stator soit à l'intérieur et le rotor à l'extérieur. Le moteur serait réalisé comme un moteur à induit extérieur ou un moteur à induit en cloche. Dans ce cas, il ne peut y avoir qu'un palier qui absorbe tous les couples de renversement et forces d'appui que directement sur le passage rotatif ou l'arbre moteur est amené à traverser le stator et est monté à rotation des deux côtés comme dans un moteur à induit intérieur.

Le dispositif de support proposé sera expliqué de manière plus détaillée ci-dessous sur la base d'exemples de réalisation et des dessins y afférents. Il est montré sur les Fig. 1 et 6 une coupe longitudinale à travers un premier exemple de réalisation pour un dispositif de support à l'extérieur ou encore à l'intérieur de la chambre à vide, les Fig. 2 et 7 une coupe longitudinale à travers un deuxième exemple de réalisation pour un dispositif de support à l'extérieur ou encore à l'intérieur de la chambre à vide, les Fig. 3 et 8 une coupe longitudinale à travers un troisième exemple de réalisation pour un dispositif de support à l'extérieur ou encore à l'intérieur de la chambre à vide, les Fig. 4 et 9 une coupe longitudinale à travers un quatrième exemple de réalisation pour un dispositif de support à l'extérieur ou encore à l'intérieur de la chambre à vide, et les Fig. 5 et 10 une coupe longitudinale à travers un cinquième exemple de réalisation pour un dispositif de support à l'extérieur ou encore à l'intérieur de la chambre à vide.

Sur les Fig. 1 et 6 est représenté un premier exemple de réalisation d'un dispositif de support, selon lequel le moteur électrique 4 est disposé à l'intérieur du logement 22 et coaxialement à l'arbre d'entraînement 26. Sur la paroi 11 d'une chambre à vide 1 est disposé un dispositif de support 2 sur lequel est fixée une cible rotative 3 qui présente un tube 31 de cible et un raccord 32, un système d'aimant qui n'est pas visible sur le dessin étant disposé à l'intérieur du tube 31 de cible. L'exemple de réalisation selon la Fig. 1 concerne un dispositif de support 2 qui est appliqué du côté atmosphère à l'extérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre, tandis que le dispositif de support 2 de l'exemple de réalisation selon la Fig. 6 est appliqué du côté vide à l'intérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre.

Le dispositif de support 2 est fixé de manière amovible à une paroi 11 de la chambre à vide 1 au moyen d'un élément d'isolement 21. Le dispositif de support 2 comprend un logement 22 avec une ouverture 23 qui est orientée vers l'intérieur de la chambre à vide 1 et qui forme une cavité 24. Dans cette cavité 24 sont prévus deux évidements 25 pour une unité d'entraînement, lesquels correspondent au contour de section transversale du logement auxiliaire 41 de l'unité d’entraînement de sorte que l'unité d'entraînement peut être introduite sans possibilité de rotation dans la cavité 24 par l'ouverture 23.

L'unité d'entraînement comprend, dans l'exemple de réalisation, le logement auxiliaire 41, l'arbre d'entraînement 26 en céramique avec l'élément enveloppant métallique 27 et le moteur électrique 4 qui comprend un stator 42 et un rotor 43. Le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4 sont disposés directement dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le moteur électrique 4 n'a pas besoin d'un carter de moteur séparé.

Le logement auxiliaire 41 est constitué de matériau électriquement isolant. Y sont disposés le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4, le rotor 43 étant disposé sur l'arbre moteur 44 qui, de ce fait, représente en même temps l'arbre d'entraînement 26 en céramique avec l'élément enveloppant métallique 27 du dispositif de support 2 et est monté à rotation des deux côtés dans le logement auxiliaire 41. Le rotor 43 du moteur électrique 4 est monté directement; dans cet exemple de réalisation, dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement représente en même temps le carter du moteur électrique 4. L'extrémité de l'arbre d'entraînement 26 faisant saillie par l'ouverture 23 du logement 22 à l'intérieur de la chambre à vide 1 est conçue pour recevoir et transmettre le couple de rotation au raccord 32 de la cible rotative 3.

Cette extrémité de l’arbre d'entraînement 26 en céramique est montée à rotation et en même temps de manière étanche dans le logement auxiliaire 41 par l'intermédiaire de l'élément enveloppant métallique 27. Un canal 45 qui sert à raccorder une pompe à vide et débouche par conséquent en dehors du logement 22 débouche dans la région entre deux garnitures d'étanchéité. L'alimentation en énergie du moteur électrique 4 a lieu par l'intermédiaire d'un connecteur 46 qui se termine également à l’extérieur du logement 22.

Sur les Fig. 2 et 7 est représenté un deuxième exemple de réalisation d'un dispositif de support, selon lequel le moteur électrique 4 est disposé à l'intérieur du logement 22 et coaxialement à l'arbre d'entraînement 26. Sur la paroi 11 d'une chambre à vide 1 est disposé un dispositif de support 2 sur lequel est fixée une cible rotative 3 qui présente un tube 31 de cible et un raccord 32, un système d'aimant qui n'est pas visible sur le dessin étant disposé à l'intérieur du tube 31 de cible. L’exemple de réalisation selon la Fig. 2 concerne un dispositif de support 2 qui est appliqué du côté atmosphère à l'extérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre, tandis que le dispositif de support 2 de l'exemple de réalisation selon la Fig. 7 est appliqué du côté vide à l'intérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre.

Le dispositif de support 2 est fixé de manière amovible à une paroi 11 de la chambre à vide 1 au moyen d'un élément d'isolement 21. Le dispositif de support 2 comprend un logement 22 avec une ouverture 23 qui orientée vers l'intérieur de la chambre à vide 1 et qui forme une cavité 24. Dans cette cavité 24 sont prévus deux évidements 25 pour une unité d'entraînement, lesquels correspondent au contour de section transversale du logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement de sorte que l'unité d'entraînement peut être introduite sans possibilité de rotation dans la cavité 24 par l'ouverture 23.

L'unité d'entraînement comprend, dans l'exemple de réalisation, le logement auxiliaire 41, l'arbre d'entraînement 26 en céramique et le moteur électrique 4 qui comprend un stator 42 et un rotor 43. Le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4 sont disposés directement dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le moteur électrique 4 n’a pas besoin d'un carter de moteur séparé.

Le logement auxiliaire 41 est constitué de matériau électriquement isolant. Y sont disposés le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4, le rotor 43 étant disposé sur l'arbre moteur 44 qui, de ce fait, représente en même temps l’arbre d'entraînement 26 en céramique du dispositif de support 2 et est monté à rotation des deux côtés dans le logement auxiliaire 41. Le rotor 43 du moteur électrique 4 est monté directement, dans cet exemple de réalisation, dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement représente en même temps le carter du moteur électrique 4. L'extrémité de l'arbre d'entraînement 26 faisant saillie par l'ouverture 23 du logement 22 à l’intérieur de la chambre à vide 1 est conçue pour recevoir et transmettre le couple de rotation au raccord 32 de la cible rotative 3.

Cette extrémité de l'arbre d’entraînement 26 en céramique est montée à rotation et en même temps de manière étanche dans le logement auxiliaire 41. Un canal 45 qui sert à raccorder une pompe à vide et débouche par conséquent en dehors du logement 22 débouche dans la région entre deux garnitures d'étanchéité. L'alimentation en énergie du moteur électrique 4 a lieu par l'intermédiaire d'un connecteur 46 qui se termine également à l'extérieur du logement 22.

Sur les Fig. 3 et 8 est représenté un troisième exemple de réalisation d'un dispositif de support, selon lequel le moteur électrique 4 est disposé à l'intérieur du logement 22 et coaxialement à l'arbre d'entraînement 26. Sur la paroi 11 d'une chambre à vide 1 est disposé un dispositif de support 2 sur lequel est fixée une cible rotative 3 qui présente un tube 31 de cible et un raccord 32, un système d'aimant qui n'est pas visible sur le dessin étant disposé à l'intérieur du tube 31 de cible. L'exemple de réalisation selon la Fig. 3 concerne un dispositif de support 2 qui est appliqué du côté atmosphère à l'extérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre, tandis que le dispositif de support 2 de l'exemple de réalisation selon la Fig. 8 est appliqué du côté vide à l'intérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre.

Le dispositif de support 2 est fixé de manière amovible à une paroi 11 de la chambre à vide 1 au moyen d'un élément d'isolement 21. Le dispositif de support 2 comprend un logement 22 avec une ouverture 23 qui est orientée vers l'intérieur de la chambre à vide 1 et qui forme une cavité 24. Dans cette cavité 24 sont prévus deux évidements 25 pour une unité d'entraînement, lesquels correspondent au contour de section transversale du logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement de sorte que l'unité d'entraînement peut être introduite sans possibilité de rotation dans la cavité 24 par l'ouverture 23.

L'unité d'entraînement comprend, dans l'exemple de réalisation, le logement auxiliaire 41, l'arbre d'entraînement 26 en céramique et le moteur électrique 4 qui comprend un stator 42 et un rotor 43. Le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4 sont disposés directement dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le moteur électrique 4 n'a pas besoin d'un carter de moteur séparé.

Le logement auxiliaire 41 est constitué de matériau électriquement isolant. Y sont disposés le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4, le rotor 43 étant disposé sur l'arbre moteur 44. L'extrémité de l'arbre moteur 44 orientée vers la chambre à vide est conçue comme un élément enveloppant métallique 27 dans lequel l'arbre d'entraînement 26 en céramique du dispositif de support 2 est monté à rotation. Le rotor 43 du moteur électrique 4 est monté directement, dans cet exemple de réalisation, dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement représente en même temps le carter du moteur électrique 4. L'extrémité de l'arbre d'entraînement 26 faisant saillie par l'ouverture 23 du logement 22 à l'intérieur de la chambre à vide 1 est conçue pour recevoir et transmettre le couple de rotation au raccord 32 de la cible rotative 3.

Cette extrémité de l'arbre d'entraînement 26 en céramique est montée à rotation et en même temps de manière étanche dans le logement auxiliaire 41 par l'intermédiaire de l'élément enveloppant métallique 27. Un canal 45 qui sert à raccorder une pompe à vide et débouche par conséquent en dehors du logement 22 débouche dans la région entre deux garnitures d'étanchéité. L'alimentation en énergie du moteur électrique 4 a lieu par l'intermédiaire d'un connecteur 46 qui se termine également à l'extérieur du logement 22.

Sur les Fig. 4 et 9 est représenté un quatrième exemple de réalisation d'un dispositif de support, selon lequel le moteur électrique 4 est disposé à l'intérieur du logement 22 et coaxialement à l'arbre d'entraînement 26. Sur la paroi 11 d'une chambre à vide 1 est disposé un dispositif de support 2 sur lequel est fixée une cible rotative 3 qui présenté un tube 31 de cible et un raccord 32, un système d'aimant qui n'est pas visible sur le dessin étant disposé à l'intérieur du tube 31 de cible. L'exemple de réalisation selon la Fig. 4 concerne un dispositif de support 2 qui est appliqué du côté atmosphère à l'extérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre, tandis que le dispositif de support 2 de l'exemple de réalisation selon la Fig. 9 est appliqué du côté vide à l'intérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre.

Le dispositif de support 2 est fixé de manière amovible à une paroi 11 de la chambre à vide 1 au moyen d'un élément d'isolement 21. Le dispositif de support 2 comprend un logement 22 avec une ouverture 23 qui est orientée vers l'intérieur de la chambre à vide 1 et qui forme une cavité 24. Dans cette cavité 24 sont prévus deux évidements 25 pour une unité d'entraînement, lesquels correspondent au contour de section transversale du logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement de sorte que l'unité d'entraînement peut être introduire sans possibilité de rotation dans la cavité 24 par l'ouverture 23.

L'unité d'entraînement comprend, dans l'exemple de réalisation, le logement auxiliaire 41, l’arbre d'entraînement 26 avec l'élément enveloppant métallique 27, le moteur électrique 4 ainsi qu'une transmission 5 disposée entre le moteur électrique 4 et l’arbre d'entraînement 26, laquelle est reliée d'un côté au moteur électrique 4 et de l'autre côté par un embrayage 51 à l'élément enveloppant métallique 27 et par conséquent à l'arbre d’entraînement 26. Dans cet exemple de réalisation, le stator et le rotor du moteur électrique 4 sont logés dans un carter de moteur qui leur est propre et ne sont par conséquent pas directement visibles sur le dessin.

Le logement auxiliaire 41 est constitué de matériau électriquement isolant. L'arbre d'entraînement 26 du dispositif de support 2 est monté à rotation dans ce logement auxiliaire par l'intermédiaire de l'élément enveloppant métallique 27. L'extrémité de l'arbre d'entraînement 26 faisant saillie par l'ouverture 23 du logement 22 à l'intérieur de la chambre à vide 1 est conçue pour recevoir et transmettre le couple de rotation au raccord 32 de la cible rotative 3.

Cette extrémité de l'arbre d'entraînement 26 en céramique est montée à rotation et en même temps de manière étanche dans le logement auxiliaire 41 par l’intermédiaire de l'élément enveloppant métallique 27. Un canal 45 qui sert à raccorder une pompe à vide et débouche par conséquent en dehors de la chambre à vide 1 débouche dans la région entre deux garnitures d'étanchéité. L'alimentation en énergie du moteur électrique 4 a lieu par l'intermédiaire d'un connecteur 46 qui se termine également à l'extérieur de la chambre à vide 1.

Sur les Fig. 5 et 10 est représenté un cinquième exemple de réalisation d'un dispositif de support, selon lequel le moteur électrique 4 est disposé à l'intérieur du logement 22 et coaxialement à l'arbre d'entraînement 26. Sur la paroi 11 d'une chambre à vide 1 est disposé un dispositif de support 2 sur lequel est fixée une cible rotative 3 qui présente un tube 31 de cible et un raccord 32, un système d'aimant qui n'est pas visible sur le dessin étant disposé à l'intérieur du tube 31 de cible. L'exemple de réalisation selon la Fig. 5 concerne un dispositif de support 2 qui est appliqué du côté atmosphère à l'extérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre, tandis que le dispositif de support 2 de l'exemple de réalisation selon la Fig. 10 est appliqué du côté vide à l'intérieur de la chambre à vide 1 sur la paroi 11 de chambre.

Le dispositif de support 2 est fixé de manière amovible à une paroi 11 de la chambre à vide 1 au moyen d’un élément d'isolement 21. Le dispositif de support 2 comprend un logement 22 avec une ouverture 23 qui est orientée vers l’intérieur de la chambre à vide 1 et qui forme une cavité 24. Dans cette cavité 24 sont prévus deux évidements 25 pour une unité d'entraînement, lesquels correspondent au contour de section transversale du logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement de sorte que l'unité d'entraînement peut être introduite sans possibilité de rotation dans la cavité 24 par l'ouverture 23.

L'unité d'entraînement comprend, dans l'exemple de réalisation,' le logement auxiliaire 41, l'arbre d'entraînement 26 en céramique et le moteur électrique 4 qui comprend un stator 42 et un rotor 43. Le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4 sont disposés directement dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le moteur électrique n'a pas besoin d'un carter de moteur séparé. Dans cet exemple de réalisation, le moteur électrique 4 est un moteur à induit extérieur, l'arbre moteur 44 étant amené à traverser le stator 42 et étant monté à rotation des deux côtés dans le logement auxiliaire 41 comme pour un moteur à induit intérieur.

Le logement auxiliaire 41 est constitué de matériau électriquement isolant. Y sont disposés le stator 42 et le rotor 43 du moteur électrique 4, le rotor 43 étant disposé sur l'arbre moteur 44. L'extrémité de l'arbre moteur 44 orientée vers la chambre à vide est conçue comme un élément enveloppant métallique 27 dans lequel l'arbre d'entraînement 26 en céramique du dispositif de support 2 est monté à rotation. Le rotor 43 du moteur électrique 4 est monté directement, dans cet exemple de réalisation, dans le logement auxiliaire 41 de sorte que le logement auxiliaire 41 de l'unité d'entraînement représente en même temps le carter du moteur électrique 4. L'extrémité de l’arbre d'entraînement 26 faisant saillie par l'ouverture 23 du logement 22 à l'intérieur de la chambre à vide 1 est conçue pour recevoir et transmettre le couple de rotation au raccord 32 de la cible rotative 3.

Cette extrémité de l'arbre d'entraînement 26 en céramique est montée à rotation et en même temps de manière étanche dans le logement auxiliaire 41 par l'intermédiaire de l'élément enveloppant métallique 27. Un canal 45 qui sert à raccorder une pompe à vide et débouche par conséquent en dehors du logement 22 débouche dans la région entre deux garnitures d'étanchéité. L'alimentation en énergie du moteur électrique 4 a lieu par l'intermédiaire d'un connecteur 46 qui se termine également à l'extérieur du logement 22.

Liste de numéros de référence I Chambre à vide II Paroi de chambre 2 Dispositif de support 21 Élément d'isolement 22 Logement 23 Ouverture 24 Cavité 25 Évidement 26 Arbre d'entraînement 27 Élément enveloppant 3 Cible rotative 31 Tube de cible 32 Raccord 4 Moteur électrique 41 Logement auxiliaire 42 Stator 43 Rotor 44 Arbre moteur 45 Canal 46 Connecteur 5 Transmission 51 Embrayage

Figures 1 à 10 Vakuum Vide

Atm Atmosphère

Claims (13)

1. Dispositif de support (2) pour un système de magnétron avec une cible rotative, comprenant un logement (22) avec un arbre d'entraînement (26) en céramique non conducteur monté à rotation, disposé dans le logement (22), lequel est conçu à son extrémité accessible par l'extérieur du logement (22) pour être relié directement ou indirectement à la cible rotative (3) et lequel est conçu à son extrémité située à l'intérieur du logement (22) pour induire un couple de rotation, caractérisé en ce qu’un moteur électrique (4) avec un stator (42) et un rotor (43) pour produire un couple de rotation est disposé à l’intérieur du logement (22).

2. Dispositif de support selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moteur électrique (4) est disposé coaxialement à l'arbre d'entraînement (26).

3. Dispositif de support selon la revendication 2, caractérisé en ce que le couple de rotation est transmis directement à l'arbre d'entraînement (26).

4. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'une transmission (5) est disposée entre le moteur électrique (4) et l'arbre d'entraînement (26).

5. Dispositif de support selon la revendication 4, caractérisé en ce que la transmission (5) est un engrenage planétaire.

6. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le moteur électrique (4) est disposé dans un logement auxiliaire (41) en matériau électriquement non conducteur et l'arbre d'entraînement (26) est monté à rotation dans le logement auxiliaire (41).

7. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le rotor (43) du moteur électrique (4) est disposé directement sur l'arbre d'entraînement (26) de sorte que l'arbre d'entraînement (26) est en même temps l'arbre moteur (44) du moteur électrique (4).

8. Dispositif de support selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que le stator (42) du moteur électrique (4) est disposé directement dans le logement auxiliaire (41) de sorte que le logement auxiliaire (41) est en même temps le carter du moteur électrique (4).

9. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que le logement auxiliaire (41) est monté sans autre moyen de fixation et sans possibilité de rotation dans des évidements (25) du logement (22) prévus à cet effet.

10. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le logement (22) ne présente aucune ouverture en direction du côté atmosphère.

11. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que le moteur électrique (4) est un servomoteur.

12. Dispositif de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que le moteur électrique (4) est un moteur à courant continu sans balai.

13. Dispositif de support selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'arbre d'entraînement (26) en céramique présente dans la région qui se trouve à l'intérieur du logement (22) un élément enveloppant métallique (27) enveloppant cette région.