BE1001027A3 - Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde substraten en met dergelijke substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal. - Google Patents
Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde substraten en met dergelijke substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal. Download PDFInfo
- Publication number
- BE1001027A3 BE1001027A3 BE8701197A BE8701197A BE1001027A3 BE 1001027 A3 BE1001027 A3 BE 1001027A3 BE 8701197 A BE8701197 A BE 8701197A BE 8701197 A BE8701197 A BE 8701197A BE 1001027 A3 BE1001027 A3 BE 1001027A3
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- substrate
- elongated
- jacket
- cleaned
- anode
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Preliminary Treatment Of Fibers (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
Werkwijze en inrichting voor het continu reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., waarbij het te reinigen langwerpig substraat door een vacuumkamer wordt geleid, waarin een inert verstuivingsgas, zoals argon, wordt aangebracht, en waarbij tussen het substraat als kathode en een in de kamer aanwezige anode een voldoend hoge spanning wordt gehandhaaft zodat tussen de twee elektroden een elektrische ontlading plaatsvindt, waardoor het substraat gereinigd wordt door daarop invallende inerte gasionen tijdens zijn doorgang door de vacuumkamer.
Description
<Desc/Clms Page number 1>
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET REINIGEN VAN EEN LANGWERPIG METALEN SUBSTRAAT, ZOALS EEN DRAAD. EEN BAND. EEN KOORD. ENZ.. ALSMEDE VOLGENS DIE WERKWIJZE GEREINIGDE SUBSTRATEN EN MET DERGELIJKE SUBSTRATEN VERSTERKTE VOORWERPEN UIT POLYMEERMATERIAAL
De uitvinding betreft in de eerste plaats een werkwijze voor het continu reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., waarbij het te reinigen langwerpig substraat door een vacuumkamer wordt geleid, waarin een inert ver- stulvingsgas, zoals argon, wordt aangebracht,
en waarbij tussen het substraat als kathode en een in de kamer aanwezige anode een voldoend hoge spanning wordt gehandhaafd zodat tussen de twee elektroden een elektrische ontlading plaatsvindt, waardoor het substraat gereinigd wordt door daarop invallende lnerte gasionen tijdens zijn doorgang door de vacuumkamer.
Een dergelijke werkwijze voor het reinigen van langwerpige, metalen substraten s beschreven in de Nederlandse octroolaanvraag No. 86. 02760 van aanvraagster.
Het contlnu reinigen van langwerpige metalen substraten is In het bijzonder van belang, wanneer deze substraten achteraf bedekt moeten worden met een metalen deklaag of wanneer deze reeds van een deklaag voorziene substraten achteraf ingebed moeten worden In een te versterken polymeermaterlaal ; omdat de adhesie tussen substraat en deklaag, respektievelijk tussen van een deklaag voorziene substraat en te versterken pOlymeermater1aal aanzienlijk wordt verbeterd wanneer het substraat op geschikte wijze ts gereinigd.
Men heeft nu vastgesteld dat bij het toepassen van de werk- wijze volgens de Nederlandse octrooiaanvraag 86. 02760 voor het reinigen van metalen substraten, bv. een draad, het reinigend effekt van de gebruikte gasontlading op de draad wordt veroorzaakt door
<Desc/Clms Page number 2>
twee verschillende mechanismen.
Dit reinigend effekt wordt enerzijds veroorzaakt door een opwarm1ng van de draad, waardoor veel veront- reinigingen, die met relatief lage dampspanning zoals bijvoorbeeld koolwaterstoffen, verdampen of sublimeren onder Invloed van de tempe- ratuurssttjgtng van de draad ; en anderz1jds door het eigenlijke 1onenbombardement op de draad zelf of het eigenlijke sputteren, die een ultstekend reinigend effekt heeft op de draad, zelfs Indien deze laatste koud gehouden wordt of m. a. w. Indien de temperatuursstijging van de draad vermeden wordt.
De opwarmlng of temperatuursstjging van het metalen substraat kan in somm1ge gevallen zeer nadelig zijn. Dit is In het bijzonder het geval wanneer het metalen substraat reeds voorzien 15 van een metalen deklaag, bijvoorbeeld van messing, zink, enz. Op het met messing, zink, ... beklede metalen substraat heeft de genoemde temperatuursstijging of de thermische reiniging een belangrijke nevenwerking, namelijk een preferentiële zinksegregatie naar het oppervlak gevolgd door een aanzienlijke verdamping van de zink uit het oppervlak In het geval van een mess1ng-deklaag ; een aanzienlijke verdamping van de zink aan het oppervlak in het geval van een zinkdeklaag.
De uitvinding heeft tot doel een geschikte werkwijze voor het continu reinigen van een langwerpig, metalen substraat te verschaffen, waarbij het reinigingseffekt door het sputtereffekt op het substraat aanzienlijk is, maar waarbij de temperatuursstijging of thermisch effekt nagenoeg volledig wordt vermeden.
Hiertoe stelt de uitvinding bij de in de aanhef genoemde werkwijze voor, dat de anode gevormd wordt door tenminste één ringvormige elektrode, die aangebracht 1s in een langwerpige mantel van warmtestraling doorlatend materiaal en dat het langwerpig substraat In de langsrichting door de mantel wordt geleid.
<Desc/Clms Page number 3>
Een belangrijk resultaat hiervan 1s een aanzienlijk lagere gemiddelde opwarming van het metalen substraat aangezlen het substraat niet meer thermisch afgeschermd wordt door de omringende anode en de mantel bestaat uit een mater1aal, dat de warmtestraling doorlaat. In het bijzonder moet het materiaal van de mantel de infraroodstralen doorlaten. Het is nu immers mogelijk gebleken bij een ringvormige elektrode met een axiale lengte van 1 tot 2 mm en een diameter van ongeveer 20 tot 25 mm de parameters, zoals druk van het verstuivingsgas, snelheid van doorvoer van het metalen substraat, zoals draad, zodanig te ktezen dat een sputteren plaatsvtndt over een substraatlengte, die tot 500 keer en meer de axiale lengte van de ringvormige elektrode bedraagt.
Bij voorkeur wordt de werkwijze volgens de uitvinding toegepast op een stalen, langwerpig substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., dat reeds voorzten 1s van een deklaag uit messing, zink. enz.
Met grote voorkeur wordt het aldus gereinigde stalen substraat 1n een polymeermaterlaal, zoals rubber, ingebed ter versterking van dit polymeermateriaal.
De uitvinding betreft voorts een Inrichting voor het conttnu reinigen van een langwerpig substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz. tenminste omvattende een kamer met middelen voor het onder vacuum brengen van deze kamer, een in deze vacuumkamer opgestelde anode, organen voor het toevoeren van een lnert verstuiving- gas, zoals argon, In deze vacuumkamer, middelen voor het continu geleiden van het langwerpig substraat door de hoog vacuumkamer,
en middelen voor het handhaven van een voldoend hoge spanning tussen het substraat als kathode en de In de kamer aanwezige anode zodat tussen deze twee elektroden een elektrische ontlading plaatsvindt De Inrichting volgens de u1tv1nd1ng 1s daardoor gekenmerkt, dat de
<Desc/Clms Page number 4>
EMI4.1
anode gevormd ls door tenminste een r1ngvorm1ge elektrode, die In een langwerpige mantel van warmtestraling doorlatend materlaal 1s aangebracht.
Bij voorkeur vertoont de langwerpige mantel een cirkelvormig cilindrisch oppervlak en 1s deze langwerpige mantel van glas.
De uitvinding heeft tenslotte ook betrekking op de volgens de werkwijze en In de 1nr1cht1ng volgens de uitvinding gereinigde metalen substraten ; alsmede op de voorwerpen ult polymeermaterlaal, zoals rubber, die versterkt zijn met dergelljke gereinigde metalen substraten.
De ultvinding zal nader worden toegelicht in de nu volgende beschrijving aan de hand van de bijbehorende tekentng. In de tekening tonen : Figuur 1. een blokschema van een totale lijn, waarbij de Inrichting volgens de uitvinding een deel van de lijn vormt, Figuur 2, een schematische langsdoorsnede door een Inrichting volgens de ultvinding, en Figuur 3. een belangrijk onderdeel van de Inrichting volgens de uitvinding.
In figuur 1 worden met verwijzingscijfers 1-9 delen van een totale lijn weergegeven, waarbij de Inrichting volgens de uttvinding met verwijzingscijfer 5 is weergegeven. Het te reinigen langwerpig metalen substraat wordt in een station 1 afgerold van een spoel of dergelljk orgaan en wordt via de kamers 2, 3 met klep 4 in de eigenlijke reinlgingsinrichting 5 gebracht, om vervolgens via de kamers 2' en 3' met klep 4' terug opgerold te worden op een opneemspoel 6. Een dergelljke lijn is bijvoorbeeld weergegeven In het Britse octrooi 1.362.735 waarin een vacuumru1mte wordt voorafgegaan en opgevolgd door steeds twee vacuumkamers of sassen.
<Desc/Clms Page number 5>
De vacuumkamers 2 en 2 zijn verbonden met een bekende rootspomp 7 ; terwijl de kamers 3 en 3'verbonden zljn met een roterende kleppenpomp 8. De eigenlijke werkruimte of vacuumrulmte 5 1s verbonden met een turbomolecula1re pomp 9. Tussen de atmosfeer (afen opwindstations 1, 6) en de kamers 2, 2' ; respektievelijk tussen de kamers 2,3 en 2', 3' zijn doorvoerorganen 10, 10' van geschikte typen aanwezig. Tussen de kamers 3 en 5, respektteve11jk 3'en 5 zijn naast doorvoerorganen van het type 10 en 10' ook hermetisch afsluitbare kleppen 4, respektievelijk 4 aanwezig
EMI5.1
De werking van de lijn ls als volgt.
Met behulp van de 3 rootspomp 7, bijvoorbeeld met een debiet van 500 m per uur, worden - 1 de kamers 2 en 2', op een vacuum van 10 tot 10 Torr gebracht.
De kamers 3 en 3'worden met behulp van de pomp 8, bijvoorbeeld met 3 een deblet van 10 m per uur, op een nog beter vacuum gebracht, - 2 bijvoorbeeld 10 Torr of lager. De vacuumrulmte 5 wordt met behulp van de turbomoteculalre pomp 9 op een hoog vacuum gebracht, bijvoor- - 4 -7 beeld 10 tot 10 Torr. Bij het vacuumpompen van de ruimte 5 zijn de kleppen 4 en 4'volledig gesloten. Wanneer deze toestand beretkt 1s, 1s de lijn klaar voor het starten van de werkwijze voor het reinigen van het langwerpig substraat 11 wanneer de kleppen 4 en 4'wordengeopend.
Een typische uitvoeringsvorm van de vacuumrulmte of vacuumkamer 5 1s schematisch In figuur 2 In langsdoorsnede weergegeven.
Deze vacuumrulmte 5 bestaat ult drie met elkaar verbonden rutmten 12,13 en 14. De ruimte 12 1s voorzien van aanslultorganen 15 voor de turbomolecula1re pomp 9, terwijl de ruimte 14 voorzlen 15 van aanslultorganen 16 voor de toevoer van een lnert gas, zoals argon.
De elgenlljke inrichting 13 voor het reinigen van het langwerpig substraat 11 1s opgenomen tussen de vacuumrulmten 12 en 14.
<Desc/Clms Page number 6>
De inrichting 13 bestaat u1t een langwerpige mantel 16, b1j voorkeur met een cirkelvormig cilindrisch oppervlak, van een mate- r1aal, bijvoorbeeld glas, dat de warmtestraling doorlaat In deze mantel 16 1s een ringvormige anode 17 met geïsoleerde toevoerdraad 18 voor het aanleggen van de spanning aangebracht. De beide uiteinden van de glazen mantel of buis 16 zljn In dichtende steunorganen 19, 20 In de wanden van de daarop aansluitende vacuumrulmten 12. 14 aangebracht. Rond de glazen buts 16 zijn koelorganen 21 aangebracht voor het koelen van het oppervlak van de bu1s 16.
Rond de glazen bu1s of mantel 16 1s voorts een spoel 22 aangebracht om In de buis 16 een magnetisch veld op te wekken. Voor de duldelljkheld van de figuur 2 zijn slechts delen van de koelorganen 21 en de spoel 22 weergegeven.
Figuur 3 toont nogmaals In detail een deel van de glazen bu1s of mantel 16 met de daarin opgestelde, ringvormige anode 17 met geïsoleerde toevoerdraad 18 voor het aanleggen van de spanning aan de ringvormige elektrode 17. De buis 16 heeft bijvoorbeeld een lengte van 500 mm en een diameter van 25 mm.
Oe werkwijze voor het reinigen van een langwerpig substraat
EMI6.1
11, zoa1s een draad. een band, enz. i5 als volgt. Wanneer de lijn klaar is voor het starten van de werkwijze, wordt het te reinigen substraat 11 volgens de pijl 23 door de vacuumkamer 5 ge1e1d. Een lnert verstutvingsgas, zoals argon, wordt In de vacuumkamer 5 of In de ruimten 12,13 en 14 konstant toegevoerd tot een druk tussen 0, 01 Torr en 10 Torr wordt bereikt. Tussen de ringvormige anode 17 en het substraat 11 als kathode wordt een voldoend hoge spanning gehand- haafd, zodat tussen de twee elektroden een plasma wordt gevormd, bij stroomsterktes tussen 50 en 200 mA en de bijbehorende spanningen.
Het substraat 11 wordt gereinigd door de daarop 1nvallende Inerte argonionen u1t het plasma tussen het substraat 11 als kathode en de ringvormige elektrode 17 als anode of m. a. w. het lonenbombardement op de draad zelf, het e1genl1jke sputteren. heeft een u1tstekend
<Desc/Clms Page number 7>
reinigend effekt op de draad. Bij voorkeur zal het substraat 11 op aardpotentlaal worden gehouden. Het 1s ook mogelijk met de Inrichting volgens de uitvinding het triodesputteren toe te passen of m.a.w. het is ook mogelijk een bijkomende onafhankelijke bron van elektronen aan te brengen, bv. een thermische kathode.
De werkwijze volgens de uitvinding wordt in het bijzondere toegepast op metalen substraten, zoals staaldraden, staalkoorden, enz., die voorzien zijn van een deklaag van zink, messing, enz. Bij het koud sputteren volgens de uitvinding worden de van een deklaag voorziene staaldraden. staalkoorden, enz. effektief gereinigd, zonder de temperatuur van het substraat 11 aanzienlijk te verhogen. Om een temperatuurstijging in de rulmte 13 te voorkomen, wordt deze ruimte 13 eveneens gekoeld met behulp van koelorganen 21.
Een ander kenmerk van de werkwijze volgens de uitvinding bestaat hierin, dat het inerte verstuivingsgas, zoals argon, in de richting van de pijl 24 door de mantel of buls 16 wordt geleid of dit betekent, dat het substraat 11 en het verstuivingsgas binnen de vacuumrulmte 13 In tegengestelde richting worden geleid.
De werkwijze volgens de uitvinding 1s voorts gekenmerkt doordat het gerelnigde substraat 11, bij voorkeur onmiddellijk na de reiniging. wordt 1ngebed in een vulkaniseerbaar elastomeer, zoals rubber.
Binnen het kader van de ultvinding, zowel wat de werkwijze als de inrichting betreft, kunnen nog vele verbeteringen worden aangebracht. Zo 15 bijvoorbeeld om de buls 16 een spoel 22 aangebracht om in de rulmte 13 een magnetisch veld te doen ontstaan, waardoor de ionisatiewaarschijnlijkheid van het verstu1v1ngsgas vergroot. Dit le1dt tot een grotere plasmadichtheid, waardoor de kwaliteit van het gereinigde substraat 11 nog beter wordt.
Claims (1)
- CONCLUSIES : 1. Werkwijze voor het continu reinigen van een langwerpig metalen substraat (11), zoals een draad, een band, een koord, enz., waarbij het te reinigen langwerpig substraat (11) door een vacuumkamer (5) wordt geleid, waarin een inert verstuivingsgas, zoals argon, wordt aangebracht, en waarbij tussen het substraat (11) als kathode en een In de kamer aanwezige anode (17) een voldoend hoge spanning wodt gehandhaafd zodat tussen de twee elektroden (11, 17) een elektrische ontlading plaatsvindt, waardoor het substraat (11) gereinigd wordt door daarop invallende inerte gaslonen Hjdens zijn doorgang door de vacuumkamer (5), met het kenmerk, dat de anode (17) gevormd wordt door tenminste een ringvormige elektrode,die aangebracht is in een langwerpige mantel (16)) van warmtestraling doorlatend materiaal en dat het langwerpige substraat (11) 1n de langsrichting door de mantel (16) wordt geleid.2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de langwerpige mantel (16) een cirkelvormig cilindrisch oppervlak 15.3. Werkwijze volgens conclusie 1 of conclusie 2, met het kenmerk, dat het langwerpig substraat (11) op aardpotentiaal wordt geplaatst.4. Werkwijze volgens een of meer der voorgaande conclusles 1 - 3, met het kenmerk, dat het Inerte verstu1v1ngsgas en het te reinigen substraat (11) In tegengestelde richting door de langwerpige mantel (16) worden geleid.5. Werkwijze volgens een of meer der voorgaande conclusies EMI8.1 1-4, met het kenmerk, dat het langwerpig substraat (11) van staal 1 <Desc/Clms Page number 9> s.6. Werkwijze volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat het stalen substraat (11) voorzien 1s van een deklaag.7. Werkw1jze volgens conclusie 6. met het kenmerk, dat de deklaag van messing of zink 1s.8. Werkwijze volgens een of meer der voorgaande conclusies l - 7, met het kenmerk, dat de langwerpige mantel (16) van glas is.9. Werkwijze volgens een of meer der voorgaande conclusies l -8, met het kenmerk, dat het aldus gereinigde substraat ingebed wordt In een polymeermaterlaal, zoals rubber.10. Inrichting voor het continu reinigen van een langwerpig substraat (11) zoals een draad, een band, een koord, enz. tenminste omvattende een kamer (5) met middelen voor het onder vacuum brengen van deze kamer, een In deze vacuumkamer (5) opgestelde anode (17), organen voor het toevoeren van een inert verstuivingsgas, zoals argon.In deze vacuumkamer (5), middelen voor het continu geleiden van het langwerpig substraat (11) door de hoog vacuumkamer (5), en middelen voor het handhaven van een voldoend hoge spanning tussen het substraat (11) als kathode en de In de kamer aanwezige anode (17) zodat tussen deze twee elektroden een elektrische ontlading plaats- vindt, met het kenmerk, dat de anode (17) gevormd 15 door tenminste een ringvormige elektrode (17), dle 1n een langwerpige mantel (16) van warmtestraltng doorlatend materiaal is aangebracht.11. Inrichting volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat de langwerpige mantel (16) een cirkelvormig cilindrisch oppervlak 1s.12. Inrichting volgens conclusie 10 of conclusie 11, met het kenmerk. dat de langwerpige mantel van glas is. <Desc/Clms Page number 10>13. Inrichting volgens één of meer der voorgaande conclusies 10-12. met het kenmerk, dat rond de langwerpige mantel (16) koelorganen (21) ztjn aangebracht.14. Inrichting volgens een of meer der voorgaande conclusies 10-13, met het kenmerk, dat rond de langwerpige mantel een spoel (22) is aangebracht voor het opwekken van een magnetisch veld.15. Inrichting volgens een of meer der voorgaande conclusies 10-14, met het kenmerk, dat de vacuumkamer (5) bestaat uit drie met elkaar verbonden ru1mten (12,13, 14), namelljk de langwerpige mantel (16) van warmtestraUng doorlatend materlaal, die aan beide uiteinden daarvan verbonden 1s met een vacuumrulmte (12,14).16. Inrichting volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de uiteinden van de langwerpige mantel (16) In dichtende steunorganen (19, 20) in de wanden van de daarop aansluitende vacuumrulmten (12, 14) z1jn aangebracht.17. Inrichting volgens conclusie 15 of conclusle 16, met het kenmerk, dat de eerste op de langwerp1ge mantel aansluitende vacuumrulmte (12) voorzien 1s van aanslultorganen (15) voor een vacuumpomp en dat de tweede op de langwerpige mantel aansluitende vacuumru1mte (14) voorzien ls van een toevoer voor inert gas.18. Metalen langwerpig substraat, met het kenmerk, dat het substraat gereinigd 1s onder toepassing van de werkwijze volgens een of meer der voorgaande conclusies 1 - 9.19. Metalen langwerpig substraat volgens conclusie 18, met het kenmerk, dat het substraat van staal tu. <Desc/Clms Page number 11>20. Metalen langwerpig substraat volgens conclusie 18 of coclusie 19, met het kenmerk, dat het substraat voorzien 1s van een deklaag.21. Metalen substraat volgens concluie 20, met het kenmerk, dat de deklaag gekozen is ult messing en zink.22. Voorwerp ult polymeermateriaal, zoals rubber, kunststof, met het kenmerk, dat het voorwerp versterkt 15 met metalen, langwerpige substraten verkregen volgens een of meer der voorgaande conclu- s1es18-21.
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE8701197A BE1001027A3 (nl) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde substraten en met dergelijke substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal. |
| AU23628/88A AU608487B2 (en) | 1987-10-21 | 1988-10-11 | Method and apparatus for cold sputter cleaning an elongated metal substrate |
| DE8888202290T DE3867998D1 (de) | 1987-10-21 | 1988-10-13 | Verfahren und vorrichtung zur reinigung von langgestreckten metallischen substraten, substrate gereinigt mit diesem verfahren, und gegenstaende aus polymerem material, verstaerkt mit diesen substraten. |
| ES198888202290T ES2028262T3 (es) | 1987-10-21 | 1988-10-13 | Procedimiento y aparato para limpiar sustratos metalicos largos, tales como alambres, bandas, cordones, etc., asi como los sustratos limpiados con dicho procedimiento y los objetos de material polimerico reforzados con tales sustratos. |
| TR88/0738A TR24083A (tr) | 1987-10-21 | 1988-10-13 | Bir tel bir band bir kard vs.gibi uzun metal bir alt tabakanin temizlenmesi icin yoentem ve aygit ile birlikte ,bu yoenteme goere temizlenen alt-taba- kalar ve bu gibi alt tabakalar ile takviye edilen |
| AT88202290T ATE71989T1 (de) | 1987-10-21 | 1988-10-13 | Verfahren und vorrichtung zur reinigung von langgestreckten metallischen substraten, substrate gereinigt mit diesem verfahren, und gegenstaende aus polymerem material, verstaerkt mit diesen substraten. |
| EP88202290A EP0313154B1 (en) | 1987-10-21 | 1988-10-13 | Method and apparatus for cleaning elongate metal substrates, substrates cleaned according to this method and polymeric objects reinforced with such substrates |
| CA000580654A CA1315920C (en) | 1987-10-21 | 1988-10-19 | Method and apparatus for cleaning a long metal substrate, such as a wire, a band, a cord, etc., as well as substrates cleaned according to that method and objects of polymer material reinforced with such substrates |
| US07/261,043 US4935115A (en) | 1987-10-21 | 1988-10-21 | Method and apparatus for cold sputter cleaning an elongated metal substrate |
| JP63265961A JPH01288386A (ja) | 1987-10-21 | 1988-10-21 | 長い金属基材の洗浄方法、その装置、その方法に従って洗浄した基材および洗浄した基材を用いて補強したポリマー材からなる物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE8701197A BE1001027A3 (nl) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde substraten en met dergelijke substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| BE1001027A3 true BE1001027A3 (nl) | 1989-06-13 |
Family
ID=3882934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BE8701197A BE1001027A3 (nl) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde substraten en met dergelijke substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal. |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4935115A (nl) |
| EP (1) | EP0313154B1 (nl) |
| JP (1) | JPH01288386A (nl) |
| AT (1) | ATE71989T1 (nl) |
| AU (1) | AU608487B2 (nl) |
| BE (1) | BE1001027A3 (nl) |
| CA (1) | CA1315920C (nl) |
| DE (1) | DE3867998D1 (nl) |
| ES (1) | ES2028262T3 (nl) |
| TR (1) | TR24083A (nl) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5163458A (en) * | 1989-08-03 | 1992-11-17 | Optek, Inc. | Method for removing contaminants by maintaining the plasma in abnormal glow state |
| FR2661544B1 (fr) * | 1990-04-27 | 1994-05-27 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de decontamination par decapage ionique. |
| JPH04297560A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-21 | Nisshin Steel Co Ltd | 鋼帯の連続溶融めっき方法及び装置 |
| DE4136990C2 (de) * | 1991-11-11 | 2002-12-05 | Ald Vacuum Techn Ag | Verfahren zur Entfettung und Reinigung von mit fett- und/oder ölhaltigen Stoffen behaftetem Gut |
| US5393575A (en) * | 1992-03-03 | 1995-02-28 | Esterlis; Moisei | Method for carrying out surface processes |
| US5948294A (en) * | 1996-08-30 | 1999-09-07 | Mcdermott Technology, Inc. | Device for cathodic cleaning of wire |
| JPH10185953A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Mitsubishi Electric Corp | プローブカード探針の洗浄方法およびこの洗浄方法を実施するための装置 |
| FR2774400B1 (fr) * | 1998-02-04 | 2000-04-28 | Physiques Et Chimiques | Dispositif electrique pour degraissage, decapage ou passivation plasmachimique de metaux |
| DE19907911C2 (de) * | 1999-02-24 | 2003-02-27 | Mag Maschinen Und Appbau Ag Gr | Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von elektrisch leitfähigem Endlosmaterial |
| RU2234457C2 (ru) * | 2001-06-01 | 2004-08-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственная компания "НеоТекПродакт" | Способ получения фуллеренсодержащей сажи и устройство для его осуществления |
| US20040234703A1 (en) * | 2002-06-04 | 2004-11-25 | Frautschi Jack R. | Method of forming a polymer layer on a metal surface |
| AT414215B (de) | 2003-02-12 | 2006-10-15 | Peter Ziger | Anlage zur plasmaprozessierung |
| WO2005095078A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Pirelli Tyre S.P.A. | Process for producing a metal wire coated by means of a plasma deposition technique |
| AT503377B1 (de) * | 2006-02-02 | 2008-09-15 | Eiselt Primoz | Verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von materialien |
| JP5259125B2 (ja) * | 2006-08-24 | 2013-08-07 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 |
| CN106164776B (zh) | 2014-04-09 | 2019-04-23 | Asml荷兰有限公司 | 用于清洁对象的装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB948554A (en) * | 1961-03-22 | 1964-02-05 | Joseph Edmund Harling And Dona | Method and apparatus for cleaning metal by plasma arcs |
| FR1492429A (fr) * | 1966-08-31 | 1967-08-18 | Libbey Owens Ford Glass Co | Procédé et appareil pour éliminer les éléments contaminants de la surface d'un substrat |
| DE1283645B (de) * | 1962-05-24 | 1968-11-21 | Union Carbide Corp | Verfahren und Vorrichtung zur Lichtbogenreinigung von Metallkoerpern |
| JPS541242A (en) * | 1977-06-04 | 1979-01-08 | Agency Of Ind Science & Technol | Method of removing metal scale |
| JPS55110782A (en) * | 1979-02-19 | 1980-08-26 | Hitachi Ltd | Method for surface treatment of material to be worked by cold plastic working |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH342980A (de) * | 1950-11-09 | 1959-12-15 | Berghaus Elektrophysik Anst | Verfahren zur Diffusionsbehandlung von Rohren aus Eisen und Stahl oder deren Legierungen |
| US3326177A (en) * | 1963-09-12 | 1967-06-20 | Pennsalt Chemicals Corp | Metal vapor coating apparatus |
| US3654108A (en) * | 1969-09-23 | 1972-04-04 | Air Reduction | Method for glow cleaning |
| US3728246A (en) * | 1970-01-22 | 1973-04-17 | E Barkhudarov | Device for applying thin films to articles |
| US3884793A (en) * | 1971-09-07 | 1975-05-20 | Telic Corp | Electrode type glow discharge apparatus |
-
1987
- 1987-10-21 BE BE8701197A patent/BE1001027A3/nl not_active IP Right Cessation
-
1988
- 1988-10-11 AU AU23628/88A patent/AU608487B2/en not_active Ceased
- 1988-10-13 DE DE8888202290T patent/DE3867998D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-13 AT AT88202290T patent/ATE71989T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-10-13 TR TR88/0738A patent/TR24083A/xx unknown
- 1988-10-13 ES ES198888202290T patent/ES2028262T3/es not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-13 EP EP88202290A patent/EP0313154B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-19 CA CA000580654A patent/CA1315920C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-21 JP JP63265961A patent/JPH01288386A/ja active Pending
- 1988-10-21 US US07/261,043 patent/US4935115A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB948554A (en) * | 1961-03-22 | 1964-02-05 | Joseph Edmund Harling And Dona | Method and apparatus for cleaning metal by plasma arcs |
| DE1283645B (de) * | 1962-05-24 | 1968-11-21 | Union Carbide Corp | Verfahren und Vorrichtung zur Lichtbogenreinigung von Metallkoerpern |
| FR1492429A (fr) * | 1966-08-31 | 1967-08-18 | Libbey Owens Ford Glass Co | Procédé et appareil pour éliminer les éléments contaminants de la surface d'un substrat |
| JPS541242A (en) * | 1977-06-04 | 1979-01-08 | Agency Of Ind Science & Technol | Method of removing metal scale |
| JPS55110782A (en) * | 1979-02-19 | 1980-08-26 | Hitachi Ltd | Method for surface treatment of material to be worked by cold plastic working |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| CHEMICAL ABSTRACTS, vol. 90, no. 24, juni 1979, blz. 242, samenvatting no. 190706p, Columbus, Ohio, US; & JP-A-79 01 242 (AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCES AND TECHNOLOGY) 08-01-1979 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 4, no. 173 (C-32)[655], 29 november 1980; & JP-A-55 110 782 (HITACHI SEISAKUSHO K.K.) 26-08-1980 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2028262T3 (es) | 1992-07-01 |
| AU2362888A (en) | 1989-04-27 |
| EP0313154B1 (en) | 1992-01-22 |
| TR24083A (tr) | 1991-03-04 |
| JPH01288386A (ja) | 1989-11-20 |
| US4935115A (en) | 1990-06-19 |
| DE3867998D1 (de) | 1992-03-05 |
| CA1315920C (en) | 1993-04-13 |
| ATE71989T1 (de) | 1992-02-15 |
| AU608487B2 (en) | 1991-03-28 |
| EP0313154A1 (en) | 1989-04-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BE1001027A3 (nl) | Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig metalen substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde substraten en met dergelijke substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal. | |
| US4374722A (en) | Cathodic sputtering target including means for detecting target piercing | |
| EP0953428B1 (en) | Plasma process for reducing friction within the lumen of polymeric tubing | |
| EP0045822B1 (en) | Cylindrical magnetron sputtering cathode | |
| JPH04289167A (ja) | マグネトロン陰極による基板への成膜装置 | |
| GB1587566A (en) | Sputtering device and method | |
| JPS5845892B2 (ja) | スパツタ蒸着装置 | |
| JPS596375A (ja) | 磁気強調スパツタリング用の円筒形カソ−ド及びスパツタリング方法 | |
| US3230110A (en) | Method of forming carbon vapor barrier | |
| EP0064288A1 (en) | Method and apparatus for the production and utilization of activated molecular beams | |
| US6570166B2 (en) | Operation method of ion source and ion beam irradiation apparatus | |
| US6419749B1 (en) | Apparatus for UV curing a coating on a filament or the like and method of manufacturing | |
| US4058697A (en) | Electron beam unit for heat treatment by electron bombardment technique | |
| CA1177638A (en) | Apparatus for physical vapor deposition | |
| NL8602760A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het reinigen van een langwerpig substraat, zoals een draad, een band, een koord, enz., alsmede volgens die werkwijze gereinigde voorwerpen. | |
| US6391396B1 (en) | Chemical vapor deposition coating of fibers using microwave application | |
| NO127017B (nl) | ||
| EP0770703A2 (en) | A seal and a chamber having a seal | |
| JP2738432B2 (ja) | プラズマビーム製膜装置 | |
| JP3129832B2 (ja) | 光ケーブルの製造方法および製造装置 | |
| JPS5916257A (ja) | 原子スペクトル光源 | |
| Verweij | Probe measurements in the positive column of low pressure mercury-argon discharges | |
| US3367564A (en) | Sublimation getter pump employing a consumable getter source element heated by radiation | |
| US5219668A (en) | Process and apparatus for the treatment of coated, elongated substrate, as well as substrates thus treated and articles of polymeric material reinforced with these substrates | |
| US6423191B1 (en) | Sputtering method and apparatus for depositing a coating onto substrate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RE | Patent lapsed |
Owner name: S.A. BEKAERT N.V. Effective date: 19921031 |