ATE450880T1 - Einrichtung und verfahren zur verringerung der auswirkung von verzerrungen in einem mikroskop - Google Patents

Einrichtung und verfahren zur verringerung der auswirkung von verzerrungen in einem mikroskop

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ATE450880T1
ATE450880T1 AT02746290T AT02746290T ATE450880T1 AT E450880 T1 ATE450880 T1 AT E450880T1 AT 02746290 T AT02746290 T AT 02746290T AT 02746290 T AT02746290 T AT 02746290T AT E450880 T1 ATE450880 T1 AT E450880T1
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reducing
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microscope
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micro
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Hakan Olin
Krister Svensson
Fredrik Althoff
Andrey Danilov
Paul Bengtsson
Martin Hospers
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Nanofactory Instruments Ab
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
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