ATE152237T1 - Interferometer bestehend aus einer integrierten anordnung und einem reflektierenden teil, die durch eine messzone voneinander getrennt sind - Google Patents

Interferometer bestehend aus einer integrierten anordnung und einem reflektierenden teil, die durch eine messzone voneinander getrennt sind

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ATE152237T1
ATE152237T1 AT93116051T AT93116051T ATE152237T1 AT E152237 T1 ATE152237 T1 AT E152237T1 AT 93116051 T AT93116051 T AT 93116051T AT 93116051 T AT93116051 T AT 93116051T AT E152237 T1 ATE152237 T1 AT E152237T1
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AT
Austria
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reflecting part
integrated arrangement
separated
measuring zone
interferometer
Prior art date
Application number
AT93116051T
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Inventor
Guy Voirin
Lucien Falco
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Suisse Electronique Microtech
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AT93116051T 1992-10-06 1993-10-05 Interferometer bestehend aus einer integrierten anordnung und einem reflektierenden teil, die durch eine messzone voneinander getrennt sind ATE152237T1 (de)

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FR9212121A FR2696545B1 (fr) 1992-10-06 1992-10-06 Interféromètre comprenant un ensemble intégré et une unité réfléchissante séparés l'un de l'autre par une région de mesure.

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ATE152237T1 true ATE152237T1 (de) 1997-05-15

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