ATA36897A - Verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines plasmas - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines plasmas

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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19856307C1 (de) * 1998-12-07 2000-01-13 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Erzeugung eines freien kalten Plasmastrahles
DE10259831B4 (de) * 2002-12-19 2005-06-09 Imt Innovative Messtechnik Gmbh Plasmagenerator
US20040164250A1 (en) * 2003-02-25 2004-08-26 Cork Christopher P. Handheld isotope identification system
SE529056C2 (sv) * 2005-07-08 2007-04-17 Plasma Surgical Invest Ltd Plasmaalstrande anordning, plasmakirurgisk anordning och användning av en plasmakirurgisk anordning
SE529053C2 (sv) 2005-07-08 2007-04-17 Plasma Surgical Invest Ltd Plasmaalstrande anordning, plasmakirurgisk anordning och användning av en plasmakirurgisk anordning
SE529058C2 (sv) * 2005-07-08 2007-04-17 Plasma Surgical Invest Ltd Plasmaalstrande anordning, plasmakirurgisk anordning, användning av en plasmakirurgisk anordning och förfarande för att bilda ett plasma
US7812307B2 (en) * 2006-01-20 2010-10-12 Agilent Technologies, Inc. Microplasma-based sample ionizing device and methods of use thereof
US7928338B2 (en) * 2007-02-02 2011-04-19 Plasma Surgical Investments Ltd. Plasma spraying device and method
TWI337748B (en) * 2007-05-08 2011-02-21 Univ Nat Sun Yat Sen Mass analyzing apparatus
US7589473B2 (en) * 2007-08-06 2009-09-15 Plasma Surgical Investments, Ltd. Pulsed plasma device and method for generating pulsed plasma
US8735766B2 (en) * 2007-08-06 2014-05-27 Plasma Surgical Investments Limited Cathode assembly and method for pulsed plasma generation
US20110109226A1 (en) * 2009-11-06 2011-05-12 Agilent Technologies, Inc. Microplasma device with cavity for vacuum ultraviolet irradiation of gases and methods of making and using the same
DE102009046504B4 (de) * 2009-11-06 2016-06-09 Westfälische Wilhelms-Universität Münster Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines Stoffgemisches
US8613742B2 (en) * 2010-01-29 2013-12-24 Plasma Surgical Investments Limited Methods of sealing vessels using plasma
US9089319B2 (en) 2010-07-22 2015-07-28 Plasma Surgical Investments Limited Volumetrically oscillating plasma flows
CN102662018A (zh) * 2010-11-30 2012-09-12 中国科学院大连化学物理研究所 一种光离子化检测器
US8957572B2 (en) 2011-06-24 2015-02-17 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Microplasma jet devices, arrays, medical devices and methods
US9144858B2 (en) 2011-11-18 2015-09-29 Recarbon Inc. Plasma generating system having movable electrodes
RU2529056C2 (ru) * 2012-12-14 2014-09-27 Общество с ограниченной ответственностью "НИТ" Высоковольтный плазмотрон
EP2804450B1 (de) * 2013-05-16 2022-05-04 Kjellberg-Stiftung Mehrteiliges Isolierteil für einen Lichtbogenplasmabrenner, Brenner und zugehörige Anordnungen mit demselben und zugehörigen Verfahren
JP6295150B2 (ja) * 2014-07-07 2018-03-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 質量分析装置
WO2016157509A1 (ja) * 2015-03-27 2016-10-06 株式会社信光社 光アイソレータの放熱構造
US10047437B2 (en) * 2015-06-15 2018-08-14 Inficon, Inc. Process gas management system and photoionization detector
WO2022047227A2 (en) 2020-08-28 2022-03-03 Plasma Surgical Investments Limited Systems, methods, and devices for generating predominantly radially expanded plasma flow

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2941063A (en) * 1958-09-15 1960-06-14 Plasmadyne Corp Plasma-jet torch apparatus and method relating to increasing the life of the back electrode
DE1263201B (de) * 1959-11-14 1968-03-14 Kralovopolska Strojirna Zd Y C Vorrichtung zur Erzeugung und Aufrechterhaltung eines im Inneren eines laenglichen Fluessigkeitswirbels brennenden elektrischen Lichtbogens
US3149222A (en) * 1962-08-21 1964-09-15 Giannini Scient Corp Electrical plasma-jet apparatus and method incorporating multiple electrodes
DE1614801C3 (de) * 1966-04-16 1973-09-27 Tavkoezlesi Kutato Intezet, Budapest Senkrecht angeordneter Licht bogen Plasmabrenner
GB1180330A (en) * 1967-09-09 1970-02-04 Consortium Elektrochem Ind Process and Device for Zone-Melting with the Aid of High Frequency Gas Discharges
DE2525939A1 (de) * 1975-06-11 1976-12-23 Messer Griesheim Gmbh Plasmalichtbogenbrenner
DE2646785A1 (de) * 1976-10-16 1978-04-20 Battelle Institut E V Plasma-panel
US4854263B1 (en) * 1987-08-14 1997-06-17 Applied Materials Inc Inlet manifold and methods for increasing gas dissociation and for PECVD of dielectric films
GB2213636B (en) * 1988-01-07 1993-01-27 Toshiba Kk Apparatus for introducing samples into an inductively coupled,plasma source mass spectrometer
DE3814330C2 (de) * 1988-04-28 1997-05-15 Rheinmetall Ind Ag Elektrothermische Beschleunigungsvorrichtung
US5414324A (en) * 1993-05-28 1995-05-09 The University Of Tennessee Research Corporation One atmosphere, uniform glow discharge plasma
JPH08274069A (ja) * 1995-03-30 1996-10-18 Sumitomo Sitix Corp プラズマエッチング装置用シリコン電極装置
JP3082659B2 (ja) * 1996-03-18 2000-08-28 株式会社日立製作所 プラズマ処理装置

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AT405472B (de) 1999-08-25
CA2283410A1 (en) 1998-09-11
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AU743870B2 (en) 2002-02-07
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EP0965253A1 (de) 1999-12-22
CA2283410C (en) 2002-11-12
DE59808697D1 (de) 2003-07-17

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