AT402863B - Vorrichtung zur erzeugung von bildern aus zwei gegenstandsebenen - Google Patents

Description

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 Gegenstandsebenen fehlerfrei miteinander zu vergleichen bzw. bei der Justierung zur Deckung zu bringen. 



   Unter Verwendung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art wird die gestellte Aufgabe erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass die Gegenstandsweite des Betrachtungsmikroskopes auf den der einen Kamera zugeordneten Strahlengang einstellbar ist und die Zweite Kamera zur Veränderung der Gegenstandsweite des zweiten Strahlenganges im Mikroskop über die Bildweite zumindest in   Achsnchtung   dieses zweiten Strahlenganges verstellbar ist. 



   Erfindungsgemäss wird somit mit Hilfe einer einfachen Vorrichtung die gleichzeitige Erzeugung von Bildern aus zwei Schärfentiefenebenen möglich, wobei bei Einstell- und Ausrichtungsvorgängen eine Überwachung beider gegeneinander auszurichtender Teile stattfindet, so dass die bisher bei der Bildspeicherung möglichen und auftretenden Fehler verhindert werden. 



   Um eine Einstellung der zweiten Kamera zur optischen Achse der ersten Kamera bzw. des Mikroskopes zu ermöglichen oder auch um die zweite Kamera genau auf eine Justiermarke in der von ihr erfassten Gegenstandsebene ausrichten zu können, kann die zweite Kamera über Stelltriebe zusätzlich normal zu ihrer optischen Hauptachse einstellbar sein. 



   Weitere Einzelheiten und Vorteile des Erfindungsgegenstandes entnimmt man der nachfolgenden Zeichnungsbeschreibung. 



   In der Zeichnung ist eine erfindungsgemässe Vorrichtung im Schema veranschaulicht. Insbesondere wurden von dem verwendeten Mikroskop nur die optischen Leitelnnchtungen und die Strahlengänge, nicht aber die selbstverständlich vorhandenen mechanischen Teile dargestellt. 



   Bel der dargestellten   Vomchtung   sind zwei Kameras 1 und 2 mit je einem photoelektnschen Bilderzeuger, z. B. einem CCD-Sensor vorhanden. Die beiden Kameras 1, 2 sind einem Betrachtungsmikrokop zugeordnet, von dem nur die Tubuslinse 4 und das Objektiv 5 veranschaulicht wurden. 



   Zwischen der Tubuslinse 4 und den Kameras 1,2 ist ein optischer Strahlteiler 3 angeordnet, der einen Teil des Strahlenganges des Mikroskopes ungehindert zur Kamera 1 durchlässt und den anderen Teil des Strahlenganges beim Ausführungsbeispiel normal zur Längsachse des Mikroskopes auf die Kamera 2 und deren Bilderzeuger ausblendet. 



   Die Kamera 1 wird mittels des Objektives 5 auf eine Gegenstandsebene F1 eingestellt. 



   Die Kamera 2 ist über einen Stelltrieb In Richtung z der optischen Achse einstellbar, so dass durch Veränderung der Bildweite der Kamera 2 auch die Gegenstandsweite eingestellt werden kann und beim   Ausführungsbeispiel   eine Einstellung auf die Gegenstandsebene F2 vorliegt. Die Kamera 1 empfängt somit 
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 Änderung   de'Länge   des ausgeblendeten Strahlenganges zur Kamera 2 gegenüber der Länge des Strahlenganges zur Kamera 1 ändert sich auch der Vergrösserungsfaktor, wobei die Massstabsänderung zentrisch von der optischen Achse vor sich geht.

   Die Kamera 2 ist ebenso wie die Kamera 1 mit einem Bildmischer 6 mit nachgeordnetem Bildschirm verbunden, so dass auf dem Bildschirm teilweise während der Einstellung getrennt die Bilder der beiden Kameras 1, 2 dargestellt und die Bilder zur Feineinstellung schliesslich gemischt oder überlagert werden können. Eine zusätzliche Justierung der Kamera 2 ist über einen Stelltrieb 7 normal zur optischen Achse in   x- und v-Richtung möglich.   Eine solche Justierung kann zur Einstellung der optischen Achse der Kamera 1 und auch zur Einstellung auf zur optischen Achse des Mikroskopes exzentrische Justiermarken In der Ebene F2 vorgenommen werden.

   Bei der Einstellung beider Kameras auf Justiermarken In den beiden Ebenen F1 und F2 bedingt die Massstabsänderung durch die Längsverstellung der Kamera 2 keinen Fehler, da die Massstabsänderung vom Zentrum der Justiermarke, auf die ausgerichtet wurde, ausgeht. Es ist aber auch möglich, den Abbildungsmassstab der Kamera 2 z. B. mit einem Rechner digital zu verändern und so an den Abbildungsmassstab durch die Kamera 1 anzugleichen. Eine weitere   Möglichkeit   besteht dann, über die notwendige Verstellung der Kamera 2 den Abstand Zob der beiden Gegenstandsebenen F1 und F2 zu bestimmen. 



   Falls es notwendig ist, einen grösseren Bereich mit ausreichender Schärfentiefe zu erfassen bzw. Bilder aus mehreren Gegenstandsebenen zu erzeugen, können auch mehr als zwei Kameras 1,2 und zugeordnete Strahlteiler Verwendung finden. Ein Beispiel für eine solche Ausführung wären Einrichtungen zur Ausnchtung mehrerer zusammenzufügender Wafer oder auch Operationsmikroskope. 

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Claims (2)

1. Patentansprüche 1. Vorrichtung zur Erzeugung von Bildern aus zwei Gegenstandsebenen, mit einem Betrachtungsmikro- skop, in dessen Strahlengang ein Strahlteiler, insbesondere ein halbdurchlässiger Ablenkspiegel oder ein halbdurchlässiges Ablenkprisma angeordnet ist, wobei für den Strahlengang des Mikroskopes und den zweiten, ausgeblendeten Strahlengang je eine Kamera vorgesehen ist, auf deren photoelektnschem Bilderzeuger die Strahlengänge abbilden, und für die beiden Kameras eine gemeinsame Bildanzeige- <Desc/Clms Page number 3> einrichtung, insbesondere ein Bildmischer mit zugeordnetem Bildschirm, zur wahlweise einzelnen oder gemeinsamen Darstellung der über die Kameras empfangenen Bilder vorgesehen ist, dadurch ge- kennzeichnet, dass die Gegenstandsweite (F1) des Betrachtungsmikroskopes (4,5)

   auf den der einen Kamera (1) zugeordneten Strahlengang einstellbar ist und die zweite Kamera (2) zur Veränderung der Gegenstandsweite (F2) des zweiten Strahlenganges im Mikroskop über die Bildweite zumindest In Achsrichtung dieses zweiten Strahlenganges verstellbar ist.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Kamera (2) über Stelltnebe (7) zusätzlich normal zu ihrer optischen Hauptachse einstellbar ist.