AT359798B - Verfahren und anordnung zur regelung des entladungsvorganges in einer kathodenzer- staeubungsanlage - Google Patents

Verfahren und anordnung zur regelung des entladungsvorganges in einer kathodenzer- staeubungsanlage

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AT359798B AT191179A AT191179A AT359798B AT 359798 B AT359798 B AT 359798B AT 191179 A AT191179 A AT 191179A AT 191179 A AT191179 A AT 191179A AT 359798 B AT359798 B AT 359798B
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Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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