DD135311A1 - Verfahren und einrichtung zur korrektur der ablenkaberrationen in einem korpuskularstrahlgeraet - Google Patents

Verfahren und einrichtung zur korrektur der ablenkaberrationen in einem korpuskularstrahlgeraet

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DD135311A1
DD135311A1 DD20337678A DD20337678A DD135311A1 DD 135311 A1 DD135311 A1 DD 135311A1 DD 20337678 A DD20337678 A DD 20337678A DD 20337678 A DD20337678 A DD 20337678A DD 135311 A1 DD135311 A1 DD 135311A1
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corpuscular
radiator
ceramics
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deflection
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Eberhard Hahn
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/08—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means
    • G21K1/093—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means by magnetic means
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