<Desc/Clms Page number 1>
Die Erfindung betrifft einen Schichtwerkstoff für magnetische Aufzeichnungs- und Wiedergabeköpfe mit hoher Permeabilität und niedriger Koerzitivfeldstärke, enthaltend eine Mehrzahl von Lagen aus magnetisch weichem Metall und durchgehende, im Verhältnis zum magnetisch weichen Metall elektrisch isolierende Zwischenlagen.
Bekannte Schichtwerkstoffe dieser Art werden im allgemeinen aus verhältnismässig dünnen Lagen magnetisierbaren Werkstoffes unter Zwischenschaltung von Isolierschichten aus organischen Verbindungen aufgebaut, um Wirbelstromverluste zu vermindern. Die Handhabung der ausserordentlich dünnen Schichten aus magnetisierbarem Werkstoff zum Aufbau des Schichtwerkstoffes bereitet aber Schwierigkeiten, wobei es zu einer Verbiegung und Verformung des zunächst magnetisch weichen Materials, etwa beim Abziehen von einer Vorratsrolle oder beim Aufeinanderlegen zu dem geschichteten Verband kommen kann, so dass auf Grund der sodann dem magnetisierbaren Werkstoff innewohnenden Spannungen die magnetischen Eigenschaften verändert werden.
Das wieder kann zur Folge haben, dass aus dem betreffenden Schichtwerkstoff hergestellte Werkstücke sich nach einer Prüfung der elektrischen und magnetischen Eigenschaften als Ausschuss erweisen. Diese Schwierigkeiten haben mitunter dazu geführt, dass man die einzelnen Schichten aus magnetisierbarem Werkstoff nur begrenzt dünn ausführen konnte, so dass die Qualität entsprechender Werkstücke bezüglich des Frequenzverhaltens ebenfalls begrenzt war.
Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, dass unter einem magnetisierbaren Werkstoff ein magnetisch aktiver Werkstoff, beispielsweise ein ferromagnetischer Werkstoff zu verstehen ist, welcher, zumindest nach entsprechender Behandlung, als magnetisch weicher Werkstoff vorliegen kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Schichtwerkstoffe zu schaffen, deren Lagen aus magnetisch weichem Metall ausreichend dünn sein können, um den qualitativen Anforderungen an ein solches Material zu entsprechen, die ausserdem einen thermischen Nachbehandlungsschritt zum Ausgleich eventuell vorhandener Spannungen vertragen und die ausserordentlich verschleissfest sind.
Dies wird erfindungsgemäss dadurch erzielt, dass die isolierenden Zwischenlagen ein Halbleitermaterial enthalten, wobei vorzugsweise an eine Schichte aus Halbleitermaterial eine weitere Metallschichte, insbesondere aus Kupfer oder Nickel anliegt.
Die derart aufgebauten erfindungsgemässen Schichtwerkstoffe zeichnen sich durch hohe Permeabilitätswerte aus, haben eine niedrige Koerzitivfeldstärke und sind wesentlich verschleissfester als Schichtwerkstoffe mit organischen Zwischenschichten. Durch die wesentlich höhere Temperaturbeständigkeit der Halbleiter im Vergleich zu den bisher verwendeten organischen Zwischenlagenmaterialien kann der Schichtwerkstoff eine abschliessende Temperaturbehandlung zum Ausgleich vorhandener Spannungen und zum Weichglühen des magnetisch weichen Metalls erfahren, ohne dadurch beschädigt zu werden.
Soferne an eine Schichte aus Halbleitermaterial eine weitere Metallschichte vorteilhafterweise aus Kupfer oder Nickel, angrenzt, lassen sich Bauteile zur Abschirmung oder zur Konzentration elektrischer Felder herstellen. Bei mehrspurigen Magnetband-Aufzeichnungsköpfen kann diese Technik dazu verwendet werden, benachbarte Abschnitte des Aufzeichnungskopfes voneinander zu trennen. Die Lagen aus magnetischem Werkstoff schirmen dann die magnetischen Felder ab und die Lagen aus Leiterwerkstoff schirmen die elektrischen Felder ab. Auch können geschichtete AbschirmBauteile gesondert hergestellt werden.
Beispiele für das zu verwendende Halbleitermaterial sind einerseits Selen und anderseits die Reaktionsprodukte eines Elementes der dritten Gruppe des periodischen Systems mit einem Element der fünften Gruppe des periodischen Systems. Als solche können Aluminiumarsenid und Aluminiumantimonid als besonders vorteilhaft genannt werden.
Vorzugsweise liegt das Dickenverhältnis der isolierenden Zwischenlage zu einer der Lagen aus magnetisch weichem Metall zwischen 3 : 1 und 50 : 1.
Gemäss einem weiteren Merkmal der Erfindung sind die Zwischenlagen in einem aktiven oder passiven magnetischen Kreis angeordnet und wirken darin als Isolatoren.
Nachfolgend wird die Erfindung durch die Beschreibung einiger Beispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es stellen dar : Fig. 1 einen schematischen Querschnitt eines geschichteten Pressbarrens oder Strangpressbarrens vor der Reduktion, Fig. 2 eine vergrösserte Teil-
<Desc/Clms Page number 2>
ansicht aus Fig. 1 entsprechend der in dieser Zeichnungsfigur angedeuteten Schnittebene 2-2, Fig. 3 eine schematische Abbildung einer gegenüber Fig. 2 abgewandelten Ausführungsform, Fig. 4 einen schematischen Querschnitt eines geschichteten Abschirmwerkstoffes, Fig. 5 einen schematischen Querschnitt eines zusammengesetzten Bauteils mit Schichtwerkstoffen gemäss Fig. 2 oder Fig. 3 einerseits und Schichtwerkstoffen gemäss Fig. 4 anderseits, Fig. 6 eine auseinandergezogene Darstellung zur Erläuterung der Herstellung von Ausführungsbeispielen und Fig.
7 einen Teilschnitt längs der in Fig. 6 angedeuteten Schnittebene 9-9.
In Fig. 2 sind Lagen magnetisch weichen Werkstoffes --10-- dargestellt, welche durch Zwischenlagen --12-- eines geeigneten, isolierenden, Werkstoffes voneinander getrennt sind. Der isolierende Werkstoff enthält das Halbleitermaterial oder besteht daraus.
Eine gewünschte Anzahl dieser verschiedenen Lagen --10 und 12-- werden zu einem geschichteten Konstruktionsverband --14-- zusammengesetzt und in eine in Fig. 1 mit --16-- bezeichnete, gegen Ätzmittel widerstandsfähige Ummantelung eingebracht.
Die Ummantelung --16-- und der geschichtete Verband --14-- werden dann in einen Blockaufnehmer --18-- gesetzt und ein Füllmaterial --20-- mit ähnlichen mechanischen Eigenschaften wie der Magnetwerkstoff wird zwischen die Seiten der Ummantelung --16-- und den Blockaufnehmer - eingefüllt. Hierauf werden nicht dargestellte Deckel auf die Enden des Blockaufnehmers - -18-- aufgeschweisst, und die gesamte Anordnung --22-- wird dann erhitzt und durch eine einen laminaren Fluss erzeugende Matrize extrudiert, so dass die Lagen --10 und 12-- gemeinsam reduziert werden.
Hierauf werden der Blockaufnehmer --18-- und das Füllmaterial --20-- von dem Strangpressknüppel durch Abätzen entfernt.
Der Schichtwerkstoff wird sodann in die endgültige Form gebracht, wonach die einzelnen Werkstücke entgratet und geätzt werden, um Metall zu entfernen, das die Ränder der einzelnen Schichten überbrücken könnte. Der geschichtete Konstruktionsverband wird dann einer Wärmebehandlung unterzogen, um das magnetische Material weichzuglühen und die hohe Permeabilität und niedrige Koerzitivfeldstärke zu erzielen.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 sind zusätzliche Schichten --44-- zwischen den Lagen --12-- und den Lagen aus magnetischem Werkstoff --10-- angeordnet. Die zusätzlichen Schichten --44-- bestehen aus einem Werkstoff, der die guten magnetischen Eigenschaften des Materials in der Lage --10-- nicht beeinflusst.
Bei einem praktischen Ausführungsbeispiel bestanden die Lagen --10-- aus magnetisch weichem Material in einer unter der Bezeichnung HyMu 800 im Handel erhältlichen Legierung, welche 79% Nickel, 16% Eisen und 4% Molybdän enthielt. Diese Legierung ist eine einphasige Legierung oder Feststoff-Lösungslegierung mit der Kristallstruktur des Nickels und besitzt bei richtiger Wärmebehandlung sehr hohe Permeabilität und niedrige Koerzitivkraft. Jede Lage --10-- besass eine Dicke von 0, 178 mm, eine Breite von etwa 50 mm und eine Länge von etwa 127 mm.
Die Lagen --12-- hatten eine Stärke von etwa 0,0178 mm. Das Dickenverhältnis der Lagen --10 und 12-- war so gewählt, dass sich einerseits eine hohe Qualität des Magnetwerkstoffes ergab, während anderseits genügend isolierendes Material zur Verfügung stand, um eine gute elektrische Trennung im gewünschten Betriebs-Frequenzbereich zu erhalten. Dickenverhältnisse von 3 : 1 bis 50 : 1 liefern gute Ergebnisse.
Der Schichtverband --14-- wurde mit einer Titanummantelung versehen und in einen Blockaufnehmer --18-- aus Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes gesetzt, wobei als Füllmaterial --20-- eben- falls Stahl niedrigen Kohlenstoffgehaltes diente. Wird anderes magnetisches Metall verwendet, so ist auch entsprechend anderes Füllmetall vorzusehen. Weitere Beispiele geeigneter magnetisch weicher Materialien können in der Veröffentlichung"Ferromagnetism"von Richard M. Bozorth, Van Nostrand, New York, 1951; und "Metals Handbook" Metals Handbook Committee of ASM, [1961], S. 785 bis 797, gefunden werden.
Nach Evakuieren der Anordnung -22-- wurde diese auf 7000C erhitzt und durch eine einen laminaren Fluss ergebende Halbzollmatrize extrudiert, wobei die Schichten eine Querschnittsverringerung erfuhren. Der extrudierte Strangpressknüppel wurde dann mit einer Eisen- (III)-Chlorid-Ätzlö- sung abgespritzt, um den Stahl vom Blockaufnehmer und das Füllmaterial zu entfernen. Nach der
<Desc/Clms Page number 3>
Ätzung ergab sich eine rechteckige Anordnung. Der Schichtverband wurde dann in seinem Querschnitt durch Walzen weiter auf etwa 0,5 mm Stärke reduziert. Aus dem flachen Material wurden sodann Ringe mit quadratischem Querschnitt ausgeschnitten, entgratet und in einer Flusssäure-Salpetersäure-Ätzlösung geätzt.
EMI3.1
glüht.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 waren in einem praktischen Beispiel 0, 178 mm starke Lagen-10-der obenerwähnten Nickel-Eisen-Molybdänlegierung durch eine 0,078 mm starke Zwischenlage --12-- voneinander getrennt, welche sich zwischen benachbarten Schichten --44-- von Sauerstoff-freiem, hochleitfähigem Kupfer befand, das ungefähr dieselbe Dicke aufwies wie die Schicht --12--. Kupfer wurde deshalb ausgewählt, da dieses Material keine schädliche Wirkung auf die magnetischen Eigenschaften der Nickel-Eisen-Molybdän-Legierung hat, wenn es in diese Legierung hineindiffundiert. Im übrigen waren die Verfahrensschritte zur Herstellung des Schichtwerkstoffes dieselben, wie oben beschrieben wurde, und die Versuchsergebnisse waren in gleicher Weise zufriedenstellend.
Vorzugsweise soll die in Fig. 3 dargestellte Schicht --44-- nicht sehr viel dicker als die Schicht --12-- des isolierenden Materials sein.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 besteht ein Abschirmungs-Schichtwerkstoff--14 S-- aus Kupferlagen-46-, welche gegenüber den Zwischenlagen --44-- nach Fig. 3 verhältnismässig dick ausgeführt sind. Diese Kupferlagen --46-- sind zwischen benachbarten Lagen --48--, die Halbleitermaterial enthalten und Lagen --10-- aus magnetisch weichem Werkstoff angeordnet. Sowohl die Kupferlagen als auch die Lagen aus magnetischem Werkstoff und die Zwischenlagen hatten eine Stärke von 0, 0178 mm. Im übrigen war das vorliegende Ausführungsbeispiel genau so hergestellt, wie oben beschrieben. Nach einer Querschnittsreduzierung und einem Ausschneiden des Knüppels konnten die Kupferlagen --46-- als Abschirmungen für das elektrische Feld und die Lagen - aus magnetischem Werkstoff als Abschirmungen für das magnetische Feld dienen.
Die hochleitfähige Lage --46-- darf nicht zu dünn sein ; sie kann mindestens 3mal so dick wie die Schichten --48-- sein und ungefähr genau so dick sein wie die verbleibende Schichtstärke des magnetisch weichen Werkstoffes. Gegebenenfalls kann die hochleitfähige Lage auch bedeutend stärker ausgeführt werden. In bestimmten Fällen der Abschirmung ist es nicht notwendig, die leitfähigen Lagen --46-- von dem magnetisch weichen Werkstoff --10-- zu isolieren. In diesen Fällen können die Trennschichten --48-- auch weggelassen werden.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 5 ist der Strangpressknüppel aus einem ersten geschichteten Verband aus Lagen --14-- entsprechend der Ausführungsform nach Fig. 2 und aus einem zweiten geschichteten Verband --14 S-- von Abschirmschichten entsprechend der Ausführungsform nach Fig. 4 aufgebaut. Nach gemeinsamer Querschnittsreduktion und Formgebung werden die als Transformatorabschnitte verwendbaren Schichtverbände --14-- in einen aktiven oder passiven magnetischen Kreis M gelegt, während dies bei den Abschirmabschnitten entsprechend den Schichtverbänden - -14 S-- nicht der Fall ist.
Die Abschirmabschnitte vermögen die Transformatorabschnitte voneinander abzuschirmen oder zu trennen, so dass eine Verwendung als Vielspur-Aufzeichnungsköpfe möglich ist, wobei jeder Transformatorabschnitt einer eigenen Spur zugeordnet ist und der benachbarte Abschirmabschnitt ein Nebensprechen von andern Transformatorabschnitten her verhindert.
Zwischen den Lagen aus magnetisch weichem Werkstoff können ausserdem zusätzliche Werkstoffschichten vorgesehen sein. Ausserdem ist zwar vorstehend in Verbindung mit der Strangpressmatrize ein vorausgehender, anfänglicher Verfahrensschritt zur Diffusionsverbindung der einzelnen Lagen beschrieben worden, doch kann die Verbindung auch durch Walzen oder Pressen herbeigeführt werden.
Die endgültige Dicke der verschiedenen Lagen und Schichten ist für das Frequenzverhalten des Schichtwerkstoffes oder des betreffenden Werkstückes wesentlich. Die Schichtstärken können durch den Grad der gemeinsamen Querschnittsverminderung eingestellt werden, wobei Schichten aus magnetischem Werkstoff in einer Stärke bis hinunter zu 0, 0025 mm erreicht werden können, doch kann man die Querschnittsreduktion auch vermeiden. Bei einem Ausführungsbeispiel wurde
<Desc/Clms Page number 4>
Arsen in einer Stärke von etwa 0, 0127 mm auf einer Aluminiumfolie von 0, 0178 mm Stärke abgelagert. Hierauf wurde ein Schichtwerkstoff ähnlich dem Verband nach Fig. 2 unter Verwendung eines magnetisch weichen Materials --10-- (die vorgenannte Nickel-Eisen-Molybdän-Legierung) und der arsenbeschichteten Folie (entsprechend 12 oder 12 und 44) gebildet.
Danach wurde der geschichtete Konstruktionsverband gepresst und einer Wärmebehandlung bis zur Weichglühtemperatur des magnetisch weichen Metalls unterzogen. Hiebei reagierten das Arsen und das Aluminium unter Bildung eines Halbleiters oder im wesentlichen einer elektrisch isolierenden Schicht, welche sich zwischen den Schichten aus magnetisch weichem Werkstoff befand.
Eine andere Ausführungsform wieder sah vor, auf einer Aluminiumfolie von 0, 0178 mm Stärke eine Antimonschicht von 0, 0160 mm Stärke abzulagern, welche dann mit den Lagen aus magnetisch weichem Werkstoff zu einem geschichteten Verband zusammengefügt wurde. Dieser Schichtwerkstoff wurde dann auf die Weichglühtemperatur des magnetisch weichen Materials erhitzt. Dabei ergab sich eine Diffusionsverbindung zwischen dem Antimon und dem magnetisch weichen Metall, und das Aluminium reagierte mit dem Antimon unter Bildung eines Halbleiters oder im wesentlichen einer elektrisch isolierenden Trennschicht.
Die Lagen aus magnetisch weichem Material, welche eine Stärke von etwa 0, 025 mm aufwiesen, wurden in der Dicke nicht weiter reduziert, so dass das Hochfrequenzverhalten des Werkstoffes insgesamt nicht wesentlich verbessert wurde, doch ergab sich immerhin eine gewisse Erhöhung der Hochfrequenzqualitäten, da das magnetisch weiche Metall nach Aufbau des Schichtwerkstoffes weichgeglüht werden konnte, um die während der Fertigung eingebrachten Spannungen zu beseitigen.
Gemäss andern Ausführungsformen kann das Halbleitermaterial selbst unmittelbar auf die Lagen aus magnetisch weichem Metall aufgebracht werden, so dass keine Notwendigkeit besteht, Substanzen miteinander reagieren zu lassen, um die Halbleiterschicht zu erzeugen. Beispielsweise kann Selen auf das magnetisch weiche Metall aufgedampft werden, wonach die Lagen zur Bildung eines Schichtwerkstoffes in der obenbeschriebenen Weise aufeinandergelegt werden und sich ähnliche Eigenschaften ergeben, wie zuvor im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel beschrieben, bei welchem Arsen-Aluminiumschichten vorgesehen waren.
Kommt es auf die guten Eigenschaften bei hohen Frequenzen nicht so wesentlich an, so ist es nicht einmal notwendig, den geschichteten Konstruktionsverband auf die Weichglühtemperatur des magnetisch weichen Metalls zu erhitzen. Es ist nur erforderlich, den Schichtwerkstoff so weit zu erhitzen, dass sich eine ausreichende Verbindung ergibt und die gewünschte hohe Verschleissfestigkeit der Halbleiterschichten erzeugt wird.
Die Schicht zwischen den Lagen aus magnetisch weichem Metall gemäss Fig. 2 kann durch auf Blei, Zinn oder Hafnium abgelagertes Selen gebildet sein. Andere Beispiele solcher Schichten sind Cadmiumsulfid, Bleisulfid, Cadmiumoxyd, Zinksulfid, Zinkoxyd, Nickeloxyd, Germaniumsulfid, Zinnsulfid und andere Verbindungen, welche ähnliche Sprünge in den Energieniveaus oder verbotene Bänder besitzen, wobei etwa noch Beispiele der Veröffentlichung "Handbook of Chemistry and Physics" zu entnehmen sind. In der 53. Ausgabe von 1972 und 1973 sind entsprechende Halbleiterwerkstoffe auf den Seiten E 89 - E 92 angegeben.
Gemäss Fig. 6 wechseln sich Schichten aus Blättern --60-- von magnetischem Material mit Halbleiterschichten --62-- ab. Die Schichten --60-- bestehen aus üblichen Blättern aus magnetisch weichem Werkstoff, in welche Elemente --64-- auf photographischem Wege eingeätzt sind. Die dargestellten Elemente --64-- haben die Form von Tonband-Abtastkopf-Abschnitten. Der Halbleiter liegt in Schichten von Partikeln vor, die unter Verwendung eines flüchtigen organischen Bindemittels in eine bandartige oder folienartige Form gebracht sind, wie etwa in der US-PS Nr. 3, 371, 001 beschieben.
Die aus magnetisch weichem Werkstoff bestehenden Blätter haben eine Dicke von etwa 0, 025 mm und werden nach Reinigung durch Führungsöffnungen --66-- über Führungsstifte - übereinander geschichtet, welche von einer Platte --70-- auftragen. Die jeweils dazwischenliegend vorgesehenen Halbleiterschichten haben eine Stärke von etwa 0, 005 mm, so dass ein geschichteter Verband entsprechend Fig. 7 entsteht, wobei die Schichten --60-- den Lagen --10-- nach Fig. 2 und die Schichten --62-- den Lagen --12-- nach Fig. 2 entsprechen. Die gesamte Plattenanordnung wird dann in sauerstoffreier Atmosphäre erhitzt. Das organische Bindemittel verflüchtigt sich, ohne
<Desc/Clms Page number 5>
dass ein unerwünschter Rest zurückbleibt.
Der Halbleiter wird dann ausreichend stark erhitzt, um eine Verbindung zu den Schichten aus magnetisch weichem Metall herzustellen.
Ein mit Führungsbohrungen --74-- versehenes Gewicht --72-- wird dann auf die Führungsstif- te-68-aufgesteckt und liegt über dem zusammengefügten Schichtwerkstoff --61-- und zur Festlegung der Dicke dienenden Abstandstücken --76--. Die gesamte Anordnung wird dann in ein evakuierbares Gefäss oder einen andern Sauerstoff-freien Raum eingebracht, um eine Oxydation während eines nachfolgenden Wärmebehandlungsschrittes zu vermeiden, während welchem ein Weichglühen des magnetisch weichen Werkstoffes stattfindet, was im Falle der obenerwähnten Nickel-Eisen-Molybdän-Legierung in einem Bereich von etwa 600 bis 1200 C geschieht.
Das Gewicht --72-- drückt den Schichtwerkstoff auf eine gewünschte Dicke zusammen, die durch die Höhe der Abstandstücke - festgelegt wird, und das magnetisch weiche Metall wird vollständig weichgeglüht oder spannungsfrei geglüht, so dass die bei der Herstellung eingebrachten Spannungen beseitigt werden.
Der weichgeglühte Schichtwerkstoff wird anschliessend einer Abkühlung unterzogen, welche auf den verwendeten, magnetisch weichen Werkstoff abgestimmt ist. Für die zuvor erwähnte Legierung beträgt die Abkühlgeschwindigkeit etwa 195 bis 2800C je Stunde von der Weichglühtemperatur des betreffenden Metalls über seine Curietemperatur (im Falle der hier betrachteten Nickel-
EMI5.1
die durch Temperaturgradienten verursacht werden könnten, wurde der Schichtwerkstoff im Bereich von 370 bis 40 C mit einer Geschwindigkeit von 100 C je Stunde abgekühlt und dann aus dem Ofen herausgenommen.
Schliesslich wird der vollständig weichgeglühte Schichtwerkstoff in die gewünschten Werkstücke zerschnitten, geschliffen und poliert.
Die isolierenden, Halbleiter enthaltenden Lagen können gebildet werden, indem Hafniumpulver oder Molybdänpulver mit Selenpulver und einem flüchtigen Bindemittel gemischt wird, so dass ein Band oder eine Folie hergestellt werden kann, wie dies in der US-PS Nr. 3, 293, 072 angegeben ist. Erfolgt die Erhitzung in der obenangegebenen Weise, so verflüchtigt sich das organische Bindemittel, und das Selen reagiert mit dem Metall, um die gewünschte Schicht hohen Widerstandes auszubilden. Eine ähnliche bandartige Lage kann auch gebildet werden, indem Aluminiumpulver mit Antimonpulver oder Arsenpulver gemischt wird, so dass. die resultierende, hohen Widerstand aufweisende Schicht ein Halbleiter ist.
In den soeben angeführten Beispielen ist der spezifische Widerstand der Molybdän-Selen-Verbindung etwa 4000 n cm und derjenige der Hafnium-Selen-Verbindung ist etwa 40000 n cm.
Viele andere Elemente und Werkstoffe können auch in eine bandartige oder blattartige Form gebracht werden, um geschichtet und zur Reaktion gebracht werden zu können, so dass die hohen Widerstand aufweisende, Halbleitermaterial enthaltende Schicht entsteht. Zwei Metalle können zur Bildung eines Halbleiters miteinander zur Reaktion gebracht werden. Schliesslich kann die blattartige Lage auch einen pulverisierten Halbleiter, beispielsweise Selen, enthalten.
Die obenbeschriebenen Isolationslagen sind ausserordentlich hart, so dass der resultierende Schichtwerkstoff ausserordentlich verschleissfest ist, was ein wesentlicher Vorteil, insbesondere im Falle der Verwendung in magnetischen Aufzeichnungsköpfen ist.
PATENTANSPRÜCHE :
1. Schichtwerkstoff für magnetische Aufzeichnungs- und Wiedergabeköpfe mit hoher Permeabilität und niedriger Koerzitivfeldstärke, enthaltend eine Mehrzahl von Lagen aus magnetisch weichem Metall und durchgehende, im Verhältnis zum magnetisch weichen Metall elektrisch isolierende Zwischenlagen (12 ; 48 ; 62), dadurch gekennzeichnet, dass die isolierenden Zwischenlagen (12 ; 48 ; 62) ein Halbleitermaterial enthalten, wobei vorzugsweise an eine Schichte aus Halbleitermaterial eine weitere Metallschichte (44,46), insbesonderte aus Kupfer oder Nickel, anliegt.