AT337389B - Verfahren und vorrichtung zur abscheidung eines transparenten elektrisch leitenden metalloxyd-films auf einem nichtleitenden gegenstand - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur abscheidung eines transparenten elektrisch leitenden metalloxyd-films auf einem nichtleitenden gegenstand

Info

Publication number
AT337389B
AT337389B AT999073A AT999073A AT337389B AT 337389 B AT337389 B AT 337389B AT 999073 A AT999073 A AT 999073A AT 999073 A AT999073 A AT 999073A AT 337389 B AT337389 B AT 337389B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
depositing
transparent electrically
electrically conductive
conductive metal
metal oxyde
Prior art date
Application number
AT999073A
Other languages
English (en)
Other versions
ATA999073A (de
Original Assignee
Triplex Safety Glass Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Triplex Safety Glass Co filed Critical Triplex Safety Glass Co
Publication of ATA999073A publication Critical patent/ATA999073A/de
Application granted granted Critical
Publication of AT337389B publication Critical patent/AT337389B/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/84—Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C23C14/044—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks using masks to redistribute rather than totally prevent coating, e.g. producing thickness gradient
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C03C2217/231—In2O3/SnO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
    • C03C2218/155—Deposition methods from the vapour phase by sputtering by reactive sputtering
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/013—Heaters using resistive films or coatings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
AT999073A 1972-11-29 1973-11-28 Verfahren und vorrichtung zur abscheidung eines transparenten elektrisch leitenden metalloxyd-films auf einem nichtleitenden gegenstand AT337389B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB5515672A GB1446848A (en) 1972-11-29 1972-11-29 Sputtered metal oxide coatings articles comprising transparent electrically-conductive coatings on non-conducting substrates

Publications (2)

Publication Number Publication Date
ATA999073A ATA999073A (de) 1976-10-15
AT337389B true AT337389B (de) 1977-06-27

Family

ID=10473126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT999073A AT337389B (de) 1972-11-29 1973-11-28 Verfahren und vorrichtung zur abscheidung eines transparenten elektrisch leitenden metalloxyd-films auf einem nichtleitenden gegenstand

Country Status (10)

Country Link
JP (1) JPS5413596B2 (de)
AT (1) AT337389B (de)
BE (1) BE807989A (de)
CA (1) CA1006845A (de)
DE (1) DE2359893C2 (de)
ES (1) ES420944A1 (de)
FR (2) FR2208005B1 (de)
GB (1) GB1446848A (de)
IT (1) IT1010536B (de)
SE (2) SE391328B (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5179296A (en) * 1974-12-28 1976-07-10 Citizen Watch Co Ltd Tomeidodenmakuno seizohoho
JPS51108294A (ja) * 1975-03-19 1976-09-25 Sharp Kk Sankabutsuhandotaimakuseizosochi
JPS6010022Y2 (ja) * 1981-03-24 1985-04-06 シャープ株式会社 酸化物半導体膜製造装置
US4574733A (en) * 1982-09-16 1986-03-11 Energy Conversion Devices, Inc. Substrate shield for preventing the deposition of nonhomogeneous films
FR2550138B1 (fr) * 1983-08-04 1985-10-11 Saint Gobain Vitrage Vitrage a basse emissivite, notamment pour vehicules
NL8401721A (nl) * 1984-05-29 1985-12-16 Leer Koninklijke Emballage Werkwijze en stelsel voor het produceren van een reactief gesputterde geleidende transparante metaaloxidefilm op een doorlopende materiaalbaan.
FR2581793B1 (fr) * 1985-05-07 1988-04-29 Duruy Nicolas Procede et dispositif de fabrication de composants electroniques ou optoelectroniques avec depot par evaporation sous vide
FR2695117B1 (fr) * 1992-08-28 1994-12-02 Saint Gobain Vitrage Int Procédé de traitement de couches minces à propriétés de conduction électrique et/ou de réflexion dans l'infra-rouge.
AT407324B (de) * 1996-10-14 2001-02-26 Nk Karl Niederleitner Ges M B Flächenheizeinrichtung mit einem mehrschichtigen, bevorzugt transparenten, flächenelement und verfahren zum betrieb

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2569773A (en) * 1948-11-20 1951-10-02 Pittsburgh Plate Glass Co Electroconductive article
US2877329A (en) * 1950-05-25 1959-03-10 Libbey Owens Ford Glass Co Transparent resistance heated panel and method of producing same
GB830391A (en) * 1955-10-28 1960-03-16 Edwards High Vacuum Ltd Improvements in or relating to cathodic sputtering of metal and dielectric films
FR70004E (fr) * 1956-05-18 1959-02-02 Pittsburgh Plate Glass Co Procédé de fabrication d'objets électroconducteurs
LU36582A1 (de) * 1957-11-13
CA934325A (en) * 1970-07-31 1973-09-25 Ppg Industries, Inc. Coating glass
GB1365492A (en) * 1971-02-05 1974-09-04 Triplex Safety Glass Co Metal oxide films

Also Published As

Publication number Publication date
DE2359893C2 (de) 1984-03-29
JPS4995196A (de) 1974-09-10
FR2208005B1 (de) 1978-03-10
DE2359893A1 (de) 1974-07-04
FR2293405A1 (fr) 1976-07-02
GB1446848A (en) 1976-08-18
SE391328B (sv) 1977-02-14
FR2293405B1 (de) 1983-04-22
BE807989A (fr) 1974-05-29
IT1010536B (it) 1977-01-20
ATA999073A (de) 1976-10-15
CA1006845A (en) 1977-03-15
SE7606228L (sv) 1976-06-03
FR2208005A1 (de) 1974-06-21
ES420944A1 (es) 1976-04-16
JPS5413596B2 (de) 1979-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT324606B (de) Verfahren und vorrichtung zum abscheiden eines lichtdurchlässigen elektrisch leitenden metalloxydfilms auf einer werkstückfläche
AT342232B (de) Verfahren und vorrichtung zum trennen eines korpers aus einem glasartigen oder vitrokristallinen material
DE3672378D1 (de) Vorrichtung zur abscheidung eines elektrisch leitenden und/oder nichtleitenden materials auf einem gegenstand.
AT286669B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ortung der Trennflächen verschiedenartiger Stoffe
CH496290A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines ausgewählten Objektes oder Bereiches
AT337389B (de) Verfahren und vorrichtung zur abscheidung eines transparenten elektrisch leitenden metalloxyd-films auf einem nichtleitenden gegenstand
CH546930A (de) Verfahren und vorrichtung zur abschirmung eines hinter einer tueroeffnung liegenden raumes.
AT347151B (de) Vorrichtung zur datenverarbeitung
AT315473B (de) Vorrichtung zur Erhöhung der Ladungsdichte auf der Oberfläche eines elektrisch nicht leitenden Materials
ATA434974A (de) Vorrichtung zur befestigung eines korpers auf einem gegenstand
AT301720B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Kunststoffschicht auf elektrisch leitenden Gegenständen
CH493841A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Montieren von Fasermaterialproben auf einem Probenträger
AT302674B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ablösen von elektrolytisch auf aus Aluminiumblechen bestehenden Kathoden niedergeschlagenem Zink
CH522439A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung einer Materialoberfläche mit einer elektrisch leitenden oder halb- oder nichtleitenden Substanz
CH509030A (de) Verfahren zum Verdrahten einer auf einem Schaltungsträger aufgebauten elektrischen Schaltungsanordnung und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
CH558032A (de) Vorrichtung zur fuehrung eines blatts an einem zylinder mit fotoleitfaehiger oberflaeche.
AT317324B (de) Verfahren zur elektrolytischen Bildung eines auf Kadmiumhydroxyd basierenden Niederschlages an einem elektrisch leitenden Träger
CH449238A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines geflanschten Behälterkörpers
CH547150A (de) Verfahren und vorrichtung zur elektroerosiven bearbeitung eines elektrisch leitenden werkstueckes.
AT344872B (de) Vorrichtung zum anvisieren von in einem objekt liegenden bereichen
CH504319A (de) Vorrichtung zur Aufhängung eines Rades an einem Fahrzeug
ATA102573A (de) Vorrichtung zur abforderung von gegenstanden aus einem trichter
CH549502A (de) Verfahren und vorrichtung zum befestigen eines verkaufsgegenstandes auf einer flachen unterlage.
CH485867A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden eines schwerschmelzbaren Metalls auf einem Substrat
ATA814273A (de) Vorrichtung zur entnahme flussigen metalls aus einem schmelztiegel

Legal Events

Date Code Title Description
ELJ Ceased due to non-payment of the annual fee