AT235998B - Verfahren und Schaltungsanordnung zum Bohren runder Löcher mittels eines Ladungsträgerstrahles - Google Patents

Description

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  Verfahren und Schaltungsanordnung zum Bohren runder
Löcher mittels eines Ladungsträgerstrahles 
Um Löcher mittels eines Elektronenstrahls zu bohren, hat man für den Fall, dass die Fläche des herzustellenden Loches gross gegenüber dem Querschnitt des Elektronenstrahls ist, diesen Elektronenstrahl längs eines Kreises abgelenkt, welcher der Berandung des gewünschten Loches entsprach. Dabei wird nun das Material des Werkstückes ausschliesslich längs der erwähnten Kreislinie abgetragen und es bleibt ein von diesem Kreis umschlossener Kern stehen, der schliesslich umfällt und teilweise mit der Wand verschmilzt. Unter diesen Umständen ist aber die Fertigstellung eines kreisrunden Loches mit sauberer Wandfläche stark in Frage gestellt, da der Kern nunmehr zum Teil weiter abgetragen, d. h. verdampft werden muss.

   Erfahrungsgemäss ist es nicht möglich, auf die geschilderte Weise eine gleichmässige glatte Randfläche des gewünschten Loches zu erhalten. 



   Zur Vermeidung dieses Nachteiles soll gemäss der Erfindung der Fusspunkt eines Ladungsträgerstrahles auf dem zu durchbohrenden Werkstück wiederholt eine spiralförmige Bahn oder eine Reihe von kreisförmigen Bahnen durchlaufen und es soll die Steigung der Spirale bzw. der Durchmesser der Kreise so ge- 
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 fahrens, während Fig. 2 ein Blockschaltbild einer Schaltungsanordnung zur Ausübung des Verfahrens zeigt und die Fig.   3 - 6   eine Anzahl von Kurven zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung nach Fig. 2 enthalten. 



   In Fig. 1 ist mit 10 ein im Schnitt dargestelltes Gehäuse bezeichnet, in welchem ein Kathodenstrahl erzeugt, fokussiert und abgelenkt wird und mit 11 ein im Schnitt dargestelltes Gehäuse, in welchem sich die zu bearbeitenden Werkstücke befinden mögen. Im Gehäuse 10 sind an einem Einführungsisolator 12 eine Glühkathode 13 und ein Steuerzylinder 14 angebracht. In einem Gehäuse 15, welches mit dem Gehäuse 10 über ein geeignetes Kabel 16 verbunden ist, befinden sich mehrere Hilfsgeräte, nämlich ein Gerät 17 zur Erzeugung einer Hochspannung von beispielsweise 150 kV, ein Gerät 18 zur Erzeugung eines Gleichstromes zur Heizung der Glühkathode 13, ein Gerät 19 zur Erzeugung einer regelbaren Gleichspannung für den Steuerzylinder 14 und ein Gerät 29, welches Steuerimpulse zur Tastung des Kathodenstrahles liefert.

   Das Tastverhältnis,   d. h.   die Dauer der Impulse im   Verhältnis   zur Impulspause kann beispielsweise   1 : 1   sein und die Dauer der Elektronenstrahlimpulse kann beispielsweise   10-3   Sekunden betragen. Diejenigen Elektronenstrahlen, welche die Öffnung in einer Anodenblende 21 passieren, werden durch eine magnetische Linse, welche aus einer mit Gleichstrom gespeisten Spule besteht, auf ein Werkstück 23, in welchem ein Loch gebohrt werden soll, fokussiert. Dieses Werkstück 23 ist in einer geeigneten Weise auf einem Tisch 24 im Bearbeitungsgehäuse 11 befestigt.

   Zwischen der magnetischen Linse und dem Werkstück befindet sich noch ein   Ablenkspulensysh m,   das aus den in der Zeichenebene der Fig.   l lie-   genden Spulen 25a und 25b besteht, sowie aus einem weiteren Spulenpaar, dessen Achse senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 1 steht und von welchem in Fig. 1 nur die eine Spule 26a dargestellt ist. 



   Zur Erläuterung der Wirkungsweise der Erfindung sei zunächst die in Fig. 2 schematisch dargestellte Schaltungsanordnung betrachtet. Sie enthält einen Sinusgenerator 27 von beispielsweise 50 Hz, der an 

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Claims (1)

1. <Desc/Clms Page number 3>

   Ströme3. Schaltungsanordnung zur Herstellung von Ablenkströmen für die Ablenkung des Ladungsträgerstrahles zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwei um 900 gegeneinander phasenverschobene sinusförmige Ablenkströme mittels einer sägezahnförmigen. sattel- dachförmigen bzw. treppenförmigen Spannung moduliert werden.