AT18318U3 - Piezoelektrisches Spiegelbauelement, Verfahren zum Betrieb des Piezoelektrischen Spiegelbauelements und Projektionsvorrichtung mit dem Piezoelektrischen Spiegelbauelement - Google Patents

Piezoelektrisches Spiegelbauelement, Verfahren zum Betrieb des Piezoelektrischen Spiegelbauelements und Projektionsvorrichtung mit dem Piezoelektrischen Spiegelbauelement Download PDF

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AT18318U3 ATGM9039/2022U AT90392022U AT18318U3 AT 18318 U3 AT18318 U3 AT 18318U3 AT 90392022 U AT90392022 U AT 90392022U AT 18318 U3 AT18318 U3 AT 18318U3
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Abstract

Es wird ein piezoelektrisches Spiegelbauelement (100) angegeben, das ein Spiegelelement (10), einen piezoelektrischer Antriebsring (20), der das Spiegelelement umgibt und über zumindest ein erstes Torsionsfederelement (41) mit dem Spiegelelement verbunden ist, und ein Rahmenelement (30) aufweist, das über zumindest ein zweites Torsionsfederelement (42) mit dem Antriebsring verbunden ist, wobei der Antriebsring einen ersten Durchmesser entlang einer ersten Richtung und einen zweiten Durchmesser entlang einer zur ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung aufweist und der erste Durchmesser größer als der zweite Durchmesser ist. Weiterhin werden ein Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und eine Projektionsvorrichtung angegeben.
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