EP4453631A1 - Piezoelektrisches spiegelbauelement, verfahren zum betrieb des piezoelektrischen spiegelbauelements und projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen spiegelbauelement - Google Patents

Piezoelektrisches spiegelbauelement, verfahren zum betrieb des piezoelektrischen spiegelbauelements und projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen spiegelbauelement

Info

Publication number
EP4453631A1
EP4453631A1 EP22834894.2A EP22834894A EP4453631A1 EP 4453631 A1 EP4453631 A1 EP 4453631A1 EP 22834894 A EP22834894 A EP 22834894A EP 4453631 A1 EP4453631 A1 EP 4453631A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
mirror
piezoelectric
drive ring
torsion spring
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP22834894.2A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Matthias Wulf
Franz Rinner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Electronics AG
Original Assignee
TDK Electronics AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Electronics AG filed Critical TDK Electronics AG
Publication of EP4453631A1 publication Critical patent/EP4453631A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
    • B81B3/004—Angular deflection
    • B81B3/0045—Improve properties related to angular swinging, e.g. control resonance frequency
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B21/00—Projectors or projection-type viewers; Accessories therefor
    • G03B21/005—Projectors using an electronic spatial light modulator but not peculiar thereto
    • G03B21/008—Projectors using an electronic spatial light modulator but not peculiar thereto using micromirror devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/04—Optical MEMS
    • B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches

Definitions

  • Piezoelectric mirror component method for operating the piezoelectric mirror component and projection device with the piezoelectric mirror component
  • a piezoelectric mirror component, a method for operating the piezoelectric mirror component and a projection device with the piezoelectric mirror component are specified.
  • laser projectors are used to display moving images, for example in cinemas, for home cinema applications or for mobile display applications.
  • projectors that are inexpensive and insensitive to vibrations should be particularly preferred.
  • projectors are used more and more often in the automotive sector, for example for projecting information onto the road surface, for matrix illumination or for applications based on the LIDAR principle (LIDAR: "light detection and ranging", light detection and distance measurement). large depth of field that laser projectors can provide.
  • LIDAR light detection and ranging
  • laser projectors are advantageous for VR ("virtual reality") and AR-related applications
  • AR augmented reality
  • AR/VR glasses for example in AR/VR glasses.
  • a projector can have rotatable mirrors that deflect a time-modulated laser beam. To this way, an image is generated in the far field perceived by an observer, so that the projected image is always in focus for the observer and no accommodation of the eye is necessary.
  • the deflected beam is coupled into a waveguide lens.
  • the direction and not the position of the ray determines the position of the pixel for the viewer, so that no further optics are necessary.
  • Two mirrors are often used, namely one for each orthogonal deflection direction, by means of which a laser beam scans the image area in an orthogonal raster.
  • LED arrays LED: light-emitting diode
  • QLED arrays QLED: quantum dot light-emitting diode
  • micromirrors are known from the publications listed below:
  • the publication U. Baran et al., "Resonant PZT MEMS Scanner for High-Resolution Displays", Journal of Microelectromechanical Systems, 21, 1303-1310, 2012 describes a mirror that is can oscillate an axis and thus enables one-dimensional scanning.
  • the publication Ch. Pan et al., "A New Two-Axis Optical Scanner Actuated by Piezoelectric Bimorphs", International Journal of Optomechatronics, 6, 336-349, 2012 describes a two-dimensional movable rectangular mirror, in one direction the movement is anharmonic movement in a so-called rocking mode.
  • At least one object of certain embodiments is to provide a piezoelectric mirror device. At least one further object of certain embodiments is to specify a method for operating a piezoelectric mirror component. At least another object of certain embodiments is to specify a projection device with a piezoelectric mirror component.
  • a piezoelectric mirror component which can also be referred to below as a mirror component for short, has a mirror element, a piezoelectric drive ring and a frame element.
  • the drive ring surrounds the mirror element and is connected to the mirror element via at least one first torsion spring element.
  • the frame element is connected to the drive ring via at least one second torsion spring element.
  • the mirror element, the drive ring and the frame element as well as the torsion spring elements can be aligned in particular along one plane when the mirror component is in a state of rest.
  • a piezoelectric layer is applied at least to the drive ring and is arranged between a first electrode and a second electrode.
  • the piezoelectric layer may include one or more piezoelectric materials.
  • the piezoelectric layer particularly preferably has a piezoelectric material based on lead zirconate titanate (PZT) or is made of it.
  • At least the second electrode is preferably structured into a plurality of control areas. This means that the second electrode can have a plurality of areas that can be controlled independently of one another.
  • the first electrode and/or the piezoelectric layer can be applied continuously or also at least partially structured.
  • the first electrode and the second electrode, which is structured into a plurality of control regions, are thus preferably applied to the drive ring, with between the first and second electrode, the piezoelectric layer is arranged.
  • the first electrode, the piezoelectric layer and the second electrode are particularly preferably applied in this order.
  • a mechanical deformation of the piezoelectric layer and thus of the drive ring can be achieved in a partial area via the inverse piezo effect, whereby a force is exerted on the drive ring and/or the mirror element can be exercised.
  • Each of the control areas can thus form a piezo element with the piezoelectric layer and the first electrode, through which a partial area of the mirror component can be moved.
  • each of the torsion spring elements is elongate in the form of a bar with a longitudinal direction, which, in particular during operation of the mirror component, can perform a torsional movement about an axis of rotation, with the axis of rotation preferably essentially corresponding to the longitudinal direction of the bar.
  • the at least one first torsion spring element preferably extends from the mirror element to the drive ring and defines a first axis of rotation. Will the mirror element and the If the drive ring is twisted relative to one another about the first axis of rotation, the end of the at least one first torsion spring element closer to the mirror element twists relative to the end of the at least one first torsion spring element closer to the drive ring.
  • a suitable activation of activation areas of the second electrode with a first alternating current signal with a first frequency can cause the mirror element to be set into a first rotational vibration with the first frequency, with a vibration that is preferably linearly dependent on the rotational angle being generated via the at least one first torsion spring element Restoring force is exerted on the mirror element.
  • a torsional vibration on at least one torsional spring element is also referred to below as torsional vibration.
  • the first torsional vibration can also be referred to as the first torsional vibration.
  • the at least one second torsion spring element preferably extends from the drive ring to the frame element and defines a second axis of rotation. If the frame element and the drive ring are rotated relative to one another about the second axis of rotation, the end of the at least one second torsion spring element closer to the frame element rotates relative to the end of the at least one second torsion spring element closer to the drive ring.
  • suitable activation of activation regions of the second electrode with a second alternating current signal at a second frequency can cause the drive ring to be set into a second torsional vibration at the second frequency, with a vibration that is preferably linearly dependent on the angle of rotation being generated via the at least one second torsion spring element Restoring force is exerted on the drive ring.
  • Torsional vibration can also be referred to as second torsional vibration.
  • the first torsion spring element and the second torsion spring element are rotated by 90° to one another, so that the first axis of rotation for the first torsional vibration and the second axis of rotation for the second torsional vibration are perpendicular to one another. It can thereby be achieved that the first and second torsional vibrations are as independent as possible.
  • the first electrode is also applied at least partially to the frame element.
  • the piezoelectric layer can also be applied at least partially to the frame element.
  • the second electrode can also be applied at least partially to the frame element.
  • the first electrode and/or the piezoelectric layer can also be applied to the at least one second torsion spring element.
  • the at least one second torsion spring element can be free of the second electrode.
  • the at least one first torsion spring element and the mirror element are particularly preferably free of the first electrode, the piezoelectric layer and the second electrode.
  • the second electrode on the frame element is structured into a plurality of control areas.
  • the second electrode can be applied in an actuation area of the frame element surrounded by an edge part of the frame element. This may make it possible, in addition to the Control areas on the drive ring further
  • control areas on the frame element, through which a force can be exerted for example, on the drive ring with a suitable control.
  • contact elements for driving the first and second electrodes can be present on the frame element, for example on an edge part of the frame element.
  • Control areas on the drive ring and/or on the frame element can be connected to contact elements on the frame element via conductor tracks that run over the at least one second torsion spring element.
  • the mirror element is preferably set in a first torsional vibration by means of a first electrical AC signal with a first frequency, which acts on the first control areas.
  • the drive ring preferably together with the mirror element, is set in a second torsional vibration by means of a second electrical AC signal with a second frequency, which acts on second drive areas.
  • the activation with the first AC signal and the activation with the second AC signal can take place simultaneously, so that the mirror element in particular can carry out the two torsional vibrations simultaneously, with the mirror element relative to the drive ring around the first
  • the axis of rotation oscillates at the first frequency and the drive ring oscillates together with the mirror element relative to the frame element about the second axis of rotation at the second frequency.
  • the first frequency and the second frequency can in particular be resonant frequencies or at least be close to a respective resonant frequency, which can be dependent on the respective oscillating parts of the mirror component and their geometric configurations.
  • the first frequency and the second frequency are particularly preferably different.
  • a projection device has a laser light source and the piezoelectric mirror component.
  • the mirror component can deflect laser light emitted by the laser light source. Due to the above-described torsional vibrations of the mirror element, an image area that can be perceived by a viewer can be scanned by the deflected laser light. In other words, scanning can be achieved with the mirror component.
  • resonant or near-resonant torsional vibrations as mentioned above, about the first axis of rotation and about the second axis of rotation, which are particularly preferably perpendicular to one another, so-called Lissa jous scanning can particularly preferably be achieved.
  • the drive ring has a first diameter along a first direction and a second diameter along a second direction perpendicular to the first direction, the first diameter being different from the second diameter.
  • the first diameter is particularly preferably larger than the second diameter.
  • the drive ring can have an elliptical shape or at least approximate an elliptical shape.
  • the drive ring can be bounded by an inner edge facing the mirror element and an opposite outer edge in directions along the plane spanned by the first and second directions, wherein the inner and outer edges can each have an elliptical shape or can at least be approximated to an elliptical shape.
  • the shape of the outer edge can be defined by the first diameter and the second diameter.
  • the aforesaid first and second diameters can be a first and second outer diameter of the drive ring.
  • the inner edge can also have a first and a second diameter, which can also be referred to as the first and second inside diameters, with the first inside diameter running along the first direction and the second inside diameter running along the second direction.
  • the ratio of the first outside diameter to the second outside diameter can be the same as or different from the ratio of the first inside diameter to the second inside diameter. If the ratios are different, this can mean in particular that the drive ring has a first width along the first direction and a second width along the second direction and the first width is different from the second width. For example, the first width can be smaller than the second width.
  • the at least one first torsion spring element can be arranged along the first direction, while the at least one second torsion spring element is arranged along the second direction.
  • the drive ring is particularly preferably connected to the mirror element via two first torsion spring elements, which are arranged along a straight line along the first direction on two opposite sides of the mirror element.
  • the drive ring is particularly preferably connected to the frame element via two second torsion spring elements, which are arranged along a straight line along the second direction on two opposite sides of the drive ring.
  • Each of the first torsion spring elements and each of the second torsion spring elements can have features that are each described in connection with the at least one torsion spring element and the at least one second torsion spring element.
  • the mirror element can be connected to the drive ring exclusively by the first torsion spring elements, while the drive ring can particularly preferably be connected to the frame element exclusively by the second torsion spring elements.
  • the mirror element has a mirror area and an edge area surrounding the mirror area, which is preferably partially separated from the mirror area by means of at least one opening.
  • the mirror element can particularly preferably be circular, so that the at least one opening can have the shape of an arc of a circle.
  • Two openings can be particularly preferred be present, which are opposite each other and both have the shape of an arc of a circle.
  • the mirror area can also be elliptical and have a larger elliptical axis and smaller elliptical axis.
  • the major axis of the ellipse is preferably oriented along the first direction and the minor axis of the ellipse is oriented along the second direction.
  • the major axis of the ellipse can be oriented along the second direction and the minor axis of the ellipse can be oriented along the first direction.
  • the openings have the shape of arcs of ellipses.
  • the ratio of the major axis of the ellipse to the minor axis of the ellipse can preferably be greater than 1 or greater than or equal to 1.02 or greater than or equal to 1.04 or greater than or equal to 1.06 and less than or equal to 1.1 or less than or equal to 1.08 or less or be equal to 1.07.
  • the edge area can be connected to the mirror area via two connecting areas.
  • the two openings can be separated from one another by the two connection areas.
  • the connection areas are particularly preferably arranged along the second direction on two opposite sides of the mirror area, so that the two openings can preferably lie opposite one another along the first direction.
  • a reflective coating is applied to the mirror area.
  • the coating can be a metallic coating.
  • a dielectric coating such as a Bragg mirror, is also possible.
  • the edge area and the connecting areas can preferably be free of the reflective coating.
  • the frame element surrounds the drive ring.
  • the frame element can in particular have a recess penetrating the frame element, in which the at least one second torsion spring element and the drive ring with the at least one first torsion spring element and mirror element arranged in the drive ring are arranged.
  • the at least one second torsion spring element particularly preferably protrudes from the edge surface surrounding the recess and thus from the frame element into the recess.
  • the recess preferably has a polygonal basic shape, which can be, for example, square, hexagonal or octagonal. Furthermore, it can be possible for the recess to have the same extent along the first and second direction. If the frame element has an actuation area, this can directly adjoin the recess. Furthermore, the actuation area can be partially separated from the edge part by means of at least one opening.
  • the mirror element and the drive ring have a smaller thickness than at least one frame part of the frame element.
  • “thickness” can in particular mean an extension along a third direction, which is perpendicular to the first and second direction. If the frame element has an actuation area, the actuation area can preferably also have a smaller thickness than the frame part of the frame element.
  • the frame element, the drive ring, the mirror element and the torsion spring elements are particularly preferably designed in one piece. In particular, the frame element, the drive ring, the mirror element and the torsion spring elements can have silicon.
  • a carrier can be provided, for example in the form of a silicon wafer or an SOI wafer (SOI: "silicon on insulator", silicon on an insulator), which is used to form the frame element, the drive ring, the mirror element
  • SOI silicon on insulator
  • the electrodes and the piezoelectric layer and, depending on the configuration, for example also insulator layers and/or conductor tracks can then be formed or applied to the structured carrier.
  • measures are provided in order to determine the position of the mirror element and/or the position of the drive ring and/or the frequency of one or both torsional vibrations.
  • the second frequency can be measured in the first AC signal and the first frequency can be measured in the second AC signal.
  • This can be achieved, for example, by using suitable frequency filters in the drive cables so that no additional cables are required.
  • it can also be possible to provide third control areas in which a piezoelectric signal is measured via the piezoelectric effect.
  • the third control areas can be provided in particular at suitable positions so that a good signal can be achieved.
  • At least two electrode elements can be present for position and/or frequency measurement, which form a capacitor which has a variable capacitance when the mirror element moves, in particular relative to the drive ring, or the drive ring moves, in particular relative to the frame element, with the capacitance of the Capacitor is measured.
  • the zero crossing of the drive ring and/or the mirror element can in particular also be determined.
  • the first electrode can be suitably structured.
  • the electrode elements can be formed, for example, by conductor track parts.
  • a first electrode element can be arranged, for example, on the frame element, while a second electrode element is arranged on the drive ring adjacent to the first electrode element.
  • the distance between the electrode elements can change, as a result of which the capacitance of the capacitor formed by the electrode elements can change.
  • electrode elements can be arranged on the drive ring and the mirror element. It may also be possible, for example, to arrange two electrode elements on the frame element on opposite sides of the drive ring, so that the drive ring is located between the two electrode elements arranged on the frame element. When moving, the drive ring can then act like a moving dielectric between the electrode elements, as a result of which the capacitance of the capacitor formed thereby can change. Accordingly, two electrode elements be arranged opposite sides of the mirror element on the drive ring.
  • first and/or second control areas can also be present, which are used alternately in a time-division multiplex process for driving the mirror element or the drive ring and for measuring a piezoelectric signal.
  • Figures 1A and 1B show schematic representations of a piezoelectric mirror component according to an exemplary embodiment
  • FIGS. 2A to 2E show schematic representations of method steps of a method for producing the piezoelectric mirror component according to FIGS. 1A and 1B,
  • FIGS. 3A and 3B show schematic representations of method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component according to FIGS. 1A and 1B,
  • FIGS. 4A to 5E show simulation tests on the piezoelectric mirror component according to FIGS. 1A and 1B
  • FIGS. 6A and 6B show schematic representations of a piezoelectric mirror component according to a further exemplary embodiment.
  • FIGS. 7A to 7E show schematic representations of
  • FIGS. 8A to 8E show schematic representations of method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component according to FIGS. 6A and 6B,
  • FIGS. 9A to 12E show simulation tests on the piezoelectric mirror component according to FIGS. 6A and 6B
  • Figures ISA and 13B show schematic representations of a piezoelectric mirror component according to a further exemplary embodiment.
  • FIGS. 14A to 14E show schematic representations of method steps of a method for producing the piezoelectric mirror component according to FIGS. 1A and 13B,
  • FIG. 15 shows a schematic representation of a method step of a method for operating the piezoelectric mirror component according to FIGS. 13A and 13B,
  • FIGS. 16A to 16E show simulation tests on the piezoelectric mirror component according to FIGS. 13A and 13B
  • FIG. 17 shows a schematic representation of a projection device according to a further exemplary embodiment
  • FIGS. 18A to 18E show schematic representations of measures for determining the position and/or frequency of components of a piezoelectric mirror component according to some exemplary embodiments
  • FIGS. 19A and 19B show schematic partial illustrations of a piezoelectric mirror component according to further exemplary embodiments.
  • elements which are the same, of the same type or have the same effect can each be provided with the same reference symbols.
  • the elements shown and their proportions to one another are not to be regarded as true to scale; rather, individual elements, such as layers, components, structural elements and areas, may be shown in an exaggerated size for better representation and/or better understanding.
  • FIGS. 1A and 1B show schematic representations of a piezoelectric mirror component 100 according to an exemplary embodiment, FIG. 1A showing a three-dimensional view of an upper side of mirror component 100 and FIG. 1B showing a three-dimensional view of an underside of mirror component 100.
  • FIGS. 2A to 2E show schematic representations of method steps of a method for producing the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 1A and 1B in views of the top side. The following description relates equally to FIGS. 1A and 1B and FIGS. 2A to 2E.
  • the piezoelectric mirror device 100 comprises a mirror element 10 , a piezoelectric drive ring 20 and a frame element 30 .
  • the drive ring 20 surrounds the mirror element 10 and is connected to the mirror element 10 via at least one first torsion spring element 41 .
  • the frame element is connected to the drive ring via at least one second torsion spring element 42 .
  • the mirror element 10, the drive ring 20 and the frame element 30 as well as the torsion spring elements 41, 42 are in one Resting state of the mirror component 100 aligned along a plane which is defined by a first direction, denoted by "x" in the figures, and a second direction perpendicular to the first direction, denoted by "y" in the figures.
  • a piezoelectric layer 50 is applied at least to the drive ring 20 and is arranged between a first electrode 51 and a second electrode 52 .
  • the piezoelectric layer 50 preferably comprises or is made of a piezoelectric material based on lead zirconate titanate (PZT).
  • a carrier 101 is provided, for example in the form of a silicon wafer or in the form of an SOI wafer with a carrier material made of an electrically insulating material and a silicon layer thereon.
  • the carrier 101 is pushed from the underside thinned.
  • the carrier is etched through, as shown in Figure 2B, and thus structured, so that in the frame element 30, which surrounds the drive ring 20, a recess 31 is generated, in which the mirror element 10, the piezoelectric drive ring 20, the frame element 30 and the torsion spring elements 41, 42 are arranged.
  • the frame element 30, the drive ring 20, the mirror element 10 and the torsion spring elements 41, 42 are thus formed in one piece.
  • the recess 31 preferably has a polygonal basic shape, which can be octagonal as shown. Furthermore, it may be possible that the Recess 31 has the same extent along the first and second directions.
  • the mirror element 10 and the drive ring 20 as well as the torsion spring elements 41, 42 have a smaller thickness than the frame element 30 due to the thinning of the carrier 101 described above, with the thickness in an in the third direction denoted by "z" in the figures, which is perpendicular to the first and second direction, is measured.
  • an electrically insulating layer can be applied or formed on the upper side of the carrier 101, for example with or made of silicon oxide or silicon nitride .
  • the drive ring 20 is connected to the mirror element 10 via two first torsion spring elements 41, which are arranged on two opposite sides of the mirror element 10 along a straight line along the first direction. Furthermore, the drive ring 20 is connected to the frame element 30 via two second torsion spring elements 42, which are arranged along a straight line along the second direction on two opposite sides of the drive ring 20. The suspension of the mirror element 10 on the drive ring 20 is thus rotated through 90° in relation to the suspension of the drive ring 20 on the frame element 30 .
  • the mirror element 10 has a mirror area 11 and an edge area 12 surrounding the mirror area 11, which is partially separated from the mirror area 11 and preferably mechanically at least partially decoupled by two openings 13, which are produced by etching as part of the above-described formation of the mirror element 10 is .
  • the mirror element 10 and the mirror area 11 preferably have a circular basic shape, so that the openings 13 have the shape of circular arcs.
  • the two openings 13 are formed opposite one another along the first direction.
  • the edge area 12 is connected to the mirror area 11 via two connecting areas 14, so that the two openings 13 are separated from one another by the two connecting areas 14, which are arranged along the second direction on two opposite sides of the mirror area 11, and so that the connecting areas rotated by 90° relative to the first torsion spring elements 41 .
  • the first electrode 51 and the piezoelectric layer 50 are applied continuously to the drive ring 20 , the second torsion spring elements 42 and partially to the frame element 30 , as can be seen in FIGS. 2C and 2D. So that the part of the first electrode 51 on the drive ring 20 can be contacted from the outside via the part of the first electrode 51 on the frame element 30, contact elements 53 are provided in the form of recesses in the piezoelectric layer 50, as indicated in FIG. 2D.
  • the second electrode 52 is applied to the piezoelectric layer 50 on the drive ring 20 .
  • the second electrode 52 is structured into a plurality of control areas which, as explained further below, can be divided at least into first and second control areas, so that the second electrode 52 has a plurality of areas that can be controlled independently of one another.
  • For electrical contacting of the control areas of the second electrode 52 are on the Frame element 30 further contact areas 53 are applied, which are electrically conductively connected to the drive areas via conductor tracks 54, which are also applied to the piezoelectric layer 50.
  • a reflective coating 15 which is preferably a metallic coating, is applied to the mirror area 11. Furthermore, for example, a dielectric coating, such as a Bragg mirror, is also possible. The edge area 12 and the connecting areas 13 remain free of the reflective coating 15 .
  • the first torsion spring elements 41 and the second torsion spring elements 42 are designed as so-called torsion bars and have an elongated shape with a longitudinal direction that runs along the first direction in the case of the first torsion spring elements 41 and along the second direction in the case of the second torsion spring elements 42 runs .
  • the torsion spring elements 41, 42 can each perform a torsional movement about an axis of rotation, the axis of rotation preferably essentially corresponding to the longitudinal direction of the respective torsion spring element 41, 42.
  • the first torsion spring elements 41 can preferably exert a restoring force on the mirror element 10 that is linearly dependent on the angle of rotation. If the drive ring 20 and thus also the mirror element 10 are rotated relative to the frame element 30 about the second axis of rotation defined by the second torsion spring elements 42, the second torsion spring elements 42 preferably exert a restoring force that is linearly dependent on the angle of rotation on the drive ring 20 .
  • the first electrode 51, the piezoelectric layer 50 and each of the drive regions of the second electrode 52 form piezoelectric elements that can be driven independently of one another.
  • an electrical voltage between the first electrode 51 and at least one control area of the second electrode 52 a mechanical deformation of the piezoelectric layer 50 and thus of the drive ring 20 can be achieved in a partial area via the inverse piezo effect, whereby the drive ring 20 and/or or a force can be exerted on the mirror element 10 .
  • an AC signal with an oscillating electrical voltage an oscillating force can be exerted, which can cause oscillating deformation.
  • FIGS. 3A and 3B show schematic illustrations of control schemes for method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 1A and 1B.
  • FIGS. 3A and 3B show schematic illustrations of control schemes for method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 1A and 1B.
  • FIGS. 3A and 3B show schematic illustrations of control schemes for method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 1A and 1B.
  • FIGS. 3A and 3B show schematic illustrations of control schemes for method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 1A and 1B.
  • FIGS. 3A and 3B show schematic illustrations of control schemes for method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 1A and 1B.
  • FIGS. 3A and 3B show schematic illustrations of control schemes for method steps of a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIG
  • the mirror element 10 By driving the first control areas 521 identified in Figure 3A with a first AC signal at a first frequency and the first control areas 521' with the first AC signal at the first frequency but with a phase position shifted by 180°, the mirror element 10 can be placed in a first Torsional vibration relative to the drive ring 20 about the first axis of rotation formed by the first torsion spring elements 41 can be offset.
  • the drive ring 20 and thus also the Mirror element 10 are displaced in a second torsional vibration relative to the frame element 30 about the second axis of rotation formed by the second torsion spring elements 42 .
  • the activation with the first AC signal and the activation with the second AC signal take place simultaneously, so that the mirror element 10 and the drive ring 20 carry out the aforementioned torsional vibrations simultaneously, so that the mirror element 10 relative to the drive ring 20 about the first axis of rotation at the first frequency oscillates and at the same time the drive ring 20 oscillates together with the mirror element 10 relative to the frame element 30 about the second axis of rotation at the second frequency.
  • the first frequency and the second frequency can particularly preferably be resonant frequencies of the torsional vibrations or at least be close to a respective resonant frequency that depends on the geometric configurations of the elements of the mirror component.
  • the first frequency and the second frequency are particularly preferably different.
  • the first and second torsional vibration elements can preferably be mechanically decoupled.
  • Different resonant frequencies can be achieved in particular by the non-circular design of the drive ring 40 shown and by the fact that the first torsional vibration is performed only by the mirror element 10, while the second torsional vibration is performed by the drive ring 20 together with the mirror element 10.
  • the drive ring 20 has a first diameter along the first direction and a second diameter along the second direction, the first diameter being different from the second diameter.
  • the first diameter in the exemplary embodiment shown is larger than the second diameter.
  • the drive ring 20 has an elliptical shape or at least a shape approximating an elliptical shape.
  • the drive ring 20 is bounded by an inner edge, which faces the mirror element 10, and an opposite outer edge in directions along the plane spanned by the first and second directions, the inner and outer edges each having an elliptical shape or can at least be approximated to an elliptical shape.
  • the shape of the outer edge may be defined by the aforementioned first and second diameters, which are thus first and second outer diameters of drive ring 20 .
  • the inner rim also has first and second diameters, which are thus first and second inside diameters of drive ring 20, with the first inside diameter running along the first direction and the second inside diameter running along the second direction.
  • the ratio of the first outer diameter to the second outer diameter can be the same as or different from the ratio of the first inner diameter to the second inner diameter.
  • the drive ring 20 may have a first width along the first direction and a second width along the second direction, with the first width being different than the second width.
  • the first width may be less than the second width.
  • FIGS. 4A to 5E show simulation tests for the piezoelectric mirror component 100 according to the figures previously described.
  • Thickness of the piezoelectric layer 1 pm Assumed damping: 10 -4 Voltage of the AC signals: ⁇ 2 V square cross-section of the torsion spring elements 41, 42, ie thickness equals width
  • FIG. 4C shows diagrams for simulations for examining the mechanical performance (upper diagram) and the electrical performance (lower diagram) as a function of the first frequency of the first alternating current signal applied.
  • the mechanical performance the mechanical half scan angle, i.e. the maximum achievable angle of rotation of the mirror element to one side from the neutral position due to the torsional vibration, and the phase delay between the exciting first AC signal and the vibrational movement of the mirror element were examined.
  • the electrical performance the magnitude and the phase of the complex resistance were examined.
  • the arrows indicate which vertical axis relates to which curve.
  • the resonant frequency of the first torsional vibration is 28.4 kHz.
  • the diagrams indicate a purely harmonic oscillation and thus a pure torsional oscillation mode without significant non-linear behavior, and in particular no hysteresis behavior is evident.
  • the drive ring has only a very small, in particular negligible, movement.
  • the optical field of view (FoV, "field of view” ) that can be achieved on resonance for the selected parameters is around 60°, which corresponds to a mechanical half scan angle of around 15°. By slightly detuning the first frequency from the resonance frequency, a Reduction of the FoV can be achieved. Based on simulations, FIGS.
  • 4D and 4E show the twisting of the surface of the mirror element, indicated by an offset in micrometers, and the mechanical stress on the mirror component in GPa during the first torsional vibration at the resonant frequency.
  • the distortion of the mirror surface during the vibration is in the range of ⁇ 250 nm, with the highest values only occurring near the connection areas.
  • the stress for a 60° FoV on resonance reaches maximum values of about 2.5 GPa in the first torsion spring elements. Such values are acceptable for silicon.
  • FIGS. 4A to 4E show, corresponding to FIGS. 4A to 4E, results from simulations for the activation for the second torsional vibration described in connection with FIG. 3B, with FIG. 5B showing a view along the second direction in comparison to FIG. 4B is .
  • a resonant frequency of 5.85 kHz results for the second torsional vibration, with the second torsional vibration also being a pure torsional vibration mode around the second torsional spring elements without hysteresis behavior.
  • the control ring moves together with the mirror element so that a laser beam can be deflected perpendicular to the deflection described in connection with FIGS.
  • the achievable FoV is 36°, which corresponds to a mechanical half scan angle of 9°.
  • the twisting of the mirror surface during the vibration is in the Range of ⁇ 50 nm, with the highest values only occurring in the edge areas of the mirror element and not on the mirror surface.
  • the load for an FoV of 36° at resonance reaches maximum values of around 1.5 GPa in the second torsion spring elements. Such values are in an acceptable range for silicon, so that a FoV of 36° is possible for the second torsional vibration.
  • FIGS. 6A and 6B Schematic representations of a piezoelectric mirror component 100 according to a further exemplary embodiment are shown in FIGS. 6A and 6B, the views in FIGS. 6A and 6B corresponding to those in FIGS. 1A and 1B.
  • FIGS. 7A to 7E show schematic representations of method steps of a method for producing the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 6A and 6B, the views of FIGS. 7A to 7E corresponding to those in FIGS. 2A to 2E.
  • the following description relates equally to FIGS. 6A and 6B and FIGS. 7A to 7E.
  • the actuation area 33 is directly adjacent to the recess 31 which, as shown, can be hexagonal, for example, and, like the movable components of the mirror component 100 that are arranged in the recess 31 , has a smaller thickness than the edge part 31 . Furthermore, the Actuation area 33 is partially separated from edge part 32 by means of a plurality of openings 34 .
  • the second electrode 52 is also applied to the frame element 30 in the actuation area 33 and structured into a plurality of control areas.
  • control areas on the drive ring 20 further control areas can be provided on the frame element 30, through which a force can be exerted, in particular on the drive ring 20, with a suitable control, which is described further below. Due to the shown larger design with the additional actuation area 33 , an additional or alternative drive for the second torsional vibration of the drive ring 20 can be made possible in comparison to the previous exemplary embodiment.
  • a larger area 102 of the carrier 101 is thinned from the underside.
  • the area 102 corresponds to the area in which the mirror element 10, the piezoelectric drive ring 20, the frame element 30, the torsion spring elements 41, 42 and the actuation area 33 are arranged.
  • the carrier is etched through and structured, as shown in Figure 7B, so that in the frame element 30 in addition to the components in the recess 31 the openings 34 are produced.
  • the method steps shown in Figures 7C to 7E correspond to the method steps described in connection with Figures 2C to 2E, with the first electrode 51, the piezoelectric layer 50 and the second electrode 52 for forming additional piezoelectric elements also in the actuation region 33 of the frame element 30 to be applied .
  • the contact elements 53 are separated from the actuation area 33 by the openings 34 and are arranged on the edge part 32 . As a result, the contact elements 53 are mechanically at least partially decoupled from the actuation area 33 .
  • the first electrode 51, the piezoelectric layer 50 and each of the driving areas of the second electrode 52 on the drive ring 20 and the frame element 30 form independently drivable piezoelectric elements.
  • 8A to 8E show schematic representations of exemplary control schemes via first and second control regions 521, 521', 522, 522' for a method for operating the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 6A to 7E.
  • first control areas 521 and 521' are identified, the first control areas 521 being supplied with a first alternating current signal at a first frequency and the first driving regions 521' being supplied with the first alternating current signal at the first frequency but with a phase position shifted by 180° , Be driven to the mirror element 10 in a first torsional vibration relative to the drive ring 20 by the first To move torsion spring elements 41 formed first axis of rotation.
  • second control areas 522 and 522' are marked accordingly, with the second control areas 522 using a second AC signal with a second frequency and the second control areas 521' using the second AC signal with the second frequency, but one shifted by 180° Phase position, are controlled in order to displace the drive ring 20 together with the mirror element 10 in a second torsional vibration relative to the frame element 30 about the second axis of rotation formed by the second torsion spring elements 42 .
  • control scheme of Figure 8A can be used in combination with the control scheme of Figure 8D and one of the control schemes of Figures 8B and 8C in combination with the control scheme of Figure 8E, so that the control areas of the second electrode 52 are clearly assigned to one of the two torsional vibrations can become .
  • FIGS. 9A to 9E relate to the control shown in FIG. 8A for generating the first torsional vibration. This results in a resonant frequency of 24.39 kHz and a FoV of about 42°, which corresponds to a mechanical half scan angle of about 10.7° is equivalent to.
  • the distortion of the mirror area during the vibration is ⁇ 23.8 nm, the mechanical stress is sufficiently low.
  • FIGS. 10A to 10E relate to the control shown in FIG. 8B for generating the first torsional vibration.
  • the resonant frequency which is defined by the mechanical boundary conditions, is 24.39 kHz, as in the case of FIG. 8A, but an FoV of 48° is achieved, which corresponds to a mechanical half scan angle of 12°.
  • the distortion of the mirror surface during the vibration is ⁇ 26.8 nm, the mechanical stress is sufficiently low.
  • FIGS. 11A to 11E relate to the control shown in FIG. 8D for generating the second torsional vibration. This results in a resonant frequency of 4.88 kHz and a FoV of around 75°, which corresponds to a mechanical half scan angle of around 18.7°.
  • the distortion of the mirror area during the oscillation is ⁇ 7.6 nm, the mechanical load is sufficiently small.
  • FIGS. 12A to 12E relate to the control shown in FIG. 8E for generating the second torsional vibration. This results in turn in a resonant frequency of 4.88 kHz and a FoV of about 45°, which corresponds to a mechanical half scan angle of about 11.4°. The distortion of the mirror area during the vibration is ⁇ 4.5 nm, the mechanical stress is sufficiently low.
  • Schematic representations of a piezoelectric mirror component 100 according to a further exemplary embodiment are shown in FIGS. 13A and 13B, which forms a modification of the mirror component described in connection with FIGS. 6A to 7E.
  • FIGS. 14A to 14E show schematic representations of method steps of a method for producing the piezoelectric mirror component 100 according to FIGS. 13A and 13B and correspond to the method steps described in connection with FIGS. 7A to 7E. The following description applies equally to Figures 13A and 13B and Figures 14A to 14E.
  • the exemplary embodiment for the mirror component 100 shown in FIGS. 13A to 14E has a smaller actuation region 33 with more rectangular shapes.
  • the recess 31 is quadrangular and preferably square.
  • FIG. 15 shows a schematic representation of an exemplary control scheme via second control regions 522, 522' for a method for operating piezoelectric mirror component 100 according to FIGS
  • Control areas 522' can be controlled with the second AC signal at the second frequency, but with a phase position shifted by 180°, in order to cause the drive ring 20 together with the mirror element 10 in a second torsional vibration relative to the frame element 30 around the second torsional vibration formed by the second torsion spring elements 42 to move the axis of rotation.
  • the torsional vibration can be, for example, that shown in FIG. 8A
  • FIGS. 16A to 16E simulation tests like those explained in connection with FIGS. 4A to 5E are shown, which relate to the control indicated in FIG. 15.
  • the simulation investigations resulted in a pure torsional vibration mode without hysteresis behavior for the second torsional vibration investigated.
  • This has a resonant frequency of 5.51 kHz and a FoV of 67°, which corresponds to a mechanical half scan angle of about 17.8°.
  • the twisting of the mirror area during the vibration is ⁇ 7.6 nm, the mechanical stress is sufficiently low.
  • the piezoelectric mirror component described above has piezo thin-film elements, by means of which the mirror element is operated in a resonant manner in the first direction and in the second direction.
  • the result is a so-called Lissa ous scanning.
  • this enables a higher image resolution with the same resonance frequency for the fast deflection axis, ie in the previously described exemplary embodiments for the first axis of rotation.
  • the following parameters, which result from the required image resolution and refresh rate, can be specifically set depending on the application:
  • the mirror element should oscillate harmonically around both axes of rotation through a suitable selection of the amplitudes of the AC signals, so that there is no dependence of the resonance frequency on the amplitude in order to ensure a stable frequency ratio.
  • the resonances of the mirror element should not have too small a bandwidth in order to enable the fine adjustment mentioned above.
  • the mirror component described here can offer a 2D design that can adequately meet all the requirements for a resolution of 1024 ⁇ 768 pixels.
  • the mirror component can particularly preferably have one or more or all of the following properties:
  • the dimensioning of the first torsion spring element results from the already defined actual mirror element, from the required frequency and deflection and from the resilience of the material.
  • the second torsion spring elements are fitted outside the drive ring and are preferably rotated by 90° to the first torsion spring elements.
  • the drive for the second torsional vibration is preferably also on the movable drive ring. This has the advantage of a compact design, and the frequency is also reduced by the moment of inertia of the drive ring.
  • the piezoelectric mirror component described here can have one or more of the following advantages:
  • the second torsion spring elements for the slower oscillation are arranged outside the drive ring. This is also moved. This allows the drive to be optimized for the first torsional vibration without significantly influencing the properties of the second torsional vibration.
  • the mirror component has the following properties, with which a resolution of 1024 ⁇ 768 pixels with a frame repetition rate of just under 50 Hz can be achieved:
  • the mirror component has the following properties, with which a resolution of 1024 ⁇ 768 pixels with a frame repetition rate of just under 50 Hz can be achieved:
  • Silicon thickness 150 ⁇ m - elliptical mirror area with the reflective coating
  • FIG. 17 shows a schematic illustration of a projection device 1000 according to a further exemplary embodiment, which has a piezoelectric mirror component 100 according to the previous description. Furthermore, the projection device has a laser light source 200 which emits laser light 201 during operation.
  • the laser light source 200 can be a so-called RGB light source that can emit red, green, and blue laser light.
  • the laser light source 200 can have, for example, three laser diodes or laser diode groups that can be correspondingly modulated.
  • the laser light beams can be superimposed, for example, in a beam combiner 202, so that a beam of combined laser light 201' can be radiated onto the piezoelectric mirror component 100 and reflected by it into the desired image area.
  • the laser light source 200 can be controlled, for example, via laser control electronics 206, for example in order to temporally modulate the amplitude of the laser light.
  • the piezoelectric mirror component 100 can be controlled via a mirror component control electronics 203 in order to generate, for example, the desired Lissa j ous figure, with which the desired image area can be scanned.
  • sensor electronics 204 can be provided in order to detect the position and/or the frequencies of the mirror element of mirror component 100, preferably in real time.
  • image processing electronics 205 can be present, which, for example, controls the entire image display. In particular, this can correspond to the conversion of image or film information into control signals for the laser light source 200 and the mirror component 100, including the time synchronization between the mirror element position and the amplitudes of the different lasers.
  • FIGS. 18A to 18E show schematic representations of measures for determining the position and/or frequency of components of a piezoelectric mirror component according to some exemplary embodiments. These measures can be provided in connection with a method for operating the mirror component. For example, such measures can be provided in connection with the sensor electronics 204 described above.
  • the second frequency can be measured in the first AC signal and the first frequency can be measured in the second AC signal during operation of the piezoelectric mirror component 100 .
  • this can be achieved, for example, by using suitable frequency filters 71 in the drive supply lines 70, so that no additional lines are necessary.
  • third control areas 523 can be provided in addition to the first and second control areas in which a piezoelectric signal can be measured via the piezoelectric effect.
  • the third control areas 523 which can also be referred to as sensor elements or sensor areas, can be provided in particular at suitable positions, so that a good signal can be achieved.
  • the third control areas 523 can be placed on the drive ring 20, for example close to the first or, as shown in FIG. 18B, close to the second torsion spring elements 42.
  • the fact that a third control area is arranged "near a torsion spring element" can mean in particular that said third control area is arranged close to or next to a base point of the torsion spring element in question and no first and second control area is arranged closer to the torsion spring element in question 18B, four third control areas 523 are provided purely by way of example, which are arranged symmetrically to the first and second torsion spring elements 42.
  • third control areas 523 can also be formed on the frame element 30, as shown in FIG. 18C. In this way it can be achieved that the drive ring 20 can be completely available for driving control areas 521, 521', 522, 522'. Furthermore, the third control areas 523 on the frame element 30 can be produced more easily and contact can be made more easily, since no additional conductor tracks 54 have to be guided over the second torsion spring elements 42 in order to make contact with them. As indicated in FIG. 18C, for example, four third control areas 523 can be arranged as sensor elements Sa, Sb, Sc, Sd symmetrically to the first and second torsion spring elements 42. The sensor elements Sa, Sb, Sc, Sd can be contacted by contact elements 53a, 53b, 53c, 53d and conductor tracks 54.
  • two third control areas 523 which form the sensor elements Sa and Sb, at the base of one of the two second torsion spring elements 42 and two further third control areas 523, which form the sensor elements Sc and Sd, at the base of the other of the two second torsion spring elements 42 can be arranged symmetrically to the axis formed by the second torsion spring elements 42 .
  • the frame element 30 can be thinned under the second control areas 523 and in particular, for example, can have the same thickness as the drive ring 20 in order to enable mechanical mobility of the third control areas 523 .
  • the frame element 30 can have a reduced thickness in the areas 35 marked with dashed lines, in which the third control elements 523 are located, i.e. for example the same thickness as the drive ring 20 , while the rest of the frame element 30 or at least an edge part of the frame element like described above may have a greater thickness than the regions 35 .
  • the third control areas are preferably arranged in one or more areas of the frame element 30 which have a smaller thickness compared to the rest of the frame element 30 or at least compared to an edge part of the frame element 30 .
  • the described arrangement of sensor elements Sa, Sb, Sc and Sd on the frame element 30 allows deflections in both directions, ie deflections about the first torsion elements 41 and deflections about the second torsion elements 42, to be detected simultaneously.
  • Linear combinations of the signals of the four sensor elements Sa, Sb, Sc, Sd formed by the third control areas 523 can be used for this.
  • vibrations around the first torsion spring elements 41 can be suppressed by one or more of the linear combinations
  • the measurement accuracy can be increased by using several of the linear combinations mentioned.
  • third control areas 523 are present, since these are in principle sufficient to obtain the desired information.
  • only those third control regions 523 that form the sensor elements Sa and Sb or that form the sensor elements Sa and Sc or that form the sensor elements Sc and Sd or that form the sensor elements Sb and Sd can be present.
  • the two sensor elements should not be arranged diagonally to one another, but should be arranged on the same side with respect to the first torsion spring elements 41 or the second torsion spring elements 42 .
  • first and/or second control areas can be present, which are used alternately in a time-division multiplex process for driving the mirror element or the drive ring and for measuring a piezoelectric signal.
  • first or second control areas 521, 521′, 522, 522′ can be present, for example, which are also provided as third control areas.
  • this can mean that the drive and the position determination are carried out at different times. This can be achieved, for example, by a suitable pulse width modulation, with the mirror element being driven alternately for a specific number of periods and the measurement being carried out for a smaller number of periods. Because of the high mechanical quality, only a small amount of deflection of the mirror element is lost in the process.
  • the electrode elements 61 , 61 ′, 62 , 62 ′ can be formed by conductor track parts, for example.
  • a first electrode element 61 can be arranged, for example, on the frame element 30 while a second electrode element 62 is arranged on the drive ring 20 adjacent to the first electrode element 61 .
  • the distance between the electrode elements 61, 62 can change, whereby the capacitance of the Electrode elements 61, 62 formed capacitor can change.
  • electrode elements can also be arranged on the drive ring 20 and the mirror element 10 , for example.
  • two electrode elements 61', 62' may also be possible, for example, to arrange two electrode elements 61', 62' on opposite sides of the drive ring 20 on the frame element 30.
  • the drive ring 20 can then act as a moving dielectric between the electrode elements 61', 62' during movement.
  • two electrode elements can also be arranged on the drive ring 20 on opposite sides of the mirror element 10 .
  • the zero crossing of the drive ring 20 and/or the mirror element 10 can in particular also be determined.
  • the first electrode can be suitably structured.
  • a circular mirror area 11 is shown throughout in connection with the figures described above.
  • the mirror region 11 and thus also the reflective coating 15 can also be elliptical, as shown in sections of mirror components in FIGS. 19A and 19B, and have a larger elliptical axis G and a smaller elliptical axis K.
  • the major ellipse axis G is oriented along the first direction and the minor ellipse axis K is oriented along the second direction, as shown in FIG. 19A.
  • the major ellipse axis G may be oriented along the second direction and the minor ellipse axis K may be oriented along the first direction, as in Figure 19B is shown.
  • the openings 13 have the shape of arcs of ellipses.
  • the ratio of the major ellipse axis G to the minor ellipse axis K can be, for example, greater than 1 or greater than or equal to 1.02 or greater than or equal to 1.04 or greater than or equal to 1.06 and less than or equal to 1.1 or less than or equal to 1.08 or less than or equal to 1.07.
  • the invention is not limited to these by the description based on the exemplary embodiments. Rather, the invention includes each new feature and each combination of features, which includes in particular each combination of features in the claims, even if this feature or this combination itself is not explicitly in the

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Es wird ein piezoelektrisches Spiegelbauelement (100) angegeben, das ein Spiegelelement (10), einen piezoelektrischer Antriebsring (20), der das Spiegelelement umgibt und über zumindest ein erstes Torsionsfederelement (41) mit dem Spiegelelement verbunden ist, und ein Rahmenelement (30) aufweist, das über zumindest ein zweites Torsionsfederelement (42) mit dem Antriebsring verbunden ist, wobei der Antriebsring einen ersten Durchmesser entlang einer ersten Richtung und einen zweiten Durchmesser entlang einer zur ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung aufweist und der erste Durchmesser größer als der zweite Durchmesser ist. Weiterhin werden ein Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und eine Projektionsvorrichtung angegeben.

Description

Beschreibung
Piezoelektrisches Spiegelbauelement, Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und Projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen Spiegelbauelement
Es werden ein piezoelektrisches Spiegelbauelement, ein Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und eine Pro ektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen Spiegelbauelement angegeben.
Für Laserprojektoren gibt es eine Vielzahl von Anwendungsbereichen. Beispielsweise werden Projektoren zur Anzeige bewegter Bilder, beispielsweise in Kinos, für Heimkinoanwendungen oder für mobile Anzeigeanwendungen, verwendet. Besonders bevorzugt sollten hierfür Projektoren verfügbar sein, die kostengünstig und unempfindlich gegenüber Erschütterungen sind. Weiterhin werden immer öfter Projektoren im Automotivbereich verwendet, beispielsweise zur Projektion von Informationen auf die Straßenoberfläche, für Matrixausleuchtungen oder auch für Anwendungen basierend auf dem LIDAR-Prinzip (LIDAR: „light detection and ranging", Lichtdetektion und Abstandsmessung) . Für derartige Anwendungsfelder wird eine große Tiefenschärfe benötigt, die Laserprojektoren liefern können. Darüber hinaus sind Laserprojektoren vorteilhaft für Anwendungen in Verbindung mit VR („virtual reality", virtuelle Realität) und AR
(„augmented reality", erweiterte Realität) , beispielsweise in AR-/VR-Brillen.
Ein Projektor kann drehbare Spiegel aufweisen, durch die ein zeitlich modulierter Laserstrahl abgelenkt wird. Auf diese Weise wird ein Bild im von einem Betrachter wahrgenommenen Fernfeld erzeugt, so dass sich das projizierte Bild für den Betrachter immer im Fokus befindet und keine Akkomodation des Auges notwendig ist. Im Fall einer AR-/VR-Brille wird der abgelenkte Strahl beispielsweise in ein Wellenleiter- Brillenglas eingekoppelt. Hier bestimmt die Richtung und nicht die Position des Strahls die Position des Bildpunks für den Betrachter, so dass keine weitere Optik nötig ist. Oft werden zwei Spiegel verwendet, nämlich für jede orthogonale Ablenkungsrichtung einer, mittels derer ein Laserstrahl den Bildbereich in einem orthogonalen Raster abscannt. Alternativ gibt es auch Lösungen mit Laser-Arrays, LED-Arrays (LED: Licht emittierend Diode) oder QLED-Arrays (QLED: Quantenpunkt-Leuchtdiode) , die in ihrem Auflösungsvermögen und in ihrer Helligkeit jedoch begrenzt sind, sowie Lösungen, bei denen Laserlicht von einem passiven Panel selektiv reflektiert wird, wobei dies nicht sehr energieeffizient ist. Es besteht daher ein hoher Bedarf an kompakten Lösungen für AR-/VR-Brillen mit guter Bildauflösung.
Beispielsweise sind aus den im Folgenden aufgeführten Druckschriften Mikrospiegel bekannt: Die Druckschrift U. Baran et al., „Resonant PZT MEMS Scanner for High- Resolution Displays", Journal of Microelectromechanical Systems, 21, 1303-1310, 2012 beschreibt einen Spiegel, der um eine Achse schwingen kann und somit ein eindimensionales Scanning ermöglicht. Die Druckschrift Ch. Pan et al., „A New Two-Axis Optical Scanner Actuated by Piezoelectric Bimorphs", International Journal of Optomechatronics , 6, 336-349, 2012 beschreibt einen zweidimensional bewegbaren rechteckigen Spiegel, wobei in einer Richtung die Bewegung eine anharmonische Bewegung in einem sogenannten Rocking-Mode ist. Die Druckschrift JP 5345102 B2 und H.-J. Quenzer et al., „Piezoelectrically driven translatory optical MEMS actuator with 7mm apertures and large displacements", Proc. SPIE 9375, MOEMS and Miniaturized Systems XIV, 937500, 2015 beschreiben um zwei Achsen bewegbare, symmetrisch aufgehängte Spiegel, deren Bewegungen um beide Achsen gleichartig sind, was zu unerwünschtem Kopplungsverhalten führen kann. Die Druckschrift M. Tani et al., „A Combination of Fast Resonant Mode and Slow Static Deflection of SOI-PZT Actuators for MEMS Image Projection Display", Proc. IEEE/LEOS Int. Conf. Opt. MEMS Appl . Conf., 25-26, 2006 beschreibt ebenfalls einen um zwei Achsen bewegbaren Spiegel, wobei der Aktuator für eine der Drehbewegungen große Meanderstrukturen aufweist, die wenig kompakt sind, nur eine niedrige Resonanzfrequenz ermöglichen und weiterhin schockempfindlich sein können. Die Druckschrift H. Yu et al., „Optimization of MOEMS Projection Module Performance with Enhanced Piezoresistive Sensitivity", Micromachines 2020, 11, 651 beschreibt einen elektromagnetisch angetriebenen Spiegel.
Zumindest eine Aufgabe von bestimmten Aus führungs formen ist es, ein piezoelektrisches Spiegelbauelement anzugeben. Zumindest eine weitere Aufgabe von bestimmten Aus führungs formen ist es, ein Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrischen Spiegelbauelements anzugeben. Zumindest eine weitere Aufgabe von bestimmten Aus führungs formen ist es, eine Projektionsvorrichtung mit einem piezoelektrischen Spiegelbauelement anzugeben.
Diese Aufgaben werden durch Gegenstände und ein Verfahren gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst. Vorteilhafte Aus führungs formen und Weiterbildungen der Gegenstände und des Verfahrens sind in den abhängigen Ansprüchen gekennzeichnet und gehen weiterhin aus der nachfolgenden Beschreibung und den Zeichnungen hervor .
Gemäß zumindest einer Aus führungs form weist ein piezoelektrisches Spiegelbauelement , das im Folgenden auch kurz als Spiegelbauelement bezeichnet sein kann, ein Spiegelelement , einen piezoelektrischen Antriebsring und ein Rahmenelement auf . Der Antriebsring umgibt das Spiegelelement und ist über zumindest ein erstes Torsions federelement mit dem Spiegelelement verbunden . Das Rahmenelement ist über zumindest ein zweites Torsions federelement mit dem Antriebsring verbunden . Das Spiegelelement , der Antriebsring und das Rahmenelement sowie die Torsions federelemente können in einem Ruhezustand des Spiegelbauelements insbesondere entlang einer Ebene ausgerichtet sein .
Zumindest auf dem Antriebsring ist eine piezoelektrische Schicht aufgebracht , die zwischen einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode angeordnet ist . Die piezoelektrische Schicht kann ein oder mehrere piezoelektrische Materialien aufweisen . Besonders bevorzugt weist die piezoelektrische Schicht ein piezoelektrisches Material basierend auf Blei- Zirkonat-Titanat ( PZT ) auf oder ist daraus .
Zumindest die zweite Elektrode ist bevorzugt in eine Mehrzahl von Ansteuerbereichen strukturiert . Das bedeutet , dass die zweite Elektrode eine Mehrzahl von voneinander unabhängig ansteuerbare Bereiche aufweisen kann . Die erste Elektrode und/oder die piezoelektrische Schicht können zusammenhängend aufgebracht sein oder auch zumindest teilweise strukturiert sein . Somit sind auf dem Antriebsring bevorzugt die erste Elektrode und die in eine Mehrzahl von Ansteuerbereichen strukturierte zweite Elektrode aufgebracht , wobei zwischen der ersten und zweiten Elektrode die piezoelektrische Schicht angeordnet ist . Besonders bevorzugt sind die erste Elektrode , die piezoelektrische Schicht und die zweite Elektrode in dieser Reihenfolge aufgebracht . Durch das Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der ersten Elektrode und zumindest einem Ansteuerbereich der zweiten Elektrode kann über den inversen Piezoef fekt eine mechanische Verformung der piezoelektrischen Schicht und damit des Antriebsrings in einem Teilbereich erreicht werden, wodurch auf den Antriebsring und/oder das Spiegelelement eine Kraft ausgeübt werden kann . Jeder der Ansteuerbereiche kann somit mit der piezoelektrischen Schicht und der ersten Elektrode ein Piezoelement bilden, durch das ein Teilbereich des Spiegelbauelements bewegt werden kann . Durch Anlegen eines Wechselstromsignals mit einer os zillierenden elektrischen Spannung kann eine os zillierende Kraft ausgeübt werden, die eine os zillierende Verformung bewirken kann . Dadurch kann zumindest ein Teil des Spiegelbauelements in Schwingungen versetzt werden .
Das zumindest eine erste Torsions federelement und das zumindest eine zweite Torsions federelement können insbesondere als sogenannte Torsionsbalken ausgebildet sein . Mit anderen Worten ist j edes der Torsions federelemente länglich in Form eines Balkens mit einer Längsrichtung geformt , der, insbesondere im Betrieb des Spiegelbauelements , eine Torsionsbewegung um eine Drehachse aus führen kann, wobei die Drehachse bevorzugt im Wesentlichen der Längsrichtung des Balkens entspricht .
Das zumindest eine erste Torsions federelement erstreckt sich bevorzugt vom Spiegelelement zum Antriebsring und definiert eine erste Drehachse . Werden das Spiegelelement und der Antriebsring relativ zueinander um die erste Drehachse verdreht , so verdreht sich das dem Spiegelelement nähere Ende des zumindest einen ersten Torsions federelements relativ zum dem Antriebsring näheren Ende des zumindest einen ersten Torsions federelements . Insbesondere kann durch eine geeignete Ansteuerung von Ansteuerbereichen der zweiten Elektrode mit einem ersten Wechselstromsignal mit einer ersten Frequenz bewirkt werden, dass das Spiegelelement in eine erste Drehschwingung mit der ersten Frequenz versetzt wird, wobei über das zumindest eine erste Torsions federelement eine bevorzugt linear vom Drehwinkel abhängige Rückstellkraft auf das Spiegelelement ausgeübt wird . Eine derartige Drehschwingung an zumindest einem Torsions federelement wird im Folgenden auch als Torsionsschwingung bezeichnet . Somit kann die erste Drehschwingung auch als erste Torsionsschwingung bezeichnet werden .
Das zumindest eine zweite Torsions federelement erstreckt sich bevorzugt vom Antriebsring zum Rahmenelement und definiert eine zweite Drehachse . Werden das Rahmenelement und der Antriebsring relativ zueinander um die zweite Drehachse gedreht , so verdreht sich das dem Rahmenelement nähere Ende des zumindest einen zweiten Torsions federelements relativ zum dem Antriebsring näheren Ende des zumindest einen zweiten Torsions federelements . Insbesondere kann durch eine geeignete Ansteuerung von Ansteuerbereichen der zweiten Elektrode mit einem zweiten Wechselstromsignal mit einer zweiten Frequenz bewirkt werden, dass der Antriebsring in eine zweite Drehschwingung mit der zweiten Frequenz versetzt wird, wobei über das zumindest eine zweite Torsions federelement eine bevorzugt linear vom Drehwinkel abhängige Rückstellkraft auf den Antriebsring ausgeübt wird . Insbesondere kann das Spiegelelement zusammen mit dem Antriebsring die zweite Drehschwingung voll ziehen . Die beschriebene zweite
Drehschwingung kann auch als zweite Torsionsschwingung bezeichnet werden .
Besonders bevorzugt sind das erste Torsions federelement und das zweite Torsions federelement um 90 ° zueinander gedreht angeordnet , so dass die erste Drehachse für die erste Torsionsschwingung und die zweite Drehachse für die zweite Torsionsschwingung senkrecht zueinander stehen . Dadurch kann erreicht werden, dass die erste und zweite Torsionsschwingung möglichst unabhängig voneinander sind .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form ist auch auf dem Rahmenelement zumindest teilweise die erste Elektrode aufgebracht . Weiterhin kann auch auf dem Rahmenelement zumindest teilweise die piezoelektrische Schicht aufgebracht sein . Zusätzlich kann auch auf dem Rahmenelement zumindest teilweise die zweite Elektrode aufgebracht sein . Weiterhin können auch auf dem zumindest einen zweiten Torsions federelement die erste Elektrode und/oder die piezoelektrische Schicht aufgebracht sein . Weiterhin kann das zumindest eine zweite Torsions federelement frei von der zweiten Elektrode sein . Besonders bevorzugt sind das zumindest eine erste Torsions federelement und das Spiegelelement frei von der ersten Elektrode , der piezoelektrischen Schicht und der zweiten Elektrode .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form ist die zweite Elektrode auf dem Rahmenelement in eine Mehrzahl von Ansteuerbereichen strukturiert . Insbesondere kann die zweite Elektrode in einem von einem Randteil des Rahmenelements umgebenen Aktuationsbereich des Rahmenelements aufgebracht sein . Dadurch kann es möglich sein, zusätzlich zu den Ansteuerbereichen auf dem Antriebsring weitere
Ansteuerbereiche auf dem Rahmenelement vorzusehen, durch die bei einer geeigneten Ansteuerung eine Kraft beispielsweise auf den Antriebsring ausgeübt werden kann .
Weiterhin können auf dem Rahmenelement , beispielsweise auf einem Randteil des Rahmenelements , Kontaktelemente zur Ansteuerung der ersten und zweiten Elektrode vorhanden sein . Ansteuerbereiche auf dem Antriebsring und/oder auf dem Rahmenelement können über Leiterbahnen, die über das zumindest eine zweite Torsions federelement verlaufen, mit Kontaktelementen auf dem Rahmenelement verbunden sein . Alternativ dazu kann es auch möglich sein, auf Leiterbahnen zu verzichten und direkt auf die Elektroden zu bonden . Dadurch kann es möglich sein, parasitäre Widerstände und Kapazitäten, die im Zusammenhang mit Leiterbahne auftreten können, zu vermeiden .
Bei einem Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements wird, wie vorab beschrieben, bevorzugt das Spiegelelement mittels eines ersten elektrischen Wechselstromsignals mit einer ersten Frequenz , das auf erste Ansteuerbereiche wirkt , in eine erste Torsionsschwingung versetzt . Der Antriebsring, bevorzugt zusammen mit dem Spiegelelement , wird mittels eines zweiten elektrischen Wechselstromsignals mit einer zweiten Frequenz , das auf zweite Ansteuerbereiche wirkt , in eine zweite Torsionsschwingung versetzt . Insbesondere kann die Ansteuerung mit dem ersten Wechselstromsignal und die Ansteuerung mit dem zweiten Wechselstromsignal gleichzeitig erfolgen, so dass das insbesondere Spiegelelement die beiden Torsionsschwingungen gleichzeitig aus führen kann, wobei das Spiegelelement relativ zum Antriebsring um die erste Drehachse mit der ersten Frequenz os zilliert und der Antriebsring zusammen mit dem Spiegelelement relativ zum Rahmenelement um die zweite Drehachse mit der zweiten Frequenz os zilliert . Die erste Frequenz und die zweite Frequenz können insbesondere Resonanz frequenzen sein oder zumindest nahe bei einer j eweiligen Resonanz frequenz liegen, die abhängig von den j eweils schwingenden Teilen des Spiegelbauelements und deren geometrischen Ausgestaltungen sein können . Besonders bevorzugt sind die erste Frequenz und die zweite Frequenz unterschiedlich .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form weist eine Proj ektionsvorrichtung eine Laserlichtquelle und das piezoelektrische Spiegelbauelement auf . Das Spiegelbauelement kann im Betrieb von der Laserlichtquelle abgestrahltes Laserlicht ablenken . Durch die vorab beschriebenen Torsionsschwingungen des Spiegelelements kann durch das abgelenkte Laserlicht ein von einem Betrachter wahrnehmbarer Bildbereich überstrichen werden . Mit anderen Worten kann mit dem Spiegelbauelement ein Scanning erreicht werden . Besonders bevorzugt kann bei wie vorab erwähnten resonanten oder nahe- resonanten Torsionsschwingungen um die erste Drehachse und um die zweite Drehachse , die besonders bevorzugt senkrecht zueinander stehen, ein sogenanntes Lissa j ous-Scanning erreicht werden .
Die vorab und nachfolgend beschriebenen Merkmale und Aus führungs formen beziehen sich gleichermaßen auf das piezoelektrische Spiegelbauelement , auf das Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und auf die Proj ektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen Spiegelbauelement . Gemäß einer weiteren Aus führungs form weist der Antriebsring einen ersten Durchmesser entlang einer ersten Richtung und einen zweiten Durchmesser entlang einer zur ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung auf , wobei der erste Durchmesser verschieden zum zweiten Durchmesser ist . Besonders bevorzugt ist der erste Durchmesser größer als der zweite Durchmesser . Somit weist der Antriebsring keine Kreis form auf .
Insbesondere kann der Antriebsring eine elliptische Form aufweisen oder zumindest an eine elliptische Form angenähert sein .
Der Antriebsring kann durch einen inneren Rand, der dem Spiegelelement zugewandt ist , und einen gegenüber liegenden äußeren Rand in Richtungen entlang der durch die erste und zweite Richtung aufgespannte Ebene begrenzt sein, wobei der innere und der äußere Rand j eweils eine elliptische Form aufweisen können oder zumindest an eine elliptische Form angenähert sein können . Die Form des äußeren Rands kann durch den ersten Durchmesser und den zweiten Durchmesser definiert sein . Mit anderen Worten können der vorgenannte erste und zweite Durchmesser ein erster und zweiter Außendurchmesser des Antriebsrings sein . Der innere Rand kann ebenfalls einen ersten und einen zweiten Durchmesser aufweisen, die auch als erster und zweiter Innendurchmesser bezeichnet werden können, wobei der erste Innendurchmesser entlang der ersten Richtung und der zweite Innendurchmesser entlang der zweiten Richtung verlaufen . Das Verhältnis des ersten Außendurchmessers zum zweiten Außendurchmesser kann gleich oder unterschiedlich zum Verhältnis des ersten Innendurchmessers zum zweiten Innendurchmesser sein . Sind die Verhältnisse unterschiedlich, kann das insbesondere bedeuten, dass der Antriebsring entlang der ersten Richtung eine erste Breite und entlang der zweiten Richtung eine zweite Breite aufweist und die erste Breite verschieden von der zweiten Breite ist . Beispielsweise kann die erste Breite kleiner als die zweite Breite sein .
Insbesondere kann das zumindest eine erste Torsions federelement entlang der ersten Richtung angeordnet sein, während das zumindest eine zweite Torsions federelement entlang der zweiten Richtung angeordnet ist . Besonders bevorzugt ist der Antriebsring über zwei erste Torsions federelemente mit dem Spiegelelement verbunden, die entlang einer Geraden entlang der ersten Richtung an zwei gegenüber liegenden Seiten des Spiegelelements angeordnet sind . Weiterhin ist besonders bevorzugt der Antriebsring über zwei zweite Torsions federelemente mit dem Rahmenelement verbunden, die entlang einer Geraden entlang der zweiten Richtung an zwei gegenüber liegenden Seiten des Antriebsrings angeordnet sind . Jedes der ersten Torsions federelemente und j edes der zweiten Torsions federelemente kann Merkmale aufweisen, die j eweils im Zusammenhang mit dem zumindest einen Torsions federelement und dem zumindest einen zweiten Torsions federelement beschrieben sind . Insbesondere kann das Spiegelelement ausschließlich durch die ersten Torsions federelemente mit dem Antriebsring verbunden sein, während der Antriebsring besonders bevorzugt ausschließlich über die zweiten Torsions federelemente mit dem Rahmenelement verbunden sein kann .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form weist das Spiegelelement einen Spiegelbereich und einen den Spiegelbereich umgebenden Randbereich auf , der bevorzugt mittels zumindest eines Durchbruchs teilweise vom Spiegelbereich getrennt ist . Das Spiegelelement kann besonders bevorzugt kreisrund sein, so dass der zumindest eine Durchbruch die Form eines Kreisbogens haben kann . Besonders bevorzugt können zwei Durchbrüche vorhanden sein, die sich gegenüber liegen und die beide die Form eines Kreisbogens haben .
Weiterhin kann der Spiegelbereich auch elliptisch sein und eine größere Ellipsenachse und kleinere Ellipsenachse aufweisen . Bevorzugt sind die größere Ellipsenachse entlang der ersten Richtung und die kleinere Ellipsenachsen entlang der zweiten Richtung orientiert . Alternativ hierzu können die größere Ellipsenachse entlang der zweiten Richtung und die kleinere Ellipsenachse entlang der ersten Richtung orientiert sein . Die Durchbrüche weisen im Fall eines elliptischen Spiegelbereichs die Form von Ellipsenbögen auf . Das Verhältnis der größeren Ellipsenachse zur kleineren Ellipsenachse kann bevorzugt größer als 1 oder größer oder gleich 1 , 02 oder größer oder gleich 1 , 04 oder größer oder gleich 1 , 06 sowie kleiner oder gleich 1 , 1 oder kleiner oder gleich 1 , 08 oder kleiner oder gleich 1 , 07 sein .
Der Randbereich kann über zwei Verbindungsbereiche mit dem Spiegelbereich verbunden sein . Mit anderen Worten können die zwei Durchbrüche durch die zwei Verbindungsbereiche voneinander getrennt sein . Besonders bevorzugt sind die Verbindungsbereiche entlang der zweiten Richtung an zwei gegenüber liegenden Seiten des Spiegelbereichs angeordnet , so dass sich bevorzugt die zwei Durchbrüche entlang der ersten Richtung gegenüber liegen können .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form ist auf dem Spiegelbereich eine reflektierende Beschichtung aufgebracht . Beispielsweise kann die Beschichtung eine metallische Beschichtung sein . Weiterhin ist beispielsweise auch eine dielektrische Beschichtung, etwa ein Bragg-Spiegel , möglich . Der Randbereich und die Verbindungsbereiche können bevorzugt frei von der reflektierenden Beschichtung sein .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form umgibt das Rahmenelement den Antriebsring . Das Rahmenelement kann insbesondere eine das Rahmenelement durchdringende Aussparung aufweisen, in der das zumindest eine zweite Torsions federelement und der Antriebsring mit dem im Antriebsring angeordneten zumindest einen ersten Torsions federelement und Spiegelelement angeordnet sind . Das zumindest eine zweite Torsions federelement ragt besonders bevorzugt aus der die Aussparung umgebenden Randfläche und damit aus dem Rahmenelement in die Aussparung hinein . Die Aussparung weist bevorzugt eine polygonale Grundform auf , die beispielsweise viereckig, sechseckig oder achteckig sein kann . Weiterhin kann es möglich sein, dass die Aussparung entlang der ersten und zweiten Richtung eine gleiche Ausdehnung aufweist . Weist das Rahmenelement einen Aktuationsbereich auf , kann dieser unmittelbar an die Aussparung angrenzen . Weiterhin kann der Aktuationsbereich mittels zumindest eines Durchbruchs teilweise vom Randteil getrennt sein .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form weisen das Spiegelelement und der Antriebsring eine geringere Dicke als zumindest ein Rahmenteil des Rahmenelements auf . Hier und im Folgenden kann „Dicke" insbesondere eine Ausdehnung entlang einer dritten Richtung bedeuten, die senkrecht zur ersten und zweiten Richtung steht . Weist das Rahmenelement einen Aktuationsbereich auf , kann bevorzugt auch der Aktuationsbereich eine geringere Dicke als der Rahmenteil des Rahmenelements aufweisen . Besonders bevorzugt sind das Rahmenelement , der Antriebsring, das Spiegelelement und die Torsions federelemente einstückig ausgebildet . Insbesondere können das Rahmenelement , der Antriebsring, das Spiegelelement und die Torsions federelemente Sili zium aufweisen . Zur Herstellung des Spiegelbauelements kann ein Träger, beispielsweise in Form eines Sili ziumwafers oder eines SOI-Wafers ( SOI : „silicon on insulator" , Sili zium auf einem I solator ) , bereitgestellt werden, der zur Ausbildung des Rahmenelements , des Antriebsrings , des Spiegelelements und der Torsions federelemente entsprechend strukturiert wird . Auf den strukturierten Träger können dann die Elektroden und die piezoelektrische Schicht sowie j e nach Ausgestaltung beispielsweise auch I solatorschichten und/oder Leiterbahnen ausgebildet oder aufgebracht werden .
Gemäß einer weiteren Aus führungs form sind Maßnahmen vorgesehen, um eine Positionsbestimmung des Spiegelelements und/oder eine Positionsbestimmung des Antriebsrings und/oder eine Frequenzbestimmung einer oder beider Torsionsschwingungen zu erreichen . Beispielsweise können während des Betriebs des piezoelektrischen Spiegelbauelements im ersten Wechselstromsignal die zweite Frequenz und im zweiten Wechselstromsignal die erste Frequenz gemessen werden . Dies kann beispielsweise durch Verwendung geeigneter Frequenz filter in den Antriebs zuleitungen erreicht werden, so dass keine zusätzlichen Leitungen nötig sind . Weiterhin kann es auch möglich sein, dritte Ansteuerbereiche vorzusehen, in denen ein piezoelektrisches Signal über den piezoelektrischen Ef fekt gemessen wird . Die dritten Ansteuerbereiche können insbesondere an geeigneten Positionen vorgesehen sein, so dass ein gutes Signal erzielt werden kann . Weiterhin können zur Positions- und/oder Frequenzmessung zumindest zwei Elektrodenelemente vorhanden sein, die einen Kondensator bilden, der bei einer Bewegung des Spiegelelements , insbesondere relativ zum Antriebsring, oder des Antriebsrings , insbesondere relativ zum Rahmenelement , eine variable Kapazität aufweist , wobei die Kapazität des Kondensators gemessen wird . Bei einer solchen kapazitiven Messung kann insbesondere auch der Nulldurchgang des Antriebsrings und/oder des Spiegelelements ermittelt werden . Um einen kapazitiven Kurzschluss zu vermeiden, kann die erste Elektrode geeignet strukturiert sein .
Die Elektrodenelemente können beispielsweise durch Leiterbahnenteile gebildet werden . Ein erstes Elektrodenelement kann beispielsweise auf dem Rahmenelement angeordnet sein, während ein zweites Elektrodenelement auf dem Antriebsring benachbart zum ersten Elektrodenelement angeordnet ist . Bei einer Bewegung des Antriebsrings relativ zum Rahmenelement kann sich der Abstand zwischen den Elektrodenelementen ändern, wodurch sich die Kapazität des durch die Elektrodenelemente gebildeten Kondensators ändern kann . Entsprechend können beispielsweise Elektrodenelemente auf dem Antriebsring und dem Spiegelelement angeordnet werden . Es kann auch möglich sein, beispielsweise zwei Elektrodenelemente auf dem Rahmenelement auf gegenüber liegenden Seiten des Antriebsrings anzuordnen, so dass sich der Antriebsring zwischen den zwei auf dem Rahmenelement angeordneten Elektrodenelementen befindet . Der Antriebsring kann dann bei einer Bewegung wie ein sich bewegendes Dielektrikum zwischen den Elektrodenelementen wirken, wodurch sich die Kapazität des dadurch gebildeten Kondensators ändern kann . Entsprechend können auch zwei Elektrodenelemente auf gegenüber liegenden Seiten des Spiegelelements auf dem Antriebsring angeordnet sein .
Weiterhin kann es auch möglich sein, dass erste und/oder zweite Ansteuerbereiche vorhanden sind, die in einem Zeitmultiplexverf ahren wechselweise zum Antrieb des Spiegelelements oder des Antriebsrings und zur Messung eines piezoelektrischen Signals verwendet werden .
Weitere Vorteile , vorteilhafte Aus führungs formen und Weiterbildungen ergeben sich aus den im Folgenden in Verbindung mit den Figuren beschriebenen Aus führungsbeispielen .
Figuren 1A und 1B zeigen schematische Darstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß einem Aus führungsbeispiel ,
Figuren 2A bis 2E zeigen schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß der Figuren 1A und 1B,
Figuren 3A und 3B zeigen schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß der Figuren 1A und 1B,
Figuren 4A bis 5E zeigen Simulationsuntersuchungen zum piezoelektrischen Spiegelbauelement gemäß der Figuren 1A und 1B,
Figuren 6A und 6B zeigen schematische Darstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß einem weiteren Aus führungsbeispiel ,
Figuren 7A bis 7E zeigen schematische Darstellungen von
Verfahrensschritten eines Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß der Figuren 6A und 6B,
Figuren 8A bis 8E zeigen schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß der Figuren 6A und 6B,
Figuren 9A bis 12E zeigen Simulationsuntersuchungen zum piezoelektrischen Spiegelbauelement gemäß der Figuren 6A und 6B,
Figuren I SA und 13B zeigen schematische Darstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß einem weiteren Aus führungsbeispiel ,
Figuren 14A bis 14E zeigen schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß der Figuren I SA und 13B,
Figur 15 zeigt eine schematische Darstellung eines Verfahrensschritts eines Verfahrens zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß der Figuren 13A und 13B,
Figuren 16A bis 16E zeigen Simulationsuntersuchungen zum piezoelektrischen Spiegelbauelement gemäß der Figuren 13A und 13B,
Figur 17 zeigt eine schematische Darstellung einer Proj ektionsvorrichtung gemäß einem weiteren Aus führungsbeispiel ,
Figuren 18A bis 18E zeigen schematische Darstellungen von Maßnahmen zur Positions- und/oder Frequenzbestimmung von Komponenten eines piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß einigen Aus führungsbeispielen,
Figuren 19A und 19B zeigen schematische Teildarstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß weiteren Aus führungsbeispielen . In den Aus führungsbeispielen und Figuren können gleiche , gleichartige oder gleich wirkende Elemente j eweils mit denselben Bezugs zeichen versehen sein . Die dargestellten Elemente und deren Größenverhältnisse untereinander sind nicht als maßstabsgerecht anzusehen, vielmehr können einzelne Elemente , wie zum Beispiel Schichten, Bauteile , Bauelemente und Bereiche , zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein .
In den Figuren 1A und 1B sind schematische Darstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß einem Aus führungsbeispiel gezeigt , wobei in Figur 1A eine dreidimensionale Ansicht auf eine Oberseite des Spiegelbauelements 100 und in Figur 1B eine dreidimensionale Ansicht auf eine Unterseite des Spiegelbauelements 100 gezeigt sind . Die Figuren 2A bis 2E zeigen in Ansichten auf die Oberseite schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß der Figuren 1A und 1B . Die nachfolgende Beschreibung bezieht sich gleichermaßen auf die Figuren 1A und 1B und die Figuren 2A bis 2E .
Das piezoelektrische Spiegelbauelement 100 weist ein Spiegelelement 10 , einen piezoelektrischen Antriebsring 20 und ein Rahmenelement 30 auf . Der Antriebsring 20 umgibt das Spiegelelement 10 und ist über zumindest ein erstes Torsions federelement 41 mit dem Spiegelelement 10 verbunden . Das Rahmenelement ist über zumindest ein zweites Torsions federelement 42 mit dem Antriebsring verbunden . Das Spiegelelement 10 , der Antriebsring 20 und das Rahmenelement 30 sowie die Torsions federelemente 41 , 42 sind in einem Ruhezustand des Spiegelbauelements 100 entlang einer Ebene ausgerichtet, die durch eine erste Richtung, in den Figuren mit „x" bezeichnet, und eine zur ersten Richtung senkrecht stehende zweite Richtung, in den Figuren mit „y" bezeichnet, aufgespannt wird. Zumindest auf dem Antriebsring 20 ist eine piezoelektrische Schicht 50 aufgebracht, die zwischen einer ersten Elektrode 51 und einer zweiten Elektrode 52 angeordnet ist. Die piezoelektrische Schicht 50 weist bevorzugt ein piezoelektrisches Material basierend auf Blei-Zirkonat- Titanat (PZT) auf oder ist daraus.
Zur Herstellung des Spiegelbauelements 100 wird, wie in Figur 2A angedeutet ist, ein Träger 101, beispielsweise in Form eines Siliziumwafers oder in Form eines SOI-Wafers mit einem Trägermaterial aus einem elektrisch isolierenden Material und darauf einer Siliziumschicht, bereitgestellt. In einem Bereich 102, in dem das Spiegelelement 10, der piezoelektrische Antriebsring 20, das Rahmenelement 30 und die Torsionsfederelemente 41, 42 angeordnet sind, also in dem Bereich, in dem das Spiegelbauelement 100 mechanisch aktiv ist, wird der Träger 101 von der Unterseite her gedünnt. Zur Ausbildung des Spiegelelements 10, des Antriebsrings 20, und der Torsionsfederelemente 41, 42 im Bereich 102 wird der Träger, wie in Figur 2B gezeigt ist, durchgeätzt und damit strukturiert, so dass im Rahmenelement 30, das den Antriebring 20 umgibt, eine Aussparung 31 erzeugt wird, in der das Spiegelelement 10, der piezoelektrische Antriebsring 20, das Rahmenelement 30 und die Torsionsfederelemente 41, 42 angeordnet sind. Das Rahmenelement 30, der Antriebsring 20, das Spiegelelement 10 und die Torsionsfederelemente 41, 42 sind somit einstückig ausgebildet. Die Aussparung 31 weist bevorzugt eine polygonale Grundform auf, die wie gezeigt achteckig sein kann. Weiterhin kann es möglich sein, dass die Aussparung 31 entlang der ersten und zweiten Richtung eine gleiche Ausdehnung aufweist .
Wie in den Figuren 1A und 1B weiterhin zu erkennen ist , weisen das Spiegelelement 10 und der Antriebsring 20 sowie die Torsions federelemente 41 , 42 durch das vorab beschriebene Dünnen des Trägers 101 eine geringere Dicke als das Rahmenelement 30 auf , wobei die Dicke in einer in den Figuren mit „z" bezeichneten dritten Richtung, die auf der ersten und zweiten Richtung senkrecht steht , gemessen wird . Auf der Oberseite des Trägers 101 kann, falls erforderlich, eine elektrisch isolierende Schicht aufgebracht oder ausgebildet werden, beispielsweise mit oder aus Sili ziumoxid oder Sili ziumnitrid .
Wie gezeigt ist der Antriebsring 20 über zwei erste Torsions federelemente 41 mit dem Spiegelelement 10 verbunden, die entlang einer Geraden entlang der ersten Richtung an zwei gegenüber liegenden Seiten des Spiegelelements 10 angeordnet sind . Weiterhin ist der Antriebsring 20 über zwei zweite Torsions federelemente 42 mit dem Rahmenelement 30 verbunden, die entlang einer Geraden entlang der zweiten Richtung an zwei gegenüber liegenden Seiten des Antriebsrings 20 angeordnet sind . Damit ist die Aufhängung des Spiegelelements 10 am Antriebsring 20 um 90 ° gedreht zur Aufhängung des Antriebsrings 20 am Rahmenelement 30 .
Das Spiegelelement 10 weist einen Spiegelbereich 11 und einen den Spiegelbereich 11 umgebenden Randbereich 12 auf , der durch zwei Durchbrüche 13 , die im Rahmen der vorab beschriebenen Ausbildung des Spiegelelements 10 durch Ätzen erzeugt werden, teilweise vom Spiegelbereich 11 getrennt und bevorzugt damit mechanisch zumindest teilweise entkoppelt ist . Das Spiegelelement 10 und der Spiegelbereich 11 weisen wie gezeigt bevorzugt eine kreisrunde Grundform auf , so dass die Durchbrüche 13 die Form von Kreisbögen aufweisen . Die zwei Durchbrüche 13 sind sich entlang der ersten Richtung gegenüber liegend ausgebildet . Der Randbereich 12 ist über zwei Verbindungsbereiche 14 mit dem Spiegelbereich 11 verbunden, so dass die zwei Durchbrüche 13 durch die zwei Verbindungsbereiche 14 , die entlang der zweiten Richtung an zwei gegenüber liegenden Seiten des Spiegelbereichs 11 angeordnet sind, voneinander getrennt sind und so dass die Verbindungsbereiche um 90 ° gedreht zu den ersten Torsions federelementen 41 ausgerichtet sind .
Auf dem Antriebsring 20 , den zweiten Torsions federelementen 42 und teilweise auf dem Rahmenelement 30 werden zusammenhängend die erste Elektrode 51 und die piezoelektrische Schicht 50 aufgebracht , wie in den Figuren 2C und 2D zu erkennen ist . Damit der Teil der ersten Elektrode 51 auf dem Antriebsring 20 über den Teil der ersten Elektrode 51 auf dem Rahmenelement 30 von außen kontaktiert werden kann, werden Kontaktelemente 53 in Form von Aussparungen in der piezoelektrischen Schicht 50 vorgesehen, wie in Figur 2D angedeutet ist .
Auf der piezoelektrischen Schicht 50 wird, wie in Figur 2E gezeigt ist , auf dem Antriebsring 20 die zweite Elektrode 52 aufgebracht . Die zweite Elektrode 52 ist in eine Mehrzahl von Ansteuerbereichen strukturiert , die , wie weiter unten erläutert ist , zumindest in erste und zweite Ansteuerbereiche eingeteilt werden können, so dass die zweite Elektrode 52 eine Mehrzahl von voneinander unabhängig ansteuerbaren Bereichen aufweist . Zur elektrischen Kontaktierung der Ansteuerbereiche der zweiten Elektrode 52 werden auf dem Rahmenelement 30 weitere Kontaktbereiche 53 aufgebracht , die über Leiterbahnen 54 , die ebenfalls auf der piezoelektrischen Schicht 50 aufgebracht werden, mit den Antriebsbereichen elektrisch leitend verbunden sind .
Weiterhin wird, wie ebenfalls in Figur 2E zu erkennen ist , auf dem Spiegelbereich 11 eine reflektierende Beschichtung 15 aufgebracht , die bevorzugt eine metallische Beschichtung ist . Weiterhin ist beispielsweise auch eine dielektrische Beschichtung, etwa ein Bragg-Spiegel , möglich . Der Randbereich 12 und die Verbindungsbereiche 13 bleiben frei von der reflektierenden Beschichtung 15 .
Die ersten Torsions federelemente 41 und die zweiten Torsions federelemente 42 sind als sogenannte Torsionsbalken ausgebildet und weisen eine länglichen Form mit einer Längsrichtung auf , die entlang der ersten Richtung im Fall der ersten Torsions federelemente 41 und entlang der zweiten Richtung im Fall der zweiten Torsions federelemente 42 verläuft . Im Betrieb des Spiegelbauelements 100 können die Torsions federelemente 41 , 42 j eweils eine Torsionsbewegung um eine Drehachse aus führen, wobei die Drehachse bevorzugt im Wesentlichen der Längsrichtung des j eweiligen Torsions federelements 41 , 42 entspricht . Wird das Spiegelelement 10 relativ zum Antriebsring 20 um die durch die ersten Torsions federelemente 41 definierte erste Drehachse verdreht , können die ersten Torsions federelemente 41 bevorzugt eine linear vom Drehwinkel abhängige Rückstellkraft auf das Spiegelelement 10 ausüben . Wird der Antriebsring 20 und damit auch das Spiegelelement 10 relativ zum Rahmenelement 30 um die durch die zweiten Torsions federelemente 42 definierte zweite Drehachse verdreht , können die zweiten Torsions federelemente 42 bevorzugt eine linear vom Drehwinkel abhängige Rückstellkraft auf den Antriebsring 20 ausüben .
Auf dem Antriebsring 20 bilden die erste Elektrode 51 , die piezoelektrische Schicht 50 und j eder der Ansteuerbereiche der zweiten Elektrode 52 voneinander unabhängig ansteuerbare piezoelektrische Elemente . Durch das Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der ersten Elektrode 51 und zumindest einem Ansteuerbereich der zweiten Elektrode 52 kann über den inversen Piezoef fekt eine mechanische Verformung der piezoelektrischen Schicht 50 und damit des Antriebsrings 20 in einem Teilbereich erreicht werden, wodurch auf den Antriebsring 20 und/oder das Spiegelelement 10 eine Kraft ausgeübt werden kann . Durch Anlegen eines Wechselstromsignals mit einer os zillierenden elektrischen Spannung kann eine os zillierende Kraft ausgeübt werden, die eine os zillierende Verformung bewirken kann . Dadurch kann zumindest ein Teil des Spiegelbauelements 100 in Schwingungen versetzt werden . Die Figuren 3A und 3B zeigen hierzu schematische Darstellungen Ansteuerschemata für Verfahrensschritte eines Verfahrens zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß der Figuren 1A und 1B . Der Übersichtlichkeit halber sind in den Figuren 3A und 3B nur die Ansteuerbereiche der zweiten Elektrode mit Bezugs zeichen versehen . Im Folgenden genannte , nicht in den Figuren 3A und 3B gezeigte Bezugs zeichen beziehen sich auf die Figuren 1A bis 2E .
Durch eine Ansteuerung der in Figur 3A gekennzeichneten ersten Ansteuerbereiche 521 mit einem ersten Wechselstromsignal mit einer ersten Frequenz und der ersten Ansteuerbereiche 521 ' mit dem ersten Wechselstromsignal mit der ersten Frequenz , aber einer um 180 ° verschobenen Phasenlage , kann das Spiegelelement 10 in einer erste Torsionsschwingung relativ zum Antriebsring 20 um die durch die ersten Torsions federelemente 41 gebildete erste Drehachse versetzt werden . Durch eine Ansteuerung der in Figur 3B gekennzeichneten zweiten Ansteuerbereiche 522 mit einem zweiten Wechselstromsignal mit einer zweiten Frequenz und der zweiten Ansteuerbereiche 522 ' mit dem zweiten Wechselstromsignal mit der zweiten Frequenz , aber einer um 180 ° verschobenen Phasenlage , kann der Antriebsring 20 und damit auch das Spiegelelement 10 in einer zweite Torsionsschwingung relativ zum Rahmenelement 30 um die durch die zweiten Torsions federelemente 42 gebildete zweite Drehachse versetzt werden .
Insbesondere erfolgt die Ansteuerung mit dem ersten Wechselstromsignal und die Ansteuerung mit dem zweiten Wechselstromsignal gleichzeitig, so dass das Spiegelelement 10 und der Antriebsring 20 die besagten Torsionsschwingungen gleichzeitig aus führen, so dass das Spiegelelement 10 relativ zum Antriebsring 20 um die erste Drehachse mit der ersten Frequenz os zilliert und gleichzeitig der Antriebsring 20 zusammen mit dem Spiegelelement 10 relativ zum Rahmenelement 30 um die zweite Drehachse mit der zweiten Frequenz os zilliert . Die erste Frequenz und die zweite Frequenz können besonders bevorzugt Resonanz frequenzen der Torsionsschwingungen sein oder zumindest nahe bei einer j eweiligen Resonanz frequenz liegen, die abhängig von den geometrischen Ausgestaltungen der Elemente des Spiegelbauelements sind . Besonders bevorzugt sind die erste Frequenz und die zweite Frequenz unterschiedlich . Durch die um 90 ° gedrehte Anordnung der ersten Drehachse zur zweiten Drehachse können die erste und zweite Torsionsschwing bevorzugt mechanisch entkoppelt sein . Unterschiedliche Resonanz frequenzen können insbesondere durch die gezeigte nicht-kreisrunde Ausgestaltung des Antriebsrings 40 sowie durch die Tatsache erreicht werden, dass die erste Torsionsschwingung nur durch das Spiegelelement 10 ausgeführt wird, während die zweite Torsionsschwingung durch den Antriebsring 20 zusammen mit dem Spiegelelement 10 ausgeführt wird . Der Antriebsring 20 weist , wie in den Figuren 1A bis 2E zu erkennen ist , einen ersten Durchmesser entlang der ersten Richtung und einen zweiten Durchmesser entlang der zweiten Richtung auf , wobei der erste Durchmesser verschieden zum zweiten Durchmesser ist . Insbesondere ist der erste Durchmesser im gezeigten Aus führungsbeispiel größer als der zweite Durchmesser . Besonders bevorzugt weist der Antriebsring 20 wie gezeigt eine elliptische Form oder zumindest eine an eine elliptische Form angenäherte Form auf .
Der Antriebsring 20 wird durch einen inneren Rand, der dem Spiegelelement 10 zugewandt ist , und einen gegenüber liegenden äußeren Rand in Richtungen entlang der durch die erste und zweite Richtung aufgespannte Ebene begrenzt , wobei der innere und der äußere Rand j eweils eine elliptische Form aufweisen oder zumindest an eine elliptische Form angenähert sein können . Die Form des äußeren Rands kann durch den vorab erwähnten ersten und zweiten Durchmesser definiert sein, die somit ein erster und zweiter Außendurchmesser des Antriebsrings 20 sind . Der innere Rand weist ebenfalls einen ersten und einen zweiten Durchmesser auf , die somit ein erster und zweiter Innendurchmesser des Antriebsrings 20 sind, wobei der erste Innendurchmesser entlang der ersten Richtung und der zweite Innendurchmesser entlang der zweiten Richtung verläuft . Das Verhältnis des ersten Außendurchmessers zum zweiten Außendurchmesser kann gleich oder unterschiedlich zum Verhältnis des ersten Innendurchmessers zum zweiten Innendurchmesser sein. Sind die Verhältnisse unterschiedlich, so kann wie gezeigt der Antriebsring 20 entlang der ersten Richtung eine erste Breite und entlang der zweiten Richtung eine zweite Breite aufweisen, wobei die erste Breite verschieden von der zweiten Breite ist. Beispielsweise kann die erste Breite wie gezeigt kleiner als die zweite Breite sein.
In den Figuren 4A bis 5E sind Simulationsuntersuchungen zum piezoelektrischen Spiegelbauelement 100 gemäß der vorher beschriebenen Figuren gezeigt.
Hierfür wurden die folgenden bevorzugten Parameter für das Spiegelbauelement angenommen:
Durchmesser des Spiegelelements: 1,7 mm
Erster Außendurchmesser des Antriebsrings 20, d.h. größerer Außendurchmesser: 5,7 mm
Abstand der am Rahmenelement 30 angrenzenden Enden der zweiten Torsionsfederelemente 42: 6,4 mm
Dicke der beweglichen Teile des piezoelektrischen Spiegelbauelements, also der Elemente innerhalb der Aussparung 31: 175 pm
Dicke der piezoelektrischen Schicht: 1 pm angenommene Dämpfung: 10-4 Spannung der Wechselstromsignale: ± 2 V quadratischer Querschnitt der Torsionsfederelemente 41, 42, d.h. Dicke gleich Breite
Vernachlässigung des ESR („equivalent series resistance", äquivalenter Serienwiderstand)
In den Figuren 4A und 4B ist in einer dreidimensionalen
Ansicht und in einer seitlichen Ansicht entlang der ersten
Richtung eine relative Verdrehung des Spiegelelements 10 zum Antriebsrings 20 aufgrund der in Verbindung mit der Figur 3A beschriebenen Ansteuerung für die erste Torsionsschwingung gezeigt .
In Figur 4C sind Diagramme für Simulationen zur Untersuchung der mechanischen Performance ( oberes Diagramm) und der elektrischen Performance (unteres Diagramm) in Abhängigkeit von der ersten Frequenz des angelegten ersten Wechselstromsignals gezeigt . Für die mechanische Performance wurden der mechanische halbe Scanwinkel , also der durch die Torsionsschwingung maximal erreichbare Drehwinkel des Spiegelelements nach einer Seite aus der Neutralstellung, und die Phasenverzögerung zwischen dem anregenden ersten Wechselstromsignal und der Schwingungsbewegung des Spiegelelements untersucht . Für die elektrische Performance wurden der Betrag und die Phase des komplexen Widerstands untersucht . In den Graphen ist mittels der Pfeile angedeutet , welche vertikale Achse sich auf welche Kurve bezieht . Wie aus den Diagrammen ersichtlich ist , liegt die Resonanz frequenz der ersten Torsionsschwingung bei 28 , 4 kHz . Die Diagramme deuten auf eine rein harmonische Schwingung und somit auf eine reine Torsionsschwingungsmode hin ohne wesentliches nicht-lineares Verhalten, und es zeigt sich insbesondere kein Hysterese-Verhalten . Der Antriebsring weist eine lediglich sehr geringe , insbesondere vernachlässigbare , Bewegung auf . Das auf Resonanz erreichbare optische Blickfeld ( FoV, „field of view" ) für die gewählten Parameter liegt bei etwa 60 ° , was einem mechanischen halben Scanwinkel von etwa 15 ° entspricht . Durch ein leichtes Detuning der ersten Frequenz von der Resonanz frequenz kann gegebenenfalls eine Reduktion des FoV erreicht werden . In den Figuren 4D und 4E sind, basierend auf Simulationen, die Verwindung der Oberfläche des Spiegelelements , angedeutet durch einen Versatz in Mikrometer, und die mechanische Belastung des Spiegelbauelements in GPa bei der ersten Torsionsschwingung mit der Resonanz frequenz gezeigt . Die Verwindung der Spiegel fläche während der Schwingung liegt im Bereich von ± 250 nm, wobei die höchsten Werte lediglich in der Nähe der Verbindungsbereiche auftreten . Die Belastung für ein FoV von 60 ° auf Resonanz erreicht maximale Werte von etwa 2 , 5 GPa in den ersten Torsions federelementen . Derartige Werte sind für Sili zium vertretbar . Durch Reduzierung des FoV, beispielsweise um ein Drittel auf etwa 40 ° , können die Verwindung und die Belastung weiter gesenkt werden, da die Größe beider Ef fekte proportional zum Scanwinkel sind .
In den Figuren 5A bis 5E sind, entsprechend den Figuren 4A bis 4E , Ergebnisse aus Simulationen für die in Verbindung mit der Figur 3B beschriebene Ansteuerung für die zweite Torsionsschwingung gezeigt , wobei in Figur 5B im Vergleich zur Figur 4B eine Ansicht entlang der zweiten Richtung gezeigt ist . Für die zweite Torsionsschwingung ergibt sich eine Resonanz frequenz von 5 , 85 kHz , wobei die zweite Torsionsschwingung ebenfalls eine reine Torsionsschwingungsmode um die zweiten Torsions federelemente ohne Hysterese-Verhalten ist . Der Ansteuerring bewegt sich hierbei zusammen mit dem Spiegelelement , so dass eine Ablenkung eines Laserstrahls erreicht werden kann, die zur in Verbindung mit den Figuren 4A bis 4E beschriebenen Ablenkung senkrecht steht , so dass mittels der ersten und zweiten Torsionsschwingung ein Lissa j ous-Scanning möglich ist . Das erreichbare FoV beträgt bei den gewählten Parametern 36 ° , was einem mechanischen halben Scanwinkel von 9 ° entspricht . Die Verwindung der Spiegel fläche während der Schwingung liegt im Bereich von ± 50 nm, wobei die höchsten Werte lediglich in den Randbereichen des Spiegelelements und nicht auf der Spiegel fläche auftreten . Die Belastung für ein FoV von 36 ° auf Resonanz erreicht maximale Werte von etwa 1 , 5 GPa in den zweiten Torsions federelementen . Derartige Werte sind in einem akzeptablen Bereich für Sili zium, so dass für die zweite Torsionsschwingung ein FoV von 36 ° möglich ist .
In der folgenden Tabelle 1 sind die Ergebnisse der in Verbindung mit den Figuren 4A bis 5E diskutierten
Simulationen noch einmal zusammengefasst :
Tabelle 1 Während also die ersten Torsions federelemente eine vergleichsweise schnelle reine Torsionsschwingungsmode des Spiegelelements ermöglichen, ermöglichen die zweiten Torsions federelemente eine im Vergleich dazu langsamere ebenfalls reine Torsionsschwingungsmode des Antriebsrings zusammen mit dem Spiegelelement . Beide Schwingen sind frei von nicht-linearem Verhalten und Hysterese .
In Verbindung mit den nachfolgenden Figuren sind weitere Aus führungsbeispiele beschrieben, die Modi fikationen des in Verbindung mit den vorherigen Figuren erläuterten Spiegelbauelements darstellen . Die nachfolgende Beschreibung bezieht sich daher im Wesentlichen auf die Unterschiede zur vorherigen Beschreibung .
In den Figuren 6A und 6B sind schematische Darstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß einem weiteren Aus führungsbeispiel gezeigt , wobei die Ansichten in den Figuren 6A und 6B denen in den Figuren 1A und 1B entsprechen . Die Figuren 7A bis 7E zeigen schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß der Figuren 6A und 6B, wobei die Ansichten der Figuren 7A bis 7E denen in den Figuren 2A bis 2E entsprechen . Die nachfolgende Beschreibung bezieht sich gleichermaßen auf die Figuren 6A und 6B und die Figuren 7A bis 7E .
Im Vergleich zum in Verbindung mit den Figuren 1A bis 2E beschriebenen Spiegelbauelement weist das Spiegelbauelement 100 der Figuren 6A bis 7E zusätzlich auf dem Rahmenelement 30 einen Aktuationsbereich 33 des Rahmenelements 30 auf , der von einem Randteil 32 des Rahmenelements 30 umgeben ist . Der Aktuationsbereich 33 grenzt unmittelbar an die Aussparung 31 an, die wie gezeigt beispielsweise sechseckig sein kann, und weist wie die beweglichen Komponenten des Spiegelbauelements 100 , die in der Aussparung 31 angeordnet sind, eine geringere Dicke als der Randteil 31 auf . Weiterhin wird der Aktuationsbereich 33 mittels mehrerer Durchbrüche 34 teilweise vom Randteil 32 getrennt .
Die zweite Elektrode 52 ist zusätzlich zum Antriebsring 20 auch auf dem Rahmenelement 30 im Aktuationsbereich 33 aufgebracht und in eine Mehrzahl von Ansteuerbereichen strukturiert . Dadurch können zusätzlich zu den Ansteuerbereichen auf dem Antriebsring 20 weitere Ansteuerbereiche auf dem Rahmenelement 30 vorgesehen werden, durch die bei einer geeigneten Ansteuerung, die weiter unten beschrieben wird, eine Kraft insbesondere auf den Antriebsring 20 ausgeübt werden kann . Durch die gezeigte größere Bauform mit dem zusätzlichen Aktuationsbereich 33 kann somit im Vergleich zum vorherigen Aus führungsbeispiel ein zusätzlicher oder alternativer Antrieb für die zweite Torsionsschwingung des Antriebsrings 20 ermöglicht werden .
Wie in Figur 7A gezeigt ist , wird zur Herstellung des in den Figuren 6A und 6B gezeigten Spiegelbauelements 100 ein größerer Bereich 102 des Trägers 101 von der Unterseite her gedünnt . Der Bereich 102 entspricht dabei dem Bereich, in dem das Spiegelelement 10 , der piezoelektrische Antriebsring 20 , das Rahmenelement 30 , die Torsions federelemente 41 , 42 sowie der Aktuationsbereich 33 angeordnet sind . Zur Ausbildung des Spiegelelements 10 , des Antriebsrings 20 , der Torsions federelemente 41 , 42 und des Aktuationsbereich 33 im Bereich 102 wird der Träger, wie in Figur 7B gezeigt ist , durchgeätzt und strukturiert , so dass im Rahmenelement 30 zusätzlich zu den Komponenten in der Aussparung 31 die Durchbrüche 34 erzeugt werden . Der nicht-gedünnte Teil des Rahmenelements 30 , der das Spiegelelement 10 , den piezoelektrischen Antriebsring 20 , die Torsions federelemente 41 , 42 , den Aktuationsbereich 33 und die Durchbrüche 34 umgibt , bildet den Randteil 32 , wobei alle genannten Komponenten einstückig ausgebildet sind . Die in den Figuren 7C bis 7E gezeigten Verfahrensschritte entsprechen den in Verbindung mit den Figuren 2C bis 2E beschriebenen Verfahrensschritten, wobei die erste Elektrode 51 , die piezoelektrische Schicht 50 und die zweite Elektrode 52 zur Ausbildung von zusätzlichen piezoelektrischen Elementen auch im Aktuationsbereich 33 des Rahmenelements 30 aufgebracht werden . Die Kontaktelemente 53 sind vom Aktuationsbereich 33 durch die Durchbrüche 34 getrennt und sind auf dem Randteil 32 angeordnet . Dadurch sind die Kontaktelemente 53 vom Aktuationsbereich 33 mechanisch zumindest teilweise entkoppelt .
Wie in Verbindung mit den Figuren 3A und 3B erläutert , bilden die erste Elektrode 51 , die piezoelektrische Schicht 50 und j eder der Ansteuerbereiche der zweiten Elektrode 52 auf dem Antriebsring 20 und dem Rahmenelement 30 voneinander unabhängig ansteuerbare piezoelektrische Elemente . In den Figuren 8A bis 8E sind schematische Darstellungen von beispielhafte Ansteuerschemata über erste und zweite Ansteuerbereiche 521 , 521 ' , 522 , 522 ' für ein Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß der Figuren 6A bis 7E gezeigt .
In den Figuren 8A bis 8C sind erste Ansteuerbereiche 521 und 521 ' gekennzeichnet , wobei die ersten Ansteuerbereiche 521 mit einem ersten Wechselstromsignal mit einer ersten Frequenz und die ersten Ansteuerbereiche 521 ' mit dem ersten Wechselstromsignal mit der ersten Frequenz , aber einer um 180 ° verschobenen Phasenlage , angesteuert werden, um das Spiegelelement 10 in eine erste Torsionsschwingung relativ zum Antriebsring 20 um die durch die ersten Torsions federelemente 41 gebildete erste Drehachse zu versetzen . In den Figuren 8D und 8E sind entsprechend zweite Ansteuerbereiche 522 und 522 ' gekennzeichnet , wobei die zweiten Ansteuerbereiche 522 mit einem zweiten Wechselstromsignal mit einer zweiten Frequenz und die zweiten Ansteuerbereiche 521 ' mit dem zweiten Wechselstromsignal mit der zweiten Frequenz , aber einer um 180 ° verschobenen Phasenlage , angesteuert werden, um den Antriebsring 20 zusammen mit dem Spiegelelement 10 in eine zweite Torsionsschwingung relativ zum Rahmenelement 30 um die durch die zweiten Torsions federelemente 42 gebildete zweite Drehachse zu versetzen . Hierbei können insbesondere das Ansteuerschema der Figur 8A in Kombination mit dem Ansteuerschema der Figur 8D sowie eines der Ansteuerschemata der Figuren 8B und 8C in Kombination mit dem Ansteuerschema der Figur 8E verwendet werden, so dass die Ansteuerbereiche der zweiten Elektrode 52 eindeutig einer der beiden Torsionsschwingungen zugeordnet werden können .
In den Figuren 9A bis 12E sind Simulationsuntersuchungen wie die in Verbindung mit den Figuren 4A bis 5E erläuterten gezeigt , wobei zusätzlich zu den oben in Verbindung mit den Figuren 4A bis 5E angenommenen bevorzugten Parametern die Abmessung des Spiegelbauelements einschließlich dem Rahmenelement mit etwa 11 x 8 mm2 angenommen wurde . Alle Simulationsuntersuchungen ergaben reine Torsionsschwingungsmoden ohne Hysterese-Verhalten .
Die Figuren 9A bis 9E beziehen sich auf die in Figur 8A gezeigte Ansteuerung zur Erzeugung der ersten Torsionsschwingung . Für diese ergeben sich eine Resonanz frequenz von 24 , 39 kHz und ein FoV von etwa 42 ° , was einem mechanischen halben Scanwinkel von etwa 10 , 7 ° entspricht. Die Verwindung des Spiegelbereichs während der Schwingung beträgt ± 23,8 nm, die mechanische Belastung ist ausreichend gering.
Die Figuren 10A bis 10E beziehen sich auf die in Figur 8B gezeigte Ansteuerung zur Erzeugung der ersten Torsionsschwingung. Die Resonanzfrequenz, die durch die mechanischen Randbedingungen definiert ist, beträgt wie im Fall der Figur 8A 24,39 kHz, jedoch wird ein FoV von 48° erreicht, was einem mechanischen halben Scanwinkel von 12° entspricht. Die Verwindung der Spiegelfläche während der Schwingung beträgt ± 26,8 nm, die mechanische Belastung ist ausreichend gering.
Die Figuren 11A bis 11E beziehen sich auf die in Figur 8D gezeigte Ansteuerung zur Erzeugung der zweiten Torsionsschwingung. Für diese ergeben sich eine Resonanzfrequenz von 4,88 kHz und ein FoV von etwa 75°, was einem mechanischen halben Scanwinkel von etwa 18,7° entspricht. Die Verwindung des Spiegelbereichs während der Schwingung beträgt ± 7, 6 nm, die mechanische Belastung ist ausreichend gering.
Die Figuren 12A bis 12E beziehen sich auf die in Figur 8E gezeigte Ansteuerung zur Erzeugung der zweiten Torsionsschwingung. Für diese ergeben sich wiederum eine Resonanzfrequenz von 4,88 kHz und ein FoV von etwa 45°, was einem mechanischen halben Scanwinkel von etwa 11,4° entspricht. Die Verwindung des Spiegelbereichs während der Schwingung beträgt ± 4,5 nm, die mechanische Belastung ist ausreichend gering. In den Figuren 13A und 13B sind schematische Darstellungen eines piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß einem weiteren Aus führungsbeispiel gezeigt , das eine Modi fikation des in Verbindung mit den Figuren 6A bis 7E beschriebenen Spiegelbauelements bildet . Die Figuren 14A bis 14E zeigen schematische Darstellungen von Verfahrensschritten eines Verfahrens zur Herstellung des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß der Figuren 13A und 13B und entsprechen den in Verbindung mit den Figuren 7A bis 7E beschriebenen Verfahrensschritten . Die nachfolgende Beschreibung bezieht sich gleichermaßen auf die Figuren 13A und 13B und die Figuren 14A bis 14E .
Im Vergleich zum Aus führungsbeispiel der Figuren 6A bis 7E weist das in den Figuren 13A bis 14E gezeigte Aus führungsbeispiel für das Spiegelbauelement 100 einen kleineren Aktuationsbereich 33 mit eher rechteckigen Formen auf . Die Aussparung 31 ist in diesem Aus führungsbeispiel viereckig und bevorzugt quadratisch ausgebildet .
In Figur 15 ist eine schematische Darstellungen eines beispielhaften Ansteuerschemas über zweite Ansteuerbereiche 522 , 522 ' für ein Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 gemäß der Figuren 13A bis 14E gezeigt , wobei die zweiten Ansteuerbereiche 522 mit einem zweiten Wechselstromsignal mit einer zweiten Frequenz und die zweiten Ansteuerbereiche 522 ' mit dem zweiten Wechselstromsignal mit der zweiten Frequenz , aber einer um 180 ° verschobenen Phasenlage , angesteuert werden, um den Antriebsring 20 zusammen mit dem Spiegelelement 10 in eine zweite Torsionsschwingung relativ zum Rahmenelement 30 um die durch die zweiten Torsions federelemente 42 gebildete zweite Drehachse zu versetzen . Zur Erzeugung der ersten Torsionsschwing kann beispielsweise das in Figur 8A gezeigte
Ansteuerschema verwendet werden .
In den Figuren 16A bis 16E sind Simulationsuntersuchungen wie die in Verbindung mit den Figuren 4A bis 5E erläuterten gezeigt , die sich auf die in Figur 15 angedeutete Ansteuerung beziehen . Die Simulationsuntersuchungen ergaben eine reine Torsionsschwingungsmode ohne Hysterese-Verhalten für die untersuchte zweite Torsionsschwingung . Diese weist eine Resonanz frequenz von 5 , 51 kHz und ein FoV von 67 ° auf , was einem mechanischen halben Scanwinkel von etwa 17 , 8 ° entspricht . Die Verwindung des Spiegelbereichs während der Schwingung beträgt ± 7 , 6 nm, die mechanische Belastung ist ausreichend gering .
Das vorab gemäß einiger bevorzugter Aus führungsbeispiele beschriebene piezoelektrische Spiegelbauelement weist Piezo- Dünnschichtelemente auf , mittels derer das Spiegelelement in der ersten Richtung und in der zweiten Richtung j eweils resonant betrieben wird . Das Ergebnis ist ein sogenanntes Lissa ous-Scanning . Dies ermöglicht im Vergleich zum Raster- Scanning eine höhere Bildauflösung bei gleicher Resonanz frequenz für die schnelle Ablenkungsachse , also in den vorher beschriebenen Aus führungsbeispielen für die erste Drehachse . Folgende Parameter, die sich aus der geforderten Bildauflösung und Wiederhol frequenz ergeben, können j e nach Anwendung gezielt eingestellt werden :
- Durchmesser des Spiegelelements
- Maximaler Ablenkwinkel in den j eweiligen orthogonalen Ablenkrichtungen . Mit dem Durchmesser des Spiegels als Apertur ergibt sich die beugungsbegrenzte Bildauflösung .
- Betriebs frequenz in der j eweiligen Richtung . Daraus ergeben sich die Bildauflösung und Bildwiederholrate , die sich durch Feinj ustage des Frequenzverhältnisses der beiden Richtungen gegeneinander abwägen lassen .
- Ebenheit des Spiegels in j edem Betriebspunkt , um Abbildungs fehler, Pixelverschmierung und Specklemuster zu vermeiden .
- Das Spiegelelement sollte durch eine geeignete Wahl der Amplituden der Wechselstromsignale um beide Drehachsen harmonisch schwingen, so dass keine Abhängigkeit der Resonanz frequenz von der Amplitude vorhanden ist , um ein stabiles Frequenzverhältnis zu gewährleisten .
- Die Resonanzen des Spiegelelements sollten eine nicht zu geringe Bandbreite aufweisen, um die oben erwähnte Feinj ustage zu ermöglichen .
- Kompakte Bauform
- Schockresistenz
Insbesondere kann das hier beschriebene Spiegelbauelement ein 2D-Design bieten, das alle Anforderungen für eine Auflösung von 1024 x 768 Bildpunkten ausreichend erfüllen kann . Das Spiegelbauelement kann besonders bevorzugt eine oder mehrere oder alle der nachfolgend genannten Eigenschaften aufweisen :
- Torsionsschwingungen für beide Richtungen, um eine harmonische Schwingung auch für größere Amplituden zu gewährleisten
- Eine gleiche Dicke für alle beweglichen Teile , um einen hohen Prozessaufwand zu vermeiden
- Die beiden Frequenzen sind deutlich unterschiedlich . Dadurch kann die Aufhängung des Spiegelelements für eine Richtung optimiert werden . Dadurch kann weiterhin die Dicke etwas reduziert werden .
- Aus dem gewünschten Spiegelelementdurchmesser, der Aufhängung, der gewünschten Frequenz und der geforderten Ebenheit ergibt sich in Verbindung mit dem Material die Dicke .
- Die Dimensionierung der ersten Torsions federelemente ergibt sich aus dem bereits definierten eigentlichen Spiegelelement , aus der geforderten Frequenz und Auslenkung und aus der Belastbarkeit des Materials .
- Die zweiten Torsions federelemente sind außerhalb des Antriebsrings angebracht und bevorzugt um 90 ° zu den ersten Torsions federelementen gedreht .
- Der Antrieb für die zweite Torsionsschwingung ist bevorzugt auch auf dem beweglichen Antriebsring . Dies hat den Vorteil einer kompakten Bauform, außerdem wird durch das Trägheitsmoment des Antriebrings die Frequenz abgesenkt .
Weiterhin kann das hier beschriebene piezoelektrische Spiegelbauelement einen oder mehrere der nachfolgend genannten Vorteile aufweisen :
- Beide Schwingungen sind über Torsions federelemente realisiert , das heißt , dass auch für hohe Auslenkungen die Schwingung harmonisch ist . Dies vermeidet die Anharmonie , die bei vielen anderen Designs durch Verbiegung der Aufhängung verursacht wird, wie z . B . bei den sogenannten „Quad-Pod"-Designs .
- Die zweiten Torsions federelemente für die langsamere Schwingung sind außerhalb des Antriebsrings angeordnet . Dieser wird mitbewegt . Dies erlaubt es , den Antrieb für die erste Torsionsschwingung zu optimieren, ohne wesentlich die Eigenschaften der zweiten Torsionsschwingung zu beeinflussen .
- Beide Schwingungen können sich einen Antriebsring teilen . Daraus ergibt sich eine sehr kompakte Bauform . - Durch die elliptische Symmetrie des Antriebsrings hat man mehr Freiheitsgerade, um die Eigenschaften, insbesondere die Frequenzen und Ablenkwinkel, der beiden orthogonalen Torsionsschwingungen separat einzustellen. Zum Beispiel kann die Elliptizität des Antriebringes optimiert werden, um die beste Ansteuerung der ersten Torsionsschwingung zu erhalten .
In einer besonders bevorzugten Ausführung weist das Spiegelbauelement folgende Eigenschaften auf, mit denen bevorzugt eine Auflösung von 1024 x 768 Pixeln mit einer Vollbild-Wiederholrate von knapp 50 Hz erreicht werden kann:
- Material: Silizium
- Metall der ersten Elektrode: Platin
- Metall der zweiten Elektrode: Gold
- Metall der reflektierenden Beschichtung: Aluminium
- Dicke des Siliziums: 175 pm
- Durchmesser der Spiegelbereichs mit der reflektierenden Beschichtung: 1,7 mm
- Torsionsfederelemente: 175 pm breit, 1 mm lang
- Antriebsring: 0,7 bis 0,95 mm breit.
- Material der piezoelektrischen Schicht: PZT mit einer Dicke in einem Bereich von 1 bis 2 pm.
In einer weiteren besonders bevorzugten Ausführung weist das Spiegelbauelement folgende Eigenschaften auf, mit denen bevorzugt eine Auflösung von 1024 x 768 Pixeln mit einer Vollbild-Wiederholrate von knapp 50 Hz erreicht werden kann:
- Material: Silizium
- Metall der ersten Elektrode: Platin
- Metall der zweiten Elektrode: Gold
- Metall der reflektierenden Beschichtung: Aluminium
Dicke des Siliziums: 150 pm - elliptischer Spiegelbereich mit der reflektierenden Beschichtung
- Ellipsenachsenlängen des Spiegelbereichs : 1 , 6 mm x 1 , 7 mm
- Torsions federelemente : 150 pm breit , 0 , 6 bis 0 , 8 mm lang
- Antriebsring : 0 , 7 bis 1 , 35 mm breit .
- Material der piezoelektrischen Schicht : PZT mit einer Dicke in einem Bereich von 1 bis 2 pm .
In Figur 17 ist eine schematische Darstellung einer Proj ektionsvorrichtung 1000 gemäß einem weiteren Aus führungsbeispiel gezeigt , die ein piezoelektrisches Spiegelbauelement 100 gemäß der vorherigen Beschreibung aufweist . Weiterhin weist die Pro ektionsvorrichtung eine Laserlichtquelle 200 auf , die im Betrieb Laserlicht 201 abstrahlt .
Beispielsweise kann es sich bei der Laserlichtquelle 200 um eine so genannte RGB-Lichtquelle handeln, die rotes , grünes und blaues Laserlicht abstrahlen kann . Hierzu kann die Laserlichtquelle 200 beispielsweise drei entsprechend modulierbare Laserdioden oder Laserdiodengruppen aufweisen . Die Laserlichtstrahlen können beispielsweise in einem Strahlkombinierer 202 überlagert werden, so dass ein Strahl von kombiniertem Laserlicht 201 ' auf das piezoelektrische Spiegelbauelement 100 eingestrahlt und von diesem in den gewünschten Bildbereich reflektiert werden kann . Die Laserlichtquelle 200 kann beispielsweise über eine Lasersteuerelektronik 206 angesteuert werden, beispielsweise um das Laserlicht zeitlich in der Amplitude zu modulieren .
Das piezoelektrische Spiegelbauelement 100 kann über eine Spiegelbauelement-Steuerelektronik 203 angesteuert werden, um beispielsweise die gewünschte Lissa j ous-Figur zu erzeugen, mit der der gewünschte Bildbereich abgescannt werden kann . Weiterhin kann eine Sensorelektronik 204 vorgesehen sein, um die Position und/oder die Frequenzen des Spiegelelements des Spiegelbauelements 100 bevorzugt in Echtzeit zu detektieren . Darüber hinaus kann eine Bildprozessierungselektronik 205 vorhanden sein, die beispielsweise die ganze Bilddarstellung steuert . Dies kann insbesondere der Konvertierung von Bildbeziehungsweise Filminformationen in Steuersignale für die Laserlichtquelle 200 und das Spiegelbauelement 100 einschließlich der zeitlichen Synchronisierung zwischen der Spiegelelement-Position und der Amplituden der unterschiedlichen Laser entsprechen .
Die Figuren 18A bis 18E zeigen schematische Darstellungen von Maßnahmen zur Positions- und/oder Frequenzbestimmung von Komponenten eines piezoelektrischen Spiegelbauelements gemäß einigen Aus führungsbeispielen . Diese Maßnahmen können in Verbindung mit einem Verfahren zum Betrieb des Spiegelbauelements vorgesehen sein . Beispielsweise können solche Maßnahmen in Verbindung mit der vorab beschriebenen Sensorelektronik 204 vorgesehen sein .
Beispielsweise können während des Betriebs des piezoelektrischen Spiegelbauelements 100 im ersten Wechselstromsignal die zweite Frequenz und im zweiten Wechselstromsignal die erste Frequenz gemessen werden . Wie in Figur 18A angedeutet ist , kann dies beispielsweise durch Verwendung geeigneter Frequenz filter 71 in den Antriebs zuleitungen 70 erreicht werden, so dass keine zusätzlichen Leitungen nötig sind .
Weiterhin kann es auch möglich sein, wie in den Figuren 18B und 18C angedeutet ist , dritte Ansteuerbereiche 523 zusätzlich zu den ersten und zweiten Ansteuerbereichen vorzusehen, in denen ein piezoelektrisches Signal über den piezoelektrischen Ef fekt gemessen werden kann . Die dritten Ansteuerbereiche 523 , die auch als Sensorelemente oder Sensorbereiche bezeichnet werden können, können insbesondere an geeigneten Positionen vorgesehen sein, so dass ein gutes Signal erzielt werden kann .
Beispielsweise können die dritten Ansteuerbereiche 523 auf dem Antriebsring 20 platziert werden, beispielsweise nahe der ersten oder, wie in Figur 18B gezeigt , nahe der zweiten Torsions federelementen 42 . Dass ein dritter Ansteuerbereich „nahe eines Torsions federelements" angeordnet ist , kann insbesondere bedeuten, dass der besagte dritte Ansteuerbereich nahe am oder neben einem Fußpunkt des betref fenden Torsions federelements angeordnet ist und kein erster und zweiter Ansteuerbereich näher an dem betref fenden Torsions federelement angeordnet ist als der besagte dritte Ansteuerbereich . In Figur 18B sind rein beispielhaft vier dritte Ansteuerbereiche 523 vorgesehen, die symmetrisch zu den ersten und zweiten Torsions federelementen 42 angeordnet sind .
Weiterhin können dritte Ansteuerbereiche 523 auch auf dem Rahmenelement 30 ausgebildet sein, wie in Figur 18C gezeigt ist . Dadurch kann erreicht werden, dass der Antriebsring 20 vollständig für antreibende Ansteuerbereiche 521 , 521 ' , 522 , 522 ' zur Verfügung stehen kann . Weiterhin sind die dritten Ansteuerberieche 523 auf dem Rahmenelement 30 leichter herstellbar und leichter kontaktierbar, da keine zusätzlichen Leiterbahnen 54 zur Kontaktierung dieser über die zweiten Torsions federelemente 42 geführt werden müssen . Wie in Figur 18C angedeutet ist , können beispielsweise vier dritte Ansteuerbereiche 523 als Sensorelemente Sa, Sb, Sc, Sd symmetrisch zu den ersten und zweiten Torsions federelementen 42 angeordnet sein . Durch Kontaktelemente 53a, 53b, 53c, 53d und Leiterbahnen 54 können die Sensorelemente Sa, Sb, Sc, Sd kontaktiert werden .
Beispielsweise können wie gezeigt zwei dritte Ansteuerbereiche 523 , die die Sensorelemente Sa und Sb bilden, am Fußpunkt des einen der beiden zweiten Torsions federelemente 42 und zwei weitere dritte Ansteuerbereiche 523 , die die Sensorelemente Sc und Sd bilden, am Fußpunkt des anderen der beiden zweiten Torsions federelemente 42 symmetrisch zu der durch die zweiten Torsions federelemente 42 gebildeten Achse angeordnet sein .
Das Rahmenelement 30 kann unter den zweiten Ansteuerbereichen 523 gedünnt sein und insbesondere beispielsweise die gleiche Dicke wie der Antriebsring 20 aufweisen, um eine mechanische Beweglichkeit der dritten Ansteuerbereiche 523 zu ermöglichen . Beispielsweise kann das Rahmenelement 30 in den gestrichelt gekennzeichneten Bereichen 35 , in denen sich die dritten Ansteuerelemente 523 befinden, eine reduzierte Dicke , also beispielsweise die gleiche Dicke wie der Antriebsring 20 , aufweisen, während der Rest des Rahmenelements 30 oder zumindest ein Randteil des Rahmenelements wie oben beschrieben eine größere Dicke als die Bereiche 35 aufweisen kann . Mit anderen Worten sind die dritten Ansteuerbereiche bevorzugt in einem oder mehreren Bereichen des Rahmenelements 30 angeordnet , die im Vergleich zum übrigen Rahmenelement 30 oder zumindest im Vergleich zu einem Randteil des Rahmenelements 30 eine geringere Dicke aufweisen . Durch die beschriebene Anordnung von Sensorelementen Sa, Sb, Sc und Sd auf dem Rahmenelement 30 können Auslenkungen in beide Richtungen, also Auslenkungen um die ersten Torsionselemente 41 und Auslenkungen um die zweiten Torsionselemente 42 , gleichzeitig detektiert werden . Hierfür können Linearkombinationen der Signale der vier durch die dritten Ansteuerbereiche 523 gebildeten Sensorelemente Sa, Sb, Sc, Sd verwendet werden . Bezeichnet man die Signale der Sensorelemente der Einfachheit halber ebenfalls mit Sa, Sb, Sc und Sd, so können Schwingungen um die ersten Torsions federelemente 41 durch eine oder mehrere der Linearkombinationen | Sa+Sb | , | Sc+Sd | , | Sa-Sc | und | Sb— Sd | der Signale der Sensorelemente Sa, Sb, Sc und Sd und Auslenkungen um die zweiten Torsions federelemente 42 durch eine oder mehrere der Linearkombinationen | Sa+Sc | , | Sb+Sd | , | Sa-Sb | und | Sc-Sd | der Signale der Sensorelemente Sa, Sb, Sc und Sd erfasst werden . Durch die Verwendung mehrerer der genannten Linearkombinationen kann die Messgenauigkeit erhöht werden . Alternativ kann es auch möglich sein, dass beispielsweise nur zwei dritte Ansteuerbereiche 523 vorhanden sind, da diese prinzipiell ausreichend sind, um die gewünschten Informationen zu erhalten . Beispielsweise können nur diej enigen dritten Ansteuerbereiche 523 vorhanden sein, die die Sensorelemente Sa und Sb bilden oder die die Sensorelemente Sa und Sc bilden oder die die Sensorelemente Sc und Sd bilden oder die die Sensorelemente Sb und Sd bilden . Mit anderen Worten sollten im Fall von nur zwei Sensorelementen die zwei Sensorelemente nicht diagonal zueinander angeordnet sein, sondern sollten auf einer gleichen Seite mit Bezug auf die ersten Torsions federelemente 41 oder die zweiten Torsions federelemente 42 angeordnet sein . Darüber hinaus kann es auch möglich sein, dass erste und/oder zweite Ansteuerbereiche vorhanden sind, die in einem Zeitmultiplexverf ahren wechselweise zum Antrieb des Spiegelelements oder des Antriebsrings und zur Messung eines piezoelektrischen Signals verwendet werden . Hierzu können also , wie in Figur 18C angedeutet ist , beispielsweise zumindest einige erste oder zweite Ansteuerbereiche 521 , 521 ' , 522 , 522 ' vorhanden sein, die gleichzeitig als dritte Ansteuerbereiche vorgesehen sind . Dies kann insbesondere bedeuten, dass der Antrieb und die Positionsbestimmung zu unterschiedlichen Zeiten durchgeführt werden . Dies kann beispielsweise durch eine geeignete Pulsweitenmodulation erreicht werden, wobei alternierend für eine bestimmte Anzahl an Perioden das Spiegelelement angetrieben und für eine kleinere Anzahl an Perioden die Messung durchgeführt wird . Aufgrund der großen mechanischen Güte verliert man dabei nur wenig Auslenkung des Spiegelelements .
Weiterhin können zur Positions- und/oder Frequenzmessung, wie in Figur 18D angedeutet ist , zumindest zwei Elektrodenelemente 61 , 61 ' , 62 , 62 ' vorhanden sein, die einen Kondensator bilden, der bei einer Bewegung des Spiegelelements 10 oder des Antriebsrings 20 eine variable Kapazität aufweist , wobei die Kapazität des Kondensators gemessen wird . Die Elektrodenelemente 61 , 61 ' , 62 , 62 ' können beispielsweise durch Leiterbahnenteile gebildet werden . Ein erstes Elektrodenelement 61 kann beispielsweise auf dem Rahmenelement 30 angeordnet sein, während ein zweites Elektrodenelement 62 auf dem Antriebsring 20 benachbart zum ersten Elektrodenelement 61 angeordnet ist . Bei einer Bewegung des Antriebsrings 20 relativ zum Rahmenelement 30 kann sich der Abstand zwischen den Elektrodenelementen 61 , 62 ändern, wodurch sich die Kapazität des durch die Elektrodenelemente 61 , 62 gebildeten Kondensators ändern kann . Entsprechend können weiterhin beispielsweise auch Elektrodenelemente auf dem Antriebsring 20 und dem Spiegelelement 10 angeordnet werden .
Es kann auch möglich sein, beispielsweise zwei Elektrodenelemente 61 ' , 62 ' auf gegenüber liegenden Seiten des Antriebsrings 20 auf dem Rahmenelement 30 anzuordnen . Der Antriebsring 20 kann dann bei einer Bewegung wie ein sich bewegendes Dielektrikum zwischen den Elektrodenelementen 61 ' , 62 ' wirken . Entsprechend können auch zwei Elektrodenelemente auf dem Antriebsring 20 auf gegenüber liegenden Seiten des Spiegelelements 10 angeordnet sein .
Bei solchen kapazitiven Messungen kann insbesondere auch der Nulldurchgang des Antriebsrings 20 und/oder des Spiegelelements 10 ermittelt werden . Um einen kapazitiven Kurzschluss zu vermeiden, kann die erste Elektrode geeignet strukturiert sein .
In Verbindung mit den vorab beschriebenen Figuren ist durchgehend ein kreisrunder Spiegelbereich 11 gezeigt . Alternativ hierzu kann der Spiegelbereich 11 und damit auch die reflektierende Beschichtung 15 auch elliptisch ausgebildet sein, wie in den Figuren 19A und 19B in Ausschnitten von Spiegelbauelementen gezeigt ist , und eine größere Ellipsenachse G und kleinere Ellipsenachse K aufweisen . Bevorzugt sind die größere Ellipsenachse G entlang der ersten Richtung und die kleinere Ellipsenachsen K entlang der zweiten Richtung orientiert , wie in Figur 19A gezeigt ist . Alternativ hierzu können die größere Ellipsenachse G entlang der zweiten Richtung und die kleinere Ellipsenachse K entlang der ersten Richtung orientiert sein, wie in Figur 19B gezeigt ist. Die Durchbrüche 13 weisen im Fall eines elliptischen Spiegelbereichs 11 die Form von Ellipsenbögen auf. Das Verhältnis der größeren Ellipsenachse G zur kleineren Ellipsenachse K kann beispielsweise größer als 1 oder größer oder gleich 1,02 oder größer oder gleich 1,04 oder größer oder gleich 1,06 sowie kleiner oder gleich 1,1 oder kleiner oder gleich 1,08 oder kleiner oder gleich 1,07 sein .
Die in den in Verbindung mit den Figuren beschriebenen Merkmale und Ausführungsbeispiele können gemäß weiteren Ausführungsbeispielen miteinander kombiniert werden, auch wenn nicht alle Kombinationen explizit beschrieben sind. Weiterhin können die in Verbindung mit den Figuren beschriebenen Ausführungsbeispiele alternativ oder zusätzlich weitere Merkmale gemäß der Beschreibung im allgemeinen Teil aufweisen .
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den
Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.
Bezugs zeichenliste
10 Spiegelelement
11 Spiegelbereich
12 Randbereich
13 Durchbruch
14 Verbindungsbereich
15 reflektierende Beschichtung
20 Antriebsring
30 Rahmenelement
31 Aussparung
32 Randteil
33 Aktuationsbereich
34 Durchbruch
35 Bereich
41 erstes Torsions federelement
42 zweites Torsions federelement
50 piezoelektrische Schicht
51 erste Elektrode
52 zweite Elektrode
521 , 521 ' erster Ansteuerbereich
522 , 522 ' zweiter Ansteuerbereich
523 dritter Ansteuerbereich
53 , 53a, 53b, 53c, 53d Kontaktelement
54 Leiterbahn
61 , 61 ' Elektrodenelement
62 , 62 ' Elektrodenelement
70 Zuleitung
71 Frequenz filter
100 piezoelektrisches Spiegelbauelement
101 Träger
102 Bereich
200 Laserlichtquelle 201 , 201 ' Laserlicht
202 Strahlkombinierer
203 Spiegelbauelement-Steuerelektronik
204 Sensorelektronik 205 Bildprozessierungselektronik
206 Lasersteuerelektronik
1000 Proj ektionsvorrichtung
G, K Ellipsenachse
Sa, Sb, Sc, Sd Sensorelement

Claims

Patentansprüche
1. Piezoelektrisches Spiegelbauelement (100) , aufweisend
- ein Spiegelelement (10) ,
- einen piezoelektrischer Antriebsring (20) , der das
Spiegelelement umgibt und über zumindest ein erstes Torsionsfederelement (41) mit dem Spiegelelement verbunden ist,
- ein Rahmenelement (30) , das über zumindest ein zweites
Torsionsfederelement (42) mit dem Antriebsring verbunden ist, wobei der Antriebsring einen ersten Durchmesser entlang einer ersten Richtung und einen zweiten Durchmesser entlang einer zur ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung aufweist und der erste Durchmesser größer als der zweite Durchmesser ist.
2. Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach Anspruch 1, wobei der Antriebsring eine elliptische Form aufweist.
3. Piezoelektrisches Spiegelbauelemente nach Anspruch 1 oder 2, wobei das zumindest eine erste Torsionsfederelement entlang der ersten Richtung angeordnet ist und das zumindest eine zweite Torsionsfederelement entlang der zweiten Richtung angeordnet ist.
4. Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Antriebsring über zwei erste Torsionsfederelemente mit dem Spiegelelement verbunden ist, die entlang einer Geraden an zwei gegenüber liegenden Seiten des Spiegelelements angeordnet sind, und der Antriebsring über zwei zweite Torsions federelemente mit dem Rahmenelement verbunden ist , die entlang einer Geraden an zwei gegenüber liegenden Seiten des Antriebsrings angeordnet sind .
5 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der vorherigen Ansprüche , wobei
- das Spiegelelement einen Spiegelbereich und einen den
Spiegelbereich umgebenden Randbereich aufweist , der mittels zweier Durchbrüche teilweise vom Spiegelbereich getrennt ist , und
- der Randbereich über zwei Verbindungsbereiche mit dem
Spiegelbereich verbunden ist .
6 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach Anspruch 5 , wobei auf dem Spiegelbereich eine reflektierende Beschichtung aufgebracht ist und der Randbereich und die Verbindungsbereiche frei von der reflektierenden Beschichtung sind .
7 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach Anspruch 5 oder 6 , wobei der Spiegelbereich kreisrund oder elliptisch ausgebildet ist .
8 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der vorherigen Ansprüche , wobei das Rahmenelement den Antriebsring umgibt und eine das Rahmenelement durchdringende Aussparung aufweist , in dem der Antriebsring und das zumindest eine zweite Torsions federelement angeordnet sind .
9 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der vorherigen Ansprüche , wobei das Spiegelelement und der Antriebsring eine geringere Dicke als zumindest ein Randteil des Rahmenelements aufweist und das Rahmenelement , der Antriebsring, das Spiegelelement und die Torsions federelemente einstückig ausgebildet sind .
10 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der vorherigen Ansprüche , wobei auf dem Antriebsring eine erste Elektrode und eine in eine Mehrzahl von Ansteuerbereichen strukturierte zweite Elektrode aufgebracht ist und zwischen der ersten und zweiten Elektrode eine piezoelektrische Schicht angeordnet ist .
11 . Piezoelektrisches Spiegelbauelemente nach Anspruch 10 , wobei auf dem Rahmenelement zumindest teilweise die erste Elektrode und zumindest teilweise die piezoelektrische Schicht aufgebracht sind .
12 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach Anspruch 11 , wobei die zweite Elektrode in einem von einem Randteil umgebenen Aktuationsbereich des Rahmenelements aufgebracht ist und der Aktuationsbereich eine geringere Dicke als der Randteil aufweist .
13 . Piezoelektrisches Spiegelbauelemente nach Anspruch 12 , wobei der Aktuationsbereich mittels zumindest eines Durchbruchs teilweise vom Randteil getrennt ist .
14 . Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der Ansprüche 10 bis 13 , wobei
- auf dem Rahmenelement Kontaktelemente zur Ansteuerung der ersten und zweiten Elektrode vorhanden sind und
- Ansteuerbereiche der zweiten Elektrode über Leiterbahnen, die über das zumindest eine zweite Torsions federelement verlaufen, mit Kontaktelementen verbunden sind . Piezoelektrisches Spiegelbauelemente nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei zumindest zwei Elektrodenelemente vorhanden sind, die einen Kondensator bilden, der bei einer Bewegung des Spiegelelements oder des Antriebsrings eine variable Kapazität aufweist. Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei zumindest zwei dritte Ansteuerbereiche (523) auf dem Rahmenelement auf einer gleichen Seite in Bezug auf das zumindest eine erste Torsionsfederelement oder das zumindest eine zweite Torsionsfederelement angeordnet sind. Piezoelektrisches Spiegelbauelement nach dem vorherigen Anspruch, wobei die dritten Ansteuerbereiche in einem oder mehreren Bereichen (35) des Rahmenelements angeordnet sind, die im Vergleich zu zumindest einem Randteil des Rahmenelements eine geringere Dicke aufweisen . Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrischen Spiegelbauelements (100) nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das Spiegelelement (10) mittels eines ersten elektrischen Wechselstromsignals mit einer ersten Frequenz, das auf erste Ansteuerbereiche (521, 521') wirkt, in eine erste Torsionsschwingung und der Antriebsring (20) mittels eines zweiten elektrischen Wechselstromsignals mit einer zweiten Frequenz, das auf zweite Ansteuerbereiche (522, 522') wirkt, in eine zweite Torsionsschwing versetzt werden. 19. Verfahren nach Anspruch 18, bei dem während des Betriebs des piezoelektrischen Spiegelbauelements im ersten Wechselstromsignal die zweite Frequenz und im zweiten Wechselstromsignal die erste Frequenz gemessen werden.
20. Verfahren nach Anspruch 18, bei dem dritte Ansteuerbereiche (523) vorhanden sind, in denen ein piezoelektrisches Signal gemessen wird.
21. Verfahren nach Anspruch 18 mit Rückbezug auf Anspruch 13, bei dem die Kapazität des Kondensators gemessen wird .
22. Verfahren nach Anspruch 18, bei dem erste und/oder zweite Ansteuerbereiche vorhanden sind, die in einem Zeitmultiplexverf ahren wechselweise zum Antrieb des Spiegelelements oder des Antriebsrings und zur Messung eines piezoelektrischen Signals verwendet werden.
23. Projektionsvorrichtung (1000) , aufweisend
- einen Laserlichtquelle (200) und
- ein piezoelektrisches Spiegelbauelement (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 17.
EP22834894.2A 2021-12-22 2022-12-07 Piezoelektrisches spiegelbauelement, verfahren zum betrieb des piezoelektrischen spiegelbauelements und projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen spiegelbauelement Pending EP4453631A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102021134310.0A DE102021134310B4 (de) 2021-12-22 2021-12-22 Piezoelektrisches Spiegelbauelement, Verfahren zum Betrieb des piezoelektrischen Spiegelbauelements und Projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen Spiegelbauelement
PCT/EP2022/084818 WO2023117433A1 (de) 2021-12-22 2022-12-07 Piezoelektrisches spiegelbauelement, verfahren zum betrieb des piezoelektrischen spiegelbauelements und projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen spiegelbauelement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4453631A1 true EP4453631A1 (de) 2024-10-30

Family

ID=84767140

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP22834894.2A Pending EP4453631A1 (de) 2021-12-22 2022-12-07 Piezoelektrisches spiegelbauelement, verfahren zum betrieb des piezoelektrischen spiegelbauelements und projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen spiegelbauelement

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20250067972A1 (de)
EP (1) EP4453631A1 (de)
JP (2) JP7755073B2 (de)
KR (1) KR20240095361A (de)
CN (1) CN118435097A (de)
AT (1) AT18318U3 (de)
DE (2) DE102021134310B4 (de)
WO (1) WO2023117433A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023132557A1 (de) * 2023-11-22 2025-05-22 Tdk Electronics Ag Mikroelektromechanischer Spiegel, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Spiegels, Projektionsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Spiegels
DE102023132555A1 (de) * 2023-11-22 2025-05-22 Tdk Electronics Ag Mikroelektromechanischer Spiegel, Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Spiegels, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Spiegels, Projektionsvorrichtung und Verwendung eines mikroelektromechanischen Spiegels

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015108710A1 (en) * 2014-01-20 2015-07-23 Apple Inc. Sensing of mirror position using the fringing of electric fields
US20150323783A1 (en) * 2012-05-07 2015-11-12 Panasonic Corporation Optical reflection element
US20160011393A1 (en) * 2014-07-14 2016-01-14 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Actuator unit and lens module
EP3203297A1 (de) * 2014-09-30 2017-08-09 Fujifilm Corporation Spiegelantriebsvorrichtung und antriebsverfahren dafür
US20210223539A1 (en) * 2018-10-25 2021-07-22 Fujifilm Corporation Micromirror device and method of driving micromirror device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5488862A (en) 1993-10-18 1996-02-06 Armand P. Neukermans Monolithic silicon rate-gyro with integrated sensors
JPH09310655A (ja) * 1996-05-21 1997-12-02 Hitachi Ltd 燃料噴射装置
JP4984117B2 (ja) * 2006-07-13 2012-07-25 スタンレー電気株式会社 ２次元光スキャナ、それを用いた光学装置および２次元光スキャナの製造方法
JP5345102B2 (ja) 2010-04-19 2013-11-20 日本信号株式会社 光走査装置及びその製造方法
JP2013003523A (ja) 2011-06-21 2013-01-07 Konica Minolta Advanced Layers Inc 光走査装置およびミラー駆動装置
US9091856B2 (en) 2011-09-30 2015-07-28 Panasonic Intellctual Property Management Co., Ltd. Optical reflecting element
EP3203298B1 (de) 2014-09-30 2021-07-14 FUJIFILM Corporation Spiegelantriebsvorrichtung und antriebsverfahren dafür
JP6349229B2 (ja) * 2014-10-23 2018-06-27 スタンレー電気株式会社 二軸光偏向器及びその製造方法
JP6506212B2 (ja) 2016-05-27 2019-04-24 スタンレー電気株式会社 光偏向器及び製造方法
CN113574007B (zh) * 2019-03-28 2024-12-03 富士胶片株式会社 微镜器件及微镜器件的驱动方法
CN113184799B (zh) * 2021-04-09 2023-07-18 清华大学深圳国际研究生院 一种带硅基压阻式传感器的mems器件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150323783A1 (en) * 2012-05-07 2015-11-12 Panasonic Corporation Optical reflection element
WO2015108710A1 (en) * 2014-01-20 2015-07-23 Apple Inc. Sensing of mirror position using the fringing of electric fields
US20160011393A1 (en) * 2014-07-14 2016-01-14 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Actuator unit and lens module
EP3203297A1 (de) * 2014-09-30 2017-08-09 Fujifilm Corporation Spiegelantriebsvorrichtung und antriebsverfahren dafür
US20210223539A1 (en) * 2018-10-25 2021-07-22 Fujifilm Corporation Micromirror device and method of driving micromirror device

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PIOT ADRIEN ET AL: "Optimization of Resonant PZT MEMS Mirrors by Inverse Design and Electrode Segmentation", JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, IEEE SERVICE CENTER, US, vol. 30, no. 2, 2 February 2021 (2021-02-02), pages 216 - 223, XP011848299, ISSN: 1057-7157, [retrieved on 20210402], DOI: 10.1109/JMEMS.2021.3054357 *
See also references of WO2023117433A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
KR20240095361A (ko) 2024-06-25
JP2025501514A (ja) 2025-01-22
JP2026012706A (ja) 2026-01-27
WO2023117433A1 (de) 2023-06-29
DE102021134310B4 (de) 2025-12-24
CN118435097A (zh) 2024-08-02
JP7755073B2 (ja) 2025-10-15
US20250067972A1 (en) 2025-02-27
AT18318U2 (de) 2024-10-15
DE102021134310A1 (de) 2023-06-22
AT18318U3 (de) 2025-02-15
DE212022000354U1 (de) 2024-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102008049647B4 (de) Mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Elements
DE102008012825B4 (de) Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden
DE69714334T2 (de) Optomechanische Mikrovorrichtung und ihre optomechanischen Anwendung in einem Mikro-Strahlablenker
EP1410047B1 (de) Mikromechanisches bauelement
DE102016014001B4 (de) MEMS Scanmodul für einen Lichtscanner mit mindestens zwei Stützelementen
EP4453631A1 (de) Piezoelektrisches spiegelbauelement, verfahren zum betrieb des piezoelektrischen spiegelbauelements und projektionsvorrichtung mit dem piezoelektrischen spiegelbauelement
WO2000025170A1 (de) Mikromechanisches bauelement mit schwingkörper
DE102017219442A1 (de) Spiegelvorrichtung, die eine Blattfeder mit Öffnungen aufweist
WO2010060552A2 (de) Mikromechanischer aktuator mit elektrostatischem kamm-antrieb
DE102017118776B4 (de) Scaneinheit mit mindestens zwei Stützelementen und einem freistehenden Umlenkelement und Verfahren zum Scannen von Licht
DE60223785T2 (de) Struktur mit thermischem Aktuator mit einem aus der Fläche biegenden Balken
EP1474666A1 (de) Quasi-statische auslenkungsvorrichtung für spektrometer
WO2019154466A1 (de) Ausrichten eines resonanten scansystems
DE102015103164B4 (de) Scanvorrichtung mit wenigstens einer eindimensional scannenden Scaneinheit
DE102021116121B3 (de) Mikroscanner mit mäanderfederbasierter spiegelaufhängung
DE102023109108B4 (de) Mikroelektromechanischer Spiegel, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Spiegels, Projektionsvorrichtung und Verwendung eines mikroelektromechanischen Spiegels
EP4695646A1 (de) Mikroelektromechanischer spiegel, verfahren zum betrieb eines mikroelektromechanischen spiegels, projektionsvorrichtung und verwendung eines mikroelektromechanischen spiegels
DE102023132555A1 (de) Mikroelektromechanischer Spiegel, Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Spiegels, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Spiegels, Projektionsvorrichtung und Verwendung eines mikroelektromechanischen Spiegels
DE102024208405A1 (de) Sandwichstrukturen für mikroelektromechanische system-mikrospiegel
WO2025162901A1 (de) Mems-struktur für eine mems-vorrichtung, mems-vorrichtung und verfahren zur herstellung der mems-struktur
DE102023132557A1 (de) Mikroelektromechanischer Spiegel, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Spiegels, Projektionsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Spiegels
DE102018112809A1 (de) Betätigung eines Scanspiegels mit einer elastischen Kopplung
DE102017000827A1 (de) Lichtscanner mit Beschleunigungssensor
WO2010046159A1 (de) Mikromechanische bauteile und verfahren zum betreiben eines mikromechanischen bauteils

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20240510

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

17Q First examination report despatched

Effective date: 20251112