WO2026014152A1 - パワーモジュールの製造装置およびパワーモジュールの製造方法 - Google Patents

Abstract

パワーモジュールの製造装置を組み立てる際の位置決めに要する時間を短縮し、パワーモジュールの生産性を向上させることが可能な技術を提供する。パワーモジュールの製造装置は、ユニット土台と、かしめ刃とかしめ刃土台とを有するかしめ刃ユニットとを備える。かしめ刃は、上下方向に延在する複数の上部櫛刃を有する。かしめ刃土台は、上下方向に延在し、複数の上部櫛刃とそれぞれ組み合わされることで複数の櫛刃を構成する複数の下部櫛刃を有する。隣り合う櫛刃の間には、ヒートシンクの複数の放熱フィンが挿入可能な空間が形成される。かしめ刃は、かしめ刃土台における複数の下部櫛刃が設けられていない部分の上端に固定される。かしめ刃土台における複数の下部櫛刃が設けられていない部分の下部は、ユニット土台の上面に固定される。

Description

パワーモジュールの製造装置およびパワーモジュールの製造方法

　本開示は、パワーモジュールの製造装置およびパワーモジュールの製造方法に関するものである。

　従来、パワーモジュール部とヒートシンクとを一体化させたパワーモジュールが提案されている。

　特許文献１には、パワーモジュールの製造工程の一部であるかしめ加工により、放熱フィンを金属ベースに取り付けたヒートシンクの製造方法が記載されている。具体的には、金属ベースにフィン溝とプレス溝が交互に形成されている。放熱フィンをフィン溝に挿入し、かしめ治具のかしめ刃を用いてプレス溝を押圧することでプレス溝を拡幅させる。こうして、放熱フィンは金属ベースにかしめ固定される。

特開２０１９－１６６５４７号公報

　特許文献１に記載のかしめ加工装置では、複数のかしめ刃と複数のスペーサーを交互に組み合わせて、それらをシャフトとねじとで固定する構成であり、部品点数が多い。そのため、かしめ加工装置を組み立てる際に各部材の位置決めが必要であり、位置決めに要する時間が長くなるため、パワーモジュールの生産性が低下するという課題があった。

　そこで、本開示は、パワーモジュールの製造装置を組み立てる際の位置決めに要する時間を短縮し、パワーモジュールの生産性を向上させることが可能な技術を提供することを目的とする。

　本開示に係るパワーモジュールの製造装置は、一方面に第１凹凸部が設けられたパワーモジュール部と、前記パワーモジュール部と対向する面に第２凹凸部が設けられたヒートシンクベースと前記ヒートシンクベースにおける前記パワーモジュール部と対向する前記面とは反対側の面に設けられた複数の放熱フィンとを有するヒートシンクとを加圧し、前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とを嵌合することでパワーモジュールを製造するパワーモジュールの製造装置であって、ユニット土台と、前記ユニット土台上に搭載され、かしめ刃と上面に前記かしめ刃が固定されるかしめ刃土台とを有するかしめ刃ユニットと、を備え、前記かしめ刃は、上下方向に延在する複数の上部櫛刃を有し、前記かしめ刃土台は、上下方向に延在し、複数の前記上部櫛刃とそれぞれ組み合わされることで複数の櫛刃を構成する複数の下部櫛刃を有し、隣り合う前記櫛刃の間には、前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能な空間が形成され、前記かしめ刃は、前記かしめ刃土台における複数の前記下部櫛刃が設けられていない部分の上端に固定され、前記かしめ刃土台における複数の前記下部櫛刃が設けられていない部分の下部は、前記ユニット土台の上面に固定されている。

　本開示によれば、従来の装置よりも部品点数が少ないため、パワーモジュールの製造装置を組み立てる際の各部材の位置決めが容易である。その結果、位置決めに要する時間が短縮されるため、パワーモジュールの生産性を向上させることができる。

　本開示の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白になる。

図１は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置を用いて製造されたパワーモジュールの断面図である。 図２は、パワーモジュール部とヒートシンクとを一体化させる方法の概略を示す断面図である。 図３は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置の正面図である。 図４は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置の側面図である。 図５は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置の上面図である。 図６は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置の分解斜視図である。 図７は、実施の形態１に係るかしめ刃ユニットの組み立て過程を説明するための斜視図である。 図８は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第１の例を示す斜視図である。 図９は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第１の例を示す側面図である。 図１０は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第２の例を示す斜視図である。 図１１は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第２の例を示す側面図である。 図１２は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第３の例を示す斜視図である。 図１３は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第４の例を示す斜視図である。 図１４は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第５の例を示す斜視図である。 図１５は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第５の例を示す上面図である。 図１６は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第６の例を示す斜視図である。 図１７は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第７の例を示す斜視図である。 図１８は、実施の形態１に係るかしめ刃土台をユニット土台に固定する方法の第８の例を示す斜視図である。 図１９は、実施の形態１においてヒートシンクをかしめ刃ユニットに取り付ける過程を説明するための正面図である。 図２０は、実施の形態１においてパワーモジュール部とヒートシンクとを一体化させる過程を説明するための正面図である。 図２１は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置を用いて製造されたパワーモジュールの正面図である。 図２２は、実施の形態１に係る櫛刃の先端形状の第１の例を示す正面図である。 図２３は、実施の形態１に係る櫛刃の先端形状の第２の例を示す正面図である。 図２４は、実施の形態１に係る櫛刃の先端形状の第３の例を示す正面図である。 図２５は、実施の形態１に係る櫛刃の先端形状の第４の例を示す正面図である。 図２６は、実施の形態１の変形例１に係るパワーモジュールの製造装置の上面図である。 図２７は、実施の形態１の変形例１においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す上面図である。 図２８は、実施の形態１の変形例１においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す正面図である。 図２９は、実施の形態１の変形例２においてパワーモジュールがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す正面図である。 図３０は、実施の形態１の変形例２においてパワーモジュールがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す上面図である。 図３１は、実施の形態１の変形例３においてパワーモジュールがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す正面図である。 図３２は、実施の形態１の変形例３においてパワーモジュールがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す上面図である。 図３３は、実施の形態２に係るパワーモジュールの製造装置の正面図である。 図３４は、実施の形態２に係るパワーモジュールの製造装置の上面図である。 図３５は、実施の形態２においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられる途中を示す上面図である。 図３６は、実施の形態２においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す正面図である。 図３７は、実施の形態２においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す上面図である。 図３８は、実施の形態２の変形例においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す上面図である。 図３９は、実施の形態２の変形例においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す正面図である。 図４０は、実施の形態３に係るパワーモジュールの製造装置の正面図である。 図４１は、実施の形態３に係るパワーモジュールの製造装置の上面図である。 図４２は、実施の形態３においてヒートシンクがかしめ刃ユニットに取り付けられた状態を示す正面図である。 図４３は、実施の形態３においてかしめ刃ユニットに取り付けられたヒートシンク上にパワーモジュール部が配置された状態を示す正面図である。 図４４は、実施の形態３においてパワーモジュール部にプレス荷重を加え始めた状態を示す正面図である。 図４５は、実施の形態３においてパワーモジュール部にプレス荷重を加え終えた状態を示す正面図である。 図４６は、実施の形態３においてパワーモジュール部とヒートシンクが一体化した状態を示す正面図である。

　実施の形態１．
　実施の形態１について、図面を用いて以下に説明する。図１は、実施の形態１に係るパワーモジュールの製造装置を用いて製造されたパワーモジュール１４の断面図である。図２は、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３とを一体化させる方法の概略を示す断面図である。

　最初に、パワーモジュールの製造装置を用いて製造されたパワーモジュール１４について説明する。図１に示すように、パワーモジュール１４は、ヒートシンク一体型のパワーモジュールであり、パワーモジュール部１２と、ヒートシンク１３とを備えている。パワーモジュール部１２は、複数の半導体素子１と、はんだなどの接合材２と、配線３と、リードフレームなどの金属導体４と、絶縁シートなどの絶縁材５と、制御端子６と、封止材７と、主端子８と、フィンベース９とを備えている。

　複数の半導体素子１は、接合材２を介して金属導体４の上面に搭載されている。金属導体４は、フィンベース９の上面に貼り付けられた絶縁材５を介して配置されている。半導体素子１の材質はシリコン（Ｓｉ）またはワイドバンドギャップ半導体である。ワイドバンドギャップ半導体は、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、またはダイヤモンド（Ｃ）等である。いずれの半導体材料であっても同様の効果を得ることが可能である。

　制御端子６および主端子８は、配線３を介して半導体素子１と接続されている。封止材７は、エポキシ系樹脂などからなり、制御端子６および主端子８の一端側とフィンベース９の下面（一方面）が露出するように、半導体素子１、制御端子６、主端子８、絶縁材５、およびフィンベース９を封止している。

　フィンベース９の下面（一方面）には、第１凹凸部１５ａ（図２参照）が設けられている。第１凹凸部１５ａは、複数の凹部から構成され、フィンベース９の幅方向（図１の左右方向）に渡って設けられている。

　ヒートシンク１３は、フィンベース９の下面（一方面）と一体化されたヒートシンクベース１０と、ヒートシンクベース１０の下面（パワーモジュール部１２と対向する面とは反対側の面）に設けられた複数の放熱フィン１１とを有している。

　ヒートシンクベース１０における外周部を除く部分の上面（パワーモジュール部１２と対向する面）には、第１凹凸部１５ａと嵌合可能な第２凹凸部１５ｂ（図２参照）が設けられている。第２凹凸部１５ｂは、複数の凸部から構成され、ヒートシンクベース１０における外周部を除く部分の幅方向（図１の左右方向）に渡って設けられている。

　フィンベース９に設けられた第１凹凸部１５ａとヒートシンクベース１０に設けられた第２凹凸部１５ｂをプレス荷重により一体化し、グリスレス化を実現している。パワーモジュール部１２とヒートシンク１３との接続部分に熱伝導グリスを配置していないため、低熱抵抗であり、使用時の熱伝導グリスのポンプアウトおよびブリードが発生しない。その結果、ヒートシンク一体型のパワーモジュールは長期信頼性に優れている。

　フィンベース９は切削加工、鍛造加工、鋳造加工、または押出加工などで作製され、フィンベース９の材質はアルミニウムまたはアルミニウム合金である。ただし、フィンベース９の材質はアルミニウム系材料に限定されるものではなく、銅などであってもよい。

　また、ヒートシンク１３として、ヒートシンクベース１０と放熱フィン１１を「かしめ加工」により一体化する「かしめヒートシンク」を採用している。ヒートシンクベース１０は、切削加工、ダイキャスト加工、鍛造加工、または押出加工などで作製され、ヒートシンクベース１０の材質はアルミニウム、またはアルミニウム合金である。

　また、放熱フィン１１として、材質がアルミニウムまたはアルミニウム合金などの板材（圧延材）を採用することで、加工性と放熱性を両立させることが可能である。ヒートシンクベース１０および放熱フィン１１の材質はともにアルミニウム系材料に限定されるものではなく、各々が異なる材料の組み合わせであってもよい、例えば、放熱能力の観点では、放熱フィン１１としてアルミニウム系材料よりも熱伝導率が大きい銅系の板材を採用することで、アルミニウム系材料の場合よりも更に放熱能力が向上する。

　また、かしめヒートシンクを採用する場合、鋳造加工および押出加工の加工制約（アスペクト比）がないため、放熱フィン１１を自由に設計できる。これにより、ヒートシンク１３の放熱能力を最大限発揮させることができる。ただし、ヒートシンク１３は、かしめヒートシンクに限定されるものではなく、切削加工、鍛造加工、押出加工、または鋳造加工などで作製されたヒートシンクであっても同様の効果を得ることが可能である。

　なお、図１では、ヒートシンクベース１０に凸部、フィンベース９に凹部を形成し、両者を一体化しているが、これに限定されるものではなく、ヒートシンクベース１０に凹部、フィンベース９に凸部を形成する、またはこれらの構成を複合させてヒートシンクベース１０とフィンベース９、それぞれに凹凸部を組み合わせて形成しても同様の効果を得ることができる。

　図２は、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３とを一体化させる方法の概略を示す断面図である。なお、図２では、かしめ刃ユニット１９を概略的に記載している。

　図２に示すように、プレス荷重を支えるかしめ刃ユニット１９にヒートシンク１３をセットし、フィンベース９の第１凹凸部１５ａとヒートシンクベース１０の第２凹凸部１５ｂとが嵌合する位置にパワーモジュール部１２をセットし、この状態で図示しないプレス機などの加工装置でプレス荷重を加えることで、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３を一体化させる。

　次に、パワーモジュール１４の製造装置について説明する。図３は、実施の形態１に係るパワーモジュール１４の製造装置の正面図である。図４は、実施の形態１に係るパワーモジュール１４の製造装置の側面図である。図５は、実施の形態１に係るパワーモジュール１４の製造装置の上面図である。図６は、実施の形態１に係るパワーモジュール１４の製造装置の分解斜視図である。図７は、実施の形態１に係るかしめ刃ユニット１９の組み立て過程を説明するための斜視図である。

　図３～図５に示すように、パワーモジュール１４の製造装置は、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３の嵌合装置であり、ユニット土台２０と、かしめ刃ユニット１９とを備えている。

　ユニット土台２０は、上面視において四角形状の板状部材である。かしめ刃ユニット１９は、ユニット土台２０上に搭載されている。具体的には、かしめ刃ユニット１９は、ねじ２３によりユニット土台２０上に固定されている。

　図６に示すように、かしめ刃ユニット１９は、かしめ刃１７と、かしめ刃土台１８とを備えている。

　かしめ刃１７は、直方体状に形成されている。かしめ刃１７には、上下方向に延びる複数の上部櫛刃２１ａが設けられている。複数の上部櫛刃２１ａは、それぞれ幅方向（図３の左右方向）に間隔をあけて配置されている。かしめ刃１７における複数の上部櫛刃２１ａが設けられていない部分２２には、かしめ刃土台１８と固定するための２つの位置決めピン２６の上部がそれぞれ挿入される２つの位置決め穴２４と、ねじ止め用のザグリ穴２５が設けられている。

　かしめ刃土台１８は、直方体状に形成されている。かしめ刃土台１８には、上下方向に延びる複数の下部櫛刃２１ｂが設けられている。複数の下部櫛刃２１ｂは、それぞれ幅方向（図３の左右方向）に間隔をあけて配置されている。かしめ刃土台１８における複数の下部櫛刃２１ｂが設けられていない部分２２ａの上部には、かしめ刃１７と固定するための２つの位置決めピン２６の下部がそれぞれ挿入される２つの位置決め穴２４ａと、ねじ穴２５ａが設けられている。かしめ刃土台１８の２つの位置決め穴２４ａは、かしめ刃１７の２つの位置決め穴２４に対向する位置に設けられ、かしめ刃土台１８のねじ穴２５ａは、かしめ刃１７のザグリ穴２５に対向する位置に設けられている。

　かしめ刃土台１８上にかしめ刃１７が固定され、複数の上部櫛刃２１ａと複数の下部櫛刃２１ｂとがそれぞれ組み合わされることで、複数の櫛刃２１が構成される。上部櫛刃２１ａの枚数は、下部櫛刃２１ｂの枚数と同じである。隣り合う櫛刃２１の間には、ヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能な空間が形成されている。隣り合う櫛刃２１の間の空間は、全ての放熱フィン１１が挿入可能なように放熱フィン１１の枚数分だけ形成されている。

　なお、２つの位置決めピン２６が挿入される位置と、ザグリ穴２５およびねじ穴２５ａの位置は図５と図６に示す以外の位置であってもよく、個数も限定しない。ただし、２つの位置決めピン２６が挿入される位置と、ザグリ穴２５およびねじ穴２５ａの位置が図５と図６に示す位置である場合、組立時の位置ずれまたは外力によってかしめ刃土台１８に対してかしめ刃１７が回転しにくくなり、両者を固定するねじが緩むことを抑制できるため、図５と図６に示す位置であることが推奨される。

　また、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８とをさらに強固に固定する場合は、ザグリ穴２５およびねじ穴２５ａを２つ以上ずつ設けてもよい。また、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８の上下方向の長さは、同じ大きさか、かしめ刃土台１８がかしめ刃１７よりも大きい方が安定したかしめ刃ユニット１９になる。この場合の上部櫛刃２１ａの上下方向の長さは、下部櫛刃２１ｂの上下方向の長さ以下である。

　また、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８が固定されたとき、加工公差によるずれに起因して上部櫛刃２１ａと下部櫛刃２１ｂがずれる可能性があるため、上部櫛刃２１ａの幅は下部櫛刃２１ｂの幅以下として、ずれを吸収することが望ましい。

　図７に示すように、かしめ刃ユニット１９を組み立てる際は、かしめ刃土台１８の２つの位置決め穴２４ａに２つの位置決めピン２６を立て、かしめ刃１７の２つの位置決め穴２４が２つの位置決めピン２６に合うようにかしめ刃ユニット１９上にかしめ刃１７を配置し、最後にねじ２７でかしめ刃１７とかしめ刃土台１８とを固定する。

　図８は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第１の例を示す斜視図である。図９は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第１の例を示す側面図である。

　例えば、図８と図９に示すように、かしめ刃土台１８におけるユニット土台２０と接触する面にねじ穴を設けて、かしめ刃土台１８をユニット土台２０にねじ２３で固定してもよい。具体的には、図４に示すように、かしめ刃土台１８における複数の下部櫛刃２１ｂが設けられていない部分２２ａの下部には、ユニット土台２０とかしめ刃土台１８とを固定するためにねじ止めされるねじ穴２３ａ（図４参照）が設けられている。なお、ねじ穴２３ａに代えて、キリ穴またはザグリ穴であってもよい。

　図１０は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第２の例を示す斜視図である。図１１は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第２の例を示す側面図である。

　図１０と図１１に示すように、かしめ刃土台１８の下部の側面を側方に延長した延長部２８の下面にねじ穴を設けて、かしめ刃土台１８をユニット土台２０にねじ２３で固定してもよい。

　図１２は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第３の例を示す斜視図である。図１３は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第４の例を示す斜視図である。図１４は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第５の例を示す斜視図である。図１５は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第５の例を示す上面図である。

　図１２～図１５に示すように、かしめ刃土台１８における複数の放熱フィン１１が挿入される側以外の側面に、図１０と図１１の場合よりも厚みを薄くした延長部２８を設け、延長部２８にキリ穴２８ａを設けて、かしめ刃土台１８をユニット土台２０にネジで固定してもよい。なお、キリ穴２８ａに代えてザグリ穴であってもよい。

　図１６は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第６の例を示す斜視図である。図１７は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第７の例を示す斜視図である。図１８は、実施の形態１に係るかしめ刃土台１８をユニット土台２０に固定する方法の第８の例を示す斜視図である。

　図１６に示すように、かしめ刃土台１８における複数の放熱フィン１１が挿入される側以外の側面に穴２９ａを有するＬ字プレート２９を取り付けて、かしめ刃土台１８をユニット土台２０にねじで固定してもよい。また、図１７と図１８に示すように、延長部２８に穴２９ａを有するＬ字プレート２９を取り付けて、かしめ刃土台１８をユニット土台２０にねじで固定してもよい。

　次に、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３の嵌合方法について説明する。図１９は、実施の形態１においてヒートシンク１３をかしめ刃ユニット１９に取り付ける過程を説明するための正面図である。図２０は、実施の形態１においてパワーモジュール部１２とヒートシンク１３とを一体化させる過程を説明するための正面図である。図２１は、実施の形態１に係るパワーモジュール１４の製造装置を用いて製造されたパワーモジュール１４の正面図である。

　図７に示したように、最初に、かしめ刃土台１８上にかしめ刃１７をねじ２７により固定することでかしめ刃ユニット１９を構成する。次に、図９等に示したように、ユニット土台２０上にかしめ刃ユニット１９をねじにより固定する。

　次に、図１９に示すように、かしめ刃ユニット１９にヒートシンク１３を取り付ける際、放熱フィン１１（図２参照）が隣り合う櫛刃２１（図３参照）に形成された空間に入るように、かしめ刃ユニット１９の櫛刃２１とヒートシンク１３の放熱フィン１１が交互に並ぶ位置にヒートシンク１３を合わせる。そして、かしめ刃ユニット１９における隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１を挿入する。

　次に、図２０に示すように、フィンベース９の第１凹凸部１５ａ（図２参照）とヒートシンクベース１０の第２凹凸部１５ｂ（図２参照）とが嵌合する位置にパワーモジュール部１２を配置し、パワーモジュール部１２の上方からプレス荷重によって加圧する。フィンベース９の第１凹凸部１５ａとヒートシンクベース１０（図２参照）の第２凹凸部１５ｂとが嵌合することで、図２１に示すように、パワーモジュール１４が完成する。このとき、隣り合う放熱フィン１１の間に櫛刃２１が挿入され、櫛刃２１でプレス荷重を支持しているため、ヒートシンク１３の第２凹凸部１５ｂが形成されている直下でプレス荷重を支持することになる。そのため、ヒートシンクベース１０を変形させることなく、かしめ加工を行うことができる。

　図２２～図２５は、それぞれ実施の形態１に係る櫛刃２１の先端形状の第１～第４の例を示す正面図である。

　櫛刃２１の先端は、例えば図２２～図２５に示す形状であればよく、隣り合う放熱フィン１１の間の空間の形状に合わせて選択すればよい。具体的には、櫛刃２１の先端は、櫛刃２１の先端形状は、図２２に示す四角形状、図２３に示す面取り形状、図２４に示す三角形状、または図２５に示す円弧形状であればよい。

　次に、実施の形態１の変形例について説明する。図２６は、実施の形態１の変形例１に係るパワーモジュール１４の製造装置の上面図である。図２７は、実施の形態１の変形例１においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す上面図である。図２８は、実施の形態１の変形例１においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す正面図である。

　図２６～図２８に示すように、かしめ刃ユニット１９の側方には、隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能なヒートシンク挿入口３６が形成されている。ユニット土台２０の上面におけるヒートシンク挿入口３６とは反対側には、ヒートシンクベース１０を当て止めして位置決めするための位置決め部材３１が設けられていてもよい。なお、図２８に示すＡは櫛刃２１と放熱フィン１１とのクリアランスである。

　図２９は、実施の形態１の変形例２においてパワーモジュール１４がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す正面図である。図３０は、実施の形態１の変形例２においてパワーモジュール１４がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す上面図である。

　または、図２９と図３０に示すように、ヒートシンクベース１０におけるパワーモジュール部１２と対向する面には、複数の第１穴１０ａが設けられていてもよい。第１穴１０ａには、パワーモジュール部１２を当て止めして位置決めするための複数の位置決めピン３４が取り付け可能である。なお、複数の第１穴１０ａのうちの２つは、パワーモジュール部１２を挟んで対角線上に設けられる。

　図３１は、実施の形態１の変形例３においてパワーモジュール１４がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す正面図である。図３２は、実施の形態１の変形例３においてパワーモジュール１４がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す上面図である。

　または、図３１と図３２に示すように、パワーモジュール部１２には、外部装置（図示せず）と接続可能な接続端子としての主端子８が設けられ、主端子８の第２穴８ａに、位置決めピン３４が挿入されていてもよい。具体的には、複数の位置決めピン３４は、複数の主端子８の第２穴８ａのうちの一部の主端子８の第２穴８ａにそれぞれ挿入される。

　これらの場合、ヒートシンク１３とかしめ刃ユニット１９との位置決め、および、ヒートシンク１３とパワーモジュール部１２に含まれる部品間の位置決めが容易になり、パワーモジュール１４の生産性がさらに向上する。

　なお、かしめ刃ユニット１９は、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８とを１つずつ組み合わせた構成に限定することなく、２つ以上のかしめ刃１７とかしめ刃土台１８とを組み合わせた構成であっても同様の効果が得られる。

　次に、実施の形態１の効果について、従来の装置である特許文献１に記載のかしめ加工装置と比較しながら説明する。

　特許文献１に記載のかしめ加工装置では、複数のかしめ刃と複数のスペーサーを交互に組み合わせて、それらをシャフトとねじとで固定する構成であり、部品点数が多い。そのため、かしめ加工装置を組み立てる際に各部材の位置決めが必要であり、位置決めに要する時間が長くなるため、パワーモジュールの生産性が低下するという課題があった。

　これに対して、実施の形態１では、パワーモジュール１４の製造装置は、ユニット土台２０と、ユニット土台２０上に搭載され、かしめ刃１７と上面にかしめ刃１７が固定されるかしめ刃土台１８とを有するかしめ刃ユニット１９とを備えている。かしめ刃１７は、上下方向に延在する複数の上部櫛刃２１ａを有している。かしめ刃土台１８は、上下方向に延在し、複数の上部櫛刃２１ａとそれぞれ組み合わされることで複数の櫛刃２１を構成する複数の下部櫛刃２１ｂを有している。隣り合う櫛刃２１の間には、ヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能な空間が形成されている。かしめ刃１７は、かしめ刃土台１８における複数の下部櫛刃２１ｂが設けられていない部分２２ａの上端に固定されている。かしめ刃土台１８における複数の下部櫛刃２１ｂが設けられていない部分２２ａの下部は、ユニット土台２０の上面に固定されている。

　したがって、パワーモジュール１４の製造装置は、ユニット土台２０と、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８とを有するかしめ刃ユニット１９とで構成されており、従来の装置よりも部品点数が少ないため、パワーモジュール１４の製造装置を組み立てる際の各部材の位置決めが容易である。その結果、位置決めに要する時間が短縮されるため、パワーモジュール１４の生産性を向上させることができる。

　また、特許文献１に記載のかしめ加工装置において、かしめ刃が装置に対して垂直に配置されていない場合、想定している荷重よりも低い荷重でかしめ刃が座屈する可能性がある。かしめ刃が座屈すると、かしめ刃の変形に荷重が使用されることで、パワーモジュールを正常に製造できなくなる。加えて、かしめ刃の変形および破損につながるため、かしめ加工装置としての機能を失うことになる。そのため、各かしめ刃が垂直に配置されるように組立時に調整する必要があり、組立に時間がかかっていた。

　これに対して、実施の形態１では、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８は、例えば金属ブロックを切削またはワイヤ放電加工で削り出して製作されるため、櫛刃２１とユニット土台２０との垂直性は切削加工の精度によることから、組立時の調整は不要である。

　また、摩耗または破損でかしめ刃の交換が必要になった際、特許文献１に記載のかしめ加工装置では複数のかしめ刃、シャフト、およびスペーサーを含む組み立て体を装置から取り出し、シャフトからかしめ刃とスペーサーを外し、摩耗または破損したかしめ刃を交換した後、再び組み立て体を装置に取り付けるため２～３時間程度必要であった。

　これに対して、実施の形態１では、ねじ２３，２７と位置決めピン２６を取り外して、複数の上部櫛刃２１ａを有するかしめ刃１７または複数の下部櫛刃２１ｂを有するかしめ刃土台１８を交換するだけでよく、交換にかかる時間は１０分程度であり、メンテナンスにかかる時間を大幅に減らすことができる。

　また、かしめ刃１７とかしめ刃土台１８が固定されたとき、加工公差によるずれに起因して上部櫛刃２１ａと下部櫛刃２１ｂがずれる可能性があるが、上部櫛刃２１ａの幅は下部櫛刃２１ｂの幅以下であるため、ずれを吸収することができる。

　また、上部櫛刃２１ａの上下方向の長さは、下部櫛刃２１ｂの上下方向の長さ以下であるため、かしめ刃１７の上下方向の長さがかしめ刃土台１８の上下方向の長さ以下となり、安定したかしめ刃ユニット１９になる。

　また、かしめ刃ユニット１９の側方には、隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能なヒートシンク挿入口３６が形成され、ユニット土台２０の上面におけるヒートシンク挿入口３６とは反対側には、ヒートシンクベース１０を当て止めして位置決めするための位置決め部材３１が設けられている。

　また、ヒートシンクベース１０におけるパワーモジュール部１２と対向する面には、第１穴１０ａが設けられ、第１穴１０ａには、パワーモジュール部１２を位置決めするための位置決めピン３４が取り付け可能である。

　また、パワーモジュール部１２には、外部装置と接続可能な主端子８が設けられ、主端子８には第２穴８ａが設けられ、第２穴８ａには、位置決めピン３４が挿入可能である。

　これらの場合、ヒートシンク１３とかしめ刃ユニット１９との位置決め、および、ヒートシンク１３とパワーモジュール部１２に含まれる部品間の位置決めが容易になり、パワーモジュール１４の生産性がさらに向上する。

　実施の形態２．
　次に、実施の形態２について説明する。図３３は、実施の形態２に係るパワーモジュール１４の製造装置の正面図である。図３４は、実施の形態２に係るパワーモジュール１４の製造装置の上面図である。なお、実施の形態２において、実施の形態１で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明を省略する。

　図３３と図３４に示すように、実施の形態２は、実施の形態１の構成に、かしめ刃ユニット１９における隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１を挿入する際に、ヒートシンク１３を案内するためのガイド部材３５を追加した構成である。ガイド部材３５がヒートシンク挿入ガイドに相当する。

　ガイド部材３５は、ユニット土台２０におけるヒートシンク挿入口３６の周辺に設けられている。具体的には、ガイド部材３５は、かしめ刃ユニット１９の側面から（ヒートシンクベース１０の側面から最外端にある放熱フィン１１の側面までの距離）―（櫛刃２１の厚み）から算出された位置に配置される。ガイド部材３５は、かしめ刃ユニット１９にヒートシンク１３を取り付ける際に、かしめ刃ユニット１９における隣り合う櫛刃２１の間に形成された全ての空間にヒートシンク１３の全ての放熱フィン１１をそれぞれ挿入するために配置される。

　次に、かしめ刃ユニット１９へのヒートシンク１３の取り付け方法を説明する。図３５は、実施の形態２においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられる途中を示す上面図である。図３６は、実施の形態２においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す正面図である。図３７は、実施の形態２においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す上面図である。

　図３５に示すように、ガイド部材３５にヒートシンクベース１０の端部を当てながら、かしめ刃ユニット１９にヒートシンク１３を取り付けようとすると、かしめ刃ユニット１９の隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間のうちのガイド部材３５に最も近い最外端の空間に、ヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１のうちのガイド部材３５に最も近い最外端の放熱フィン１１が挿入される。そして、連鎖的に他の放熱フィン１１も本来入るべき空間に挿入されることで、図３６と図３７に示すように、かしめ刃ユニット１９にヒートシンク１３が取り付けられる。

　以上のように、実施の形態２では、かしめ刃ユニット１９の側方には、隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能なヒートシンク挿入口３６が形成されている。ユニット土台２０におけるヒートシンク挿入口３６の周辺には、ヒートシンク１３を案内するためのガイド部材３５が設けられている。

　したがって、ガイド部材３５により、複数の放熱フィン１１が本来入るべき空間以外の位置に挿入されることを抑制できるため、かしめ刃ユニット１９に対するヒートシンク１３の位置決めを容易に行うことができる。また、人為的ミスに起因する複数の放熱フィン１１の挿入ミスを減らすことができるため、パワーモジュール１４の生産性が向上する。

　次に、実施の形態２の変形例について説明する。図３８は、実施の形態２の変形例においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す上面図である。図３９は、実施の形態２の変形例においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す正面図である。

　図３８と図３９に示すように、ユニット土台２０の上面には、ヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１を隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間に案内するように位置決めするための位置決めピン３５Ａが設けられ、ヒートシンクベース１０には、位置決めピン３５Ａが挿入可能な穴３５ａが設けられていてもよい。穴３５ａは、ヒートシンクベース１０の４つの角部のうちの２箇所以上に設けられる。この場合にも、上記と同様に、かしめ刃ユニット１９に対するヒートシンク１３の位置決めを容易に行うことができ、かつ、パワーモジュール１４の生産性が向上するという効果が得られる。

　実施の形態３．
　次に、実施の形態３について説明する。図４０は、実施の形態３に係るパワーモジュール１４の製造装置の正面図である。図４１は、実施の形態３に係るパワーモジュール１４の製造装置の上面図である。なお、実施の形態３において、実施の形態１，２で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明を省略する。

　図４０と図４１に示すように、実施の形態３では、実施の形態１の構成に、上面プレート３７と、中間プレート３８と、弾性部材３９とを追加した構成である。なお、実施の形態２の構成に、上面プレート３７と、中間プレート３８と、弾性部材３９とを追加してもよい。

　上面プレート３７は、上面視において四角形状に形成され、ユニット土台２０の上面視輪郭と同じ上面視輪郭を有している。上面プレート３７は、かしめ刃ユニット１９の上端に配置されヒートシンクベース１０の周縁部を支持可能である。

　中間プレート３８は、上面視において四角形状に形成され、ユニット土台２０の上面視輪郭と同じ上面視輪郭を有している。中間プレート３８は、上面プレート３７とユニット土台２０との間に配置されている。

　弾性部材３９は、上面プレート３７と中間プレート３８との間および中間プレート３８とユニット土台２０との間にそれぞれ配置されている。弾性部材３９は、例えばバネである。

　かしめ刃ユニット１９の側方には、隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能なヒートシンク挿入口３６（図２６参照）が形成されている。上面プレート３７におけるヒートシンク挿入口３６側の部分には、ヒートシンク挿入口３６と連通するヒートシンク挿入部４１が設けられている。また、上面プレート３７におけるヒートシンク挿入部４１と上面視において直交する側の部分には、製品取り出し用の空間４０が形成されている。

　次に、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３の嵌合方法について説明する。図４２は、実施の形態３においてヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９に取り付けられた状態を示す正面図である。図４３は、実施の形態３においてかしめ刃ユニット１９に取り付けられたヒートシンク１３上にパワーモジュール部１２が配置された状態を示す正面図である。図４４は、実施の形態３においてパワーモジュール部１２にプレス荷重を加え始めた状態を示す正面図である。図４５は、実施の形態３においてパワーモジュール部１２にプレス荷重を加え終えた状態を示す正面図である。図４６は、実施の形態３においてパワーモジュール部１２とヒートシンク１３が一体化した状態を示す正面図である。なお、図４２～図４６においてパワーモジュール部１２とヒートシンク１３については断面を示している。

　図７に示したように、最初に、かしめ刃土台１８上にかしめ刃１７をねじ２７により固定することでかしめ刃ユニット１９を構成する。次に、図９等に示したように、ユニット土台２０上にかしめ刃ユニット１９をねじにより固定する。次に、図４０と図４１に示すように、かしめ刃ユニット１９とユニット土台２０との間に、上面プレート３７と、中間プレート３８と、弾性部材３９とを取り付ける。

　次に、図４２に示すように、かしめ刃ユニット１９における隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へ、櫛刃２１の先端が放熱フィン１１の根元に当たらない高さ位置となるようにヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１を挿入する。このとき、ヒートシンクベース１０の周縁部は上面プレート３７により支持される。

　次に、図４３に示すように、パワーモジュール部１２の第１凹凸部１５ａとヒートシンク１３の第２凹凸部１５ｂとが嵌合する位置にパワーモジュール部１２を配置する。

　次に、図４４に示すように、この状態で図示しないプレス機などの加工装置でプレス荷重を加える。プレス初期では、パワーモジュール部１２からプレス荷重を受けて、パワーモジュール部１２の第１凹凸部１５ａとヒートシンク１３の第２凹凸部１５ｂとが嵌合し始める。このとき、プレス荷重が上面プレート３７にも伝わり、弾性部材３９の弾性力に抗して上面プレート３７は圧縮する方向、すなわち下方へ移動する。

　荷重の印加が増加すると、ヒートシンク１３がかしめ刃ユニット１９の櫛刃２１と接触し、荷重を支持するようになる。荷重の印加がさらに増加すると、図４５に示すように、パワーモジュール部１２の第１凹凸部１５ａとヒートシンク１３の第２凹凸部１５ｂとが嵌合することで、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３とが一体化し、パワーモジュール１４が完成する。

　次に、図４６に示すように、除荷することで弾性部材３９の弾性力により上面プレート３７が上方へ移動し、上面プレート３７とヒートシンク１３は元の高さ位置に戻る。最後に、製品取り出し用の空間４０からパワーモジュール１４を掴んで取り出す。

　以上のように、実施の形態３では、かしめ刃ユニット１９の上端に配置されヒートシンクベース１０の周縁部を支持可能な上面プレート３７と、上面プレート３７とユニット土台２０との間に配置された中間プレート３８と、上面プレート３７と中間プレート３８との間および中間プレート３８とユニット土台２０との間にそれぞれ配置された弾性部材３９とが設けられている。かしめ刃ユニット１９の側方には、隣り合う櫛刃２１の間に形成された空間へヒートシンク１３の複数の放熱フィン１１が挿入可能なヒートシンク挿入口３６が形成され、上面プレート３７におけるヒートシンク挿入口３６側の部分には、ヒートシンク挿入口３６と連通するヒートシンク挿入部４１が設けられている。また、上面プレート３７におけるヒートシンク挿入部４１と上面視において直交する側の部分には、製品取り出し用の空間４０が形成されている。

　したがって、パワーモジュール部１２とヒートシンク１３との一体化後に製品がかしめ刃ユニット１９から浮くため、製品の取り出しが容易になり、パワーモジュール１４の生産性が向上する。

　本開示は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、限定的なものではない。例示されていない無数の変形例が、想定され得るものと解される。

　なお、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

　以下、本開示の諸態様を付記としてまとめて記載する。

　　（付記１）
　一方面に第１凹凸部が設けられたパワーモジュール部と、前記パワーモジュール部と対向する面に第２凹凸部が設けられたヒートシンクベースと前記ヒートシンクベースにおける前記パワーモジュール部と対向する前記面とは反対側の面に設けられた複数の放熱フィンとを有するヒートシンクとを加圧し、前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とを嵌合することでパワーモジュールを製造するパワーモジュールの製造装置であって、
　ユニット土台と、
　前記ユニット土台上に搭載され、かしめ刃と上面に前記かしめ刃が固定されるかしめ刃土台とを有するかしめ刃ユニットと、を備え、
　前記かしめ刃は、上下方向に延在する複数の上部櫛刃を有し、
　前記かしめ刃土台は、上下方向に延在し、複数の前記上部櫛刃とそれぞれ組み合わされることで複数の櫛刃を構成する複数の下部櫛刃を有し、
　隣り合う前記櫛刃の間には、前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能な空間が形成され、
　前記かしめ刃は、前記かしめ刃土台における複数の前記下部櫛刃が設けられていない部分の上端に固定され、
　前記かしめ刃土台における複数の前記下部櫛刃が設けられていない部分の下部は、前記ユニット土台の上面に固定されている、パワーモジュールの製造装置。

　　（付記２）
　前記上部櫛刃の幅は、前記下部櫛刃の幅以下である、付記１に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記３）
　前記上部櫛刃の枚数は、前記下部櫛刃の枚数と同じである、付記１または付記２に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記４）
　前記上部櫛刃の上下方向の長さは、前記下部櫛刃の上下方向の長さ以下である、付記１から付記３のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記５）
　前記かしめ刃ユニットの側方には、隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能なヒートシンク挿入口が形成され、
　前記ユニット土台の上面における前記ヒートシンク挿入口とは反対側には、前記ヒートシンクベースを当て止めして位置決めするための位置決め部材が設けられている、付記１から付記４のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記６）
　前記ヒートシンクベースにおける前記パワーモジュール部と対向する前記面には、第１穴が設けられ、
　前記第１穴には、前記パワーモジュール部を位置決めするための位置決めピンが取り付け可能である、付記１から付記４のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記７）
　前記パワーモジュール部には、外部装置と接続可能な接続端子が設けられ、
　前記接続端子には第２穴が設けられ、
　前記第２穴には、前記位置決めピンが挿入可能である、付記６に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記８）
　前記かしめ刃ユニットの側方には、隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能なヒートシンク挿入口が形成され、
　前記ユニット土台における前記ヒートシンク挿入口の周辺には、前記ヒートシンクを案内するためのヒートシンク挿入ガイドが設けられている、付記１から付記７のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記９）
　前記ユニット土台の上面には、前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンを隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間に案内するように位置決めするための位置決めピンが設けられ、
　前記ヒートシンクベースには、前記位置決めピンが挿入可能な穴が設けられている、付記１から付記７のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記１０）
　前記かしめ刃ユニットの上端に配置され前記ヒートシンクベースの周縁部を支持可能な上面プレートと、前記上面プレートと前記ユニット土台との間に配置された中間プレートと、前記上面プレートと前記中間プレートとの間および前記中間プレートと前記ユニット土台との間にそれぞれ配置された弾性部材とが設けられ、
　前記かしめ刃ユニットの側方には、隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能なヒートシンク挿入口が形成され、
　前記上面プレートにおける前記ヒートシンク挿入口側の部分には、前記ヒートシンク挿入口と連通するヒートシンク挿入部が設けられている、付記１から付記９のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記１１）
　前記上面プレートにおける前記ヒートシンク挿入部と上面視において直交する側の部分には、製品取り出し用の空間が形成されている、付記１０に記載のパワーモジュールの製造装置。

　　（付記１２）
　付記１から付記９のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置を用いたパワーモジュールの製造方法であって、
　前記かしめ刃土台上に前記かしめ刃をねじにより固定することで前記かしめ刃ユニットを構成する工程と、
　前記ユニット土台上に前記かしめ刃ユニットをねじにより固定する工程と、
　前記かしめ刃ユニットにおける隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンを挿入する工程と、
　前記パワーモジュール部の前記第１凹凸部と前記ヒートシンクの前記第２凹凸部とが嵌合する位置に前記パワーモジュール部を配置する工程と、
　プレス荷重によって前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とが嵌合することで、前記パワーモジュール部と前記ヒートシンクとを一体化させる工程と、
　を備える、パワーモジュールの製造方法。

　　（付記１３）
　付記１０または付記１１に記載のパワーモジュールの製造装置を用いたパワーモジュールの製造方法であって、
　前記かしめ刃土台上に前記かしめ刃をねじにより固定することで前記かしめ刃ユニットを構成する工程と、
　前記ユニット土台上に前記かしめ刃ユニットをねじにより固定する工程と、
　前記かしめ刃ユニットと前記ユニット土台との間に、前記上面プレートと、前記中間プレートと、前記弾性部材とを取り付ける工程と、
　前記かしめ刃ユニットにおける隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ、前記櫛刃の先端が前記放熱フィンの根元に当たらない高さ位置となるように前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンを挿入する工程と、
　前記パワーモジュール部の前記第１凹凸部と前記ヒートシンクの前記第２凹凸部とが嵌合する位置に前記パワーモジュール部を配置する工程と、
　プレス荷重によって前記弾性部材の弾性力に抗して前記上面プレートが下方へ移動することで前記櫛刃の先端が前記放熱フィンの根元に当たる位置まで移動し、前記プレス荷重をさらに印加して前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とが嵌合することで、前記パワーモジュール部と前記ヒートシンクとを一体化させる工程と、
　除荷することで前記弾性部材の前記弾性力により前記上面プレートが上方へ移動し、前記パワーモジュールを取り出す工程と、
　を備える、パワーモジュールの製造方法。

　８　主端子、８ａ　第２穴、１０　ヒートシンクベース、１０ａ　第１穴、１１　放熱フィン、１２　パワーモジュール部、１３　ヒートシンク、１４　パワーモジュール、１５ａ　第１凹凸部、１５ｂ　第２凹凸部、１７　かしめ刃、１８　かしめ刃土台、１９　かしめ刃ユニット、２０　ユニット土台、２１　櫛刃、２１ａ　上部櫛刃、２１ｂ　下部櫛刃、３１　位置決め部材、３４　位置決めピン、３５　ガイド部材、３５Ａ　位置決めピン、３５ａ　穴、３６　ヒートシンク挿入口、３７　上面プレート、３８　中間プレート、３９　弾性部材、４０　空間、４１　ヒートシンク挿入部。

Claims (13)

1. 　一方面に第１凹凸部が設けられたパワーモジュール部と、前記パワーモジュール部と対向する面に第２凹凸部が設けられたヒートシンクベースと前記ヒートシンクベースにおける前記パワーモジュール部と対向する前記面とは反対側の面に設けられた複数の放熱フィンとを有するヒートシンクとを加圧し、前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とを嵌合することでパワーモジュールを製造するパワーモジュールの製造装置であって、
   　ユニット土台と、
   　前記ユニット土台上に搭載され、かしめ刃と上面に前記かしめ刃が固定されるかしめ刃土台とを有するかしめ刃ユニットと、を備え、
   　前記かしめ刃は、上下方向に延在する複数の上部櫛刃を有し、
   　前記かしめ刃土台は、上下方向に延在し、複数の前記上部櫛刃とそれぞれ組み合わされることで複数の櫛刃を構成する複数の下部櫛刃を有し、
   　隣り合う前記櫛刃の間には、前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能な空間が形成され、
   　前記かしめ刃は、前記かしめ刃土台における複数の前記下部櫛刃が設けられていない部分の上端に固定され、
   　前記かしめ刃土台における複数の前記下部櫛刃が設けられていない部分の下部は、前記ユニット土台の上面に固定されている、パワーモジュールの製造装置。
2. 　前記上部櫛刃の幅は、前記下部櫛刃の幅以下である、請求項１に記載のパワーモジュールの製造装置。
3. 　前記上部櫛刃の枚数は、前記下部櫛刃の枚数と同じである、請求項１または請求項２に記載のパワーモジュールの製造装置。
4. 　前記上部櫛刃の上下方向の長さは、前記下部櫛刃の上下方向の長さ以下である、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。
5. 　前記かしめ刃ユニットの側方には、隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能なヒートシンク挿入口が形成され、
   　前記ユニット土台の上面における前記ヒートシンク挿入口とは反対側には、前記ヒートシンクベースを当て止めして位置決めするための位置決め部材が設けられている、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。
6. 　前記ヒートシンクベースにおける前記パワーモジュール部と対向する前記面には、第１穴が設けられ、
   　前記第１穴には、前記パワーモジュール部を位置決めするための位置決めピンが取り付け可能である、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。
7. 　前記パワーモジュール部には、外部装置と接続可能な接続端子が設けられ、
   　前記接続端子には第２穴が設けられ、
   　前記第２穴には、前記位置決めピンが挿入可能である、請求項６に記載のパワーモジュールの製造装置。
8. 　前記かしめ刃ユニットの側方には、隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能なヒートシンク挿入口が形成され、
   　前記ユニット土台における前記ヒートシンク挿入口の周辺には、前記ヒートシンクを案内するためのヒートシンク挿入ガイドが設けられている、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。
9. 　前記ユニット土台の上面には、前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンを隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間に案内するように位置決めするための位置決めピンが設けられ、
   　前記ヒートシンクベースには、前記位置決めピンが挿入可能な穴が設けられている、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。
10. 　前記かしめ刃ユニットの上端に配置され前記ヒートシンクベースの周縁部を支持可能な上面プレートと、前記上面プレートと前記ユニット土台との間に配置された中間プレートと、前記上面プレートと前記中間プレートとの間および前記中間プレートと前記ユニット土台との間にそれぞれ配置された弾性部材とが設けられ、
    　前記かしめ刃ユニットの側方には、隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンが挿入可能なヒートシンク挿入口が形成され、
    　前記上面プレートにおける前記ヒートシンク挿入口側の部分には、前記ヒートシンク挿入口と連通するヒートシンク挿入部が設けられている、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置。
11. 　前記上面プレートにおける前記ヒートシンク挿入部と上面視において直交する側の部分には、製品取り出し用の空間が形成されている、請求項１０に記載のパワーモジュールの製造装置。
12. 　請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のパワーモジュールの製造装置を用いたパワーモジュールの製造方法であって、
    　前記かしめ刃土台上に前記かしめ刃をねじにより固定することで前記かしめ刃ユニットを構成する工程と、
    　前記ユニット土台上に前記かしめ刃ユニットをねじにより固定する工程と、
    　前記かしめ刃ユニットにおける隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンを挿入する工程と、
    　前記パワーモジュール部の前記第１凹凸部と前記ヒートシンクの前記第２凹凸部とが嵌合する位置に前記パワーモジュール部を配置する工程と、
    　プレス荷重によって前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とが嵌合することで、前記パワーモジュール部と前記ヒートシンクとを一体化させる工程と、
    　を備える、パワーモジュールの製造方法。
13. 　請求項１０または請求項１１に記載のパワーモジュールの製造装置を用いたパワーモジュールの製造方法であって、
    　前記かしめ刃土台上に前記かしめ刃をねじにより固定することで前記かしめ刃ユニットを構成する工程と、
    　前記ユニット土台上に前記かしめ刃ユニットをねじにより固定する工程と、
    　前記かしめ刃ユニットと前記ユニット土台との間に、前記上面プレートと、前記中間プレートと、前記弾性部材とを取り付ける工程と、
    　前記かしめ刃ユニットにおける隣り合う前記櫛刃の間に形成された前記空間へ、前記櫛刃の先端が前記放熱フィンの根元に当たらない高さ位置となるように前記ヒートシンクの複数の前記放熱フィンを挿入する工程と、
    　前記パワーモジュール部の前記第１凹凸部と前記ヒートシンクの前記第２凹凸部とが嵌合する位置に前記パワーモジュール部を配置する工程と、
    　プレス荷重によって前記弾性部材の弾性力に抗して前記上面プレートが下方へ移動することで前記櫛刃の先端が前記放熱フィンの根元に当たる位置まで移動し、前記プレス荷重をさらに印加して前記第１凹凸部と前記第２凹凸部とが嵌合することで、前記パワーモジュール部と前記ヒートシンクとを一体化させる工程と、
    　除荷することで前記弾性部材の前記弾性力により前記上面プレートが上方へ移動し、前記パワーモジュールを取り出す工程と、
    　を備える、パワーモジュールの製造方法。