WO2024090500A1

WO2024090500A1 - 回転支持装置、及び軸支持装置の支持機構位置調整機構

Info

Publication number: WO2024090500A1
Application number: PCT/JP2023/038613
Authority: WO
Inventors: 覚新井
Original assignee: 日本精工株式会社
Priority date: 2022-10-28
Filing date: 2023-10-25
Publication date: 2024-05-02

Abstract

ねじ軸（２１）の軸方向両端部を回転自在に支持する支持機構（３０）は、移動側軸受ハウジング（５１）及び一対のアンギュラ玉軸受（３３）を有する軸受ユニット（４１）と、支持台（４３）と、軸受ユニット（４１）と支持台（４３）との間に配設されたハウジング位置調整機構（４４）と、を備える。ハウジング位置調整機構（４４）は、支持台（４３）側に設けられた支持台側部材（６１）と、軸受ハウジング（５１）側に設けられ、支持台側部材（６１）に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材（６２）と、支持台側部材（６１）と軸受ハウジング側部材（６２）との間に形成される空間（６６）内に配置され、該空間（６６）を第１空間（６６Ａ）及び第２空間（６６Ｂ）に軸方向に区分する隔壁部材（８３）と、第１空間（６６Ａ）に圧縮された状態で収容される複数の皿ばね（７０）及び第１の作動流体（８０）と、第２空間（６６Ｂ）に圧縮された状態で収容される中空部材（９０）及び第２の作動流体（８１）と、を備える。これにより、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

Description

回転支持装置、及び軸支持装置の支持機構位置調整機構

　本発明は、ボールねじ送り装置や主軸装置のような回転軸を支持する回転支持装置、及び、軸を支持する軸支持装置の支持機構位置調整機構に関する。

　ボールねじ送り装置では、ねじ軸の送り精度を維持するために高い軸方向剛性が要求されている。従来、ボールねじ装置のねじ軸に剛性を付与する方法としては、複数のアンギュラ軸受を組み合わせて予圧をかけ、これをねじ軸の一端部もしくは両端部に配置して、ねじ軸を軸方向に固定支持する方法が一般的である。これに加えて、ねじ軸の熱膨張が考慮される場合には、ねじ軸に予め軸方向への張力を付与して所定量伸長させておく方法が取られる。特許文献１には、間座の軸方向寸法の調整により、送りねじ（ねじ軸）に予め張力をかけておき、さらに、温度上昇により送りねじが予張力分を越えて伸びた場合に、皿ばねや流体の圧力により軸受を軸方向に移動させて張力を送りねじに付与するプリテンション機構を備えることが記載されている。

日本国実用新案登録第２５７３９８２号公報

　ところで、送りねじに付与する予張力やプリテンションなどと呼ばれる荷重が過大であると、軸受に大きな負荷が掛かり、軸受が損傷する虞がある。このため、通常は、軸受に軸方向に過大な荷重が掛からない範囲において、特許文献１に記載のプリテンション機構に見られるような、皿ばねや外部供給される流体などが配置される。しかしながら、皿ばねを用いたものは、軸が伸びるにしたがって荷重が弱くなるため、温度上昇で３～４度分の伸びに対応できるにすぎない。マシニングセンタなどでは、ボールねじの温度上昇が４度を超えることも多く、その場合には皿ばねによる十分な荷重が作用しない状態となってしまい、軸方向の支持剛性が低下する問題がある。
　また、外部から流体を供給して油圧により荷重をかける方式では、油圧ポンプをはじめとする外部装置が必要となるほか、ボールねじ送り装置が大型化するとともに、コストの上昇と付加的なエネルギ消費を招くという問題がある。
　さらに、このような課題は、ボールねじ送り装置だけでなく、主軸装置など、回転軸の軸方向両端部を一対の支持機構によって回転自在に支持する回転支持装置においても同様に存在する。

　本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持可能な回転支持装置、及び軸支持装置の支持機構位置調整機構を提供することにある。

　本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
［１］　回転軸と、前記回転軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備える回転支持装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間に配設されたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置され、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、回転支持装置。
［２］　軸と、前記軸を支持するため、前記軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備える軸支持装置における、前記一対の支持機構の一方に設けられた軸支持装置の支持機構位置調整機構であって、
　前記一対の支持機構の一方は、前記軸が貫通、又は前記軸回りに配置される支持体を有し、
　前記軸側と前記支持体側の一方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能な第１の部材と、
　前記軸側と前記支持体側の他方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能で、前記第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記第１の部材との間に収容空間を形成する第２の部材と、
　前記収容空間内に配置され、前記収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、軸支持装置の支持機構位置調整機構。

　本発明の回転支持装置によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、回転支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

　また、本発明の軸支持装置の支持機構位置調整機構によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。
また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、軸支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

本発明の第１実施形態に係るボールねじ送り装置を適用した工作機械のテーブル送り系の断面図である。図１に示すハウジング位置調整機構を備える支持機構の拡大断面図である。図２のＡ矢視図である。第１実施形態の変形例に係るボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第１実施形態の他の変形例に係るボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第１実施形態のさらに他の変形例に係るボールねじ送り装置の図２に対応する図である。本発明の第２実施形態に係るボールねじ送り装置の図２に対応する図である。図７のＶＩＩＩ部拡大図である。（ａ）～（ｃ）は、第２実施形態の変形例に係るボールねじ送り装置のシール溝に耐摩耗性部材が適用された例を示す要部拡大断面図である。（ａ）～（ｄ）は、第２実施形態において、隔壁部材の各変形例を示す断面図である。本発明の第３実施形態に係るボールねじ送り装置の図２に対応する図である。本発明の第４実施形態に係るボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第１～第４実施形態において、一対のアンギュラ玉軸受を背面組合せとした軸受ユニットの変形例に係る、図２に対応する図である。第１～第４実施形態において、一対のアンギュラ玉軸受を並列組合せとした軸受ユニットの他の変形例に係る、図２に対応する図である。（ａ）は、ハウジング位置調整機構が、複数の収容空間によって構成される第１例を示す概略側面図であり、（ｂ）は、ハウジング位置調整機構が、複数の収容空間によって構成される第２例を示す概略側面図である。（ａ）は、ハウジング位置調整機構が、複数の収容空間によって構成される第３例を示す概略側面図であり、（ｂ）は、ハウジング位置調整機構が、複数の収容空間によって構成される第４例を示す概略側面図である。ハウジング位置調整機構が、複数の収容空間によって構成される第５例を示す概略側面図である。図１６（ａ）のＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩ線に沿った断面図である。本発明の第５実施形態に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第５実施形態の第１変形例に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第５実施形態の第２変形例に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第５実施形態の第３変形例に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。図２２のＸＸＩＩＩ部拡大図である。第５実施形態の第４変形例に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第５実施形態の第５変形例に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。本発明の第６実施形態に係る、ボールねじ送り装置の図２に対応する図である。第１実施形態のボールねじ送り装置に対して、第１圧力発生手段及び第２圧力発生手段の変形例を説明するための、図２に対応する図である。第１実施形態のボールねじ送り装置に対して、第１圧力発生手段及び第２圧力発生手段の他の変形例を説明するための、図２に対応する図である。（ａ）～（ｃ）は、本発明の中空部材の第１～第３変形例を示す断面図である。（ａ）～（ｃ）は、本発明の中空部材の第４～第６変形例を示す断面図である。（ａ）及び（ｂ）は、本発明の中空部材の第７及び第８変形例を示す断面図である。（ａ）～（ｃ）は、本発明の中空部材の第９～第１１変形例を示す断面図である。（ａ）は、作動流体を収容空間に充填するため、軸受ハウジング側部材に形成される給油路が設けられた位相における、図２に対応する拡大断面図であり、（ｂ）は、(ａ)の止め栓ボルトの変形例を示す断面図である。（ａ）は、図３３（ａ）の止め栓ボルトの代わりに使用される止め栓プラグの断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の止め栓プラグと円盤状部材を併合した例を示す断面図であり、（ｃ）は、（ｂ）の円盤状部材の変形例を示す断面図であり、（ｄ）は、（ｂ）の円盤状部材の他の変形例を示す断面図である。本発明の変形例に係るボールねじ送り装置を適用した工作機械のテーブル送り系の断面図である。支持台が軸受ユニットに対して、軸方向端部側に配設されるハウジング位置調整機構の第１例を示す断面図である。支持台が軸受ユニットに対して、軸方向端部側に配設されるハウジング位置調整機構の第２例を示す断面図である。支持台が軸受ユニットに対して、軸方向端部側に配設されるハウジング位置調整機構の第３例を示す断面図である。支持台が軸受ユニットに対して、軸方向端部側に配設されるハウジング位置調整機構の第４例を示す断面図である。本発明に係る回転支持装置を示す断面図である。本発明に係る他の回転支持装置を示す断面図である。本発明に係る支持機構位置調整機構が適用される軸支持装置を示す断面図である。図４２のＩＬＩＩＩ部拡大図である。

　以下、本発明に係る回転支持装置や軸支持装置の一例であるボールねじ送り装置の各実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

（第１実施形態）
　図１は、第１実施形態のボールねじ送り装置を適用した工作機械のテーブル送り系を示している。なお、図１～図３に関して、ボールねじ送り装置２０のねじ軸２１の軸方向（図１の左右方向）をＸ方向とし、基台１の載置面１ａと平行で、ねじ軸２１の軸方向と直交する方向（図１の紙面垂直方向）をＹ方向とし、基台１の載置面１ａに対して垂直方向（図１の上下方向）をＺ方向とする。また、図２及び図２に対応する各図において、点線は、ボルト締結箇所を表している。

　テーブル送り系１０は、ボールねじ送り装置２０のナット２３に固定された移動テーブル１１を備え、ボールねじ送り装置２０のねじ軸２１を駆動モータ１２で駆動することで、該移動テーブル１１がＸ方向に移動自在となるように構成されている。移動テーブル１１には、ボールねじ送り装置２０に対してＹ方向両側に、一対のリニアガイド１３（図１は、一方のみ図示）が設けられている。各リニアガイド１３は、基台１上にレール載置台１４を介してねじ軸２１と平行に配設されたガイドレール１５と、移動テーブル１１の下面に固定され、ガイドレール１５に跨設される２つのスライダ１６と、を備える。そして、駆動モータ１２でねじ軸２１を回転させることで、移動テーブル１１が一対のリニアガイド１３で案内されて、ナット２３と共に往復直線移動する。

　ボールねじ送り装置２０は、外周面に螺旋状のねじ溝２１ｂが形成されたねじ軸２１と、ねじ軸２１の周囲に配置され、内周面に螺旋状のねじ溝（図示せず）が形成され、移動テーブル１１の下面に固定されたナットハウジング２２に嵌合するナット２３と、ナット２３のねじ溝とねじ軸２１のねじ溝２１ｂとの間に転動自在に配設された複数のボール（図示せず）と、を備える。

　ねじ軸２１は、軸方向中央に形成され、ねじ溝２１ｂが形成される大径部２４と、該大径部２４の軸方向両端部に形成された小径部２５と、を備える。小径部２５の先端側の外周面には、雄ねじ２５ａが形成されており、また、ねじ軸２１の一方側（図中右側）の先端には、小径軸部２７が設けられている。小径軸部２７には、カップリング２８を介して駆動モータ１２の回転軸１２ａが連結されている。

　また、ねじ軸２１は、駆動モータ１２が連結された側となるねじ軸２１の一方側が第１の支持機構３０により回転自在に支持され、ねじ軸２１の他方側（図中左側）が第２の支持機構４０により回転自在に支持されている。

　第１の支持機構３０は、基台１に固定された固定側軸受ハウジング３１と、固定側軸受ハウジング３１に対してねじ軸２１を回転自在に支持する、正面組合せで配置された一対のアンギュラ玉軸受３３，３３と、を備える。一対のアンギュラ玉軸受３３，３３は、固定側軸受ハウジング３１に内嵌する外輪３４と、ねじ軸２１の小径部２５に外嵌する内輪３５と、外輪３４及び内輪３５間に接触角を持って転動自在に配設された複数の玉３６と、をそれぞれ備える。

　一対のアンギュラ玉軸受３３，３３は、軸方向内側のアンギュラ玉軸受３３の外輪３４を固定側軸受ハウジング３１の内向きフランジ３１ａに当接させて、軸方向外側のアンギュラ玉軸受３３の外輪３４を固定側軸受ハウジング３１に締結される外輪押さえ３７で固定されている。また、軸方向内側のアンギュラ玉軸受３３の内輪３５をねじ軸２１の大径部２４と小径部２５間の段部２１ａに当接させ、軸方向外側のアンギュラ玉軸受３３の内輪３５を雄ねじ２５ａに螺合する締結ナット３８ａで締め付けている。
　したがって、第１の支持機構３０は、ねじ軸２１の軸方向位置が固定された状態で、ねじ軸２１を支持している。

　図２及び図３も参照して、第２の支持機構４０は、ねじ軸２１の他方側端部に配置される軸受ユニット４１と、軸受ユニット４１より軸方向中央側で基台１に固定された支持台４３と、軸受ユニット４１と支持台４３との間に配設されるハウジング位置調整機構６０と、を備える。支持台４３には、ねじ軸２１が貫通する貫通孔４３ａが設けられている。

　軸受ユニット４１は、移動側軸受ハウジング５１と、移動側軸受ハウジング５１に対してねじ軸２１を回転自在に支持する、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３と、を備える。一対のアンギュラ玉軸受５３，５３は、移動側軸受ハウジング５１に内嵌する外輪５４と、ねじ軸２１の小径部２５に外嵌する内輪５５と、外輪５４及び内輪５５間に接触角を持って転動自在に配設された複数の玉５６と、を備える。

　一対のアンギュラ玉軸受５３，５３では、軸方向内側のアンギュラ玉軸受５３の外輪５４を移動側軸受ハウジング５１の内向きフランジ５１ａに当接させて、軸方向外側のアンギュラ玉軸受５３の外輪５４を移動側軸受ハウジング５１に締結固定された外輪押さえ４７で締め付けて、各外輪５４，５４は、移動側軸受ハウジング５１に対して軸方向に位置決めされる。また、軸方向外側に配置されたアンギュラ玉軸受５３の内輪５５が間座４８を介して雄ねじ２５ａに螺合する締結ナット３８ｂで締め付けられている。
　即ち、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３、移動側軸受ハウジング５１、及び外輪押さえ４７は、正面組合せで配置される一対のアンギュラ玉軸受５３，５３に所定の予圧を付与した状態で、軸受ユニット４１としてユニット化することができ、この軸受ユニット４１をねじ軸２１に対して、及びハウジング位置調整機構６０に対してそれぞれ容易に取り付けることができる。本構成において移動側軸受ハウジング５１は、必要に応じて軸受ハウジング側部材６２と一体化させることも可能である。

　ハウジング位置調整機構６０は、支持台４３側に設けられ、ねじ軸２１が貫通する支持台側部材６１と、移動側軸受ハウジング５１側に設けられ、支持台側部材６１に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材６２と、を備える。支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２とは、互いに軸方向で対向している。

　支持台側部材６１は、支持台４３側に突設された円環状部６１ａが支持台４３の貫通孔４３ａに嵌合して、複数のボルト（図示せず）で支持台４３に固定されている。軸受ハウジング側部材６２は、移動側軸受ハウジング５１側に突設された円環状部６２ａが、内向きフランジ５１ａに嵌合して、複数のボルト６３（図３参照）で移動側軸受ハウジング５１に固定されている。

　また、軸受ハウジング側部材６２の支持台側部材６１側の側面には、支持台側部材６１側（軸方向一方側）に開口する有底の環状凹部６４が設けられている。一方、支持台側部材６１の軸受ハウジング側部材６２側の側面には、軸受ハウジング側部材６２側（軸方向他方側）に向けて環状凹部６４内に突出する環状凸部６５が設けられている。環状凹部６４と環状凸部６５とは、軸方向に摺動可能に嵌合し、環状凹部６４の底面、内向き面６４ａ及び外向き面６４ｂと環状凸部６５の先端面との間には、環状空間（収容空間）６６が形成される。

　そして、環状空間６６内には、環状凹部６４の内向き面６４ａと外向き面６４ｂと摺接する外周面および内周面を有する環状の隔壁部材８３が配置されている。これにより、環状空間６６は、隔壁部材８３を隔てて、第１空間６６Ａ及び第２空間６６Ｂに軸方向に区分される。

　第１空間６６Ａには、第１の圧力発生手段として、複数の皿ばね（弾性部材）７０と第１の作動流体８０とが圧縮した状態で収容され、第２空間６６Ｂには、第２の圧力発生手段として、中空部材９０と第２の作動流体８１とが圧縮した状態で収容される。

　複数の皿ばね７０は、軸受ハウジング側部材６２と隔壁部材８３の対向する軸方向端面間に圧縮された状態で配置される。複数の皿ばね７０は、直列ばねの機能を発揮する場合には、図２に示すように、隣り合う皿ばね７０の凸側の面同士、かつ凹側の面同士が対向するように、軸方向に重ねて配置される。また、複数の皿ばね７０が、並列ばねの機能を発揮する場合には、図示しないが、軸方向に対して皿ばね７０が同じ向きで重なり合うように配置される。

　中空部材９０は、密封構造を前提として構成され、環状凹部６４の外向き面６４ｂより大きな内径、且つ、環状凹部６４の内向き面６４ａより小さな外径の断面楕円形状を有して環状に形成された浮き輪状の構造体であり、弾性変形可能なゴム、樹脂、金属等、又はこれらの組合せで構成される。また、中空部材９０の内部には、外力作用時に弾性効果を有し、工業的に剛性が確認されている任意の液体または気体が内包される。

　また、作動流体としては、実質的に外力作用時に弾性効果を有しつつ、工業的に剛性が確認されている、油や水などの液体、または気体であればよく、本実施形態では、第１の作動流体８０として、気体が適用され、第２の作動流体８１として、油が適用されている。

　したがって、本実施形態では、第１の圧力発生手段は、第１空間６６Ａに収容される皿ばね７０と、皿ばね７０の周囲の第１空間６６Ａに充填される第１の作動流体８０と、を備えて構成される。また、第２の圧力発生手段は、第２空間６６Ｂに収容される中空部材９０と、中空部材９０の周囲の第２空間６６Ｂに充填される第２の作動流体８１と、を備える。

　また、環状凹部６４の内向き面６４ａと隔壁部材８３の外周面との間、及び環状凹部６４の外向き面６４ｂと隔壁部材８３の内周面との間には、Ｏリング６７Ａが装着される。
具体的には、Ｏリング６７Ａは、隔壁部材８３の外周面及び内周面に形成された環状のシール溝６８Ａに配置され、対向する環状凹部６４の内向き面６４ａ及び外向き面６４ｂと摺接して、隔壁部材８３の外周面と環状凹部６４の内向き面６４ａとの間の径方向隙間、及び隔壁部材８３の内周面と環状凹部６４の外向き面６４ｂとの間の径方向隙間を封止する。

　さらに、環状凸部６５の外向き面６５ａと環状凹部６４の内向き面６４ａとの間、及び環状凸部６５の内向き面６５ｂと環状凹部６４の外向き面６４ｂとの間には、Ｏリング６７が装着されている。具体的には、Ｏリング６７は、環状凸部６５の外向き面６５ａ及び内向き面６５ｂに形成された環状のシール溝６８に配置され、対向する環状凹部６４の内向き面６４ａ及び外向き面６４ｂと摺接して、環状凸部６５の外向き面６５ａと環状凹部６４の内向き面６４ａとの間の径方向隙間、及び環状凸部６５の内向き面６５ｂと環状凹部６４の外向き面６４ｂとの間の径方向隙間を封止する。なお、シール溝６８は、環状凹部６４の内向き面６４ａ及び外向き面６４ｂに形成されてもよい。また、Ｏリング６７，６７Ａおよびシール溝６８，６８Ａは、各対向面間にそれぞれ１つずつ配置されているが、複数配置されてもよい。これにより、Ｏリング６７，６７Ａは、第１空間６６Ａに充填された第１の作動流体８０や、第２空間６６Ｂに充填された第２の作動流体８１の漏れを防止する。Ｏリング６７には、摩耗を防止する観点から、耐摩耗性などを有する表面処理がなされてもよい。

　また、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２との間には、互いの相対回転を防止する回り止め機構７５が設けられている。具体的には、例えば、軸受ハウジング側部材６２には、位置決めピン７６の先端部が環状凹部６４の内向き面６４ａから突出するように径方向に貫通する貫通孔７７が円周方向の少なくとも一箇所に形成される。そして、位置決めピン７６の先端部が、支持台側部材６１の環状凸部６５の外向き面６５ａに軸方向に沿って形成された長孔７８に、軸受ハウジング側部材６２が軸方向に移動できるように挿入されている。なお、位置決めピン７６は、同様の回り止め機能を有する回転方向の位置決めキー（図示せず）などが軸受ハウジング側部材６２を軸方向に移動できるように長孔７８に挿入されることで代替されてもよい。

　加えて、環状凸部６５内には、貯留室７１が形成され、また、貯留室７１と環状空間６６とを連通するように、円周方向の少なくとも１箇所（図２では、２箇所）に軸方向に沿ったオリフィス７２が形成される。

　貯留室７１は、Ｏリング６７が配置されるシール溝６８よりも環状凸部６５の先端面側で、環状凸部６５の外向き面６５ａに開口して、円盤溝形状に形成されている。したがって、本実施形態では、第２の作動流体８１は、第２空間６６Ｂの他、貯留室７１及びオリフィス７２にも貯留されている。

　このようなハウジング位置調整機構６０は、隔壁部材８３を用いて、第１空間６６Ａに皿ばね７０及び第１の作動流体８０を、第２空間６６Ｂに中空部材９０及び第２の作動流体８１を収容した後、締結ナット３８ｂを締め付けることで、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３及び移動側軸受ハウジング５１を介して軸受ハウジング側部材６２を支持台側部材６１側に押し込む。これにより、第１空間６６Ａでは、複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０を圧縮して、ねじ軸方向への圧力が複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０に付与される。また、第２空間６６Ｂでは、中空部材９０及び第２の作動流体８１を圧縮して、ねじ軸方向への圧力が中空部材９０及び第２の作動流体８１に付与される。

　一方、支持台側部材６１が支持台４３を介して基台１に固定されているので、軸受ハウジング側部材６２及び移動側軸受ハウジング５１は、圧縮状態で第１空間６６Ａに収容された複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０と、第２空間６６Ｂに収容された中空部材９０及び第２の作動流体８１の圧力により図中左方向に押圧される。これにより、ねじ軸２１に予め図１、２中左方へ張力をかけた状態がもたらされる。

　また、第１空間６６Ａに収容された複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０の圧力、及び第２空間６６Ｂに収容された中空部材９０及び第２の作動流体８１の圧力は、締結ナット３８ｂの締め付け量で任意の大きさに制御することができる。即ち、締結ナット３８ｂにより、ねじ軸２１に付与する軸方向荷重の大きさは、圧縮状態の複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０と、中空部材９０及び第２の作動流体８１によって発生するねじ軸方向の合計圧力によって任意の大きさに設定可能であり、所望の圧縮特性を与えることができる。

　次に、本実施形態のボールねじ送り装置２０の作用について説明する。
　ボールねじ送り装置２０では、ねじ軸２１を駆動モータ１２で回転駆動し、ナット２３に固定された移動テーブル１１を往復直線運動させると、この運動に伴って駆動モータ１２、アンギュラ玉軸受３３，５３、ナット２３などが発熱し、ボールねじ送り装置２０の温度が次第に上昇して、ねじ軸２１が熱膨張により軸方向に伸びる。

　ねじ軸２１が軸方向に熱膨張して伸長すると、図１に示す本実施形態のボールねじ送り装置２０では、ねじ軸２１の右端部がアンギュラ玉軸受３３，３３を介して固定側軸受ハウジング３１に固定されているので、左方向に伸びることになる。ねじ軸２１が熱の影響により軸方向（左方向）に伸びると、軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２は、第１空間６６Ａ内に配置されている複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０と、第２空間６６Ｂ内に配置されている中空部材９０及び第２の作動流体８１の圧力により、熱膨張によるねじ軸２１の軸方向伸びに追従して、同方向に移動する。
　特に、中空部材９０は、第２空間６６Ｂ内に第２の作動流体８１を介して浮遊するように収容されているので、中空部材９０によって生じた圧力は、第２の作動流体８１を介して軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２に伝達される。

　本実施形態では、ねじ軸２１が軸方向へ伸びた際にも、複数の皿ばね７０及び第１の作動流体と、中空部材９０及び第２の作動流体８１とが軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２を左方へ押し続けるように設計される。複数の皿ばね７０及び中空部材９０及び環状空間６６は、設計の自由度が大きく、環状空間内に充填された作動流体の物性、環状空間の大きさや形状を適宜選択することにより、より大きな軸の伸びに対応して十分かつ適切な荷重を与えることができる。したがって、ボールねじ送り装置２０の温度が４度よりも高く上昇するような場合においても、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３を軸方向に移動させて、軸方向の支持剛性を維持することができ、ボールねじ送り装置２０の軸方向の剛性が安定化する。

　特に、複数の皿ばね７０及び中空部材９０による圧力は、４度よりも高い温度上昇となった場合であってもねじ軸２１の軸方向伸び分に対応して変化できるので、ねじ軸２１が軸方向に伸びている間、一対のアンギュラ玉軸受３３，３３を固定支持部とする状態を維持しつつ、ボールねじ送り装置２０の軸方向の剛性が安定化する。

　この場合、一対のアンギュラ玉軸受３３，３３及び５３，５３に過大な荷重が作用することがないので、潤滑不良による過度の摩耗や焼き付きなどを生じる虞はなく、一対のアンギュラ玉軸受３３，３３及び５３，５３の寿命が長くなる。
　即ち、本実施形態では、特許文献１に記載のボールねじにおいて、間座によって与えていた大きさの予張力をねじ軸２１に付与する必要がなくなるので、一対のアンギュラ玉軸受３３，３３及び５３，５３にも過大な荷重が作用することがなくなる。

　さらに、本実施形態のボールねじ送り装置２０においては、環状空間６６に作動流体８０，８１を供給するためのアキュムレータやポンプなどの外部装置が必ずしも設置される必要はなく、ハウジング位置調整機構６０を簡素化できる。この結果、外部から供給されるエネルギを消費することなく、環状空間６６の圧力をできるかぎり変化を少なくしつつ維持し続けることができる。なお、本実施形態のボールねじ送り装置２０は、外部に作動流体を供給するための外部装置を設ける構成であってもよい。

　また、本実施形態のＯリング６７，６７Ａは、減衰機構としても作用する。即ち、移動テーブル１１上に載置された加工物を加工する際に、移動テーブル１１に発生する振動によって、剛性が比較的低いねじ軸２１も振動しようとする。このねじ軸２１の振動は、一対のアンギュラ玉軸受３３，３３及び移動側軸受ハウジング５１を介して軸受ハウジング側部材６２にも伝播するが、軸受ハウジング側部材６２と支持台側部材６１との間のＯリング６７，６７Ａにより軸受ハウジング側部材６２の振動が減衰される。したがって、ねじ軸２１の振動も減衰させることができ、移動テーブル１１上に載置された加工物の加工面品位の乱れを抑制することができる。
　この際、軸受ハウジング側部材６２と支持台側部材６１との間に配置されるＯリング６７，６７Ａは、ねじ軸２１の軸方向における振動を減衰させるだけでなく、ねじ軸２１の径方向における振動も減衰させることができる。

　また、ハウジング位置調整機構６０の第１及び第２の作動流体８０，８１は、それぞれ第１空間６６Ａ，第２空間６６Ｂだけでなく、環状凸部６５の外向き面６５ａと環状凹部６４の内向き面６４ａとの間、及び環状凸部６５の内向き面６５ｂと環状凹部６４の外向き面６４ｂとの間で、且つ、Ｏリング６７よりも環状空間６６側の各隙間に貯留されている。このため、第１及び第２の作動流体８０，８１により、軸受ハウジング側部材６２が、支持台側部材６１に対して十分かつ適切な径方向荷重を持って支持される。
　この結果、ハウジング位置調整機構６０は、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３及び軸受ハウジング５１を介して、ねじ軸２１に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、ねじ軸２１に対する調心機能も有することができる。

　また、本実施形態では、ねじ軸２１の振動によって移動側軸受ハウジング５１及び一対のアンギュラ玉軸受３３，３３と共に軸受ハウジング側部材６２が振動することで、環状空間６６及び貯留室７１内の第２の作動流体８１がオリフィス７２、及び、環状凸部６５の外向き面６５ａと環状凹部６４の内向き面６４ａとの間の隙間ｇを通過することで、該振動を減衰させることができる。したがって、上述したＯリング６７，６７Ａと同様に、移動テーブル１１上に載置された加工物を加工する際に、ねじ軸２１に伝達される振動を減衰させ、加工物の加工面品位の乱れをさらに改善することができる。

　第２の作動流体８１は、環状凸部６５と環状凹部６４との間の隙間ｇを通過することや、貯留室７１及びオリフィス７２内を流通することによる、上述したねじ軸２１の減衰機能を発揮することができる。

　したがって、本実施形態のボールねじ送り装置２０によれば、環状空間６６に隔壁部材８３を配置することで、環状空間６６内に収容された２種類の圧力発生部材である、複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０と、中空部材９０及び第２の作動流体８１とによって、熱の影響によりねじ軸２１の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができ、且つ、軸方向及び径方向における振動を減衰することができる。

　なお、隔壁部材８３は、図４に示すように、軸方向に長くして、Ｏリング６７Ａを軸方向に２つずつ並べて配置することで、密封性能や減衰機構を向上させてもよい。また、隔壁部材８３は、径方向中間部分に一方の軸方向側面に開口する環状溝８４を形成してもよい。これにより、環状溝８４に作動流体を収容することができ、ハウジング位置調整機構６０のコンパクトな構成を維持することができる。
　なお、環状溝８４は、一方の軸方向側面に開口するものに限らず、両方の軸方向側面に開口するように軸方向両側に形成されてもよい。

　また、本実施形態の変形例として、図５に示すように、第２空間６６Ｂの軸方向長さが径方向外側に向かって徐々に長くなるように、支持台側部材６１の環状凸部６５の先端面６５ｃが内周縁から外周縁まで尖状の凸テーパ形状に形成されてもよい。
　これにより、第２空間６６Ｂ内の第２の作動流体８１によって、支持台側部材６１に対して軸受ハウジング側部材６２がより調心されるので、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３のねじ軸２１に対する調心機能をさらに高めることができる。

　なお、図示しないが、支持台側部材６１の環状凸部６５の先端面６５ｃが外周縁から内周縁に向かってすり鉢状の凹テーパ形状になっていた場合、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３のねじ軸２１に対する同軸性を高めることができる。

　また、図２に示すボールねじ送り装置２０では、第２空間６６Ｂとオリフィス７２を介して連通する貯留室７１が設けられており、第２の圧力発生手段を構成する第２の作動流体８１が、第２空間６６Ｂだけでなく、貯留室７１、及びオリフィス７２にも圧縮された状態で収容されている。ただし、図５に示すように、環状凸部６５は、貯留室７１やオリフィス７２を設けない構成であってもよく、この場合、第２の作動流体８１は、第２空間６６Ｂに圧縮された状態で収容される。

　さらに、本実施形態の他の変形例として、図６に示すように、密封構造を前提として構成された中空部材９０が、第２空間６６Ｂの代わりに、第２空間６６Ｂと連通する貯留室７１に配置される構成としてもよい。

　この場合、第２の圧力発生手段は、第２空間６６Ｂ、貯留室７１、及びオリフィス７２に圧縮された状態で収容される第２の作動流体８１と、貯留室７１に収容される中空部材９０と、を備えて構成される。

　また、図示しないが、支持台側部材６１は支持台４３と一体に構成されてもよく、軸受ハウジング側部材６２も移動側軸受ハウジング５１と一体に構成されてもよい。

（第２実施形態）
　次に、図７及び図８を参照して本発明の第２実施形態に係るボールねじ送り装置について説明する。なお、本実施形態では、第２の支持機構４０のハウジング位置調整機構６０の構成において、第１実施形態のものと異なる。

　第２実施形態のハウジング位置調整機構６０では、環状凸部６５の外向き面６５ａ及び内向き面６５ｂに形成されたシール溝６８及び隔壁部材８３の外周面及び内周面に形成されたシール溝６８Ａは、第２空間６６Ｂ側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面６９ａと、テーパ面６９ａの軸方向両端縁から径方向に沿って延在する円輪状の軸方向両側面６９ｂ，６９ｃと、によって構成される。

　また、軸方向両側面６９ｂ，６９ｃ間の軸方向距離は、シール溝６８，６８Ａに弾性変形されて装着された状態のＯリング６７の軸方向幅よりも広い。これにより、溝深さが深い軸方向側面６９ｂとテーパ面６９ａとの境界付近まで、第２空間６６Ｂから隙間ｇを通過した第２の作動流体８１が回り込む。

　したがって、第２空間６６Ｂ内の第２の作動流体８１の圧力が高まることで、Ｏリング６７が第２の作動流体８１によって大気圧側または第１空間６６Ａ側に押されるにつれ、Ｏリング６７はシール溝６８，６８Ａのテーパ面６９ａと、対向する環状凹部６４の内向き面６４ａや外向き面６４ｂとの間のくさび構造によってシール性をより向上させる。この結果、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体８１の大気圧側または第１空間６６Ａ側への漏れを防止して、ボールねじ送り装置２０の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

　なお、本実施形態の変形例として、図９（ａ）～（ｃ）に示すように、Ｏリング６７と、環状凹部６４の内向き面６４ａ及び環状凸部６５の外向き面６５ａ（本実施形態では、外向き面６５ａに形成されたシール溝６８のテーパ面６９ａ）の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材５９が介在されてもよい。

　具体的には、図９（ａ）に示すように、耐摩耗性部材５９は、Ｏリング６７の外周面と環状凹部６４の内向き面６４ａとの間、及びＯリング６７の内周面と環状凸部６５の外向き面６５ａに形成されたシール溝６８，６８Ａのテーパ面６９ａとの間に位置するように、断面コの字状の環状部材として形成されてもよい。

　また、図９（ｂ）に示すように、耐摩耗性部材５９は、Ｏリング６７の内周面と環状凸部６５の外向き面６５ａに形成されたシール溝６８，６８Ａのテーパ面６９ａとの間に位置するように、断面直線状の環状部材として形成されてもよい。さらに、図９（ｃ）に示すように、耐摩耗性部材５９は、Ｏリング６７の外周面と環状凹部６４の内向き面６４ａとの間に位置するように、断面直線状の環状部材として形成されてもよい。

　耐摩耗性部材５９としては、例えば、フッ素系樹脂などの樹脂材料や、適切な表面処理を施した金属材料などが用いられる。

　図９（ａ）～（ｃ）のいずれの形態においても、耐摩耗性部材５９を用いることで、Ｏリング６７に加わる応力集中を分散させ、Ｏリング６７や、Ｏリング６７との接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

　なお、耐摩耗性部材５９は、図８に示す、Ｏリング６７と、環状凹部６４の外向き面６４ｂ及び環状凸部６５の内向き面６５ｂ（図８では、内向き面６５ｂに形成されたシール溝６８のテーパ面６９ａ）の少なくとも一方との間にも介在されてもよい。

　また、図９（ａ）～（ｃ）では、耐摩耗性部材５９は、テーパ面６９ａを有するシール溝６８において、Ｏリング６７と該Ｏリング６７の対向面との間に介在させている。その一方で、耐摩耗性部材５９は、図２に示すような、溝深さが均一なシール溝６８において、Ｏリング６７と該Ｏリング６７の対向面との間に介在させることでも、上記効果を奏する。

　また、耐摩耗性部材５９は、Ｏリング６７と、環状凹部６４の内向き面６４ａ及び隔壁部材８３の外周面（本実施形態では、外周面に形成されたシール溝６８Ａ）の少なくとも一方との間に介在されてもよい。さらに、耐摩耗性部材５９は、Ｏリング６７と、環状凹部６４の外向き面６４ｂ及び隔壁部材８３の内周面（本実施形態では、内周面に形成されたシール溝６８Ａ）の少なくとも一方との間に介在されてもよい。

　加えて、図１０（ａ）～（ｄ）に示すように、隔壁部材８３の外周面及び内周面に形成されるシール溝６８Ａは、軸方向両側面６９ｂ，６９ｃから軸方向中間部に向かって溝が徐々に深くなるＶ字状の溝底面６９ａ１を有する構成であってもよい。
　Ｏリング６７は、溝底面６９ａ１を構成する２つのテーパ面と、環状凹部６４の内向き面６４ａ（又は環状凹部６４の外向き面６４ｂ）との間に介在して、第１空間６６Ａの第１の作動流体８０及び第２空間６６Ｂの第２の作動流体８１を密封している。また、第１空間６６Ａ及び第２空間６６Ｂ内の圧力差に応じて、Ｏリング６７がいずれかの軸方向側面６９ｂ，６９ｃに向かって溝底面６９ａ１のテーパ面を移動すると、くさび作用によって第１及び第２の作動流体８０、８１のシール性が向上される。なお、第１空間６６Ａ及び第２空間６６Ｂ内の圧力差に応じて、隔壁部材８３自体が軸方向に移動する場合があり、その場合、隔壁部材８３の溝底面６９ａ１とＯリング６７との接触位置が変わる。

　なお、耐摩耗性部材５９は、図１０（ｂ）～（ｄ）に示すように、Ｏリング６７と、環状凹部６４の内向き面６４ａ及び隔壁部材８３の外周面（本実施形態では、外周面に形成されたシール溝６８Ａ）の少なくとも一方との間に介在されてもよい。また、耐摩耗性部材５９は、Ｏリング６７と、環状凹部６４の外向き面６４ｂ及び隔壁部材８３の内周面（本実施形態では、内周面に形成されたシール溝６８Ａ）の少なくとも一方との間に介在されてもよい。
　その他の構成及び作用については、第１実施形態のものと同様である。

（第３実施形態）
　次に、図１１を参照して本発明の第３実施形態に係るボールねじ送り装置について説明する。なお、本実施形態では、第２の支持機構４０のハウジング位置調整機構６０の構成において、第１実施形態のものと異なる。

　第３実施形態のハウジング位置調整機構６０では、支持台側部材６１の外周面と軸受ハウジング側部材６２の外周面には、電熱線やラバーヒーターなどの、作動媒体体積変更部としての発熱体１３０，１３１が環状に、または離散的に配置されている。

　これにより、発熱体１３０，１３１からの熱が支持台側部材６１及び軸受ハウジング側部材６２から第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内の中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１に伝達され、中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１を加熱することで、中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積を膨張させることができる。
その結果、ねじ軸２１が軸方向に伸長した場合でも、中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積膨張により第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内に荷重が励起されることから、軸方向の支持剛性を維持することができる。

　なお、本実施形態では、支持台側部材６１の外周面と軸受ハウジング側部材６２の外周面には、作動媒体体積変更部として、発熱体１３０，１３１が取り付けられているが、代わりに、冷却ジャケットや冷却素子などの冷却媒体１３２，１３３を取り付けてもよい。

　冷却媒体１３２，１３３を用いることで、中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積膨張により第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内に励起される荷重が過大となる場合であっても、中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１を冷却して、中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積を収縮することができる。これにより、ボールねじ送り装置２０の軸方向の支持剛性が過度に大きくなることを防ぎ、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

　また、本実施形態では、中空部材９０や第１及び第２作動流体８０，８１の温度は、ボールねじ送り装置２０の構成部品、設置環境、稼働サイクルなどの影響を受けるため、発熱体１３０，１３１や冷却媒体１３２，１３３を用いて、構成部品や中空部材９０、第１及び第２作動流体８０，８１などの温度に対するフィードバックループを組むことで、中空部材９０や第１及び第２作動流体８０，８１を目標温度に制御してもよい。さらに、本実施形態では、第１及び第２作動流体８０，８１の体積変化や第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内の圧力の状態、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２との間における軸方向の相対変位などを考慮することで、発熱体１３０，１３１や冷却媒体１３２，１３３の動作をフィードバック制御してもよい。

　また、本実施形態では、作動媒体体積変更部が支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２の両方に取り付けられているが、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２のいずれか一方に取り付けられてもよい。

　さらに、本実施形態では、作動媒体体積変更部は、支持台側部材６１の外周面と軸受ハウジング側部材６２の外周面に設けられているが、第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内の中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積を膨張又は収縮できる箇所であれば、軸方向側面、内周面、内部など任意の位置に取り付けることができる。
　加えて、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２のいずれか一方に発熱体を取り付け、いずれか他方に冷却媒体を取り付けるようにしてもよい。また、発熱体と冷却媒体とは、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２とのいずれにおいても、併存するように配置されてもよい。
　その他の構成及び作用については、第１実施形態のものと同様である。

（第４実施形態）
　次に、図１１を参照して本発明の第４実施形態に係るボールねじ送り装置について説明する。なお、本実施形態では、第２の支持機構４０がさらに他のハウジング位置調整機構１６０を有する点において、第１実施形態のものと異なる。

　即ち、第４実施形態の第２の支持機構４０では、軸受ユニット４１と支持台４３との間で、ハウジング位置調整機構６０と隣接して配設される他のハウジング位置調整機構１６０をさらに備える。
　他のハウジング位置調整機構１６０は、支持台４３側に設けられ、ねじ軸２１が貫通する他の支持台側部材１６１と、軸受ハウジング５１側に設けられ、ねじ軸２１が貫通し、他の支持台側部材１６１に対して軸方向に相対移動可能な他の軸受ハウジング側部材１６２と、他の支持台側部材１６１と他の軸受ハウジング側部材１６２との間に形成される他の収容空間内に配置され、該他の収容空間を第３空間１６６Ａ及び第４空間１６６Ｂに軸方向に区分する隔壁部材１８３と、を備える。さらに、他のハウジング位置調整機構１６０は、第３空間１６６Ａに圧縮された状態で収容される第３の圧力発生手段としての複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０と、第４空間１６６Ｂに圧縮された状態で収容される第４の圧力発生手段としての中空部材９０と第２の作動流体８１と、を備える。つまり、第２の支持機構４０は、軸方向に直列に配置されたタンデム構成の２つのハウジング位置調整機構６０，１６０を有する。

　図１２に示すように、他のハウジング位置調整機構１６０も、他の軸受ハウジング側部材１６２が環状凹部１６４を有し、他の支持台側部材１６１が環状凹部１６４内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部１６５を有し、他の支持台側部材１６１と他の軸受ハウジング側部材１６２との間に形成される他の収容空間内には、隔壁部材１８３を介して第３の圧力発生手段と第４の圧力発生手段が配置される。

　また、本実施形態では、他の支持台側部材１６１は、支持台４３側に突設された円環状部１６１ａが支持台４３の貫通孔４３ａに嵌合して、複数のボルト（図示せず）で支持台４３に固定されている。さらに、ハウジング位置調整機構６０の支持台側部材６１と他のハウジング位置調整機構１６０の他の軸受ハウジング側部材１６２とが、単一部材により、又は、両者を接続することにより、一体に構成されている。

　このように、２つのハウジング位置調整機構６０，１６０が軸方向に直列に配置されることで、ねじ軸の伸長がより一層大きい場合でも、ボールねじ送り装置２０の軸方向剛性の維持が安定的に可能となるほか、軸方向の調芯性や同軸性も高めることができる。

　なお、他のハウジング位置調整機構１６０は、図１２に示すような、ハウジング位置調整機構６０と同じ構成に限定されず、他の支持台側部材１６１と他の軸受ハウジング側部材１６２との間に形成される他の収容空間に圧縮された状態で収容される第３の圧力発生手段を少なくとも有するものであればよい。例えば、他の収容空間には、隔壁部材が設けられず、第３の圧力発生手段として、複数の皿ばね７０のみが配置される構成でもよい。
　また、第２の支持機構４０は、２つのハウジング位置調整機構６０，１６０を有するものの他、３つ以上のハウジング位置調整機構を有するものであってもよく、複数のハウジング位置調整機構が軸方向に直列に配置される構成であればよい。
　その他の構成及び作用については、第１実施形態のものと同様である。

　なお、第１～第４実施形態では、第２の支持機構の軸受ユニットに適用される一対のアンギュラ玉軸受は、正面組合せで配置されているが、組合せ配列はこれに限らない。即ち、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３は、図１３に示すような背面組合せや、図１４に示すような並列組合せ等、各種支持形態で配置されてもよい。なお、図１３に示すように、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３が背面組合せで配置される場合、ねじ軸２１の大径部２４と小径部２５との間の段差と、軸方向内側のアンギュラ玉軸受５３の内輪５５との間に内輪間座４９が配置されることもある。
　また、第１の支持機構の一対のアンギュラ玉軸受３３，３３も、正面組合せで配置されているが、背面組合せや並列組合せ等、各種支持形態で配置されてもよい。
　さらに図示しないが、アンギュラ玉軸受３３，５３は、必ずしも２つのアンギュラ玉軸受で構成されるものでなく、３つ以上のアンギュラ玉軸受で構成されることも可能である。

　さらに、上記実施形態では、他のハウジング位置調整機構１６０は、ハウジング位置調整機構６０と軸方向に隣接して配設されているが、これに限らず、ハウジング位置調整機構６０と径方向に隣接して並列的に配置される構成であってもよい。
　これにより、ボールねじ送り装置２０の軸方向寸法を抑えながら、単独のハウジング位置調整機構を配置したときよりも大きな軸方向荷重を発生させた状態で、ボールねじ送り装置２０の軸方向剛性の維持が可能になる。

　また、上記実施形態では、環状凹部が軸受ハウジング側部材に設けられ、環状凸部が支持台側部材に設けられているが、本発明はこれに限らず、環状凹部が支持台側部材に設けられ、環状凸部が軸受ハウジング側部材に設けられてもよい。

　さらに、上記実施形態では、環状空間６６は、環状凹部６４及び環状凸部６５によって環状に形成されているが、周方向に複数の凹部と凸部を形成して、複数の収容空間にそれぞれ隔壁部材を配置してもよい。さらに、この場合、凹部の内周面と凸部の外周面との間にＯリングを配置して、流体の漏れ及び減衰機能を有する構成としてもよく、また、凸部の外周面に開口する貯留室と、該貯留室と第２空間とを連通するオリフィスとを設けて、追加の減衰機能を有する構成としてもよい。

　例えば、図１５（ａ）に示すように、周方向に４箇所の収容空間６６ｙが、ねじ軸２１周りに配置されていてもよく、図１５（ｂ）に示すように、径方向に隣接して並列される２つの収容空間６６ｙが、周方向に４箇所、即ち、合計で８個の収容空間６６ｙがねじ軸２１周りに配置されてもよい。或いは、図１６（ａ）に示すように、周方向に２箇所の収容空間６６ｙ、即ち、ねじ軸２１に対して幅方向（Ｙ方向）両側の収容空間６６ｙが、ねじ軸２１周りに配置されていてもよく、図１６（ｂ）に示すように、径方向（本例では、幅方向）に隣接して並列される３つの収容空間６６ｙが、周方向に２箇所、即ち、合計で６個の収容空間６６ｙがねじ軸２１周りに配置されてもよい。この場合、支持台側部材６１や軸受ハウジング側部材６２の高さ寸法を抑制することができる。

　さらに、図１７に示すように、周方向に２箇所の収容空間６６ｙ、即ち、ねじ軸２１に対して上下方向両側の収容空間６６ｙが、ねじ軸２１周りに配置されていてもよい。この場合、支持台側部材６１や軸受ハウジング側部材６２の幅寸法を抑制することができる。

　ここで、図１８は、図１６（ａ）のＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩ線に沿った概略断面図である。この場合、２箇所の収容空間６６ｙは、凹部６４ｘと凸部６５ｘとでそれぞれ構成される。
　なお、図中、凸部６５ｘは、支持台側部材６１の基部と一体に構成されているが、基部と別体に構成されて結合されてもよい。

　なお、複数の収容空間６６ｙは、軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２が、熱膨張によるねじ軸２１の軸方向伸びに追従して、同方向に安定して移動できる構成であれば、任意に配置することができ、具体的には、ねじ軸２１に直交する平面上において点対称又は線対称に配置されることが好ましい。また、複数の収容空間６６ｙは、軸方向にオフセットした配置であってもよい。

　さらに、隣接する収容空間６６ｙは、圧力均一化などを目的として必要に応じて連通路を介して連通していてもよく、内部の作動流体が隣接する収容空間６６ｙ内を流通してもよい。
　例えば、図１６（ｂ）及び図１７では、隣接する収容空間６６ｙのうち、各第１空間６６Ａ及び各第２空間６６Ｂは、各々の連通路６６ｘを介して連通している。

　また、支持台側部材６１や軸受ハウジング側部材６２は、単一部材で構成されるものに限らず、収容空間６６ｙのレイアウトに応じて、ねじ軸２１回りに配置されるようにして分割して構成されてもよい。さらに、単一部材である支持台側部材６１や軸受ハウジング側部材６２も、ねじ軸２１回りに配置されるようにして、周方向の一部が開口や分割して構成されてもよい。
　例えば、図１６（ｂ）では、２つの支持台側部材６１や軸受ハウジング側部材６２が、ねじ軸２１に対して幅方向に分割して構成されている。

　また、収容空間６６ｙを構成する凹部や凸部は、断面円形に限定されず、矩形など任意の形状とすることができる。さらに、複数の収容空間６６ｙは、断面寸法も軸方向寸法もそれぞれ任意に構成することができる。

　このように複数の収容空間６６ｙを有する場合においても、各収容空間６６ｙ内に配置される隔壁部材８３によって、各収容空間６６ｙが第１空間６６Ａと第２空間６６Ｂに軸方向に区分され、第１空間６６Ａに任意の構成の第１の圧力発生手段が圧縮された状態で収容され、第２空間６６Ｂに任意の構成の第２の圧力発生手段が圧縮された状態で収容される。

（第５実施形態）
　上述した実施形態及び変形例のハウジング位置調整機構６０では、ねじ軸２１が軸方向へ伸びた際に、環状空間６６の容積が大きくなり、圧縮された状態の複数の皿ばね７０及び中空部材９０が、圧力を徐々に下げながら、軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２を左方へ押圧する。これにより、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３が軸方向に移動されて、ねじ軸２１の軸方向の支持剛性を維持している。

　しかしながら、第５実施形態では、図１９に示すようなハウジング位置調整機構６０を用いて、ねじ軸２１の軸方向の支持剛性を維持している。具体的に、ねじ軸２１が軸方向に伸びた際に、ねじ軸２１と共に移動する一対のアンギュラ玉軸受５３，５３を介して軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２は左方へ移動し、環状空間６６の容積が小さくなる。一方、複数の皿ばね７０及び中空部材９０の圧力が徐々に上がると、軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２は右方へ押圧される。したがって、ねじ軸２１の軸方向の伸びを許容するように環状空間６６の容積や、複数の皿ばね７０及び中空部材９０の圧力を調整することで、ねじ軸２１の軸方向の支持剛性を維持することができる。

　この場合、支持台側部材６１は、支持台４３に取り付けられる環状基部６１ｂの小径部分から軸受ハウジング５１側に延在する小径円筒部６１ｃと、小径円筒部６１ｃの先端部から外径側に向かう外向きフランジ部６１ｄと、を有する。軸受ハウジング側部材６２は、移動側軸受ハウジング５１に取り付けられる環状基部６２ｂの大径部分から支持台４３側に延在する大径円筒部６２ｃと、大径円筒部６２ｃの先端部から内径側に向かう内向きフランジ部６２ｄと、を有する。

　支持台側部材６１の外向きフランジ部６１ｄは、軸受ハウジング側部材６２の環状基部６２ｂと内向きフランジ部６２ｄとの間で軸方向に相対移動可能で、その外周面は、大径円筒部６２ｃの内周面とＯリング６７を介して摺接している。また、軸受ハウジング側部材６２の内向きフランジ部６２ｄは、支持台側部材６１の環状基部６１ｂと外向きフランジ部６１ｄとの間で軸方向に相対移動可能で、その内周面は、小径円筒部６１ｃの外周面とＯリング６７を介して摺接している。したがって、環状空間６６は、支持台側部材６１の小径円筒部６１ｃ及び外向きフランジ部６１ｄと、軸受ハウジング側部材６２の大径円筒部６２ｃ及び内向きフランジ部６２ｄとで仕切られて形成される。そして、この環状空間６６が隔壁部材８３によって仕切られ、第１空間６６Ａに、複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０が収容され、第２空間６６Ｂに、中空部材９０及び第２の作動流体８１が収容されている。

　また、この場合も、第１及び第２の圧力発生手段では、４度よりも高い温度上昇があっても、ねじ軸２１の軸伸びに応じて環状空間６６が軸方向に狭まった際、軸受ハウジング側部材６２に作用する圧力によってねじ軸２１に所望の軸方向剛性が与えられるように、ばね特性や、中空部材９０の材料、第１及び第２の作動流体８０，８１が適宜選択される。

　このようにして環状空間６６を形成することで、ねじ軸２１が熱膨張により軸方向に伸びた際に、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３、軸受ハウジング５１、及び軸受ハウジング側部材６２は、環状空間６６内の複数の皿ばね７０、中空部材９０、第１及び第２の作動流体８０，８１を圧縮しながら、図中左方へ移動することで、ねじ軸２１の軸方向の支持剛性を維持することができる。

　また、Ｏリング６７Ａが大径円筒部６２ｃの内周面と隔壁部材８３の外周面との間、及び小径円筒部６１ｃの外周面と隔壁部材８３の内周面との間に装着される。また、Ｏリング６７が内向きフランジ部６２ｄの内周面と小径円筒部６１ｃの外周面との間、及び外向きフランジ部６１ｄの外周面と大径円筒部６２ｃの内周面との間に装着される。これにより、第２空間６６Ｂに充填された第２の作動流体８１の漏れを防止することができ、また、減衰機構としても作用して、ねじ軸２１に生じる振動を減衰させることができる。

　さらに、内向きフランジ部６２ｄの内周面と小径円筒部６１ｃの外周面との間の隙間には、第１の作動流体８０が貯留され、外向きフランジ部６１ｄの外周面と大径円筒部６２ｃの内周面との間の隙間には、第２の作動流体８１が貯留されている。したがって、隙間に作用する第１及び第２の作動流体８０，８１の径方向への圧力によって、軸受ハウジング側部材６２と支持台側部材６１との間での径方向の支持剛性及び調心性を高めることができる。その結果、ハウジング位置調整機構６０は、ねじ軸２１に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、ねじ軸２１に対する調心機能も有することができる。
　なお、同様の調心効果は、隔壁部材８３と小径円筒部６１ｃとの間の隙間、及び、隔壁部材８３と大径円筒部６２ｃとの間の隙間に貯留する作動流体８０，８１によってももたらされる。

　なお、支持台側部材６１及び軸受ハウジング側部材６２は、それぞれ単一部材によって構成されてもよいが、図１９に示すように、組み立て性を考慮して、それぞれ二部材９１，９２、９３，９４でＯリング６７を挟んだ状態で構成することもできる。
　また、Ｏリング６７およびシール溝６８は、各対向面間にそれぞれ１つずつ配置されているが、複数配置されてもよい。

　また、図１９に代えて、支持台側部材６１が、大径円筒部及び内向きフランジ部を有し、軸受ハウジング側部材６２が、小径円筒部及び外向きフランジ部を有して、環状空間を構成するようにしてもよい。

　さらに、このようなハウジング位置調整機構６０は、図２０に示すように、外向きフランジ部６１ｄに貯留室７１及びオリフィス７２を設けて、第１実施形態と同様に、第２空間６６Ｂ及び貯留室７１内の第２の作動流体８１がオリフィス７２、及び、大径円筒部６２ｃの内周面と外向きフランジ部６１ｄの外周面との間の隙間を通過することで、ねじ軸２１の振動を減衰させる機能を備えてもよい。

　なお、貯留室及びオリフィスは、内向きフランジ部６２ｄ内に形成されてもよく、第１の作動流体８０を貯留する貯留室は、小径円筒部６１ｃの外周面に開口するようにしてもよい。
　また、図１９に示すような、オリフィスを有しない構成においては、主としてＯリング６７における減衰機能を活用することができる。

　また、このようなハウジング位置調整機構６０においても、一対のアンギュラ玉軸受５３，５３は、図１９及び図２０に示す正面組合せで配置されてもよいし、図２０に示す背面組合せで配置されてもよいし、並列組合せ等、各種支持形態で配置されてもよい。
　加えて図示はしないが、一対のアンギュラ玉軸受は必ずしも２つのアンギュラ玉軸受で構成されるものではなく、３つ以上の玉軸受で構成されることも可能である。

　さらに、第５実施形態のハウジング位置調整機構６０は、図２２及び図２３に示すように、第２実施形態と同様、内向きフランジ部６２ｄの内周面及び外向きフランジ部６１ｄの外周面に形成されたシール溝６８及び隔壁部材８３の外周面及び内周面に形成されたシール溝６８Ａは、第２空間６６Ｂ側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面６９ａと、テーパ面６９ａの軸方向両端縁から径方向に沿って延在する円輪状の軸方向両側面６９ｂ，６９ｃと、によって構成されてもよい。

　したがって、第２空間６６Ｂ内の第２の作動流体８１の圧力が高まることで、Ｏリング６７が大気圧側または第１空間６６Ａ側に押されるにつれ、Ｏリング６７はシール溝６８，６８Ａのテーパ面６９ａと、対向する小径円筒部６１ｃの外周面や大径円筒部６２ｃの内周面との間のくさび構造によってシール性をより向上させる。この結果、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体８１の大気圧側または第１空間６６Ａ側への漏れを防止して、ボールねじ送り装置２０の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

　なお、本変形例においては、図２２に示すように、支持台側部材６１を構成する二部材９１，９２の対向面のいずれかに形成されるシール溝６８、及び軸受ハウジング側部材６２を構成する二部材９３，９４の対向面のいずれかに形成されるシール溝６８も、第２空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面６９ａを有してもよい。

　また、本変形例の場合も、Ｏリング６７と、内向きフランジ部６２ｄの内周面及び小径円筒部６１ｃの外周面の少なくとも一方との間、及び、Ｏリング６７と、外向きフランジ部６１ｄの外周面及び大径円筒部６２ｃの内周面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在されてもよい。

　この場合も、耐摩耗性部材５９は、図２２に示すような、テーパ面６９ａを有するシール溝６８において、Ｏリング６７と該Ｏリング６７の対向面との間に介在させてもよいし又は、図１４に示すような、溝深さが均一なシール溝６８において、Ｏリング６７と該Ｏリング６７の対向面との間に介在させてもよい。

　さらに、第５実施形態のハウジング位置調整機構６０は、図２４に示すように、第３実施形態と同様、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２に、発熱体１３０，１３１や冷却媒体１３２，１３３などの作動媒体体積変更部を設けるようにしてもよい。

　これにより、第３実施形態で説明したように、使用されるボールねじ送り装置２０の状態に応じて、発熱体１３０，１３１によって第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内の中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積を膨張させたり、冷却媒体１３２，１３３によって、第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内の中空部材９０と第１及び第２作動流体８０，８１の体積を収縮させたりして、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

　また、第５実施形態のハウジング位置調整機構６０では、図２５に示すように、第４実施形態と同様、第２の支持機構４０が、軸受ユニット４１と支持台４３との間に、ハウジング位置調整機構６０と他のハウジング位置調整機構１６０とを軸方向に直列に配置したタンデム構成としてもよい。

　この場合も、他のハウジング位置調整機構１６０の他の支持台側部材１６１は、環状基部１６１ｂと小径円筒部１６１ｃと外向きフランジ部１６１ｄと、を有し、他の軸受ハウジング側部材１６２は、環状基部１６２ｂと大径円筒部１６２ｃと内向きフランジ部１６２ｄと、を有する。また、他のハウジング位置調整機構１６０の他の支持台側部材１６１と他の軸受ハウジング側部材１６２とは、それぞれ二部材１９１，１９２，１９３，１９４から構成されている。さらに、ハウジング位置調整機構６０の支持台側部材６１と他のハウジング位置調整機構１６０の他の軸受ハウジング側部材１６２とが、互いに接続されて、一体に構成されている。

　また、本実施形態においても、第４実施形態と同様、第２の支持機構４０は、複数のハウジング位置調整機構が軸方向に直列に配置される構成でもよく、或いは、径方向に並列に配置される構成でもよい。

（第６実施形態）
　次に、図２６を参照して本発明の第６実施形態に係るボールねじ送り装置について説明する。なお、本実施形態では、収容空間を第１空間及び第２空間部に区分する隔壁部材が、ダイヤフラム１５０によって構成される点において、第１実施形態のものと異なる。

　具体的に、本実施形態では、環状凹部６４の内向き面６４ａ及び外向き面６４ｂには、底部の径方向寸法が狭まるように段差部６４ａ１，６４ｂ１が形成されている。リング状のダイヤフラム１５０は、内周縁部及び外周縁部が環状凹部６４の段差部６４ａ１，６４ｂ１に位置決め固定されている。ダイヤフラム１５０は、樹脂や金属などで構成される膜構造をなし、その径方向中央部分が軸方向に変形可能である。

　また、本実施形態では、第１の圧力発生手段は、第１空間６６Ａに充填される第１の作動流体（例えば、気体）８０とし、第２の圧力発生手段は、第２空間６６Ｂに充填される第２の作動流体（例えば、作動油）８１としている。

　これにより、ダイヤフラム１５０は、第１空間６６Ａ及び第２空間６６Ｂの各圧力によって軸方向に変形して、第１空間６６Ａ及び第２空間６６Ｂの圧力の均衡を図りながら、軸受ハウジング側部材６２に圧力を付与することができる。したがって、本実施形態においても、熱の影響によりねじ軸２１の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。
　その他の構成及び作用については、第１実施形態のものと同様である。

　尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。また、本明細書中に記載の各実施形態及び各変形例は、実施可能な範囲において組み合わせて適用可能である。
　例えば、第１～第５実施形態では、第１の圧力発生手段として、第１空間６６Ａに、複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０が収容され、第２の圧力発生手段として、第２空間６６Ｂに、中空部材９０と第２の作動流体８１が収容される構成としたが、第１の圧力発生手段及び第２の圧力発生手段はこれに限らない。

　具体的に、第１実施形態のハウジング位置調整機構６０において、図２７に示すように、第１の圧力発生手段は、第１空間６６Ａに充填される第１の作動流体（例えば、気体）８０とし、第２の圧力発生手段は、第２空間６６Ｂに充填される第２の作動流体（例えば、作動油）８１としてもよい。

　また、図２８に示すように、第１の圧力発生手段は、第１空間６６Ａに収容される球体状の中空部材９０Ａと皿ばね７０と、中空部材９０Ａと皿ばね７０の周囲に充填される第１の作動流体（例えば、作動油）８０と、を備え、第２の圧力発生手段は、第２空間６６Ｂに収容される中空部材９０と、中空部材９０Ａの周囲に充填される第２の作動流体（例えば、作動油）８１と、を備える構成としてもよい。

　即ち、本実施形態のボールねじ送り装置２０において、第１の圧力発生手段及び第２の圧力発生手段は、以下（ａ）～（ｄ）のいずれかの構成とすることができる。
（ａ）　第１の圧力発生手段は、第１空間に充填される第１の作動流体であり、第２の圧力発生手段は、第２空間に充填される第２の作動流体である、
（ｂ）　第１の圧力発生手段は、第１空間に充填される第１の作動流体であり、第２の圧力発生手段は、第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える。
（ｃ）　第１の圧力発生手段は、第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、第２の圧力発生手段は、第２空間に充填される第２の作動流体である。
（ｄ）　第１の圧力発生手段は、第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、第２の圧力発生手段は、第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える。

　さらに、各空間６６Ａ，６６Ｂには、これらにかぎらず、圧縮された状態で収容され、軸受ユニット４１及び軸受ハウジング側部材６２を押圧する圧力を発生できる他の構成の圧力発生手段が配置されてもよい。

　また、上記した環状空間には、必要に応じて補助アキュムレータや作動を供給する外置きポンプを接続することもできる。さらに、環状空間は、第１及び第２の作動流体の圧力や一対のアンギュラ軸受５３，５３に付与される荷重をモニタリングすることで、ボールねじ送り装置の状態を診断したり補正するようにしてもよい。

　また、第１～第４及び第６実施形態では、環状凹部６４の内向き面６４ａと隔壁部材８３の外周面との間、及び環状凹部６４の外向き面６４ｂと隔壁部材８３の内周面との間に、Ｏリング６７Ａが装着されているが、これに限らず、第１空間６６Ａ内から第１の作動流体８０が漏れることを防止するためのシール部材が配置されればよい。
　同様に、環状凸部６５の外向き面６５ａと環状凹部６４の内向き面６４ａとの間、及び環状凸部６５の内向き面６５ｂと環状凹部６４の外向き面６４ｂとの間に、Ｏリング６７が装着されているが、これに限らず、第２空間６６Ｂ内から第２の作動流体８１が漏れることを防止するためのシール部材が配置されればよい。
　また、第６実施形態においても、大径円筒部６２ｃの内周面と隔壁部材８３の外周面との間、及び小径円筒部６１ｃの外周面と隔壁部材８３の内周面との間には、Ｏリング６７Ａが装着されているが、これに限らず、第１空間６６Ａ内から第１の作動流体８０が漏れることを防止するためのシール部材が配置されればよい。
　同様に、外向きフランジ部６１ｄの外周面と大径円筒部６２ｃの内周面との間、及び内向きフランジ部６２ｄの内周面と小径円筒部６１ｃの外周面との間には、Ｏリング６７が装着されているが、これに限らず、第２空間６６Ｂ内から第２の作動流体８１が漏れることを防止するためのシール部材が配置されればよい。
　さらに、シール部材は、第１及び第２空間６６Ａ，６６Ｂ内から作動流体８０，８１が漏れることを防止するだけでなく、Ｏリング６７，６７Ａと同様に、ねじ軸２１の振動を減衰させるものがより好ましい。

　また、収容空間はかならずしも環状であるある必要はなく、適宜分割されて構成されてもよい。これに伴い、圧力発生手段を構成する皿ばねや中空部材についても、分割されてもよい。
　また、場合によっては、皿ばねは、コイルばねなどの別形態で構成されることも可能である。
　さらに、中空部材の形状は、環状や球体状に限らず、半円弧状などであってもよい。

　また、中空部材９０は、継ぎ目なく一体的に結合されるものとしてもよいが、これに限らず、例えば、２つ以上の部材の縁部を介して、これら２つ以上の部材を一体化することで構成される、中空断面を持った結合体としてもよい。或いは、中空部材９０は、部材を湾曲させ、部材の縁部を結合することで中空断面を構成するようにしてもよい。

　具体的に、図２９～図３１に示すリング状の部材を前提とした変形例では、中空部材９０は、２つ以上のリング状部材１０１，１０２の両周縁部に形成されたリブ１０１ａ，１０２ａを介して、これらリング状部材１０１，１０２を結合して一体化することで構成される、中空断面を持った結合体としている。リング状部材１０１，１０２を結合する方法としては、接着、溶融接合、機械的なロック機構による接続などから適切な方法が選択されればよい。

　例えば、図２９（ａ）～（ｃ）に示すように、半径方向に２分割された外径側リング状部材１０１と内径側リング状部材１０２とで構成し、リング状部材１０１，１０２の円弧状部分１０１ｂ，１０２ｂとで中空断面を形成する。また、図２９（ａ）及び（ｂ）では、リブ１０１ａ，１０２ａは、いずれか一方をいずれか他方よりも長くして、接着や溶融接合によって互いに結合されており、特に、図２９（ｂ）に示すように、長いリブ１０２ａの先端を屈曲させて、リブ１０２ａが短いリブ１０１ａの側面を覆うようにしてもよい。さらに、図２９（ｃ）に示すように、長いリブ１０２ａの先端が短いリブ１０１ａの先端を覆うように、連続または不連続なコの字状の締結構造で内部を密閉するように結合してもよい。

　或いは、図３０（ａ）～（ｃ）に示すように、中空部材９０は、軸方向に２分割された左側リング状部材１０１と右側リング状部材１０２とで構成し、リング状部材１０１，１０２の円弧状部分１０１ｂ，１０２ｂとで中空断面を形成する。また、図３０（ａ）及び（ｂ）においても、リブ１０１ａ，１０２ａは、いずれか一方をいずれか他方よりも長くして、接着や溶融接合によって互いに結合されており、特に、図３０（ｂ）に示すように、長いリブ１０２ａの先端を屈曲させて、リブ１０２ａが短いリブ１０１ａの側面を覆うようにしてもよい。さらに、図３０（ｃ）に示すように、長いリブ１０２ａの先端が短いリブ１０１ａの先端を覆うように、連続または不連続なコの字状の締結構造で内部を密閉するように結合してもよい。

　また、図３１（ａ）及び（ｂ）に示すように、中空部材９０は、２分割されたリング状部材１０１，１０２のリブ１０１ａ，１０２ａの対向面の少なくとも一方（図３１（ａ）では、リブ１０１ａ、図３１（ｂ）では、リブ１０１ａ，１０２ａ）に、縁部近傍のシール溝１０１ａ１，１０２ａ１を形成し、Ｏリング１０３のようなシール部材を配置して、内部の密封性能を向上してもよい。

　さらに、図３２（ａ）～（ｃ）に示すリング状の部材を前提とした変形例では、中空部材９０は、断面帯状のリング状部材１０４を全周に亘って中空断面をなすように湾曲させ、リング状部材１０４の周縁部に形成されたリブ１０４ａ，１０４ｂ同士を結合して構成してもよい。この場合も、リング状部材１０４を結合する方法としては、接着、溶融接合、機械的なロック機構による接続などから適切な方法が選択されればよい。

　即ち、図３２（ａ）及び（ｂ）では、リブ１０４ａ，１０４ｂは、いずれか一方をいずれか他方よりも長くして、接着や溶融接合によって互いに結合されており、特に、図３２（ｂ）に示すように、長いリブ１０４ｂの先端を屈曲させて、リブ１０４ｂが短いリブ１０４ａの側面を覆うようにしてもよい。さらに、図３２（ｃ）に示すように、長いリブ１０４ｂの先端が短いリブ１０４ａの先端を覆うように、連続または不連続なコの字状の締結構造で内部を密閉するように結合してもよい。

　このように、図２９～図３２に示す構成とすることで、変形可能な中空部材９０を容易に製造することができる。
　なお、リング状部材１０１，１０２，１０４の周縁部は、図２９～図３２に示すような、リブ１０１ａ，１０２ａ，１０４ａ，１０４ｂを有しない構成であってもよい。即ち、リング状部材１０１，１０２の円弧状部分１０１ｂ、１０２ｂの周縁部を適切な結合方法によって結合して中空部材９０を構成してもよく、或いは、リング状部材１０４の湾曲された部分の周縁部を適切な結合方法によって結合して中空部材９０を構成してもよい。
　また、図２９～図３２に示す構成は、リング状部材を前提とするものに限らず、球体状や、半円弧状のものを構成するための平面状部材や湾曲部材にも適用することができる。

　また、いずれの実施形態においても、第２の作動流体８１は、第２空間６６Ｂに充填されたうえで、外部から密封される必要がある。この際、例えば、図２に示すハウジング位置調整機構６０では、図３３（ａ）に示すように、軸受ハウジング側部材６２に、第２の作動流体８１を第２空間６６Ｂに充填するための給油路１０９が環状凹部６４の内向き面６４ａと軸受ハウジング側部材６２の外周面との間を径方向に貫通して形成されてもよい。

　そして、軸受ハウジング側部材６２の外周面には、給油路１０９内に形成された雌ねじ部１０９ａに螺合して、給油路１０９を塞ぐ止め栓ボルト１１０が取り付けられてもよい。また、止め栓ボルト１１０の雄ねじの部分には、図示しないシールテープが巻回されたり、リーク防止剤が塗布や充填されるなどにより、雄ねじと雌ねじ部１０９ａとの間のすき間を埋めることで、圧縮状態で充填された第２の作動流体８１の漏れをより確実に防止することができる。

　また、軸受ハウジング側部材６２の外周面に対向する止め栓ボルト１１０の頭部の対向面には、環状のシール溝１１０ａが形成されてもよい。これにより、シール溝１１０ａには、Ｏリング１１１が取り付けられて、止め栓ボルト１１０のシール性を向上させることができる。
　なお、図３３（ｂ）に示すように、止め栓ボルト１１０のシール溝１１０ａの底面は、さらにシール性を向上するように、テーパ状に形成されてもよい。

　また、給油路１０９を塞ぐ部材としては、止め栓ボルト１１０の代わりに止め栓プラグであってもよく、例えば、図３４（ａ）に示すような、テーパ状の止め栓プラグ１１２によって、給油路１０９が塞がれてもよい。この場合、止め栓プラグ１１２は、給油路１０９の外径側に形成された雌ねじ部１０９ａに螺合して、給油路１０９に固定される。また、図３４（ｂ）に示すように、給油路１０９は、外径側でテーパ状の雌ねじ部１０９ａを有し、雌ねじ部を有しないストレート部分１０９ｂが、段付き孔１０９ｃを介して雌ねじ部１０９ａと連続する。この際、止め栓プラグ１１２は、段付き孔１０９ｃに円盤状部材１１３を収容した状態で、雌ねじ部１０９ａに締結されてもよい。この場合、止め栓プラグ１１２は、円盤状部材１１３を変形させながら、雌ねじ部１０９ａに締結されるので、円盤状部材１１３と段付き孔１０９ｃの接触面との間で密封性が確保される。
　また、止め栓プラグ１１２の雄ねじの部分にも、図示しないシールテープが巻回されたり、リーク防止剤が塗布や充填されるなどにより、雄ねじと雌ねじ部１０９ａとの間のすき間を埋めることで、良好なシール性が与えられるようにしてもよい。

　なお、図３４（ｃ）に示すように、円盤状部材１１３は、段付き孔１０９ｃとの接触面を構成する弾性変形部材１１４と一体化してもよい。或いは、図３４（ｄ）に示すように、円盤状部材１１３は、段付き孔１０９ｃとの接触面に環状のシール溝１１３ａを形成し、Ｏリング１１５を配置してもよい。

　また、第２空間６６Ｂと連通する給油路１０９は、径方向に貫通して形成される構成に限らず、第２空間６６Ｂを構成するいずれかの部材を軸方向に貫通して形成されてもよい。

　さらに、支持台は、ハウジング位置調整機構の支持台側部材を直接又は間接的に支持する構成であればよく、上記実施形態のように、回転軸が貫通する構成に限らず、回転軸回りに配置される構成でもよく、任意の形状に設計することができる。

（他のボールねじ送り装置への適用）
　また、図１のボールねじ送り装置２０では、駆動モータ１２は第１の支持機構３０により支持されるねじ軸２１の一方側（図１中右側）で連結されているが、本発明はこれに限らない。即ち、図３５のボールねじ送り装置２０のように、駆動モータ１２が、第２の支持機構４０により支持されるねじ軸２１の他方側（図３５中左側）で連結されてもよい。
この場合、駆動モータ１２は、基台１に固定され、ねじ軸２１が貫通する他の支持台８５によって支持される。また、ねじ軸２１が熱膨張によって軸方向に伸びた際に、小径軸部２７が軸方向に移動できるように、小径軸部２７の先端は、駆動モータ１２の回転軸１２ａから離れてカップリング２８内に配置されている。

　従って、本発明は、例えば、工作機械（マシニングセンター、旋盤、研削機等）、測定機械（３次元測定器）、半導体製造装置（露光装置、検査プローブ等のテーブル）、検査装置等のように、高精度な加工、測定を行う装置の位置決め用途や半導体製造等に使用されるボールねじ送り装置として自由度高く用いることができる。

　また、上記実施形態では、支持台４３は、軸受ユニット４１に対して軸方向中央側に配設されているが、本発明は、これに限らず、軸受ユニット４１より軸方向端部側に配設されてもよい。即ち、支持台４３は、ハウジング位置調整機構６０の構成や作用に応じて、軸受ユニット４１に対して軸方向中央側に配設されてもよく、軸方向端部側に配設されてもよい。

　例えば、図３６及び図３７に示す形態では、支持台４３は、軸受ユニット４１より軸方向端部側に設けられる。この場合、支持台側部材６１は支持台４３に直接又は間接的に取り付けられればよく、軸受ハウジング側部材６２は、軸受ハウジング５１に直接又は間接的に取り付けられればよい。また、内輪５５と締結ナット３８ｂとの間に配置される間座４８ａが、支持台４３の貫通孔４３ａ、支持台側部材６１及び軸受ハウジング側部材６２の内部を通過する。

　また、図３８及び３５に示す形態では、支持台４３は、軸受ユニット４１より軸方向端部側に配設される一方、貫通孔４３ａを有する本体部分から軸方向に延びて、ハウジング位置調整機構６０の周囲を囲う外筒部４３ｂによって、軸受ユニット４１に対して軸方向中央側に配設される支持台側部材６１と固定されている。この場合も、支持台側部材６１は支持台４３に直接又は間接的に取り付けられればよく、軸受ハウジング側部材６２は、軸受ハウジング５１に直接又は間接的に取り付けられればよい。また、内輪５５と締結ナット３８ｂとの間に配置される間座４８ａは、支持台４３の貫通孔４３ａ内を通過する。

（ボールねじ送り装置以外への適用）
　また、上述した実施形態では、ボールねじ送り装置について説明しているが、本発明は、ボールねじ送り装置以外にも、回転軸の軸方向両端部を一対の支持機構によって回転自在に支持する回転支持装置において適用可能である。即ち、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化するような場合、上記実施形態のようなハウジング位置調整機構を用いて、回転軸の軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持するように構成することができる。また、上記実施形態のハウジング位置調整機構を用いることで、軸方向における振動を減衰することができる。

　例えば、図４０に示すように、回転支持装置１２０は、回転軸１２１と、回転軸１２１の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構３０，４０と、を備える。
　支持機構３０は、基台１に固定された軸受ハウジング３１と、軸受ハウジング３１に対して回転軸１２１を回転自在に支持する軸受３３，３３、即ち、正面組合せで配置された一対のアンギュラ玉軸受３３，３３と、を備える。

　また、支持機構４０は、軸受ハウジング５１と、軸受ハウジング５１に対して回転軸１２１を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受５３，５３、即ち、正面組合せで配置された一対のアンギュラ玉軸受５３，５３と、を備える軸受ユニット４１と、軸受ユニット４１より軸方向中央側に配設され、回転軸１２１が貫通する支持台４３と、軸受ユニット４１と支持台４３との間に配設されたハウジング位置調整機構６０と、を備える。

　そして、ハウジング位置調整機構６０は、支持台４３側に設けられ、回転軸１２１が貫通する支持台側部材６１と、軸受ハウジング５１側に設けられ、回転軸１２１が貫通し、支持台側部材６１に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材６２と、支持台側部材６１と軸受ハウジング側部材６２との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間６６Ａ及び第２空間６６Ｂに軸方向に区分する隔壁部材８３と、第１空間６６Ａに圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段（図では、複数の皿ばね７０及び第１の作動流体８０）と、第２空間６６Ｂに圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段（図では、中空部材９０と第２の作動流体８１）と、を備える。
　なお、図４０中、上記実施形態と同一符号を付したものについては、実質的に同一であるとして、説明を省略又は簡略化する。その他、ボールねじ送り装置２０において説明した各種構造は、回転支持装置についても適用可能であり、同様の効果を奏する。

　また、上記回転支持装置１２０の支持機構３０，４０の各軸受３３，５３は、上記実施形態のようなアンギュラ玉軸受であってもよいが、これに限らず、軸方向荷重を支承可能なころ軸受や滑り軸受であってもよい。このような軸方向荷重を支承可能な軸受を用いることで、特に、支持機構４０において、上記実施形態のような締結ナット３８ｂの締め付けによって軸受を介して第１及び第２の圧力発生手段を圧縮することができる。

　また、図４０では、ハウジング位置調整機構６０を有する第２の支持機構４０が、回転軸１２１の端部を支持する構成としているが、図４１に示すように、ハウジング位置調整機構６０を有する第２の支持機構４０は、駆動モータ１２を支持する他の支持台８５寄りの位置で、回転軸１２１を支持する構成としてもよい。

　例えば、図４１に示すような回転支持装置１２０が、工作機械において工具を回転させる主軸装置に適用される場合、支持機構３０が支持する回転軸１２１の端部に工具を取り付けることで、回転軸１２１の軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持しつつ、工具の軸方向の位置決めが確実に行われ、高精度な加工が実現できる。

　なお、図４０及び図４１に示される回転支持装置１２０において、駆動モータ１２は必ずしも回転軸１２１と同軸配置される必要はなく、例えば、プーリや歯車列などを介して駆動モータの動力が回転軸１２１に伝達されてもよい。

　加えて、駆動モータ１２は、必ずしも回転軸１２１と同軸に配置される別体のものに限定されず、例えば、回転軸１２１にビルトインモータが直接構成されてもよい。
　また、回転支持装置１２０としては、支持体として、第１の支持機構３０の軸受ハウジング３１と第２の支持機構４０の支持台４３とが一体化されたハウジングケースとしてもよい。

　なお、ボールねじ送り装置以外の回転支持装置においても、図３６～図３９に示したように、支持台は、軸受ユニットに対して軸方向端部側に配設されてもよい。

　また、上記実施形態では、ハウジング位置調整機構は、回転軸を支持する軸受の軸受ハウジングの軸方向位置を調整する機構として説明しているが、本発明はこれに限定されず、軸支持装置の支持機構位置調整機構として適用できる。即ち、軸は回転軸に限定されず、また、支持機構は軸受を有する構成にも限定されず、軸支持装置は、軸と、軸を支持するため、軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備え、一対の支持機構の一方は、軸が貫通、又は軸回りに配置される支持体（例えば、上記実施形態における支持台４３）を有する構成であればよい。

　したがって、軸支持装置の支持機構位置調整機構として、軸側と支持体側の一方に設けられ、軸が貫通、又は軸回りに配置可能な第１の部材（例えば、上記実施形態における支持台側部材６１）と、軸側と支持体側の他方に設けられ、軸が貫通、又は軸回りに配置可能で、第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、第１の部材との間に収容空間（例えば、上記実施形態における環状空間６６）を形成する第２の部材（例えば、上記実施形態における軸受ハウジング側部材６２）と、収容空間内に配置され、収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、を備える構成であればよい。
　このような軸支持装置の支持機構位置調整機構は、ボールねじ送り装置２０において説明したハウジング位置調整機構の構造を適用可能であり、同様の効果を奏する。

　例えば、図４２及び図４３は、軸を支持する一対の支持機構の一方に支持機構位置調整機構が設けられた軸支持装置としての剛節構造物２００を示している。剛節構造物２００は、基台１に対して鉛直に起立して固定された、互いに平行な２つの鋼製の支持体２３１，２４３を備える。支持体２３１，２４３には、同芯の貫通孔２３１ａ，２４３ａが形成され、梁部材を構成する軸２２１が、挿通される。なお、支持体２３１，２４３は、支柱や梁、支持板などであればよく、軸を支持可能な任意の材質・形状の部材で構成されればよい。

　なお、この例では、軸２２１は、軸方向一端側のフランジ部２２６を、支持体２３１の貫通孔２３１ａの小径段部２３１ｂに当接させ、貫通孔２３１ａの大径段部２３１ｃに押さえ蓋２３２を取り付ける他方の支持機構によって、軸２２１の一端部が支持体２３１に位置決め固定される。

　また、軸２２１の軸方向他端部は、支持体２４３の貫通孔２４３ａを挿通して、支持体２３１と反対側に突出し、一方の支持機構を構成する、軸案内部材２５０、ハウジング２５１、及び支持機構位置調整機構２６０を介して支持体２４３に支持されている。
　軸２２１の中央部の断面形状は、任意であり、角形鋼管やＨ形鋼などで構成されてもよい。

　軸案内部材２５０は、軸２２１を取り囲むように構成された部材であり、軸２２１の小径部２２５を案内し、その外径側両端部がハウジング２５１とハウジング２５１に固定された押さえ部材２４７で挟持されて一体化されている。

　また、ハウジング２５１は、上記実施形態と同様に、支持機構位置調整機構２６０を介して支持体２４３に取り付けられている。即ち、上記実施形態の支持台側部材６１に相当する第１の部材２６１は、支持体２４３の貫通孔２４３ａに嵌合して支持体２４３に固定されており、上記実施形態の軸受ハウジング側部材６２に相当する第２の部材２６２は、ハウジング２５１の内向きフランジ２５１ａに嵌合してハウジング２５１に固定されている。

　このため、軸案内部材２５０が、間座４８を介して雄ねじ２２５ａに螺合する締結ナット３８ｂで締め付けられると、軸案内部材２５０には反力が作用して、軸方向荷重を受ける。したがって、支持体２３１，２４３と軸２２１との間に所定の剛性が与えられる。

　また、このような剛節構造物２００において、軸２２１に軸方向の伸びが発生したとしても、支持機構位置調整機構２６０が作用して、軸２２１の軸方向伸びに追従して、軸案内部材２５０及びハウジング２５１を同方向に移動させる。したがって、軸２２１に作用する軸力を維持することができ、剛節構造物２００の剛性を保つことができる。

　なお、この例では、ハウジング２５１と支持機構位置調整機構２６０の第２の部材２６２とが一体で構成され、一体化された部材に軸案内部材２５０が配置されてもよい。また、ハウジング２５１を設けずに、軸案内部材２５０が直接、支持機構位置調整機構２６０の第２の部材２６２に固定されてもよい。
　また、軸支持装置は、本事例のような剛節構造物に限らず、軸側と支持体側の支持機構がピン接合であるようなブレース構造であってもよい。この場合、軸２２１は、ブレース構造の構成に応じて、傾斜して配置されていてもよい。
　さらに、剛体構造物のような軸支持装置においては、両方の支持機構が、支持機構位置調整機構を有する構成であってもよい。

　以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（Ａ１）　外周面に螺旋状のねじ溝が形成されたねじ軸と、内周面に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、前記ねじ軸のねじ溝と前記ナットのねじ溝との間に転動自在に配設された複数のボールと、前記ねじ軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備えるボールねじ送り装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに内嵌する外輪、前記ねじ軸の軸方向端部に外嵌する内輪、及び前記外輪と前記内輪との間に転動自在に配置される玉をそれぞれ備えるアンギュラ玉軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記軸受ユニットより軸方向中央側に配設され、前記ねじ軸が貫通する支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間に配設されたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記ねじ軸が貫通する支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記ねじ軸が貫通し、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、ボールねじ送り装置。
　この構成によれば、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、ボールねじ送り装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ２）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、第１の作動流体である第１の圧力発生手段、及び、第２の作動流体である第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ａ３）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、第１の作動流体である第１の圧力発生手段、及び、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第２の作動流体を備える第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ａ４）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第１の作動流体を備える第１の圧力発生手段、及び、第２の作動流体である第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ａ５）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、
（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第１の作動流体を備える第１の圧力発生手段、及び、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第２の作動流体を備える第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ａ６）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に摺接するように環状に形成される、（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、２つの圧力発生手段が収容される空間をねじ軸の周囲にコンパクトに構成できる。

（Ａ７）　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、（Ａ６）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、空間に作動流体が充填された場合、シール部材によって、該作動流体の漏れを防止することができ、ハウジング位置調整機構の機能を長期間に亘って維持できる。

（Ａ８）　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間、前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間の各隙間には、
作動流体が貯留されている、（Ａ６）又は（Ａ７）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、ハウジング位置調整機構は、ねじ軸に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、ねじ軸に対する調心機能も有することができる。

（Ａ９）　前記ハウジング位置調整機構は、前記環状凸部の外向き面または内向き面に開口するように前記環状凸部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記環状凸部内に形成されるオリフィスと、を備える、（Ａ６）又は（Ａ７）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、第２空間及び貯留室内の作動流体がオリフィス、及び、環状凸部の周面と環状凹部の周面との間の隙間を通過することで、該振動を減衰させることができる。

（Ａ１０）　前記第２の圧力発生手段は、
　前記第２空間、前記貯留室、及び前記オリフィスに圧縮された状態で収容される前記作動流体と、
　前記貯留室に収容される中空部材と、
を備える、（Ａ９）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、中空部材を貯留室にも収容することができ、レイアウトの自由度を高めることができる。

（Ａ１１）　前記環状凸部の先端面は、その内周縁から外周縁まで凸テーパ又は凹テーパ形状に形成されている、（Ａ６）又は（Ａ７）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、アンギュラ玉軸受のねじ軸に対する調心機能や同軸性をさらに高めることができ、また、ねじ軸の軸方向に対する負荷特性を高めることができる。

（Ａ１２）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記環状凹部の内向き面または前記環状凸部の外向き面、及び前記環状凹部の外向き面または前記環状凸部の内向き面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、（Ａ７）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、ねじ軸に生じる振動を減衰させることができる。また、支持台側部材と軸受ハウジング側部材との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体の大気圧側への漏れを防止して、ボールねじ送り装置の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

（Ａ１３）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凸部の外向き面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記環状凹部の外向き面及び前記環状凸部の内向き面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、（Ａ７）又は（Ａ１２）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、ねじ軸に生じる振動を減衰させることができる。また、Ｏリングに加わる応力集中を分散させ、Ｏリングや、Ｏリングとの接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

（Ａ１４）　前記隔壁部材は、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凹部の外向き面に取り付けられ、その径方向中央部分が軸方向に変形可能なリング状のダイヤフラムである、（Ａ６）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、第１空間及び第２空間の圧力の均衡を図りながら、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、ねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ａ１５）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に伸びる小径円筒部と、該小径円筒部の先端部から外径側に向かう外向きフランジ部と、を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて伸び、前記外向きフランジ部の外周面が摺接する内周面を有する大径円筒部と、該大径円筒部の先端部から内径側に向かい、前記小径円筒部の外周面と摺接する内周面を有する内向きフランジ部と、を有し、
　前記収容空間は、前記小径円筒部、前記外向きフランジ部、前記大径円筒部、及び前記内向きフランジ部によって形成される、（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ａ１６）　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、（Ａ１５）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、空間に作動流体が充填された場合、シール部材によって、該作動流体の漏れを防止することができ、ハウジング位置調整機構の機能を長期間に亘って維持できる。

（Ａ１７）　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間、前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、（Ａ１５）又は（Ａ１６）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、ハウジング位置調整機構は、ねじ軸に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、ねじ軸に対する調心機能も有することができる。

（Ａ１８）　前記ハウジング位置調整機構は、前記大径円筒部の内周面または前記小径円筒部の外周面に開口するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成されるオリフィスと、を備える、（Ａ１５）又は（Ａ１６）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、第２空間及び貯留室内の作動流体がオリフィス、及び、大径円筒部の内周面と外向きフランジ部の外周面、又は小径円筒部の外周面と内向きフランジ部の内周面との間の隙間を通過することで、該振動を減衰させることができる。

（Ａ１９）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記内向きフランジ部の内周面または前記小径円筒部の外周面、及び前記外向きフランジ部の外周面または前記大径円筒部の内周面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、（Ａ１６）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、ねじ軸に生じる振動を減衰させることができる。また、支持台側部材と軸受ハウジング側部材との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体の大気圧側への漏れを防止して、ボールねじ送り装置の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

（Ａ２０）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記内向きフランジ部の内周面及び前記小径円筒部の外周面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記外向きフランジ部の外周面及び前記大径円筒部の内周面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、（Ａ１６）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、ねじ軸に生じる振動を減衰させることができる。また、Ｏリングに加わる応力集中を分散させ、Ｏリングや、Ｏリングとの接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

（Ａ２１）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される収容空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に取り付けられて環状に形成され、且つ、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段によって変形可能である、（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ａ２２）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材の少なくとも一方には、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方を加熱又は冷却することで、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方の体積を変更させる作動媒体体積変更部が取り付けられる、（Ａ１）～（Ａ５）のいずれか１項に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、第１の圧力発生手段や第２の圧力発生手段を加熱又は冷却して、当該作動媒体の体積を膨張又は収縮して、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ａ２３）　前記一対の支持機構の一方は、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間で、前記ハウジング位置調整機構と隣接して配設される他のハウジング位置調整機構をさらに備え、
　前記他のハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記ねじ軸が貫通する他の支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記ねじ軸が貫通し、前記他の支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な他の軸受ハウジング側部材と、
　前記他の支持台側部材と前記他の軸受ハウジング側部材との間に形成される他の収容空間に圧縮された状態で収容される第３の圧力発生手段と、
を備える、（Ａ１）に記載のボールねじ送り装置。
　この構成によれば、ボールねじ送り装置の軸方向剛性の維持がより一層しやすくなる。

（Ａ２４）　外周面に螺旋状のねじ溝が形成されたねじ軸と、内周面に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、前記ねじ軸のねじ溝と前記ナットのねじ溝との間に転動自在に配設された複数のボールと、前記ねじ軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備えるボールねじ送り装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに内嵌する外輪、前記ねじ軸の軸方向端部に外嵌する内輪、及び前記外輪と前記内輪との間に転動自在に配置される玉をそれぞれ備えるアンギュラ玉軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記ねじ軸が貫通する支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台とに取り付けられたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台に取り付けられ、前記ねじ軸が貫通する支持台側部材と、
　前記軸受ハウジングに取り付けられ、前記ねじ軸が貫通し、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、ボールねじ送り装置。
　この構成によれば、熱の影響によりねじ軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、ボールねじ送り装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ２５）　回転軸と、前記回転軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備える回転支持装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記軸受ユニットより軸方向中央側に配設され、前記回転軸が貫通する支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間に配設されたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通する支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通し、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、回転支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ２６）　回転軸と、前記回転軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備える回転支持装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記回転軸が貫通する支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台とに取り付けられたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台に取り付けられ、前記回転軸が貫通する支持台側部材と、
　前記軸受ハウジングに取り付けられ、前記回転軸が貫通し、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、回転支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ２７）　軸と、前記軸を基台に対して支持するため、前記軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備える軸支持装置における、前記一対の支持機構の一方に設けられた軸支持装置の支持機構位置調整機構であって、
　前記支持機構側と前記基台側の一方に設けられ、前記軸が貫通可能な第１の部材と、
　前記支持機構側と前記基台側の他方に設けられ、前記軸が貫通可能で、前記第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記第１の部材との間に収容空間を形成する第２の部材と、
　前記収容空間内に配置され、前記収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、軸支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ２８）　軸と、前記軸を基台に対して支持するため、前記軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備える軸支持装置における、前記一対の支持機構の一方に設けられた軸支持装置の支持機構位置調整機構であって、
　前記支持機構と前記基台の一方に取り付けられ、前記軸が貫通可能な第１の部材と、
　前記支持機構と前記基台の他方に取り付けられ、前記軸が貫通可能で、前記第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記第１の部材との間に収容空間を形成する第２の部材と、
　前記収容空間内に配置され、前記収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、軸支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ２９）　回転軸と、前記回転軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備える回転支持装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記回転軸が貫通する支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間に配設されたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置され、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、回転支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ａ３０）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する複数の凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記複数の凹部内を軸方向に摺動可能にそれぞれ嵌合する複数の凸部を有し、
　複数の前記収容空間は、前記複数の凹部と前記複数の凸部との間にそれぞれ形成される、（Ａ２９）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、複数の収容空間によってハウジング位置調整機構のレイアウトを自在に構成することができる。

（Ａ３１）　前記複数の収容空間は、前記回転軸に対して幅方向両側に配置されている、（Ａ３０）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、ハウジング位置調整機構の高さ寸法を抑制することができる。

（Ａ３２）　前記隔壁部材は、前記複数の収容空間にそれぞれ配置され、前記各凹部の内面に摺接するように形成される、（Ａ３０）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、複数の収容空間を共通に構成することができる。

（Ａ３３）　前記回転支持装置は、
　前記回転軸を、外周面に螺旋状のねじ溝が形成されたねじ軸とし、且つ、内周面に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、前記ねじ軸のねじ溝と前記ナットのねじ溝との間に転動自在に配設された複数のボールと、をさらに備える、
ボールねじ送り装置である、（Ａ２９）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができるボールねじ送り装置を構成できる。

（Ａ３４）　軸と、前記軸を基台に対して支持するため、前記軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備える軸支持装置における、前記一対の支持機構の一方に設けられた軸支持装置の支持機構位置調整機構であって、
　前記支持機構側と前記基台側の一方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能な第１の部材と、
　前記支持機構側と前記基台側の他方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能で、前記第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記第１の部材との間に収容空間を形成する第２の部材と、
　前記収容空間内に配置され、前記収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、軸支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ｂ１）　回転軸と、前記回転軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備える回転支持装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間に配設されたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置され、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、回転支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ｂ２）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、第１の作動流体である第１の圧力発生手段、及び、第２の作動流体である第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ３）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、第１の作動流体である第１の圧力発生手段、及び、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第２の作動流体を備える第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ４）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第１の作動流体を備える第１の圧力発生手段、及び、第２の作動流体である第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ５）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、
（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第１の作動流体を備える第１の圧力発生手段、及び、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第２の作動流体を備える第２の圧力発生手段によって、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ６）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に摺接するように環状に形成される、（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、２つの圧力発生手段が収容される空間を回転軸の周囲にコンパクトに構成できる。

（Ｂ７）　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、（Ｂ６）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、空間に作動流体が充填された場合、シール部材によって、該作動流体の漏れを防止することができ、ハウジング位置調整機構の機能を長期間に亘って維持できる。

（Ｂ８）　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間、前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、（Ｂ６）又は（Ｂ７）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、ハウジング位置調整機構は、回転軸に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、回転軸に対する調心機能も有することができる。

（Ｂ９）　前記ハウジング位置調整機構は、前記環状凸部の外向き面または内向き面に開口するように前記環状凸部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記環状凸部内に形成されるオリフィスと、を備える、（Ｂ６）又は（Ｂ７）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、第２空間及び貯留室内の作動流体がオリフィス、及び、環状凸部の周面と環状凹部の周面との間の隙間を通過することで、該振動を減衰させることができる。

（Ｂ１０）　前記第２の圧力発生手段は、
　前記第２空間、前記貯留室、及び前記オリフィスに圧縮された状態で収容される前記作動流体と、
　前記貯留室に収容される中空部材と、
を備える、（Ｂ９）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、中空部材を貯留室にも収容することができ、レイアウトの自由度を高めることができる。

（Ｂ１１）　前記環状凸部の先端面は、その内周縁から外周縁まで凸テーパ又は凹テーパ形状に形成されている、（Ｂ６）又は（Ｂ７）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、アンギュラ玉軸受の回転軸に対する調心機能や同軸性をさらに高めることができ、また、回転軸の軸方向に対する負荷特性を高めることができる。

（Ｂ１２）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記環状凹部の内向き面または前記環状凸部の外向き面、及び前記環状凹部の外向き面または前記環状凸部の内向き面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、（Ｂ７）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、回転軸に生じる振動を減衰させることができる。また、支持台側部材と軸受ハウジング側部材との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体の大気圧側への漏れを防止して、回転支持装置の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

（Ｂ１３）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凸部の外向き面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記環状凹部の外向き面及び前記環状凸部の内向き面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、（Ｂ７）又は（Ｂ１２）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、回転軸に生じる振動を減衰させることができる。また、Ｏリングに加わる応力集中を分散させ、Ｏリングや、Ｏリングとの接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

（Ｂ１４）　前記隔壁部材は、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凹部の外向き面に取り付けられ、その径方向中央部分が軸方向に変形可能なリング状のダイヤフラムである、（Ｂ６）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、第１空間及び第２空間の圧力の均衡を図りながら、軸受ハウジング側部材に圧力を付与することができ、回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ｂ１５）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に伸びる小径円筒部と、該小径円筒部の先端部から外径側に向かう外向きフランジ部と、を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて伸び、前記外向きフランジ部の外周面が摺接する内周面を有する大径円筒部と、該大径円筒部の先端部から内径側に向かい、前記小径円筒部の外周面と摺接する内周面を有する内向きフランジ部と、を有し、
　前記収容空間は、前記小径円筒部、前記外向きフランジ部、前記大径円筒部、及び前記内向きフランジ部によって形成される、（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ１６）　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、（Ｂ１５）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、空間に作動流体が充填された場合、シール部材によって、該作動流体の漏れを防止することができ、ハウジング位置調整機構の機能を長期間に亘って維持できる。

（Ｂ１７）　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間、前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、（Ｂ１５）又は（Ｂ１６）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、ハウジング位置調整機構は、回転軸に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、回転軸に対する調心機能も有することができる。

（Ｂ１８）　前記ハウジング位置調整機構は、前記大径円筒部の内周面または前記小径円筒部の外周面に開口するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成されるオリフィスと、を備える、（Ｂ１５）又は（Ｂ１６）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、第２空間及び貯留室内の作動流体がオリフィス、及び、大径円筒部の内周面と外向きフランジ部の外周面、又は小径円筒部の外周面と内向きフランジ部の内周面との間の隙間を通過することで、該振動を減衰させることができる。

（Ｂ１９）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記内向きフランジ部の内周面または前記小径円筒部の外周面、及び前記外向きフランジ部の外周面または前記大径円筒部の内周面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、（Ｂ１６）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、回転軸に生じる振動を減衰させることができる。また、支持台側部材と軸受ハウジング側部材との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体の大気圧側への漏れを防止して、回転支持装置の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

（Ｂ２０）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記内向きフランジ部の内周面及び前記小径円筒部の外周面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記外向きフランジ部の外周面及び前記大径円筒部の内周面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、（Ｂ１６）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、回転軸に生じる振動を減衰させることができる。また、Ｏリングに加わる応力集中を分散させ、Ｏリングや、Ｏリングとの接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

（Ｂ２１）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される収容空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に取り付けられて環状に形成され、且つ、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段によって変形可能である、（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ｂ２２）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材の少なくとも一方には、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方を加熱又は冷却することで、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方の体積を変更させる作動媒体体積変更部が取り付けられる、（Ｂ１）～（Ｂ５）のいずれか１項に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、第１の圧力発生手段や第２の圧力発生手段を加熱又は冷却して、当該作動媒体の体積を膨張又は収縮して、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ｂ２３）　前記一対の支持機構の一方は、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間で、前記ハウジング位置調整機構と隣接して配設される他のハウジング位置調整機構をさらに備え、
　前記他のハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される他の支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置され、前記他の支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な他の軸受ハウジング側部材と、
　前記他の支持台側部材と前記他の軸受ハウジング側部材との間に形成される他の収容空間に圧縮された状態で収容される第３の圧力発生手段と、
を備える、（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、回転支持装置の軸方向剛性の維持がより一層しやすくなる。

（Ｂ２４）　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する複数の凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記複数の凹部内を軸方向に摺動可能にそれぞれ嵌合する複数の凸部を有し、
　複数の前記収容空間は、前記複数の凹部と前記複数の凸部との間にそれぞれ形成される、（Ｂ１）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、複数の収容空間によってハウジング位置調整機構のレイアウトを自在に構成することができる。

（Ｂ２５）　前記複数の収容空間は、前記回転軸に対して幅方向両側に配置されている、（Ｂ２４）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、ハウジング位置調整機構の高さ寸法を抑制することができる。

（Ｂ２６）　前記隔壁部材は、前記複数の収容空間にそれぞれ配置され、前記各凹部の内面に摺接するように形成される、（Ｂ２４）に記載の回転支持装置。
　この構成によれば、複数の収容空間を共通に構成することができる。

（Ｂ２７）　前記軸受ユニットの前記軸受は、前記軸受ハウジングに内嵌する外輪、前記回転軸の軸方向端部に外嵌する内輪、及び前記外輪と前記内輪との間に転動自在に配置される玉をそれぞれ備える一対のアンギュラ玉軸受を含む、（Ｂ１）～（Ｂ２６）のいずれかに記載の回転支持装置。
　この構成によれば、軸受ユニットが一対のアンギュラ玉軸受を有する場合において、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ２８）　前記回転支持装置は、
　前記回転軸を、外周面に螺旋状のねじ溝が形成されたねじ軸とし、且つ、内周面に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、前記ねじ軸のねじ溝と前記ナットのねじ溝との間に転動自在に配設された複数のボールと、をさらに備える、
ボールねじ送り装置である、（Ｂ１）～（Ｂ２７）のいずれかに記載の回転支持装置。
　この構成によれば、熱の影響により回転軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができるボールねじ送り装置を構成できる。

（Ｂ２９）　軸と、前記軸を支持するため、前記軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備える軸支持装置における、前記一対の支持機構の一方に設けられた軸支持装置の支持機構位置調整機構であって、
　前記一対の支持機構の一方は、前記軸が貫通、又は前記軸回りに配置される支持体を有し、
　前記軸側と前記支持体側の一方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能な第１の部材と、
　前記軸側と前記支持体側の他方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能で、前記第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記第１の部材との間に収容空間を形成する第２の部材と、
　前記収容空間内に配置され、前記収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。また、収容空間内に収容された２種類の圧力発生手段によって、軸支持装置に要求される支持剛性や減衰特性を付与することができる。

（Ｂ３０）　前記軸は回転軸であり、
　前記一対の支持機構の一方は、軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットをさらに備え、
　前記支持機構位置調整機構は、前記軸受ユニットと前記支持体との間に配設されたハウジング位置調整機構であり、
　前記第１の部材は、前記支持体側に設けられ、前記回転軸が貫通可能、又は前記回転軸回りに配置可能な支持体側部材であり、
　前記第２の部材は、前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通可能、又は前記回転軸回りに配置可能で、前記支持体側部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記支持体側部材との間に前記収容空間を形成する軸受ハウジング側部材である、（Ｂ２９）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ３１）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
（Ｂ２９）又は（Ｂ３０）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、第１の作動流体である第１の圧力発生手段、及び、第２の作動流体である第２の圧力発生手段によって、第１の部材又は第２の部材に圧力を付与することができ、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ３２）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、（Ｂ２９）又は（Ｂ３０）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、第１の作動流体である第１の圧力発生手段、及び、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第２の作動流体を備える第２の圧力発生手段によって、第１の部材又は第２の部材に圧力を付与することができ、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ３３）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
（Ｂ２９）又は（Ｂ３０）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第１の作動流体を備える第１の圧力発生手段、及び、第２の作動流体である第２の圧力発生手段によって、第１の部材又は第２の部材に圧力を付与することができ、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ３４）　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、
（Ｂ２９）又は（Ｂ３０）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第１の作動流体を備える第１の圧力発生手段、及び、中空部材と弾性部材の少なくとも一方と第２の作動流体を備える第２の圧力発生手段によって、第１の部材又は第２の部材に圧力を付与することができ、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ３５）　前記第１の部材と前記第２の部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記第１の部材と前記第２の部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に摺接するように環状に形成される、（Ｂ２９）又は（Ｂ３０）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、２つの圧力発生手段が収容される空間を軸の周囲にコンパクトに構成できる。

（Ｂ３６）　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、（Ｂ３５）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、空間に作動流体が充填された場合、シール部材によって、該作動流体の漏れを防止することができ、支持機構位置調整機構の機能を長期間に亘って維持できる。

（Ｂ３７）　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間、前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、（Ｂ３５）又は（Ｂ３６）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、支持機構位置調整機構は、軸に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、軸に対する調心機能も有することができる。

（Ｂ３８）　前記支持機構位置調整機構は、前記環状凸部の外向き面または内向き面に開口するように前記環状凸部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記環状凸部内に形成されるオリフィスと、を備える、（Ｂ３５）又は（Ｂ３６）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、第２空間及び貯留室内の作動流体がオリフィス、及び、環状凸部の周面と環状凹部の周面との間の隙間を通過することで、該振動を減衰させることができる。

（Ｂ３９）　前記第２の圧力発生手段は、
　前記第２空間、前記貯留室、及び前記オリフィスに圧縮された状態で収容される前記作動流体と、
　前記貯留室に収容される中空部材と、
を備える、（Ｂ３８）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、中空部材を貯留室にも収容することができ、レイアウトの自由度を高めることができる。

（Ｂ４０）　前記環状凸部の先端面は、その内周縁から外周縁まで凸テーパ又は凹テーパ形状に形成されている、（Ｂ３５）又は（Ｂ３６）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、軸の調心機能や同軸性をさらに高めることができ、また、軸の軸方向に対する負荷特性を高めることができる。

（Ｂ４１）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記環状凹部の内向き面または前記環状凸部の外向き面、及び前記環状凹部の外向き面または前記環状凸部の内向き面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、（Ｂ３６）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、軸に生じる振動を減衰させることができる。また、第１の部材と第２の部材との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体の大気圧側への漏れを防止して、軸支持装置の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

（Ｂ４２）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凸部の外向き面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記環状凹部の外向き面及び前記環状凸部の内向き面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、（Ｂ３６）又は（Ｂ４１）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、軸に生じる振動を減衰させることができる。また、Ｏリングに加わる応力集中を分散させ、Ｏリングや、Ｏリングとの接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

（Ｂ４３）　前記隔壁部材は、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凹部の外向き面に取り付けられ、その径方向中央部分が軸方向に変形可能なリング状のダイヤフラムである、（Ｂ３５）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、第１空間及び第２空間の圧力の均衡を図りながら、第２の部材に圧力を付与することができ、軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ｂ４４）　前記第１の部材と前記第２の部材との一方は、軸方向一方側に伸びる小径円筒部と、該小径円筒部の先端部から外径側に向かう外向きフランジ部と、を有し、
　前記第１の部材と前記第２の部材との他方は、軸方向他方側に向けて伸び、前記外向きフランジ部の外周面が摺接する内周面を有する大径円筒部と、該大径円筒部の先端部から内径側に向かい、前記小径円筒部の外周面と摺接する内周面を有する内向きフランジ部と、を有し、
　前記収容空間は、前記小径円筒部、前記外向きフランジ部、前記大径円筒部、及び前記内向きフランジ部によって形成される、（Ｂ２９）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的かつ安定的に維持することができる。

（Ｂ４５）　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、（Ｂ４４）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、空間に作動流体が充填された場合、シール部材によって、該作動流体の漏れを防止することができ、支持機構位置調整機構の機能を長期間に亘って維持できる。

（Ｂ４６）　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間、前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、（Ｂ４４）又は（Ｂ４５）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、支持機構位置調整機構は、軸に径方向の支持剛性を与えることができ、さらに、軸に対する調心機能も有することができる。

（Ｂ４７）　前記支持機構位置調整機構は、前記大径円筒部の内周面または前記小径円筒部の外周面に開口するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成されるオリフィスと、を備える、（Ｂ４４）又は（Ｂ４５）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、第２空間及び貯留室内の作動流体がオリフィス、及び、大径円筒部の内周面と外向きフランジ部の外周面、又は小径円筒部の外周面と内向きフランジ部の内周面との間の隙間を通過することで、該振動を減衰させることができる。

（Ｂ４８）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記内向きフランジ部の内周面または前記小径円筒部の外周面、及び前記外向きフランジ部の外周面または前記大径円筒部の内周面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、（Ｂ４５）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、軸に生じる振動を減衰させることができる。また、第１の部材と第２の部材との相対移動が発生した場合でも、第２の作動流体の大気圧側への漏れを防止して、軸支持装置の軸方向剛性を継続的に維持することができる。

（Ｂ４９）　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記内向きフランジ部の内周面及び前記小径円筒部の外周面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記外向きフランジ部の外周面及び前記大径円筒部の内周面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、（Ｂ４５）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、シール部材をＯリングとすることで、Ｏリングは減衰機構としても作用して、軸に生じる振動を減衰させることができる。また、Ｏリングに加わる応力集中を分散させ、Ｏリングや、Ｏリングとの接触面の摩耗などの損傷を抑制することができる。

（Ｂ５０）　前記第１の部材と前記第２の部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記第１の部材と前記第２の部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される収容空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に取り付けられて環状に形成され、且つ、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段によって変形可能である、（Ｂ２９）又は（Ｂ３０）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、熱の影響により軸の軸方向長さが変化しても、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ｂ５１）　前記第１の部材と前記第２の部材の少なくとも一方には、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方を加熱又は冷却することで、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方の体積を変更させる作動媒体体積変更部が取り付けられる、（Ｂ２９）～（Ｂ３４）のいずれか１項に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、第１の圧力発生手段や第２の圧力発生手段を加熱又は冷却して、当該作動媒体の体積を膨張又は収縮して、軸方向の支持剛性を継続的に安定した状態に保つことができる。

（Ｂ５２）　前記一対の支持機構の一方は、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間で、前記支持機構位置調整機構と隣接して配設される他の支持機構位置調整機構をさらに備え、
　前記他の支持機構位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記軸が貫通、又は前記軸回りに配置される他の第１の部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記軸が貫通、又は前記軸回りに配置され、前記他の第１の部材に対して軸方向に相対移動可能な他の第２の部材と、
　前記他の第１の部材と前記他の第２の部材との間に形成される他の収容空間に圧縮された状態で収容される第３の圧力発生手段と、
を備える、（Ｂ２９）～（Ｂ５１）のいずれかに記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、軸支持装置の軸方向剛性の維持がより一層しやすくなる。

（Ｂ５３）　前記第１の部材と前記第２の部材との一方は、軸方向一方側に開口する複数の凹部を有し、
　前記第１の部材と前記第２の部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記複数の凹部内を軸方向に摺動可能にそれぞれ嵌合する複数の凸部を有し、
　複数の前記収容空間は、前記複数の凹部と前記複数の凸部との間にそれぞれ形成される、（Ｂ２９）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、複数の収容空間によって支持機構位置調整機構のレイアウトを自在に構成することができる。

（Ｂ５４）　前記複数の収容空間は、前記軸に対して幅方向両側に配置されている、（Ｂ５３）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、支持機構位置調整機構の高さ寸法を抑制することができる。

（Ｂ５５）　前記隔壁部材は、前記複数の収容空間にそれぞれ配置され、前記各凹部の内面に摺接するように形成される、（Ｂ５３）に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　この構成によれば、複数の収容空間を共通に構成することができる。

　なお、本出願は、２０２２年１０月２８日出願の日本特許出願（特願２０２２－１７３７６２）、２０２３年０７月２１日出願の日本特許出願（特願２０２３－１１８９９６）、及び２０２３年０８月２２日出願の日本特許出願（特願２０２３－１３４６３６）に基づくものであり、その内容は本出願の中に参照として援用される。

２０　　ボールねじ送り装置(軸支持装置、回転支持装置)
２１　　ねじ軸（軸、回転軸）
２３　　ナット
３０　　第１の支持機構（支持機構）
３１　　固定側軸受ハウジング
３３，５３　　アンギュラ玉軸受（軸受）
３４，５４　　外輪
３５，５５　　内輪
３６，５６　　玉
３８ａ，３８ｂ　　　締結ナット
４０　　第２の支持機構（支持機構）
４１　　軸受ユニット
４３　　支持台（支持体）
５１　　移動側軸受ハウジング（軸受ハウジング）
５１ａ　　　　内向きフランジ
５９　　耐摩耗性部材
６０　　ハウジング位置調整機構（支持機構位置調整機構）
６１　　支持台側部材（第１の部材）
６２　　軸受ハウジング側部材（第２の部材）
６４　　環状凹部
６５　　環状凸部
６６　　環状空間（収容空間）
６６Ａ　　　　第１空間
６６Ｂ　　　　第２空間
６７，６７Ａ　　　　Ｏリング（シール部材）
６８　　シール溝
６９ａ　　テーパ面
７０　　皿ばね（弾性部材）
８０　　第１の作動流体
８１　　第２の作動流体
８３　　隔壁部材
９０　　中空部材
１２０　　　　回転支持装置
１２１　　　　回転軸
１３０，１３１　　発熱体（作動媒体体積変更部）
１３２，１３３　　冷却媒体（作動媒体体積変更部）
１６０　　他のハウジング位置調整機構（他の支持機構位置調整機構）
１６１　　他の支持台側部材（他の支持体側部材）
１６２　　他の軸受ハウジング側部材

Claims

　回転軸と、前記回転軸の軸方向両端部をそれぞれ回転自在に支持する一対の支持機構と、を備える回転支持装置であって、
　前記一対の支持機構の一方は、
　軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットと、
　前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台と、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間に配設されたハウジング位置調整機構と、
を備え、
　前記ハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置され、前記支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な軸受ハウジング側部材と、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との間に形成される収容空間内に配置され、該収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、回転支持装置。
　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
請求項１に記載の回転支持装置。
　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に充填される第１の作動流体であり、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、
請求項１に記載の回転支持装置。
　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に充填される第２の作動流体である、
請求項１に記載の回転支持装置。
　前記第１の圧力発生手段は、前記第１空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第１の作動流体と、を備え、
　前記第２の圧力発生手段は、前記第２空間に収容される中空部材と弾性部材の少なくとも一方と、前記中空部材と弾性部材の少なくとも一方の周囲に充填される第２の作動流体と、を備える、
請求項１に記載の回転支持装置。
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される収容空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に摺接するように環状に形成される、請求項１に記載の回転支持装置。
　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内周面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間には、少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、請求項６に記載の回転支持装置。
　前記環状凹部の内向き面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記隔壁部材の内向き面との間、前記環状凹部の内向き面と前記環状凸部の外向き面との間、及び前記環状凹部の外向き面と前記環状凸部の内向き面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、請求項６又は７に記載の回転支持装置。
　前記ハウジング位置調整機構は、前記環状凸部の外向き面または内向き面に開口するように前記環状凸部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記環状凸部内に形成されるオリフィスと、を備える、請求項６又は７に記載の回転支持装置。
　前記第２の圧力発生手段は、
　前記第２空間、前記貯留室、及び前記オリフィスに圧縮された状態で収容される前記作動流体と、
　前記貯留室に収容される中空部材と、
を備える、請求項９に記載の回転支持装置。
　前記環状凸部の先端面は、その内周縁から外周縁まで凸テーパ又は凹テーパ形状に形成されている、請求項６又は７に記載の回転支持装置。
　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記環状凹部の内向き面または前記環状凸部の外向き面、及び前記環状凹部の外向き面または前記環状凸部の内向き面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、請求項７に記載の回転支持装置。
　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凸部の外向き面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記環状凹部の外向き面及び前記環状凸部の内向き面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、請求項７に記載の回転支持装置。
　前記隔壁部材は、前記環状凹部の内向き面及び前記環状凹部の外向き面に取り付けられ、その径方向中央部分が軸方向に変形可能なリング状のダイヤフラムである、請求項６に記載の回転支持装置。
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に伸びる小径円筒部と、該小径円筒部の先端部から外径側に向かう外向きフランジ部と、を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて伸び、前記外向きフランジ部の外周面が摺接する内周面を有する大径円筒部と、該大径円筒部の先端部から内径側に向かい、前記小径円筒部の外周面と摺接する内周面を有する内向きフランジ部と、を有し、
　前記収容空間は、前記小径円筒部、前記外向きフランジ部、前記大径円筒部、及び前記内向きフランジ部によって形成される、請求項１に記載の回転支持装置。
　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、及び前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着され、
　前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間には少なくとも１つのシール部材がそれぞれ装着される、請求項１５に記載の回転支持装置。
　前記大径円筒部の内周面と前記隔壁部材の外周面との間、前記小径円筒部の外周面と前記隔壁部材の内周面との間、前記内向きフランジ部の内周面と前記小径円筒部の外周面との間、及び前記外向きフランジ部の外周面と前記大径円筒部の内周面との間の各隙間には、作動流体が貯留されている、請求項１５又は１６に記載の回転支持装置。
　前記ハウジング位置調整機構は、前記大径円筒部の内周面または前記小径円筒部の外周面に開口するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成され、作動流体を貯留する貯留室と、前記貯留室と前記第２空間とを連通するように前記外向きフランジ部又は前記内向きフランジ部内に形成されるオリフィスと、を備える、請求項１５又は１６に記載の回転支持装置。
　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記第２空間には、少なくとも第２の作動流体が充填され、
　前記内向きフランジ部の内周面または前記小径円筒部の外周面、及び前記外向きフランジ部の外周面または前記大径円筒部の内周面には、前記Ｏリングが配置されるシール溝がそれぞれ形成され、
　前記シール溝は、前記収容空間側から離れるにつれて溝深さが浅くなるテーパ面を有する、請求項１６に記載の回転支持装置。
　前記シール部材は、Ｏリングであり、
　前記Ｏリングと、前記内向きフランジ部の内周面及び前記小径円筒部の外周面の少なくとも一方との間、及び、前記Ｏリングと、前記外向きフランジ部の外周面及び前記大径円筒部の内周面の少なくとも一方との間には、耐摩耗性部材が介在される、請求項１６に記載の回転支持装置。
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する環状凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記環状凹部内を軸方向に摺動可能に嵌合する環状凸部を有し、
　前記隔壁部材は、前記環状凹部と前記環状凸部との間に形成される収容空間に配置され、前記環状凹部の内向き面及び外向き面に取り付けられて環状に形成され、且つ、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段によって変形可能である、請求項１に記載の回転支持装置。
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材の少なくとも一方には、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方を加熱又は冷却することで、前記第１の圧力発生手段及び前記第２の圧力発生手段の少なくとも一方の体積を変更させる作動媒体体積変更部が取り付けられる、請求項１～５のいずれか１項に記載の回転支持装置。
　前記一対の支持機構の一方は、
　前記軸受ユニットと前記支持台との間で、前記ハウジング位置調整機構と隣接して配設される他のハウジング位置調整機構をさらに備え、
　前記他のハウジング位置調整機構は、
　前記支持台側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置される他の支持台側部材と、
　前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通、又は前記回転軸回りに配置され、前記他の支持台側部材に対して軸方向に相対移動可能な他の軸受ハウジング側部材と、
　前記他の支持台側部材と前記他の軸受ハウジング側部材との間に形成される他の収容空間に圧縮された状態で収容される第３の圧力発生手段と、
を備える、請求項１に記載の回転支持装置。
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との一方は、軸方向一方側に開口する複数の凹部を有し、
　前記支持台側部材と前記軸受ハウジング側部材との他方は、軸方向他方側に向けて突出して、前記複数の凹部内を軸方向に摺動可能にそれぞれ嵌合する複数の凸部を有し、
　複数の前記収容空間は、前記複数の凹部と前記複数の凸部との間にそれぞれ形成される、請求項１に記載の回転支持装置。
　前記複数の収容空間は、前記回転軸に対して幅方向両側に配置されている、請求項２４に記載の回転支持装置。
　前記隔壁部材は、前記複数の収容空間にそれぞれ配置され、前記各凹部の内面に摺接するように形成される、請求項２４に記載の回転支持装置。
　前記軸受ユニットの前記軸受は、前記軸受ハウジングに内嵌する外輪、前記回転軸の軸方向端部に外嵌する内輪、及び前記外輪と前記内輪との間に転動自在に配置される玉をそれぞれ備える一対のアンギュラ玉軸受を含む、請求項１に記載の回転支持装置。
　前記回転支持装置は、
　前記回転軸を、外周面に螺旋状のねじ溝が形成されたねじ軸とし、且つ、内周面に螺旋状のねじ溝が形成されたナットと、前記ねじ軸のねじ溝と前記ナットのねじ溝との間に転動自在に配設された複数のボールと、をさらに備える、
ボールねじ送り装置である、請求項１に記載の回転支持装置。
　軸と、前記軸を支持するため、前記軸の軸方向両端部に設けられた一対の支持機構と、を備える軸支持装置における、前記一対の支持機構の一方に設けられた軸支持装置の支持機構位置調整機構であって、
　前記一対の支持機構の一方は、前記軸が貫通、又は前記軸回りに配置される支持体を有し、
　前記軸側と前記支持体側の一方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能な第１の部材と、
　前記軸側と前記支持体側の他方に設けられ、前記軸が貫通可能、又は前記軸回りに配置可能で、前記第１の部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記第１の部材との間に収容空間を形成する第２の部材と、
　前記収容空間内に配置され、前記収容空間を第１空間及び第２空間に軸方向に区分する隔壁部材と、
　前記第１空間に圧縮された状態で収容される第１の圧力発生手段と、
　前記第２空間に圧縮された状態で収容される第２の圧力発生手段と、
を備える、軸支持装置の支持機構位置調整機構。
　前記軸は回転軸であり、
　前記一対の支持機構の一方は、軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングに対して前記回転軸を回転自在に支持するとともに、軸方向荷重を支承可能な軸受と、を備える軸受ユニットをさらに備え、
　前記支持機構位置調整機構は、前記軸受ユニットと前記支持体との間に配設されたハウジング位置調整機構であり、
　前記第１の部材は、前記支持体側に設けられ、前記回転軸が貫通可能、又は前記回転軸回りに配置可能な支持体側部材であり、
　前記第２の部材は、前記軸受ハウジング側に設けられ、前記回転軸が貫通可能、又は前記回転軸回りに配置可能で、前記支持体側部材に対して軸方向に相対移動可能で、前記支持体側部材との間に前記収容空間を形成する軸受ハウジング側部材である、請求項２９に記載の軸支持装置の支持機構位置調整機構。