WO2024029677A1 - 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법 - Google Patents

배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법 Download PDF

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piping
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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Definitions

  • the present invention relates to a method of manufacturing and installing a depowder device for piping. More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing and installing a depowder device for piping. More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing and installing a depowder device for piping, and more specifically, to the inner circumferential surface of a piping exposed to the flow of exhaust materials such as unreacted raw material gas and reaction products exhausted from semiconductor and display substrate processing equipment. It relates to a method of manufacturing and installing a depowder device for piping to suppress adhesion and accumulation of exhaust matter.
  • the semiconductor manufacturing process largely consists of a pre-process (Fabrication process) and a post-process (Assembly process).
  • the entire process is a process of manufacturing a semiconductor chip by depositing a thin film on a wafer in various process chambers and processing a specific pattern by repeatedly performing the process of selectively etching the deposited thin film.
  • the post-process refers to the process of individually separating the chips manufactured in the previous process and then assembling them into a finished product by combining them with a lead frame.
  • a scrubber is installed at the rear end of the vacuum pump that makes the process chamber vacuum to purify the gas discharged from the process chamber and then discharge it into the atmosphere.
  • KR 1020070030615 A KR 200366263 Y1.
  • the present invention was made to solve the above problems, and its purpose is to provide a method of manufacturing and installing a depowder device for piping that can efficiently suppress adhesion and accumulation of exhaust matter in a piping system.
  • Another object of the present invention is to provide a manufacturing method and installation method of a depowder device for piping that is easy to manufacture.
  • the present invention aimed at solving the above problems, has the following configuration and characteristics.
  • Heater manufacturing comprising the steps of installing a heating wire connected to a power source inside a metal tube and filling it with insulation to manufacture an intermediate product (S11), cutting the intermediate product, and connecting one end of the exposed heating wires (S12).
  • step (S12) includes cutting both ends of the metal tube and both ends of the insulation to expose both ends of a pair of hot wires installed inside the metal tube (S121); and connecting one end of the pair of heating wires to the other end (S122).
  • the heater manufacturing step (S1) includes covering one side of the openings on both sides of the metal tube where the portion where a pair of hot wires are connected is exposed with a metal cover filled with the insulating material (S13); and connecting the metal pipe and the metal cover (S14).
  • the winding step (S2) includes fixing one end of the heater to the rod of the upper limb jig (S21); and rotating the rod body while fixing the other end of the heater (S22).
  • the coupling step (S3) includes forming a tensioned end by tensioning the end of the heating coil (S31); and inserting the tensile end into the exposed hole (S32).
  • the coupling step (S3) may further include a step (S33) of blocking the exposed hole through which the end of the heating coil passes through with a sealing member.
  • a step (S34) of fixing the exposed portion of the heating coil with a fixing member while a portion of the heating coil is exposed to the outside of the exposed hole may be further included.
  • a step (S4) of inserting the temperature sensor through a second exposure hole formed in the metal flange so that the measuring part of the temperature sensor is located inside the metal flange may be further included.
  • Heating coil manufacturing step (S100) including the process of installing a heating wire inside a metal pipe and filling it with insulation; Manufacturing a depowder device for piping by inserting the end of the heating coil into an exposed hole formed in a metal flange and combining the metal flange and the heating coil (S200); and inserting part of the heating coil into the interior of the pipe (S300).
  • It also includes a first body, a second body connected to the first body, a movement limiter provided on the first body and the second body, and a tightening member that adjusts the distance between the ends of the first body and the second body.
  • the present invention having the above-described structure and features has the effect of efficiently suppressing the adhesion and accumulation of exhaust matter in the piping system.
  • the present invention has the effect of being easy to manufacture.
  • Figure 1 is a schematic flowchart for explaining a method of manufacturing a depowder device for piping according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a diagram for explaining the heater manufacturing steps.
  • Figure 3 is a diagram for explaining the winding step.
  • Figure 4 is a diagram for explaining a state in which the end of the heating coil penetrates the exposed hole and the flange and the heating coil are coupled.
  • Figure 5 is a diagram for explaining the sealing step and fixing step.
  • FIG. 6 is a view of FIG. 5 viewed from direction A.
  • Figure 7 is a diagram showing a state in which a controller is connected to each of the temperature sensor and heating coil.
  • Figure 8 is a schematic flowchart for explaining a method of installing a depowder device for piping according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 9 is a diagram showing the process of inserting part of the heating coil into the pipe.
  • Figure 10 is a diagram for explaining a state in which the defower device for piping and the piping are fixed by the locking means according to the first embodiment of the present invention.
  • Figure 11 is a diagram for explaining a state in which the defower device for piping and the piping are fixed by the locking means according to the second embodiment of the present invention.
  • Figure 1 is a schematic flowchart for explaining a method of manufacturing a depowder device for piping according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a diagram for explaining the heater manufacturing steps.
  • the method of manufacturing a depowder device for piping is used in the pipe 7 (see FIG. 9, described later), so that the gas in the pipe 7 is cooled and solidified to form a powder.
  • This is to manufacture a defower device (D) (inner heater) for piping that can efficiently suppress internal adhesion, and hereinafter, for convenience of explanation, it will be referred to as the 'present method'.
  • the present method (method of manufacturing a depowder device for piping according to an embodiment of the present invention) includes a heater manufacturing step (S1), a winding step (S2), and a joining step (S3). do.
  • the heater manufacturing step (S1) is a step (S11) of manufacturing an intermediate product by installing a heating wire 112 (wire) connected to a power source inside the metal tube 111 and filling it with insulating material 113 ([A in Figure 2). ] includes).
  • the metal tube 111 may be made of stainless steel (SUS), and the inner and outer surfaces of the metal tube 111 are coated with chromium nitride (CrN), titanium nitride (TiN), etc. to provide wear resistance and corrosion resistance. (especially high temperature corrosion resistance) can be improved.
  • SUS stainless steel
  • CrN chromium nitride
  • TiN titanium nitride
  • the heating wire 112 may have a longitudinal direction parallel to the longitudinal direction (left and right directions in FIG. 2) of the metal tube 111, and a pair of the heating wires 112 may be inserted and installed inside the metal tube 111 in step (S11). You can.
  • the insulator 113 may be, for example, magnesium oxide, and in step (S11), the pair of heating wires 112 are spaced apart from each other, and each of the pair of heating wires 112 and the metal tube 111 are spaced apart. You can do it.
  • the heater manufacturing step (S1) involves cutting the intermediate product to have a predetermined length and connecting one end of the exposed heating wires 112 (S12) (see [B] in Figure 2). ) includes.
  • It may include a step (S121) of exposing both ends of a pair of heating wires 112 installed inside.
  • the step (S12) may include a step (S122) of connecting (electrically connecting) one end to the other end of the pair of heating wires 112.
  • One end of each pair of heating wires 112 refers to one of the two ends, and in FIG. 2, it may refer to the right end.
  • step (S12) includes steps (S120) to (S122), so that each end of the pair of heating wires (112) is exposed from the metal tube (111) and connected to the power supply, As described above, one end portions can be electrically connected to each other to receive electricity from a power source and generate heat as an electrical resistor.
  • one end of the pair of heating wires 112 may function as a positive terminal, and the other end (exposed end) may function as a negative terminal.
  • the present method includes step (S12), whereby one intermediate product can be cut into a desired size and manufactured into a plurality of heaters 11.
  • the heater manufacturing step (S1) is a metal cover 114 whose inside is filled with the insulating material 113, and a pair of heating wires 112 among the openings on both sides of the metal tube 111.
  • a step (S13) of covering one side opening (the right opening of the metal tube 111 with reference to FIG. 2) where the connected part (connection part) is exposed (S13), and a step of connecting the metal tube 111 and the metal cover 114 (S14) ) may include (see [C] in Figure 2).
  • the metal cover 114 may also be made of stainless steel (SUS), and in step (S14), the metal tube 111 and the metal cover 114 may be connected and fixed to each other by a method such as welding.
  • SUS stainless steel
  • the heater manufacturing step (S1) of the present method includes steps (S13) and (S14), so that the above-mentioned connection can be effectively protected.
  • Figure 3 is a diagram for explaining the winding step.
  • the winding step (S2) involves winding the heater 11 around the jig 6 to manufacture a heating coil 1 having a predetermined outer diameter and at least a portion of which is inserted into the pipe 7. This is the step.
  • the jig 6 may exemplarily include a rod body 61 and a head 62 provided at an end of the rod body 61.
  • the winding step (S2) is more specifically a step (S21) of fixing (temporarily fixing) one end of the heater 11 to the rod body 61, and fixing the other end of the heater 11 to the rod body 61. It may include a step (S22) of rotating (61).
  • one end of the heater 11 (the left end with respect to FIG. 3) is connected to one end of the rod body 61 (the left end with respect to FIG. 3) by various known methods (eg, bolting coupling, etc.). It can be temporarily fixed at the end).
  • the rod body 61 can be rotated as the head 62 is rotated, and as described above, the other end (right end with reference to FIG. 3) of the heater 11 is fixed and the rod body As (61) rotates, it is wound around the rod body (61) and manufactured into a coil-shaped heating coil (1).
  • the present method can more easily manufacture the heater 11 as a coil-shaped heating coil 1.
  • the temporarily fixed state of the heating coil 1 and the rod body 61 is released, and the heating coil 1 can be separated from the rod body 61.
  • the heating coil 1 is said to have a predetermined outer diameter, but the outer diameter of the heating coil 1 may correspond to or be somewhat smaller than the inner diameter of the pipe 7, which will be described later.
  • Figure 4 is a diagram for explaining a state in which the end of the heating coil penetrates the exposed hole and the flange and the heating coil are coupled.
  • the coupling step (S3) involves attaching the end of the heating coil 1 (tensile end 1b to be described later) to the exposed hole 23 formed in the metal flange 2 (flange made of metal). ) is the step of inserting the flange (2) and the heating coil (1).
  • the flange 2 includes a tube body 20 having a hollow 201 formed on the inside, a hole formed to penetrate the inside and outside of the tube body 20, and a protrusion 21 provided to protrude outward from the outer surface of the tube body 20. ), may include a through hole formed along the longitudinal direction (projection direction of the protrusion 21) inside the protrusion 21 and communicating with the hole.
  • the exposed hole 23 may be formed by the through hole and the hole.
  • the inner side refers to the inner center line side of the flange (2) and the pipe (7).
  • the inner center line is a center line parallel to the forward direction (parallel to the longitudinal direction of the pipe (7)) in Figures 4 and 9, which will be described later. outside means the radial direction from the center line, and the same will be applied in the following description.
  • the coupling step (S3) may include a step (S31) of forming a tensile end portion (1b) by tensioning the end of the heating coil (1).
  • the heating coil 1 is composed of a coil portion 1a formed by winding the heater 11 and a tensioned end portion 1b formed in a straight line by stretching from the end of the coil portion 1a. You can.
  • the coupling step (S3) may include inserting the tensile end portion (1b) into the exposed hole (23) (S32).
  • the method includes the step (S31) of forming the tensile end portion 1b, so that the end of the heating coil 1 can be easily inserted into the exposed hole 23 to form the heating coil 1 and the flange ( There is an advantage that the combination of 2) can be performed more easily.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the sealing step and fixing step.
  • FIG. 6 is a view of FIG. 5 viewed from direction A.
  • the coupling step (S3) is a step (S33) of blocking the exposed hole 23 through which the end (tensile end portion 1b) of the heating coil 1 penetrates with a sealing member 3. ) may include.
  • the sealing member 3 may be a ferrule made of metal.
  • the sealing member 3 can penetrate the tensile end 1b, and moves downward on the tensile end 1b to block the exposed hole 23 through which the tensile end 1b has penetrated.
  • the sealing member 3 may include a lower member whose width decreases downward but whose outer diameter is larger than the diameter of the exposed hole 23 and an upper member disposed above the lower member.
  • the method includes the step (S33) of blocking the exposed hole 23 with the sealing member 3, and the fluid flows through the exposed hole 23 (first exposed hole) through which the end of the heating coil 1 penetrates.
  • the coupling step (S3) includes a step (S23) of fixing the exposed portion of the heating coil (1) with the fixing member (4) while a portion of the heating coil (1) is exposed to the outside of the exposed hole (23). It can be included.
  • the fixing member 4 may be a nut, and the nut is screwed with a screw thread formed on the outer periphery of the tensile end portion 1b or a screw thread formed on the protrusion 21 and moves downward.
  • the sealing member 3 (exemplarily the lower member) is pressed downward so that the sealing member 3, which is inserted through the tension end portion 1b, is inserted into the exposed hole 23, thereby forming the end of the heating coil 1. can be coupled to the flange (2).
  • the heating coil 1 is coupled to and fixed to the flange 2 described above.
  • the flange (2) described above is coupled to the pipe (7) while the heating coil (1) is inserted into the pipe (7), as will be explained in more detail later in the description.
  • the method includes a winding step (S2) of manufacturing the heating coil (1), at least part of which is inserted into the pipe (7), and a flange (2) that can be coupled to the pipe (7) and a heating coil (1). ), including the coupling step (S3) of combining the pipes (7), heating the gas inside the pipe (7) to suppress the gas from being cooled and turning into powder, and heating the outside of the pipe (7).
  • the pipe ( 7) It has the advantage of being able to more efficiently prevent powder from sticking inside.
  • Figure 7 is a diagram showing a state in which a controller is connected to each of the temperature sensor and heating coil.
  • this method is to detect the temperature sensor (5) through a second exposure hole formed in the flange (2) so that the measuring part of the temperature sensor (5) is located inside the flange (2). 5) It may include a temperature sensor insertion step (S4). Since the temperature sensor 5 is well-known, a more detailed description will be omitted.
  • the second exposed hole can also be sealed through a configuration corresponding to the sealing member 3, and can be fixed to the flange 2 through a configuration corresponding to the fixing member 4.
  • the tension end 1b of the heating coil 1 may be electrically connected to a device such as a heater power controller connection, and the temperature sensor 5 may also be connected to a device such as a temperature sensor controller connection.
  • this method includes the temperature sensor insertion step (S4) and determines the temperature inside the pipe 7 in real time to control the heat generation amount of the heating coil 1 (the amount of power supplied to the heating coil 1), thereby controlling the pipe ( 7)
  • the internal temperature can be adjusted.
  • Figure 8 is a schematic flowchart for explaining a method of installing a depowder device for piping according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 9 is a diagram showing the process of inserting part of the heating coil into the pipe.
  • this installation method is the same as or corresponds to the above-described method or the defower device (D) for piping manufactured by this method. Since it includes technical features, the same reference numerals will be used for the same or similar configurations as those discussed above, and overlapping descriptions will be simplified or omitted.
  • this installation method (installation method of defower device for piping according to an embodiment of the present invention) includes a heating coil manufacturing step (S100) and a defower device manufacturing step for piping (S200). ), and an insertion step (S300).
  • the heating coil manufacturing step (S100) includes the process of installing the heating wire 112 inside the metal pipe 111 and filling it with insulating material 113 (hereinafter referred to as the first process).
  • step (S11) corresponds to step (S11) in the method described above, and the description of the first process will be replaced with the description of step (S11).
  • the heating coil manufacturing step (S100) may include the heater manufacturing step (S1) and the above-described winding step (S2) in this method.
  • the heating coil 1 described above can be manufactured in the heating coil manufacturing step (S100).
  • this installation method inserts the end of the heating coil (1) into the exposed hole (23) formed in the metal flange (2), connects the flange (2) and the heating coil (1), and creates a depowder device (D) for piping. It includes a manufacturing step (S200) of a depowder device for manufacturing a pipe.
  • the above-described defower device manufacturing step (S200) corresponds to the above-described combining step (S3) of the method, and the description of the piping defower device manufacturing step (S200) is the description of the above-described combining step (S3). It is decided to replace it with .
  • the insertion step (S300) is a step of inserting a portion of the heating coil (1) into the pipe (7).
  • the heating coil 1 is said to include a coil portion 1a wound into a coil shape and a tension end portion 1b, and at least a portion of the coil portion 1a is connected to the pipe 7 in the insertion step S300. It is inserted inside.
  • the pipe 7 and the pipe depowder device D are connected and fixed to each other by the locking means 9, which will be described later, and a part of the heating coil 1 is installed inside the pipe 7.
  • This installation method includes the step of penetrating the heating coil (1) through the O-ring (8) so that the O-ring (8) is disposed between the flange (2) and the pipe (7) in the insertion step (S300) (S250). may include.
  • the step (S250) may be performed after the step of manufacturing a depowder device for piping (S200) and before the insertion step (S300).
  • the flange (2) moves toward the pipe (7) so that the heating coil (1) is inserted into the pipe (7) in step (S300).
  • the O-ring (8) is disposed between the rear end of the flange (2) and the front end of the pipe (7).
  • the O-ring 8 may be illustratively made of resin.
  • the front means the reverse direction of the 'A' direction (the reverse side of the 'A' direction, etc.) based on FIG. 9, and the rear (rear end, etc.) means the 'A' direction ('A' direction) based on FIG. 9.
  • A' direction side, etc. the same will be applied in the following description.
  • the present method has the advantage of being able to seal between the pipe (7) and the flange (2) including the (S250) step, thereby suppressing the movement of fluid and foreign substances between the pipe (7) and the flange (2). There is.
  • Figure 10 is a diagram for explaining a state in which the defower device for piping and the piping are fixed by the locking means according to the first embodiment of the present invention.
  • Figure 11 is a diagram for explaining a state in which the defower device for piping and the piping are fixed by the locking means according to the second embodiment of the present invention.
  • this installation method includes a first body 91, a second body 92 connected to the first body 91, and the first body 91 and the second body 92. ) and a locking means 9 (clamp) including a movement limiting jaw 93 provided in the flange ( 2) and installing at the connection portion of the pipe 7 (S400), and adjusting the end distance of the first body 91 and the second body 92 through the tightening member 94 to secure the flange ( 2) and the pipe 7 may be coupled to each other (S500).
  • a locking means 9 clamp
  • first body 91 and the second body 92 of the locking means 9 are each semicircular in shape, and The first body 91 and the second body 92 are coupled to each other so that their lower ends are rotatable while facing each other so as to surround the connection portion.
  • the first clamp surrounds the connection portion.
  • the movement limiting jaw 93 includes a front limiting jaw 931 protruding inward from the front end of each of the first body 91 and the second body 92, and the first body 91 and the second body 92.
  • the body 92 may include a rear limiting jaw 932 that protrudes inward from each rear end.
  • the flange 2 includes a wing portion 24 that protrudes outward from the rear end of the pipe body 20, and the pipe 7 may include a rim portion 71 that protrudes outward from the front end.
  • the front limit ridge 931 described above is disposed in front of the wing portion 24, and the rear limit ridge 932 is disposed at the rear of the rim portion 71, so that the defower device for piping (D) and the piping ( 7) Restricts forward and backward movement.
  • the fastening member 94 of the first clamp adjusts the distance between the upper ends of the first body 91 and the second body 92.
  • the fastening member 94 may be a bolt member.
  • the bolt member is a commonly known bolt member that includes a body portion provided with threads and a head portion provided at an end of the body portion and having a larger outer diameter than the body portion.
  • the bolt member is screwed into the nut hole formed in the first body 91 while penetrating the second body 92, so that the head of the bolt member presses or pressurizes the second body 92 toward the first body 91.
  • the connection portion of the first body 91 and the second body 92 can be tightened or released.
  • the locking means 9 surrounds and tightens the connection portion, thereby connecting the pipe 7 and the flange 2. You can do it.
  • the fastening member 94 of the locking means 9 (hereinafter referred to as the second clamp) according to the second embodiment of the present invention may be a bolt member, and the second body 92 has a front A bolt hole that is screwed with the bolt member 9 may be formed.
  • the first body 91 may be formed with a bolt hole through which the body of the bolt member penetrates, and the rear end is fastened to the second body 92 with the body of the bolt member penetrating the first body 91, The head portion provided at the front end of the body portion of the bolt member presses the first body 91 toward the second body 92 to adjust the separation distance between the first body 91 and the second body 92.
  • the movement limiting jaw 93 includes a front limiting jaw 931 that protrudes inward from the inner front end of the first body 91, and protrudes inward from the inner rear end of the second body 92. It may include a rear limit jaw 932.
  • the front limit ridge 931 may be disposed in front of the wing portion 24, and the rear limit ridge 932 may be disposed rear of the rim portion 71.

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Abstract

본 발명은 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체와 디스플레이의 기판 처리장치 등에서 배기되는 미반응 원료가스, 반응생성물 등의 배기물 흐름에 노출되는 배관 내주면에 배기물의 부착퇴적을 억제하기 위한 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 금속관 내부에 전원과 연결되는 열선을 설치하고 절연제를 충진하여 중간품을 제조하는 단계(S11), 상기 중간품을 절단하고, 노출된 열선들의 일단부를 연결하는 단계(S12)를 포함하는 히터 제조 단계(S1); 상기 히터를 지그에 감아 소정의 외경을 갖고 적어도 일부가 배관 내부에 삽입되는 히팅코일을 제조하는 권선 단계(S2); 및 금속 플랜지에 형성된 노출공에 상기 히팅코일의 단부를 삽입하여 상기 플랜지와 상기 히팅코일을 결합시키는 결합 단계(S3);를 포함한다.

Description

배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법
본 발명은 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체와 디스플레이의 기판 처리장치 등에서 배기되는 미반응 원료가스, 반응생성물 등의 배기물 흐름에 노출되는 배관 내주면에 배기물의 부착퇴적을 억제하기 위한 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어진다.
전 공정은 각종 프로세스 챔버 내에서 웨이퍼(Wafer) 상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 에칭하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공함으로써, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정이다. 또한 후공정은 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임(Lead frame)과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.
이때, 웨이퍼(Wafer) 상에 박막을 증착하거나 웨이퍼 상에 증착된 박막의 에칭 공정의 경우에는, 프로세스 챔버내에서 유해 가스를 사용하여 고온에서 수행된다. 이러한 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 가스 등이 다량 발생한다. 즉, 프로세스 챔버 내부에서는 유해가스의 약 30% 만 웨이퍼의 표면에 증착되고, 일부 반응하지 않은 가스는 배출되는 것이다.
이에, 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공 펌프의 후단에는, 프로세스 챔버로부터 배출되는 가스를 정화한 후 대기로 방출하기 위한 스크러버가 설치된다.
그런데, 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이에서 가스는 고형화되어 파우더로 변하는 일이 발생하였으며, 파우더는 포 라인과 배기 라인에 고착되어 배기 압력을 상승시킴과 동시에 파우더가 진공 펌프로 유입될 경우, 진공 펌프의 고장을 유발하는 문제점이 있었다. 즉, 프로세스 챔버로부터 펌프로 배출되는 가스 중의 반응부산물은 포 라인 및 배기 라인 내벽에 고착되어 포 라인과 배기 라인의 막힘 현상을 유발하였으며, 진공 펌프의 몸체에 고착되어 진공 펌프를 손상시킴으로써 수명을 단축시켰다.
이를 해소하기 위한 노력이 다방면으로 연구되고 있으며, 그 대표적인 것 중 하나는 포 라인이나 배기 라인의 외부 표면에 히팅 자켓을 배치하는 방식으로 제안된 바 있다. 그러나 이는 간접적인 가열 방식이기 때문에 파우더의 제거 효율이 낮은 문제가 있었고, 이로 인해 직접 가열 방식으로 전환이 요구되었다.
본원의 배경이 되는 기술은 KR 1020070030615 A, KR 200366263 Y1에 개시되어 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 배관계에 배기물의 부착퇴적을 효율적으로 억제할 수 있는 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법의 제공을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 제조가 용이한 배관용 디파우더 장치 제조 방법, 및 설치 방법의 제공을 목적으로 한다.
상기 과제의 해결을 목적으로 하는 본 발명은 다음의 구성 및 특징을 갖는다.
금속관 내부에 전원과 연결되는 열선을 설치하고 절연제를 충진하여 중간품을 제조하는 단계(S11), 상기 중간품을 절단하고, 노출된 열선들의 일단부를 연결하는 단계(S12)를 포함하는 히터 제조 단계(S1); 상기 히터를 지그에 감아 소정의 외경을 갖고 적어도 일부가 배관 내부에 삽입되는 히팅코일을 제조하는 권선 단계(S2); 및 금속 플랜지에 형성된 노출공에 상기 히팅코일의 단부를 삽입하여 상기 플랜지와 상기 히팅코일을 결합시키는 결합 단계(S3);를 포함한다.
또한 상기 (S12) 단계는, 상기 금속관 양단부와 상기 절연제 양단부를 절단하여 상기 금속관 내부에 설치된 한 쌍의 열선 양단부를 노출시키는 단계(S121); 및 한 쌍의 열선 중 어느 하나의 일단과 다른 하나의 일단을 연결시키는 단계(S122);를 포함할 수 있다.
또한 상기 히터 제조 단계(S1)는, 내부가 상기 절연제로 채워지는 금속덮개로 상기 금속관의 양측 개구 중 한 쌍의 열선이 연결된 부분이 노출되는 어느 한측을 덮는 단계(S13); 및 상기 금속관과 상기 금속덮개를 연결시키는 단계(S14);을 더 포함할 수 있다.
또한 상기 권선 단계(S2)는, 상지 지그의 봉체에 상기 히터의 일단부를 고정시키는 단계(S21); 및 상기 히터의 타단부를 고정시킨 상태에서 상기 봉체를 회전시키는 단계(S22);를 포함할 수 있다.
또한 상기 결합 단계(S3)는, 상기 히팅코일의 단부를 인장하여 인장단부를 형성하는 단계(S31); 및 상기 노출공에 상기 인장단부를 삽입하는 단계(S32);를 포함할 수 있다.
또한 상기 결합 단계(S3)는, 상기 히팅코일이 단부가 관통되는 노출공을 씰링부재로 막는 단계(S33);를 더 포함할 수 있다.
또한 상기 노출공의 외측으로 상기 히팅코일의 일부가 노출된 상태에서 상기 히팅코일의 노출된 부분을 고정부재로 고정시키는 단계(S34);를 더 포함할 수 있다.
또한 온도센서의 측정부가 상기 금속 플랜지 내부에 위치하도록, 상기 금속 플랜지에 형성된 제2노출공을 통해 상기 온도센서를 삽입하는 단계(S4);를 더 포함할 수 있다.
금속관 내부에 열선을 설치하고 절연제를 충진 하는 과정을 포함하는 히팅코일 제조 단계(S100); 금속 플랜지에 형성된 노출공에 상기 히팅코일의 단부를 삽입하여 상기 금속 플랜지와 상기 히팅코일을 결합시켜 배관용 디파우더 장치를 제조하는 단계(S200); 및 상기 히팅코일의 일부를 배관의 내부에 삽입하는 단계(S300);를 포함한다.
또한 상기 (S300) 단계 이전에 수행되고, 상기 (S300) 단계에서 오링이 상기 플랜지와 상기 배관 사이에 배치되도록, 상기 오링에 상기 히팅코일을 관통시키는 단계(S250);를 더 포함할 수 있다.
또한 제1바디, 제1바디와 연결되는 제2바디, 상기 제1바디와 상기 제2바디에 구비되는 이동제한턱, 상기 제1바디와 상기 제2바디의 단부 거리를 조절하는 조임부재를 포함하는 잠금수단을 상기 플랜지와 상기 배관의 연결부위에 설치하는 단계(S400); 및 상기 조임부재를 통해 상기 제1바디와 상기 제2바디의 단부 거리를 조절하여 상기 플랜지와 배관의 상호 결합시키는 단계(S500);를 포함할 수 있다.
상기 구성 및 특징을 갖는 본 발명은 배관계에 배기물의 부착퇴적을 효율적으로 억제할 수 있는 효과를 갖는다.
또한 본 발명은 제조가 용이한 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 흐름도이다.
도 2는 히터 제조 단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 권선 단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 히팅코일의 단부가 노출공을 관통하여 플랜지와 히팅코일이 결합된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 씰링단계 및 고정단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 5를 A 방향에서 바라본 도면이다.
도 7은 온도센서 및 히팅코일 각각에 컨트롤러가 연결된 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 설치 방법을 설명하기 위한 개략적인 흐름도이다.
도 9는 배관에 히팅코일의 일부가 삽입되는 과정을 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잠금수단에 의해 배관용 디파우더 장치와 배관이 고정된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 잠금수단에 의해 배관용 디파우더 장치와 배관이 고정된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결" 되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 흐름도이다. 도 2는 히터 제조 단계를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 제조 방법(이너히터 제조 방법)은 배관(7)(후술하는 도 9 참조)에 사용되어 배관(7) 내의 가스가 냉각 및 고형화되어 파우더 형태로 내부에 부착되는 것을 효율적으로 억제할 수 있는 배관용 디파우더 장치(D)(이너히터)를 제조하기 위한 것으로, 이하에서는 설명의 편의상 '본 방법'이라 칭하기로 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 방법(본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 제조 방법)은 히터 제조 단계(S1), 권선 단계(S2), 및 결합 단계(S3)를 포함한다.
히터 제조 단계(S1)는 금속관(111) 내부에 전원과 연결되는 열선(112)(전선)을 설치하고 절연제(113)를 충진하여 중간품을 제조하는 단계(S11)(도 2의 [A] 참조)를 포함한다.
예시적으로 상기 금속관(111)은 스테인레스(SUS) 재질일 수 있으며, 상기 금속관(111) 내외부 표면에는 크롬 니트레이트(Chromium Nitride, CrN)), 티탄 질화물(TiN) 등으로 코팅되어 내마모, 내식성(특히 고온 내식성) 등이 향상될 수 있다.
상기 열선(112)은 상기 금속관(111)의 길이 방향(도 2의 좌우 방향)과 평행한 길이 방향을 가질 수 있으며, 상기 (S11) 단계에서 한 쌍이 금속관(111)의 내부 에 삽입되어 설치될 수 있다.
상기한 절연제(113)는 예시적으로 산화마그네슘일 수 있으며, 상기 (S11) 단계에서 한 쌍의 열선(112)을 상호 이격 시키며, 한 쌍의 열선(112) 각각과 금속관(111)을 이격시킬 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 히터 제조 단계(S1)는 상기 중간품을 소정 길이를 갖도록 절단하고, 노출된 열선(112)들의 일단부를 연결하는 단계(S12)(도 2의 [B] 참조)를 포함한다.
상기한 (S12) 단계를 보다 구체적으로 설명하면, 중간품을 소정 길이를 갖도록 절단하는 단계(S120), 및 상기 금속관(111) 양단부와 상기 절연제(113) 양단부를 절단(탈피)하여 금속관(111) 내부에 설치된 한 쌍의 열선(112) 양단부를 노출시키는 단계(S121)를 포함할 수 있다.
또한 (S12) 단계는 한 쌍의 열선(112) 중 어느 하나의 일단과 다른 하나의 일단을 연결(전기적 연결)시키는 단계(S122)를 포함할 수 있다.
한 쌍의 열선(112) 각각의 일단은 양단 중 어느 하나의 끝단을 의미하는 것으로 도 2에는 우측단을 의미할 수 있다.
또한 상술한 바와 같이, (S12) 단계는, (S120) 단계 내지 (S122) 단계를 포함함으로써, 한 쌍의 열선(112) 각각의 단부가 금속관(111)에서 노출되도록 하여 전원에 연결되도록 하고, 상술한 바와 같이 일단부들이 상호 전기적으로 연결되어 전원에 공급되는 전기를 공급받아 전기저항체로서 발열이 되도록 할 수 있다.
즉, 한 쌍의 열선(112) 중 어느 하나의 단부는 양단자 역할을 수행하고, 다른 하나의 단부(노출 단부)는 음단자 역할을 수행할 수 있다.
이와 같이, 본 방법은 (S12) 단계를 포함하여, 하나의 중간품을 원하는 크기로 절단하여 다수의 히터(11)로 제조할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 히터 제조 단계(S1)는 내부가 상기 절연제(113)로 채워지는 금속덮개(114)로 상기 금속관(111)의 양측 개구 중 한 쌍의 열선(112)이 연결된 부분(연결부)이 노출되는 어느 한측 개구(도 2를 기준으로 금속관(111)의 우측 개구)를 덮는 단계(S13), 및 상기 금속관(111)과 금속덮개(114)를 연결시키는 단계(S14)를 포함할 수 있다(도 2의 [C] 참조).
상기 금속덮개(114)는 마찬가지로 스테인레스(SUS) 재질일 수 있으며, (S14) 단계에서 금속관(111)과 금속덮개(114)는 용접 등의 방법으로 상호 연결되어 고정될 수 있다.
이와 같이, 본 방법의 히터 제조 단계(S1)가 (S13) 단계와 (S14) 단계를 포함함으로써, 상기한 연결부를 효과적으로 보호할 수 있다는 이점이 있다.
도 3은 권선 단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 권선 단계(S2)는 상기 히터(11)를 지그(6)에 감아 소정의 외경을 갖고 적어도 일부가 배관(7) 내부에 삽입되는 히팅코일(1)을 제조하는 단계이다.
상기 지그(6)는 예시적으로 봉체(61)와 상기 봉체(61)의 단부에 구비된 헤드(62)를 포함할 수 있다.
권선 단계(S2)는 보다 구체적으로 상기 봉체(61)에 상기 히터(11)의 일단부를 고정(가고정)시키는 단계(S21), 및 상기 히터(11)의 타단부를 고정시킨 상태에서 상기 봉체(61)를 회전시키는 단계(S22)를 포함할 수 있다.
상기 (S21) 단계에서 히터(11)의 일단(도 3을 기준으로 좌측단)은 공지된 다양한 방식(예시적으로 볼팅 결합 등)에 의해 봉체(61)의 일측단부(도 3을 기준으로 좌측단부)에 가고정될 수 있다.
또한 상기 (S22) 단계에서 봉체(61)는 상기한 헤드(62)가 회전됨에 따라 회전될 수 있으며, 상술한 바와 같이 히터(11)의 타단(도 3을 기준으로 우측단)은 고정되어 봉체(61)가 회전함에 따라 봉체(61)에 권선되어 코일 형태의 히팅코일(1)로 제조된다.
이와 같이, 본 방법은 상술한 권선 단계(S3)를 포함함으로써, 히터(11)를 보다 용이하게 코일 형태의 히팅코일(1)로 제조할 수 있다.
이후에 히팅코일(1)과 봉체(61)는 가고정 상태가 해제되어 히팅코일(1)은 봉체(61)와 분리될 수 있다.
상술한 바와 같이, 히팅코일(1)은 소정의 외경을 갖는다고 하였는데, 히팅코일(1)의 외경은 후술하는 배관(7)의 내경과 상응하거나 다소 작을 수 있다.
도 4는 히팅코일의 단부가 노출공을 관통하여 플랜지와 히팅코일이 결합된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 결합 단계(S3)는 금속 플랜지(2)(금속 재질의 플랜지)에 형성된 노출공(23)에 상기 히팅코일(1)의 단부(후술하는 인장단부(1b))를 삽입하여 상기 플랜지(2)와 히팅코일(1)을 결합시키는 단계이다.
예시적으로 플랜지(2)는 내측에 중공(201)이 형성된 관체(20), 상기 관체(20)의 내외부를 관통하도록 형성된 구멍, 상기 관체(20)의 외면에서 외측으로 돌출 구비되는 돌출부(21), 상기 돌출부(21)의 내부에서 길이 방향(돌출부(21)의 돌출 방향)을 따라 형성되고 상기 구멍과 연통되는 통공을 포함할 수 있다. 상기 노출공(23)은 상기 통공과 구멍에 의해 형성될 수 있다.
여기에서 내측이란 플랜지(2) 및 배관(7)의 내측 중심선측을 의미하는데, 내측 중심선은 도 4 및 후술하는 도 9의 전방 방향(배관(7)의 길이 방향과 평행)과 평행한 중심선을 의미하고, 외측은 상기 중심선에서 방사상 방향을 의미하는데, 이하의 설명에서 동일하게 적용하기로 한다.
이때 상기 결합 단계(S3)는 상기 히팅코일(1)의 단부를 인장하여 인장단부(1b)를 형성하는 단계(S31)를 포함할 수 있다.
즉, (S31) 단계 이후에 상기 히팅코일(1)은 히터(11)가 감아져 형성된 코일부(1a)와 코일부(1a) 단부에서 인장되어 직선 형태로 형성된 인장단부(1b)로 구성될 수 있다.
결합 단계(S3)는 상기 노출공(23)에 상기 인장단부(1b)를 삽입하는 단계(S32)를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 방법은 상기한 인장단부(1b)를 형성하는 단계(S31)를 포함함으로써, 노출공(23)에 히팅코일(1)의 단부를 용이하게 삽입하여 히팅코일(1)과 플랜지(2)의 결합을 보다 쉽게 수행할 수 있다는 이점이 있다.
도 5는 씰링단계 및 고정단계를 설명하기 위한 도면이다. 도 6은 도 5를 A 방향에서 바라본 도면이다.
도 1, 도 4 내지 도 6을 참조하면, 결합 단계(S3)는 히팅코일(1)의 단부(인장단부(1b)가 관통되는 노출공(23)을 씰링부재(3)로 막는 단계(S33)를 포함할 수 있다.
예시적으로 씰링부재(3)는 금속 재질의 페럴일 수 있다. 상기한 씰링부재(3)은 인장단부(1b)로 관통될 수 있으며, 인장단부(1b) 상에서 하측으로 이동하여 인장단부(1b)가 관통된 노출공(23)을 막는다. 예시적으로 씰링부재(3)는 하측으로 갈수록 폭이 감소되되 외경이 상기 노출공(23)의 직경보다 큰 하부부재와 상기 하부부재보다 상측에 배치되는 상부부재를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 방법은 노출공(23)을 씰링부재(3)로 막는 단계(S33)를 포함하여 히팅코일(1)의 단부가 관통되는 노출공(23)(제1노출공)을 통해 유체가 이동되는 것을 억제할 수 있다는 이점이 있다.
또한 결합 단계(S3)는 노출공(23)의 외측으로 히팅코일(1)의 일부가 노출된 상태에서 히팅코일(1)의 노출된 부분을 고정부재(4)로 고정시키는 단계(S23)를 포함할 수 있다.
예시적으로 고정부재(4)는 너트일 수 있으며, 예시적으로 상기 너트는 인장단부(1b)의 외주에 형성된 나사산 또는 상기한 돌출부(21)에 형성된 나사산과 나사 체결되어 하측으로 이동하며 상기한 씰링부재(3)(예시적으로 하부부재)를 하측으로 가압하여 상기한 인장단부(1b)가 관통되어 끼워진 씰링부재(3)가 노출공(23)에 끼워지도록 하여 히팅코일(1)의 단부가 플랜지(2)에 결합되도록 할 수 있다.
이와 같이, 결합 단계(S3)에서 히팅코일(1)은 상기한 플랜지(2)에 결합되어 고정된다. 상기한 플랜지(2)는 후술하는 설명에서 보다 자세히 설명하겠지만 히팅코일(1)이 배관(7) 내부에 삽입된 상태에서 배관(7)과 결합되는 것이다.
이와 같이, 본 방법은 적어도 일부가 배관(7) 내부에 삽입되는 히팅코일(1)을 제조하는 권선 단계(S2)와, 배관(7)과 결합될 수 있는 플랜지(2)와 히팅코일(1)을 결합하는 결합 단계(S3) 등을 포함하여, 배관(7) 내부에서 가스를 히팅 하여 가스가 냉각되어 파우더화 되는 것을 억제하고, 관(7) 외부를 히팅 하는 종래기술과 비교하여 배관(7) 내부에 파우더가 부착되는 것을 보다 효율적으로 억제할 수 있다는 이점이 있다.
도 7은 온도센서 및 히팅코일 각각에 컨트롤러가 연결된 상태를 도시한 도면이다.
도 1, 도 4 내지 도 7을 참조하면, 본 방법은 온도센서(5)의 측정부가 상기 플랜지(2) 내부에 위치하도록, 상기 플랜지(2)에 형성된 제2노출공을 통해 상기 온도센서(5)를 삽입하는 온도센서 삽입 단계(S4)를 포함할 수 있다. 온도센서(5)는 공지된 것으로서 보다 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
마찬가지로 제2노출공 또한 씰링부재(3)와 상응하는 구성을 통해 밀폐될 수 있으며, 고정부재(4)와 상응하는 구성을 통해 플랜지(2)에 고정될 수 있음은 물론이다.
히팅코일(1)의 인장단부(1b)는 히터 전원 콘트롤러 연결부와 같은 장치와 전기적으로 연결되고, 온도센서(5) 또한 온도센서 컨트롤러 연결부와 같은 장치와 연결될 수 있다.
이와 같이, 본 방법은 온도센서 삽입 단계(S4)를 포함하여 배관(7) 내부의 온도를 실시간으로 파악하여 히팅코일(1)의 발열량(히팅코일(1)에 전원 공급량)을 제어함으로써 배관(7) 내부의 온도를 조절하도록 할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 설치 방법을 설명하기 위한 개략적인 흐름도이다. 도 9는 배관에 히팅코일의 일부가 삽입되는 과정을 도시한 도면이다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 설치 방법(이하 '본 설치방법'이라 함)에 대해 설명한다. 다만, 본 설치방법 상술한 본 방법에 의해 제조된 배관용 디파우더 장치(D)의 설치 방법으로서, 상술한 본 방법 또는 본 방법에 의해 제조된 배관용 디파우더 장치(D)와 동일하거나 상응하는 기술적 특징을 포함하므로, 앞서 살핀 구성과 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
도 4, 도 8 및 도 9를 참조하면, 본 설치방법(본 발명의 일 실시예에 따른 배관용 디파우더 장치 설치 방법)은 히팅코일 제조 단계(S100), 배관용 디파우더 장치 제조 단계(S200), 및 삽입 단계(S300)를 포함한다.
히팅코일 제조 단계(S100)는 금속관(111) 내부에 열선(112)을 설치하고 절연제(113)를 충진 하는 과정(이하 제1과정)을 포함한다.
상기한 제1과정은 상술한 본 방법에서 (S11) 단계와 상응하는 과정으로 제1과정의 설명은 (S11) 단계의 설명으로 대체하기로 한다.
또한 히팅코일 제조 단계(S100)는 본 방법에서 히터 제조 단계(S1)와 상술한 권선 단계(S2)를 포함할 수 있다.
따라서 히팅코일 제조 단계(S100)에서 상기한 히팅코일(1)이 제조될 수 있다.
또한 본 설치방법은 금속 플랜지(2)에 형성된 노출공(23)에 히팅코일(1)의 단부를 삽입하여 플랜지(2)와 히팅코일(1)을 결합시켜 배관용 디파우더 장치(D)를 제조하는 배관용 디파우더 장치 제조 단계(S200)를 포함한다.
상기한 배관용 디파우더 장치 제조 단계(S200)는 상술한 본 방법의 결합 단계(S3)와 상응하는 것으로, 배관용 디파우더 장치 제조 단계(S200)의 설명은 상술한 결합 단계(S3)의 설명으로 대체하기로 한다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 삽입 단계(S300)는 상기 히팅코일(1)의 일부를 배관(7)의 내부에 삽입하는 단계이다.
상술하였듯이 히팅코일(1)은 코일 형상으로 감긴 코일부(1a)와 인장단부(1b)를 포함한다고 하였는데, 코일부(1a)의 적어도 일부가 상기한 삽입 단계(S300)에서 배관(7)의 내부에 삽입된다.
후술하는 잠금수단(9)에 의해 배관(7)과 배관용 디파우더 장치(D)는 상고 연결 고정되어 히팅코일(1)의 일부가 배관(7) 내부에 설치된다.
본 설치방법은 상기한 삽입 단계(S300)에서 오링(8)이 상기 플랜지(2)와 배관(7) 사이에 배치되도록 상기 오링(8)에 상기 히팅코일(1)을 관통시키는 단계(S250)를 포함할 수 있다.
상기 (S250) 단계는 배관용 디파우더 장치 제조 단계(S200) 이후에 수행되고, 삽입 단계(S300) 이전에 수행될 수 있다.
따라서 오링(8)을 히팅코일(1)이 관통하여 삽입된 상태에서, 상기 (S300) 단계에서 히팅코일(1)이 배관(7) 내부에 삽입되도록 플랜지(2)가 배관(7) 측으로 이동하는 경우, 오링(8)이 플랜지(2)의 후단과 배관(7)의 전단 사이에 배치된다. 오링(8)은 예시적으로 수지 재질일 수 있다.
여기에서 전방(전단 등)은 도 9를 기준으로 'A'방향의 역방향('A'방향의 역방향측 등)을 의미하고, 후방(후단 등)은 도 9를 기준으로 'A'방향('A'방향측 등)을 의미하는데, 이하의 설명에서 동일하게 적용하기로 한다.
이와 같이, 본 방법은 (S250) 단계를 포함하여 배관(7)과 플랜지(2) 사이를 밀폐할 수 있어 배관(7)과 플랜지(2) 사이로 유체 및 이물질이 이동하는 것을 억제할 수 있다는 이점이 있다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잠금수단에 의해 배관용 디파우더 장치와 배관이 고정된 상태를 설명하기 위한 도면이다. 도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 잠금수단에 의해 배관용 디파우더 장치와 배관이 고정된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 8 내지 도 11을 참조하면, 본 설치방법은 제1바디(91), 제1바디(91)와 연결되는 제2바디(92), 상기 제1바디(91)와 상기 제2바디(92)에 구비되는 이동제한턱(93), 및 제1바디(91)와 제2바디(92)의 단부 거리를 조절하는 조임부재(94)를 포함하는 잠금수단(9)(클램프)을 상기 플랜지(2)와 배관(7)의 연결부위에 설치하는 단계(S400), 및 상기 조임부재(94)를 통해 상기 제1바디(91)와 제2바디(92)의 단부 거리를 조절하여 상기 플랜지(2)와 배관(7)을 상호 결합시키는 단계(S500)를 포함할 수 있다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 잠금수단(9)(이하 제1클램프)의 제1바디(91)와 제2바디(92)는 각각 반원 형태이며, 제1바디(91) 및 제2바디(92)는 상기 연결부위를 감싸도록 상호 마주보는 상태에서 각각 하단이 회동 가능하게 상호 결합된다.
상기 제1클램프는 상기한 연결부위를 감싼다. 이때 상기한 이동제한턱(93)은 상기한 제1바디(91) 및 제2바디(92) 각각의 전단에서 내측으로 돌출 구비되는 전방제한턱(931)과, 제1바디(91) 및 제2바디(92) 각각의 후단에서 내측으로 돌출 구비되는 후방제한턱(932)을 포함할 수 있다.
상기한 플랜지(2)는 관체(20)의 후단에서 외측으로 돌출 구비되는 날개부(24)를 포함하고, 상기한 배관(7)은 전단에서 외측으로 돌출 구비되는 림부(71)를 포함할 수 있는데, 상기한 전방제한턱(931)은 날개부(24)의 전방에 배치되고, 후방제한턱(932)은 림부(71)의 후방에 배치되어, 배관용 디파우더 장치(D)와 배관(7)이 전후방으로 이동하는 것을 제한한다.
제1클램프의 조임부재(94)는 제1바디(91)의 제2바디(92)의 상단부 간 거리를 조절하는 것으로, 예시적으로 조입부재(94)는 볼트부재일 수 있다.
볼트부재는 나사산이 구비된 몸체부와 몸체부의 단부에 구비되어 몸체부보다 큰 외경을 갖는 헤드부를 포함하는 통상의 공지된 것이다.
볼트부재는 제2바디(92)를 관통한 상태로 제1바디(91)에 형성된 너트공에 나사 체결되어 볼트부재의 헤드부가 제2바디(92)를 제1바디(91) 측으로 가압하거나 가압을 해제하여 제1바디(91)와 제2바디(92) 간의 거리를 조절함으로써, 제1바디(91)와 제2바디(92)가 연결부위를 조이거나 조임을 해제할 수 있다.
이와 같이, 제1바디(91)의 제2바디(92)의 상단 거리가 좁아짐에 따라 잠금수단(9)은 상기한 연결부위를 감싸며 조임으로써, 배관(7)과 플랜지(2)를 상호 결합시킬 수 있다.
도 9 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 잠금수단(9)(이하 제2클램프)의 조임부재(94)는 볼트부재일 수 있으며, 제2바디(92)는 전면에 상기한 볼트부재(9)와 나사 체결되는 볼트공이 형성될 수 있다.
이때 제1바디(91)는 볼트부재의 몸체가 관통되는 볼트공이 형성될 수 있으며, 볼트부재의 몸체가 제1바디(91)를 관통한 상태에서 후단부가 제2바디(92)와 체결되며, 볼트부재의 몸체부 전단에 구비된 헤드부가 제1바디(91)를 제2바디(92) 측으로 가압하여 제1바디(91)와 제2바디(92)의 이격 거리를 조절한다.
이때 이동제한턱(93)은 상기한 제1바디(91)의 내측 전단부에서 내측으로 돌출 구비되는 전방제한턱(931)을 포함하고, 제2바디(92)의 내측 후단부에서 내측으로 돌출 구비되는 후방제한턱(932)을 포함할 수 있다.
전방제한턱(931)은 상기한 날개부(24)의 전방에 배치되고, 후방제한턱(932)은 림부(71)의 후방에 배치될 수 있다.
상술한 바와 같이 조임부재(94)에 의해 전방제한턱(931)와 후방제한턱(932)의 이격 거리가 좁아지는 경우, 배관(7)과 플랜지(2)는 상호 결합될 수 있다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명한 본 발명은 통상의 기술자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (11)

  1. 금속관 내부에 전원과 연결되는 열선을 설치하고 절연제를 충진하여 중간품을 제조하는 단계(S11), 상기 중간품을 절단하고, 노출된 열선들의 일단부를 연결하는 단계(S12)를 포함하는 히터 제조 단계(S1);
    상기 히터를 지그에 감아 소정의 외경을 갖고 적어도 일부가 배관 내부에 삽입되는 히팅코일을 제조하는 권선 단계(S2); 및
    금속 플랜지에 형성된 노출공에 상기 히팅코일의 단부를 삽입하여 상기 플랜지와 상기 히팅코일을 결합시키는 결합 단계(S3);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 배광용 디파우더 장치 제조 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 (S12) 단계는,
    상기 금속관 양단부와 상기 절연제 양단부를 절단하여 상기 금속관 내부에 설치된 한 쌍의 열선 양단부를 노출시키는 단계(S121); 및
    한 쌍의 열선 중 어느 하나의 일단과 다른 하나의 일단을 연결시키는 단계(S122);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 디파우더 장치 제조 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 히터 제조 단계(S1)는,
    내부가 상기 절연제로 채워지는 금속덮개로 상기 금속관의 양측 개구 중 한 쌍의 열선이 연결된 부분이 노출되는 어느 한측을 덮는 단계(S13); 및
    상기 금속관과 상기 금속덮개를 연결시키는 단계(S14);
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치 제조 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 권선 단계(S2)는,
    상지 지그의 봉체에 상기 히터의 일단부를 고정시키는 단계(S21); 및
    상기 히터의 타단부를 고정시킨 상태에서 상기 봉체를 회전시키는 단계(S22);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치 제조 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 결합 단계(S3)는,
    상기 히팅코일의 단부를 인장하여 인장단부를 형성하는 단계(S31); 및
    상기 노출공에 상기 인장단부를 삽입하는 단계(S32);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치 제조 방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 결합 단계(S3)는,
    상기 히팅코일이 단부가 관통되는 노출공을 씰링부재로 막는 단계(S33);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치 제조 방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 노출공의 외측으로 상기 히팅코일의 일부가 노출된 상태에서 상기 히팅코일의 노출된 부분을 고정부재로 고정시키는 단계(S34);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치 제조 방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    온도센서의 측정부가 상기 금속 플랜지 내부에 위치하도록, 상기 금속 플랜지에 형성된 제2노출공을 통해 상기 온도센서를 삽입하는 단계(S4);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치 제조 방법.
  9. 금속관 내부에 열선을 설치하고 절연제를 충진 하는 과정을 포함하는 히팅코일 제조 단계(S100);
    금속 플랜지에 형성된 노출공에 상기 히팅코일의 단부를 삽입하여 상기 금속 플랜지와 상기 히팅코일을 결합시켜 배관용 디파우더 장치를 제조하는 단계(S200); 및
    상기 히팅코일의 일부를 배관의 내부에 삽입하는 단계(S300);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치의 설치 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 (S300) 단계 이전에 수행되고, 상기 (S300) 단계에서 오링이 상기 플랜지와 상기 배관 사이에 배치되도록, 상기 오링에 상기 히팅코일을 관통시키는 단계(S250);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치의 설치 방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    제1바디, 제1바디와 연결되는 제2바디, 상기 제1바디와 상기 제2바디에 구비되는 이동제한턱, 상기 제1바디와 상기 제2바디의 단부 거리를 조절하는 조임부재를 포함하는 잠금수단을 상기 플랜지와 상기 배관의 연결부위에 설치하는 단계(S400); 및
    상기 조임부재를 통해 상기 제1바디와 상기 제2바디의 단부 거리를 조절하여 상기 플랜지와 배관의 상호 결합시키는 단계(S500);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관용 디파우더 장치의 설치 방법.
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