WO2024021305A1 - 一种用于制备电子级 tft 显影液的进料装置 - Google Patents
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Abstract
一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，包括主储料舱(1)，所述主储料舱(1)内部的左右两侧对称开设有原料舱(11)，且原料舱(11)之间开设有存液舱(12)，并且该原料舱(11)的上方安装有密封盖，所述主储料舱(1)背侧固定连接有主架体(13)，所述主储料舱(1)的前侧固定连接有安装架(14)，所述安装架(14)的前侧设置有定量抽液机构(2)，通过驱动气缸(21)的正向驱动使得定量筒(23)的内部抽取定量的超纯水，并在驱动气缸(21)反向驱动后促使超纯水自动添加至槽体的内部，该过程无需人工进行干预，便可实现自动进料，同时也能够最大限度地减少对超纯水的污染，从而能够为TFT显影液的制备提供较为纯净的超纯水，进而利于提升后续显影液制备的纯净度。
Description
本发明涉及TFT显影液制备技术领域，具体是涉及一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置。
目前已公布的授权号为CN111999993A的中国发明申请专利，其提出了一种电子级TFT显影液的制备工艺，其具体的制备工艺包括：其一，将第一超纯水溶解于溶解槽；其二，接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽等步骤；而目前针对该制备过程的配套成型设备仍不够完善，由于需要多次添加原料进行显影液的制备，故导致制备过程较为繁琐且浪费人力，并且由于需要添加超纯水，而超纯水中几乎不含其它杂质，故如果通过人工进行超纯水的添加，极易污染到超纯水的纯净度，进而便会影响到后续显影液成品的纯洁度，故有鉴于此，本发明提出一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，以改善TFT显影液制备过程的不足之处。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，上述进料装置解决了上述背景技术中提出的人工进料存在效率低且浪费人力等技术问题。
为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，包括主储料舱，所述主储料舱包括：原料舱、存液舱、主架体和安装架，所述主储料舱内部的左右两侧对称开设有原料舱，且原料舱之间开设有存液舱，并且该原料舱的上方安装有密封盖，所述主储料舱背侧固定连接有主架体，所述主储料舱的前侧固定连接有安装架，所述安装架、主架体、主储料舱构成本装置的主体架构，所述安装架的前侧设置有定量抽液机构，且定量抽液机构的下方设置有随动启闭机构，所述主储料舱的底部前侧设置有搅拌给料机构；所述定量抽液机构包括：驱动气缸、连接盘、定量筒、活塞杆、导液管和出液管，所述安装架的前侧安装有驱动气缸，且驱动气缸的下方输出端固定连接有连接盘，并且连接盘的下方设置有定量筒，所述定量筒的内部适配设置有活塞杆，且活塞杆的上端固定连接于连接盘的底面，所述定量筒的下方连通有导液管，且导液管的下方前侧设置有排液管，所述主储料舱内部设置的存液舱的底部连通有出液管。
优选的，所述导液管的下端、出液管的前端、排液管的背端通过设置的随动启闭机构相连通。
优选的，所述随动启闭机构包括启闭舱、转动双通、通口、随动齿盘、联动齿条，所述出液管的前端固定连接有启闭舱，且启闭舱的内部转动连接有转动双通，并且转动双通的内部开设有通口，所述转动双通的右侧固定连接有随动齿盘，且随动齿盘的背侧啮合有联动齿条，所述联动齿条的上端固定连接于连接盘的右侧面。
优选的，所述启闭舱为方形腔体结构，且启闭舱的内腔呈圆柱形。
优选的，所述转动双通为圆柱腔体结构，且转动双通适配于启闭舱的内腔，所述通口呈竖直贯穿开设于转动双通的内部。
优选的，所述搅拌给料机构包括：随动连杆、螺纹圈、导料竖管、电动阀门、传感器和螺旋内搅拌轴，所述驱动气缸的左右两侧均对称固定连接有随动连杆，且随动连杆的下端固定连接有螺纹圈，并且螺纹圈的内部设置有导料竖管，所述导料竖管的上端内部安装有电动阀门，所述主储料舱外壁靠近电动阀门的一侧安装有传感器，该电动阀门与传感器呈电性连接，所述导料竖管上端延伸至存液舱的底部固定连接有螺旋内搅拌轴。
优选的，所述导料竖管的外壁开设有外螺纹，所述螺纹圈与导料竖管呈螺纹连接。
优选的，所述导料竖管为贯穿腔体式结构，且导料竖管的上端转动连接于存液舱的底部，所述导料竖管与存液舱相连通。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：(1)通过设置定量抽液机构，通过驱动气缸的正向驱动使得定量筒的内部先抽取定量的超纯水，并在驱动气缸反向驱动后促使超纯水自动添加至槽体的内部，该过程无需人工进行干预，便可实现自动化的进料步骤，同时在无人工干预的情况下也能够最大限度地减少对超纯水的污染，从而能够为显影液的制备提供较为纯净的超纯水，进而利于提升后续显影液制备的纯净度；(2)通过设置主储料舱，在主储料舱的内部分设有原料舱与存液舱，该设置不仅能够将超纯水与待使用的晶体进行合理的分配与收纳，同时也能够避免超纯水受到外界物质的污染，从而更好地供给于TFT显影液的后续制备；(3)通过设置有随动启闭机构，随动启闭机构与定量抽液机构配合实现对超纯水抽取过程的自动启闭，能够在定量筒抽取一次量的超纯水后便停止存液舱内部超纯水的继续抽取，从而保证单次输送超纯水的精确度；(4)通过设置有搅拌给料机构，当导料竖管旋转后则会带动位于其上端且位于原料舱内部的螺旋内搅拌轴同步旋转，而通过螺旋内搅拌轴的旋转则会对原料舱内部存放的晶体进行搅动，通过螺旋内搅拌轴的搅动不仅能够便于原料舱内部晶体的后续送出，同时通过螺旋内搅拌轴的搅动也能够有效地减少晶体在原料舱内部发生结块的情况。
图1为本发明的主视立体结构示意图。
图2为本发明图1中A区域的局部放大立体结构示意图。
图3为本发明中定量筒处的局部剖面立体结构示意图。
图4为本发明图1中B区域的局部放大立体结构示意图。
图5为本发明中随动启闭机构的局部立体结构示意图。
图6为本发明中启闭舱内部的展示立体结构示意图。
图7为本发明的后视立体结构示意图。
图8为本发明中电动阀门处的局部立体结构示意图。
图9为本发明主储料舱的局部俯视立体结构示意图。
图10为本发明中转动双通的局部展示立体结构示意图。
图11为本发明中转动双通的局部剖面俯视立体结构示意图。
图中标号为：1、主储料舱；11、原料舱；12、存液舱；13、主架体；14、安装架；2、定量抽液机构；21、驱动气缸；22、连接盘；23、定量筒；24、活塞杆；25、导液管；26、出液管；27、排液管；3、随动启闭机构；31、启闭舱；32、转动双通；33、通口；34、随动齿盘；35、联动齿条；4、搅拌给料机构；41、随动连杆；42、螺纹圈；43、导料竖管；44、电动阀门；45、传感器；46、螺旋内搅拌轴。
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
作为本发明的实施例一:请结合图1、图4至图6、图10、图11所示，一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，包括主储料舱1，该主储料舱1包括：原料舱11、存液舱12、主架体13和安装架14，主储料舱1内部的左右两侧对称开设有原料舱11，且原料舱11之间开设有存液舱12，并且该原料舱11的上方安装有密封盖，主储料舱1背侧固定连接有主架体13，主储料舱1的前侧固定连接有安装架14，安装架14、主架体13、主储料舱1构成本装置的主体架构，其中主架体13主要起到支撑和稳固主储料舱1的作用，安装架14的前侧设置有定量抽液机构2，且定量抽液机构2的下方设置有随动启闭机构3，该随动启闭机构3包括启闭舱31、转动双通32、通口33、随动齿盘34和联动齿条35，出液管26的前端固定连接有启闭舱31，启闭舱31为方形腔体结构，且启闭舱31的内腔呈圆柱形，且启闭舱31的内部转动连接有转动双通32，并且转动双通32的内部开设有通口33，转动双通32为圆柱腔体结构，且转动双通32适配于启闭舱31的内腔，通口33呈竖直贯穿开设于转动双通32的内部，转动双通32的右侧固定连接有随动齿盘34，且随动齿盘34的背侧啮合有联动齿条35，联动齿条35的上端固定连接于连接盘22的右侧面。
工作原理：在使用时，当驱动气缸21驱动带动连接盘22上升时则会同步带动位于右侧固定连接的联动齿条35上升，而在联动齿条35上升后则会带动与其啮合的随动齿盘34发生旋转，而在随动齿盘34旋转后则会同步带动位于启闭舱31内部的转动双通32同步旋转，且正好旋转九十度，而在转动双通32旋转九十度后，此时位于转动双通32下方的一组通口33则会旋转至与出液管26前端部位，即此时启闭舱31通过转动双通32旋转后的通口33完成出液管26与启闭舱31的连通，也即定量筒23能够将超纯水从存液舱12的内部吸出，而当驱动气缸21驱动连接盘22复位时，则会促使随动齿盘34带动转动双通32反向复位，此时出液管26不与导液管25的下端连通，而此时位于转动双通32上方的另一组通口33则会与排液管27的内端连通，故定量筒23内部的超纯水能够流经启闭舱31经过排液管27输送至槽体内，通过随动启闭机构3与定量抽液机构2配合实现对超纯水抽取过程的自动启闭，能够在定量筒23抽取一次量的超纯水后便停止存液舱12内部超纯水的继续抽取，从而保证单次输送超纯水的精确度。
作为本发明的实施例二:请结合图1与图7至图9所示，一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，包括主储料舱1，该主储料舱1包括：原料舱11、存液舱12、主架体13和安装架14，主储料舱1内部的左右两侧对称开设有原料舱11，且原料舱11之间开设有存液舱12，并且该原料舱11的上方安装有密封盖，主储料舱1背侧固定连接有主架体13，主储料舱1的前侧固定连接有安装架14，安装架14、主架体13、主储料舱1构成本装置的主体架构，其中主架体13主要起到支撑和稳固主储料舱1的作用，主储料舱1的底部前侧设置有搅拌给料机构4，该搅拌给料机构4包括：随动连杆41、螺纹圈42、导料竖管43、电动阀门44、传感器45和螺旋内搅拌轴46，驱动气缸21的左右两侧均对称固定连接有随动连杆41，且随动连杆41的下端固定连接有螺纹圈42，并且螺纹圈42的内部设置有导料竖管43，导料竖管43的外壁开设有外螺纹，螺纹圈42与导料竖管43呈螺纹连接，导料竖管43为贯穿腔体式结构，且导料竖管43的上端转动连接于存液舱12的底部，导料竖管43与存液舱12相连通，导料竖管43的上端内部安装有电动阀门44，主储料舱1外壁靠近电动阀门44的一侧安装有传感器45，该电动阀门44与传感器45呈电性连接，即通过传感器45检测信号，并控制电动阀门44的自动启闭，导料竖管43上端延伸至存液舱12的底部固定连接有螺旋内搅拌轴46。
工作原理：在使用时，当驱动气缸21向上驱动的同时会同步带动其下端左右两侧的随动连杆41向上运动，而随动连杆41则会带动其下端的螺纹圈42沿着导料竖管43的外壁逐渐上移，而在螺纹圈42与导料竖管43的螺纹配合传动下，则会使得导料竖管43发生旋转，而导料竖管43旋转后至带动位于其上端且位于原料舱11内部的螺旋内搅拌轴46同步旋转，而通过螺旋内搅拌轴46的旋转则会对原料舱11内部存放的晶体进行搅动，通过螺旋内搅拌轴46的搅动不仅能够便于原料舱11内部晶体的后续送出，同时通过螺旋内搅拌轴46的搅动也能够有效地减少晶体在原料舱11内部发生结块的情况，而当驱动气缸21带动螺纹圈42运动至靠近电动阀门44的位置时，此时的传感器45检测到该讯号，并及时将该讯号传递至电动阀门44，此时的电动阀门44开启，即原料舱11内部的晶体则会顺着导料竖管43逐渐下落，并在驱动气缸21带动螺纹圈42向下复位后，电动阀门44在传感器45的控制下自动关闭，至此即完成对两种晶体的自动添加。
作为本发明的实施例三:请结合图1至图11所示，一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，包括主储料舱1，主储料舱1包括：原料舱11、存液舱12、主架体13和安装架14，主储料舱1内部的左右两侧对称开设有原料舱11，且原料舱11之间开设有存液舱12，并且该原料舱11的上方安装有密封盖，主储料舱1背侧固定连接有主架体13，主储料舱1的前侧固定连接有安装架14，安装架14、主架体13、主储料舱1构成本装置的主体架构，其中主架体13主要起到支撑和稳固主储料舱1的作用；其中位于安装架14的前侧设置有定量抽液机构2，该定量抽液机构2包括：驱动气缸21、连接盘22、定量筒23、活塞杆24、导液管25和出液管26，安装架14的前侧安装有驱动气缸21，且驱动气缸21的下方输出端固定连接有连接盘22，并且连接盘22的下方设置有定量筒23，定量筒23的内部适配设置有活塞杆24，且活塞杆24的上端固定连接于连接盘22的底面，定量筒23的下方连通有导液管25，且导液管25的下方前侧设置有排液管27，主储料舱1内部设置的存液舱12的底部连通有出液管26，导液管25的下端、出液管26的前端、排液管27的背端通过设置的随动启闭机构3相连通；此外位于定量抽液机构2的下方设置有随动启闭机构3，该随动启闭机构3包括启闭舱31、转动双通32、通口33、随动齿盘34、联动齿条35，出液管26的前端固定连接有启闭舱31，启闭舱31为方形腔体结构，且启闭舱31的内腔呈圆柱形，且启闭舱31的内部转动连接有转动双通32，并且转动双通32的内部开设有通口33，转动双通32为圆柱腔体结构，且转动双通32适配于启闭舱31的内腔，通口33呈竖直贯穿开设于转动双通32的内部，转动双通32的右侧固定连接有随动齿盘34，且随动齿盘34的背侧啮合有联动齿条35，联动齿条35的上端固定连接于连接盘22的右侧面；而位于主储料舱1的底部前侧设置有搅拌给料机构4，搅拌给料机构4包括：随动连杆41、螺纹圈42、导料竖管43、电动阀门44、传感器45、螺旋内搅拌轴46，驱动气缸21的左右两侧均对称固定连接有随动连杆41，且随动连杆41的下端固定连接有螺纹圈42，并且螺纹圈42的内部设置有导料竖管43，导料竖管43的外壁开设有外螺纹，螺纹圈42与导料竖管43呈螺纹连接，导料竖管43为贯穿腔体式结构，且导料竖管43的上端转动连接于存液舱12的底部，导料竖管43与存液舱12相连通，导料竖管43的上端内部安装有电动阀门44，主储料舱1外壁靠近电动阀门44的一侧安装有传感器45，该电动阀门44与传感器45呈电性连接，即通过传感器45检测信号，并控制电动阀门44的自动启闭，导料竖管43上端延伸至存液舱12的底部固定连接有螺旋内搅拌轴46。
综上，本发明的完整流程及工作原理如下：首先，在使用本装置前，可由工作人员往主储料舱1内腔设置的存液舱12的内部添加存放超纯水，并再往两组原料舱11中分别添加碳酸钠晶体与碳酸氢钠晶体，随后并将主储料舱1上方安装的密封盖合盖至主储料舱1的上方，使得此时的主储料舱1整体呈密封空间，通过该设置不仅能够将超纯水与待使用的晶体进行合理的分配与收纳，同时也能够避免超纯水受到外界物质的污染，从而更好地供给于TFT显影液（下文中均简称为：显影液）的后续制备。
随后，可由工作人员将本装置移动至槽体的上方以供进料使用，在进料时，工作人员通过启动位于安装架14前侧安装的驱动气缸21，通过驱动气缸21启动后驱使着连接盘22向上发生位移，同时在连接盘22上升后则会同步带动位于定量筒23内部的活塞杆24同步上移，而此时便促使定量筒23内部的气压发生变化，从而在大气压强的作用下，便使得通过随动启闭机构3互相连通的导液管25与出液管26同步从存液舱12的内部将超纯水抽取至定量筒23的内腔，待定量筒23的内部抽取一定量的超纯水后，随即通过反向驱动驱动气缸21，促使连接盘22带动活塞杆24向下复位，而此时通过活塞杆24的下压力而产生的压强差的作用，促使定量筒23内部抽取的超纯水逐渐从活塞杆24的下端流经导液管25与启闭舱31的内部，并最终通过排液管27输送供给至槽体的内部，至此即完成了对超纯水的抽取与进料，通过驱动气缸21的正向驱动使得定量筒23的内部先抽取定量的超纯水，并在驱动气缸21反向驱动后促使超纯水自动添加至槽体的内部，该过程无需人工进行干预，便可实现自动化的进料步骤，同时在无人工干预的情况下也能够最大限度地减少对超纯水的污染，从而能够为显影液的制备提供较为纯净的超纯水，进而利于提升后续显影液制备的纯净度。
由于导液管25的下端、出液管26的前端、排液管27的背端通过设置的随动启闭机构3相连通，故与上述流程二中的过程处于同步进行的便有随动启闭机构3，该随动启闭机构3的具体运作原理及流程如下：当驱动气缸21驱动带动连接盘22上升时则会同步带动位于右侧固定连接的联动齿条35上升，而在联动齿条35上升后则会带动与其啮合的随动齿盘34发生旋转，而在随动齿盘34旋转后则会同步带动位于启闭舱31内部的转动双通32同步旋转，且正好旋转九十度，而在转动双通32旋转九十度后，此时位于转动双通32下方的一组通口33则会旋转至与出液管26前端部位，即此时启闭舱31通过转动双通32旋转后的通口33完成出液管26与启闭舱31的连通，也即定量筒23能够将超纯水从存液舱12的内部吸出，而当驱动气缸21驱动连接盘22复位时，则会促使随动齿盘34带动转动双通32反向复位，此时出液管26不与导液管25的下端连通，而此时位于转动双通32上方的另一组通口33则会与排液管27的内端连通，故定量筒23内部的超纯水能够流经启闭舱31经过排液管27输送至槽体内，通过随动启闭机构3与定量抽液机构2配合实现对超纯水抽取过程的自动启闭，能够在定量筒23抽取一次量的超纯水后便停止存液舱12内部超纯水的继续抽取，从而保证单次输送超纯水的精确度。
与此同时，当驱动气缸21向上驱动的同时还会同步带动其下端左右两侧的随动连杆41向上运动，而随动连杆41则会带动其下端的螺纹圈42沿着导料竖管43的外壁逐渐上移，而在螺纹圈42与导料竖管43的螺纹配合传动下，则会使得导料竖管43发生旋转，而导料竖管43旋转后则带动位于其上端且位于原料舱11内部的螺旋内搅拌轴46同步旋转，而通过螺旋内搅拌轴46的旋转则会对原料舱11内部存放的晶体进行搅动，通过螺旋内搅拌轴46的搅动不仅能够便于原料舱11内部晶体的后续送出，同时通过螺旋内搅拌轴46的搅动也能够有效地减少晶体在原料舱11内部发生结块的情况，而当驱动气缸21带动螺纹圈42运动至靠近电动阀门44的位置时，此时的传感器45检测到该讯号，并及时将该讯号传递至电动阀门44，此时的电动阀门44开启，即原料舱11内部的晶体则会顺着导料竖管43逐渐下落，并在驱动气缸21带动螺纹圈42向下复位后，电动阀门44在传感器45的控制下自动关闭，至此即完成对两种晶体的自动添加。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
- 一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，包括主储料舱（1），其特征在于：所述主储料舱（1）包括：原料舱（11）、存液舱（12）、主架体（13）和安装架（14），所述主储料舱（1）内部的左右两侧对称开设有原料舱（11），且原料舱（11）之间开设有存液舱（12），所述主储料舱（1）背侧固定连接有主架体（13），所述主储料舱（1）的前侧固定连接有安装架（14），所述安装架（14）的前侧设置有定量抽液机构（2），且定量抽液机构（2）的下方设置有随动启闭机构（3），所述主储料舱（1）的底部前侧设置有搅拌给料机构（4）；所述定量抽液机构（2）包括：驱动气缸（21）、连接盘（22）、定量筒（23）、活塞杆（24）、导液管（25）和出液管（26），所述安装架（14）的前侧安装有驱动气缸（21），且驱动气缸（21）的下方输出端固定连接有连接盘（22），并且连接盘（22）的下方设置有定量筒（23），所述定量筒（23）的内部适配设置有活塞杆（24），且活塞杆（24）的上端固定连接于连接盘（22）的底面，所述定量筒（23）的下方连通有导液管（25），且导液管（25）的下方前侧设置有排液管（27），所述主储料舱（1）内部设置的存液舱（12）的底部连通有出液管（26）。
- 根据权利要求1所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述导液管（25）的下端、出液管（26）的前端、排液管（27）的背端通过设置的随动启闭机构（3）相连通。
- 根据权利要求2所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述随动启闭机构（3）包括启闭舱（31）、转动双通（32）、通口（33）、随动齿盘（34）和联动齿条（35），所述出液管（26）的前端固定连接有启闭舱（31），且启闭舱（31）的内部转动连接有转动双通（32），并且转动双通（32）的内部开设有通口（33），所述转动双通（32）的右侧固定连接有随动齿盘（34），且随动齿盘（34）的背侧啮合有联动齿条（35），所述联动齿条（35）的上端固定连接于连接盘（22）的右侧面。
- 根据权利要求3所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述启闭舱（31）为方形腔体结构，且启闭舱（31）的内腔呈圆柱形。
- 根据权利要求3所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述转动双通（32）为圆柱腔体结构，且转动双通（32）适配于启闭舱（31）的内腔，所述通口（33）呈竖直贯穿开设于转动双通（32）的内部。
- 根据权利要求1所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述搅拌给料机构（4）包括：随动连杆（41）、螺纹圈（42）、导料竖管（43）、电动阀门（44）、传感器（45）和螺旋内搅拌轴（46），所述驱动气缸（21）的左右两侧均对称固定连接有随动连杆（41），且随动连杆（41）的下端固定连接有螺纹圈（42），并且螺纹圈（42）的内部设置有导料竖管（43），所述导料竖管（43）的上端内部安装有电动阀门（44），所述主储料舱（1）外壁靠近电动阀门（44）的一侧安装有传感器（45），所述导料竖管（43）上端延伸至存液舱（12）的底部固定连接有螺旋内搅拌轴（46）。
- 根据权利要求6所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述导料竖管（43）的外壁开设有外螺纹，所述螺纹圈（42）与导料竖管（43）呈螺纹连接。
- 根据权利要求6所述的一种用于制备电子级TFT显影液的进料装置，其特征在于：所述导料竖管（43）为贯穿腔体式结构，且导料竖管（43）的上端转动连接于存液舱（12）的底部，所述导料竖管（43）与存液舱（12）相连通。
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