WO2023228846A1 - プローブ - Google Patents
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- G01R1/067—Measuring probes
Definitions
- the present invention relates to a probe.
- a probe includes a first conductive plunger having a hollow barrel part, a second conductive plunger that is slidable within the barrel part and protrudes from an open end of the barrel part, and a second conductive plunger having a hollow barrel part.
- a structure is known that includes a spring that urges the plunger and the second plunger away from each other.
- Patent Document 1 discloses a probe pin in which the part of the pin that contacts the spring (hereinafter referred to as the bottom surface of the pin) is processed into a conical shape, and a spring is installed in a space formed by a hole in the pin and a tube. has been done.
- the spring has a central portion with approximately equal diameters and an adjacent tapered portion whose diameter gradually decreases and whose central axis is offset diagonally from the central axis of the central portion, and is curved as a whole. It is characterized by its shape.
- the pin When both ends of the spring are compressed by the conical part on the bottom of the pin and the bottom of the tube hole, the pin receives a load from the tapered part of the spring in a direction inclined from the axial direction of the tube, so the pin is in an inclined state.
- a side pressure corresponding to the amount of compression in the axial direction of the spring is generated.
- the structure of the spring is complex and may take time to manufacture.
- the present invention was made in recognition of this situation, and an example of its purpose is to provide a probe that uses a simple spring structure to reliably generate internal side pressure of the plunger and stabilize the resistance value. be.
- Other objects of the invention will become apparent from the description herein.
- One aspect of the present invention is a probe including a first electrically conductive plunger having a hollow barrel portion; a second electrically conductive plunger slidable within the barrel portion and protruding from an open end of the barrel portion; a spring provided inside the barrel portion and biasing the first plunger and the second plunger in a direction away from each other;
- the spring includes a loosely wound portion, a first end portion that is located at one end of the loosely wound portion and abuts the first plunger, and a first end portion that is located at the other end of the loosely wound portion and contacts the second plunger.
- first end-turning part and the second end-turning part having different diameters from the sparsely winding part;
- the center axes of the first end turn portion and the second end turn portion are offset in the same direction with respect to the center axis of the sparse turn portion.
- FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of a probe according to the present invention.
- FIG. 3 is a front view of a spring used in the embodiment. It is a left side view of the same. It is a right side view of the same.
- FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of how the probe shown in the embodiment is used.
- the probe 1 includes a first conductive plunger 10 integrally having a barrel portion 11, and a conductive first plunger 10 that is slidable within the barrel portion 11 and protrudes from the open end of the barrel portion 11. 2 plungers 20, and a spring 30 that is provided inside the barrel portion 11 and urges the first plunger 10 and the second plunger 20 in a direction away from each other.
- the barrel portion 11 of the first plunger 10 has a bottomed cylindrical shape with a cylindrical hollow portion 12 inside, and is open at one end.
- the opposite side of the opening of the first plunger 10 is a tip 13 that comes into contact with a bump or electrode of an object to be inspected such as a semiconductor, and the tip 13 has a plurality of sharp protrusions 14, for example.
- the second plunger 20 has a cylindrical shape with a bottom and a cylindrical hollow part 21 into which a part of the spring 30 is inserted.
- the second plunger 20 has an entry tube portion 22 that is slidable inside the barrel portion 11 and a tip portion 23 that has a smaller diameter than the entry tube portion 22 and projects from the end of the barrel portion 11 .
- the tip portion 23 is provided with a protrusion 24 that comes into contact with the electrode of the test substrate.
- the entry pipe section 22 is held by the caulking section 15 at the open end of the barrel section 10 so as not to come off from the barrel section 10 .
- the spring 30 is a conductive coil spring made by winding an elastic metal wire, and includes a loosely wound portion 31 wound to have a constant outer diameter, and one end side of the loosely wound portion 31.
- a first end turn portion 32 is located at the other end of the loosely wound portion 31 and comes into contact with the inner bottom surface of the first plunger 10
- a second end turn portion 33 is located at the other end of the loosely wound portion 31 and comes into contact with the inner bottom surface of the second plunger 20 and has.
- the loosely wound portion 31 is an effective wound portion that functions as a compression spring, and is, for example, tightly wound.
- the first end-turning portion 32 and the second end-turning portion 33 have different diameters from that of the loosely wound portion 31. In the illustrated case, the first end turn portion 32 and the second end turn portion 33 have larger diameters than the sparse turn portion 31, and as can be seen from FIGS.
- the central axis a of the first end turn portion 32 is The center axis b of the second end turn portion 33 is offset (eccentric) in the same direction with respect to the center axis c of the loosely wound portion 31, and the outer peripheral end of the loosely wound portion 31 and the first end turn portion 32 and The outer circumferential end of the second end-wound portion 33 is aligned with the outer peripheral end of the loosely wound portion 31 on the opposite side in the offset direction with respect to the central axis c.
- a recess 16 is formed on the inner bottom surface of the barrel portion 11, into which the first end turn portion 32 of the spring 30 is fitted.
- the bottom surface 16a of the recess 16 with which the first end turn portion 32 comes into contact is formed into a flat surface perpendicular to the central axis 11a of the barrel portion 11 by, for example, end milling. ing. Note that ordinary drilling does not result in a flat surface.
- the spring 30 when a load is applied to the probe 1 from the unloaded state shown in FIG. 1 and the tip 23 of the second plunger 20 is pushed in, the spring 30 is compressed; Because the end turn portion 32 and the second end turn portion 33 are formed at eccentric positions with respect to the sparse turn portion 41, the spring 30 is bent in an arch shape, in other words, in a bow shape.
- the inner wall of the second plunger 20 is pressed by the spring 30, and a side pressure is generated in the direction of pressing the entry pipe section 22 of the second plunger 20 against the inner wall of the barrel section 11. Due to this side pressure, the entry pipe portion 22 of the second plunger 20 stably contacts the inner wall of the barrel portion 11, and the contact resistance value between the first plunger 10 and the second plunger 20 can be stably maintained at a low value.
- FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of use of the probe 1 shown in the embodiment.
- the probe 1 is installed in a socket 90 with an insulating support 100.
- the insulating support 100 has a structure in which a first insulating support 101 having a through hole 101a and a second insulating support 102 having a through hole 102a are overlapped, and the probe 1 falls into the through hole 101a and the through hole 102a. It is held that it does not.
- test object 110 such as a semiconductor using the socket 90
- the test object 110 is pushed down to bring the protrusion 14 of the first plunger 10 into contact with the bump 111 of the test object 110, and the test board
- the protrusion 24 provided at the tip 23 of the second plunger 20 is brought into contact with the electrode 121 of the second plunger 20 .
- electrical connection is established between the bumps 111 of the object to be inspected 110 and the inspection substrate 120 via the probe 1 .
- the first and second end-wound portions 32 and 33 of the spring 30 that bias the first plunger 10 and the second plunger 20 in the direction of separation from each other have a diameter different from that of the loosely-wound portion 41, and
- the center axes of the first and second end-wound portions 32 and 33 are offset (eccentric) in the same direction with respect to the center axis of the sparsely wound portion 31 . Therefore, the spring 30 is easily bent in an arch shape.
- the inner wall of the second plunger 20 is pushed by the spring 30, and the entry tube part 22 of the second plunger 20 stably contacts the inner wall of the barrel part 11, causing contact between the first plunger 10 and the second plunger 20.
- the resistance value can be stably maintained at a low value.
- a recess 16 into which the first end turn part 32 fits is formed on the inner bottom surface of the barrel part 11, and the bottom surface 16a of the recess 16, which the first end turn part 32 comes into contact with, is perpendicular to the central axis 11a of the barrel part 11. Since it is a flat surface, the first end turn portion 32 can be stably seated on the inner bottom surface of the first plunger 10.
- the spring 30, which has the loosely wound portion 31 and the first and second end wound portions 32 and 33 on both sides thereof, has a symmetrical shape and provides the same performance even when upside down, so it is easy to assemble. There is no need to consider the direction in which the spring 30 is inserted into the barrel portion 11 during assembly.
- the center axis a of the first end turn portion 32 and the center axis b of the second end turn portion 33 are offset (eccentric) in the same direction with respect to the center axis c of the sparse turn portion 31. Furthermore, the outer peripheral end of the loosely wound portion 31 and the outer peripheral end of the first end-wound portion 32 are aligned on opposite sides in the offset direction with respect to the center axis c of the loosely wound portion 31. That is, in FIG. 1 and the like, the lower part of the loosely wound part 31 is aligned with the lower part of the first end wound part 32.
- the outer peripheral end of the loosely wound portion 31 and the outer peripheral end of the second end wound portion 33 are aligned on opposite sides in the offset direction with respect to the central axis c of the loosely wound portion 31. That is, in FIG. 1 and the like, the lower part of the loosely wound part 31 is aligned with the lower part of the second end wound part 33. From the above, manufacturing of the probe 1 is easy.
- the first plunger is a single part having an integral barrel part, but it may also have a structure in which the hollow barrel part and the tip part are made up of separate parts and integrally joined together.
- the first end turn part and the second end turn part on both sides of the loosely wound part have a larger diameter than the loosely wound part.
- the winding portion may have a small diameter.
- the case where the first plunger has a plurality of sharp protrusions at the tip is illustrated, but the number of protrusions may be one, and the shape and arrangement of the protrusions may vary depending on the bump or electrode of the object to be inspected. etc., and can be changed as appropriate.
- the spring 40 may be left-handed.
- Aspect 1 includes a first electrically conductive plunger having a hollow barrel portion; a second electrically conductive plunger slidable within the barrel portion and protruding from an open end of the barrel portion; a spring provided inside the barrel portion and biasing the first plunger and the second plunger in a direction away from each other;
- the spring includes a loosely wound portion, a first end portion that is located at one end of the loosely wound portion and abuts the first plunger, and a first end portion that is located at the other end of the loosely wound portion and contacts the second plunger.
- the center axes of the first end turn portion and the second end turn portion are probes offset in the same direction with respect to the center axis of the sparse turn portion.
- the second plunger is pressed by the spring to stably contact the inner wall of the barrel portion, and the contact resistance value between the first plunger and the second plunger is reduced to a low value. Can be maintained stably.
- first end turn portion and the second end turn portion have a larger diameter than the sparse turn portion.
- the first end-turning portion and the second end-turning portion have smaller diameters than the sparsely turning portion.
- Aspect 4 is characterized in that the outer circumferential end of the loosely wound portion and the outer circumferential ends of the first end turn portion and the second end turn portion are aligned on the outside on the opposite side of the offset direction with respect to the center axis of the loosely wound portion. ing.
- the amount of offset of the first and second end-wound portions with respect to the loosely wound portion can be increased, and manufacturing is also easy.
- a recess into which the first end turn part is fitted is formed on the inner bottom surface of the barrel part.
- the sitting of the first end turn portion on the inner bottom surface of the barrel portion is stabilized.
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Abstract
プランジャの内部側圧を確実に発生させて抵抗値の安定化を図る。 中空のバレル部を有する第１プランジャと、前記バレル部内を摺動自在で、その開口した端部から突出する第２プランジャと、前記バレル部の内側に設けられ、前記第１プランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングとを備え、前記第２プランジャは前記スプリングの一部が入る中空部を有し、前記スプリングは、疎巻部と、前記疎巻部の一端側に位置して前記第１プランジャに当接する第１座巻部と、前記疎巻部の他端側に位置して前記第２プランジャに当接する第２座巻部と、を有し、前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部とは異なる径であり、前記第１座巻部及び第２座巻部の中心軸は、前記疎巻部の中心軸に対して同一方向にオフセットしている。
Description
本発明は、プローブに関する。
従来、プローブとして、中空のバレル部を有する導電性の第１プランジャと、前記バレル部内を摺動自在で、前記バレル部の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャと、前記第１のプランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を備える構造が知られている。
しかしながら、従来の一般的なスプリングは偏心構造を持たないため、プローブの場合にはスプリングが圧縮されても撓みにくい。このため、前記第２プランジャを前記バレル部内壁に押し付ける方向の側圧を発生させにくく、プローブの抵抗値、つまり前記第１のプランジャと前記第２プランジャ間の抵抗値が安定しない。
また、下記特許文献１には、ピンのスプリングに接触する部分（以下、ピン底面という）を円錐に加工するともに、ピンとチューブの穴で構成された空間内に、スプリングを設置したプローブピンが開示されている。この場合、スプリングは、径がほぼ等しい中央部分と、これに隣接しかつ徐々に径が小さくなりかつその中心軸が中央部分の中心軸から斜め方向にオフセットされたテーパ部分をもち、全体として湾曲した形状が特徴となっている。使用時にピン底面の円錐部とチューブ穴底面により、スプリングの両端が押し縮められると、ピンはスプリングのテーパ部分によってチューブの軸方向から傾斜した方向に荷重を受けるため、ピンは傾いた状態にあり、ピンがチューブ内壁に押し付けられることでスプリングの軸方向の圧縮量に応じた側圧を発生させている。但し、スプリングの構造は複雑で製造に手間がかかる可能性がある。
上記のように、一般的な偏心構造を持たないスプリング構造のプローブであると側圧を安定的に発生させることができず、プローブの抵抗値が安定しない。また、特許文献１のプローブピンの場合にはスプリング構造が複雑な場合の適用が難しい。
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的の一例は、簡素なスプリング構造でプランジャの内部側圧を確実に発生させて抵抗値の安定化を図ったプローブを提供することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
本発明の一態様は、プローブであって、中空のバレル部を有する導電性の第１プランジャと、
前記バレル部内を摺動自在で、前記バレル部の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャと、
前記バレル部の内側に設けられ、前記第１プランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記スプリングは、疎巻部と、前記疎巻部の一端側に位置して前記第１プランジャに当接する第１座巻部と、前記疎巻部の他端側に位置して前記第２プランジャに当接する第２座巻部と、を有し、前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部とは異なる径であり、
前記第１座巻部及び第２座巻部の中心軸は、前記疎巻部の中心軸に対して同一方向にオフセットしている。
前記バレル部内を摺動自在で、前記バレル部の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャと、
前記バレル部の内側に設けられ、前記第１プランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記スプリングは、疎巻部と、前記疎巻部の一端側に位置して前記第１プランジャに当接する第１座巻部と、前記疎巻部の他端側に位置して前記第２プランジャに当接する第２座巻部と、を有し、前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部とは異なる径であり、
前記第１座巻部及び第２座巻部の中心軸は、前記疎巻部の中心軸に対して同一方向にオフセットしている。
本発明の上記態様によれば、簡素なスプリング構造でプランジャの内部側圧を確実に発生させて抵抗値の安定化を図ったプローブを実現できる。
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
図１から図４を用いて本発明に係るプローブの実施の形態を説明する。これらの図において、プローブ１は、バレル部１１を一体に有する導電性の第１プランジャ１０と、バレル部１１内を摺動自在で、バレル部１１の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャ２０と、バレル部１１の内側に設けられ、第１のプランジャ１０と第２プランジャ２０とを互いに離れる方向に付勢するスプリング３０と、を備える。
第１プランジャ１０のバレル部１１は、内側に円柱状中空部１２を有する有底円筒状であって、一方端部が開口している。第１プランジャ１０の開口の反対側は、半導体等の検査対象物のバンプ若しくは電極と接触する先端部１３となっており、先端部１３は例えば尖った突起部１４を複数有している。
第２プランジャ２０はスプリング３０の一部が入る円柱状中空部２１を有する有底円筒形状である。第２プランジャ２０は、バレル部１１の内側を摺動自在な入管部２２と、入管部２２よりも小径で、バレル部１１の端部から突出する先端部２３とを有する。先端部２３には検査用基板の電極と接触する突起部２４が設けられている。入管部２２は、バレル部１０の開口端部のかしめ部１５により、バレル部１０から外れないように保持される。
図２は外力が無いときのスプリング３０の正面図、図３は左側面図、図４は右側面図である。これらの図に示すように、スプリング３０は弾性金属線を巻回した導電性のコイルスプリングであり、一定の外径となるように巻かれた疎巻部３１と、疎巻部３１の一端側に位置して第１プランジャ１０の内側底面に当接する第１座巻部３２と、疎巻部３１の他端側に位置して第２プランジャ２０の内側底面に当接する第２座巻部３３とを有する。疎巻部３１は圧縮バネとして機能する有効巻部であり、例えば密巻きである。第１座巻部３２及び第２座巻部３３は疎巻部３１とは異なる径である。図示の場合は、第１座巻部３２及び第２座巻部３３は疎巻部３１よりも大径であり、図３及び図４からわかるように、第１座巻部３２の中心軸ａ及び第２座巻部３３の中心軸ｂは、疎巻部３１の中心軸ｃに対して同じ方向にオフセット（偏心）し、かつ疎巻部３１の外周端と、第１座巻部３２及び第２座巻部３３の外周端とは、疎巻部３１の中心軸ｃに対するオフセット方向の反対側の外側で揃っている。
図１に示すように、バレル部１１の内側底面にはスプリング３０の第１座巻部３２が嵌まる凹部１６が形成されている。第１座巻部３２の座りを良くするために、第１座巻部３２が当接する凹部１６の底面１６ａは、例えばエンドミル加工等によってバレル部１１の中心軸１１ａに垂直な平坦面に形成されている。なお、普通のドリル加工では平坦面にはならない。
以上の実施の形態の構成において、図１の無荷重の状態からプローブ１に荷重を加えて第２プランジャ２０の先端部２３を押し込んで行くと、スプリング３０は圧縮されるが、このとき第１座巻部３２及び第２座巻部３３が疎巻部４１に対して偏心位置に形成されていることに起因して、スプリング３０がアーチ状、換言すれば弓なり状に撓む。これにより、第２プランジャ２０の内壁がスプリング３０に押されて、第２プランジャ２０の入管部２２をバレル部１１の内壁に押し付ける向きの側圧を発生する。この側圧により第２プランジャ２０の入管部２２がバレル部１１の内壁に安定して接触し、第１プランジャ１０と第２プランジャ２０間の接触抵抗値を低い値に安定的に維持できる。
図５は実施の形態に示したプローブ１の使用例を示す説明図である。この場合、プローブ１は絶縁支持体１００を有するソケット９０に組み込まれている。絶縁支持体１００は貫通孔１０１ａを有する第１絶縁支持体１０１と、貫通孔１０２ａを有する第２絶縁支持体１０２とを重ねた構造であり、貫通孔１０１ａ及び貫通孔１０２ａ内にプローブ１が脱落しないように保持されている。
ソケット９０を使用して半導体等の検査対象物１１０の検査を行う場合、検査対象物１１０を押し下げて、第１プランジャ１０の突起部１４を検査対象物１１０のバンプ１１１に接触させ、検査用基板１２０の電極１２１に第２プランジャ２０の先端部２３に設けられた突起部２４を当接させる。これにより、プローブ１を介して検査対象物１１０のバンプ１１１と検査用基板１２０間を電気接続する。
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
(1) 第１プランジャ１０と第２プランジャ２０とを相互に離間方向に付勢するスプリング３０の第１及び第２座巻部３２，３３は、疎巻部４１とは異なる径であり、かつ第１及び第２座巻部３２，３３の中心軸が、疎巻部３１の中心軸に対して同一方向にオフセット（偏心）している。このため、スプリング３０がアーチ状に撓みやすくなる。この結果、第２プランジャ２０の内壁がスプリング３０に押されて、第２プランジャ２０の入管部２２がバレル部１１の内壁に安定して接触し、第１プランジャ１０と第２プランジャ２０間の接触抵抗値を低い値に安定的に維持できる。
(2) スプリング３０の第１座巻部３２及び第２座巻部３３を疎巻部３１よりも大径とした場合、スプリング３０を小径としたときでも第１及び第２座巻部３２，３３の形成が容易である。また、第１プランジャ１０の内側底面にスプリング３０が大きな径で当接することになってスプリング３０の端部の保持が安定する。
(3) 第１座巻部３２が嵌まる凹部１６がバレル部１１の内側底面に形成され、かつ第１座巻部３２が当接する凹部１６の底面１６ａがバレル部１１の中心軸１１ａに垂直な平坦面であるので、第１プランジャ１０の内側底面に対する第１座巻部３２の座りが安定する。
(4) 疎巻部３１及びその両側にある第１及び第２座巻部３２，３３を有するスプリング３０は、左右対称形状であり、天地逆さでも同じ性能が出るため組立性がよい。組立時にスプリング３０のバレル部１１への挿入方向に配慮する必要が無い。
(5) 第１座巻部３２の中心軸ａ及び第２座巻部３３の中心軸ｂは、疎巻部３１の中心軸ｃに対して同じ方向にオフセット（偏心）している。さらに疎巻部３１の外周端と、第１座巻部３２の外周端とは、疎巻部３１の中心軸ｃに対するオフセット方向の反対側で揃っている。すなわち、図１等では、疎巻部３１の下方が第１座巻部３２の下方と揃っている。また、疎巻部３１の外周端と、第２座巻部３３の外周端とは、疎巻部３１の中心軸ｃに対するオフセット方向の反対側で揃っている。すなわち、図１等では、疎巻部３１の下方が第２座巻部３３の下方と揃っている。以上のことから、プローブ１の製造が容易である。
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
実施の形態において、第１プランジャはバレル部を一体に有する一部品であるが、中空のバレル部と先端部とを別部品で構成し、相互に接合一体化した構造であってもよい。
実施の形態において、疎巻部よりもその両側にある第１座巻部及び第２座巻部が大径である場合を例示したが、疎巻部よりも第１座巻部及び第２座巻部が小径であってもよい。
実施の形態では、第１プランジャは先端部に尖った突起部を複数有している場合を図示したが、突起部は１個でもよく、突起部の形状及び配置は検査対象物のバンプ若しくは電極等に対応させて適宜変更可能である。
実施の形態では、スプリング４０を第１プランジャ１０から見たときに、スプリング４０が右巻きになっている場合を図示したが、左巻きであってもよい。
本明細書によれば、以下の態様のプローブが提供される。
（態様１）
態様１は、中空のバレル部を有する導電性の第１プランジャと、
前記バレル部内を摺動自在で、前記バレル部の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャと、
前記バレル部の内側に設けられ、前記第１プランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記スプリングは、疎巻部と、前記疎巻部の一端側に位置して前記第１プランジャに当接する第１座巻部と、前記疎巻部の他端側に位置して前記第２プランジャに当接する第２座巻部と、を有し、前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部とは異なる径であり、
前記第１座巻部及び第２座巻部の中心軸は、前記疎巻部の中心軸に対して同一方向にオフセットしている、プローブである。
（態様１）
態様１は、中空のバレル部を有する導電性の第１プランジャと、
前記バレル部内を摺動自在で、前記バレル部の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャと、
前記バレル部の内側に設けられ、前記第１プランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記スプリングは、疎巻部と、前記疎巻部の一端側に位置して前記第１プランジャに当接する第１座巻部と、前記疎巻部の他端側に位置して前記第２プランジャに当接する第２座巻部と、を有し、前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部とは異なる径であり、
前記第１座巻部及び第２座巻部の中心軸は、前記疎巻部の中心軸に対して同一方向にオフセットしている、プローブである。
上述の態様１によれば、前記第２プランジャが前記スプリングに押されて、前記バレル部の内壁に安定して接触し、前記第１プランジャと前記第２プランジャ間の接触抵抗値を低い値に安定的に維持できる。
（態様２）
態様２は、前記第１座巻部及び前記第２座巻部が前記疎巻部よりも大径である。
態様２は、前記第１座巻部及び前記第２座巻部が前記疎巻部よりも大径である。
上述の態様２によれば、前記スプリングを小径としたときでも前記第１及び第２座巻部の形成が容易である。また、前記第１プランジャの内側底面に前記スプリングが大きな径で当接することになってスプリングの端部の保持が安定する。
（態様３）
態様３は、前記第１座巻部及び前記第２座巻部が前記疎巻部よりも小径である。
態様３は、前記第１座巻部及び前記第２座巻部が前記疎巻部よりも小径である。
上述の態様３によれば、前記スプリングの外径を細くすることが可能となり、プローブの小径化を図る場合に有利である。
（態様４）
態様４は、前記疎巻部の外周端と、前記第１座巻部及び前記第２座巻部の外周端とが、前記疎巻部の中心軸に対する前記オフセット方向の反対側の外側で揃っている。
態様４は、前記疎巻部の外周端と、前記第１座巻部及び前記第２座巻部の外周端とが、前記疎巻部の中心軸に対する前記オフセット方向の反対側の外側で揃っている。
上述の態様４によれば、前記疎巻部に対する前記第１及び第２座巻部のオフセット量を大きくでき、製造も容易である。
（態様５）
態様５は、前記第１座巻部が嵌まる凹部が前記バレル部の内側底面に形成されている。
態様５は、前記第１座巻部が嵌まる凹部が前記バレル部の内側底面に形成されている。
上述の態様５によれば、前記バレル部の内側底面に対する前記第１座巻部の座りが安定する。
１ プローブ
１０ 第１プランジャ
１１ バレル部
１２ 円柱状中空部
１３ 先端部
１６ 凹部
１６ａ 底面
２０ 第２プランジャ
２１ 円柱状中空部
２２ 入管部
２３ 先端部
３０ スプリング
３１ 疎巻部
３２ 第１座巻部
３３ 第２座巻部
ａ 第１座巻部の中心軸
ｂ 第２座巻部の中心軸
ｃ 疎巻部の中心軸
１０ 第１プランジャ
１１ バレル部
１２ 円柱状中空部
１３ 先端部
１６ 凹部
１６ａ 底面
２０ 第２プランジャ
２１ 円柱状中空部
２２ 入管部
２３ 先端部
３０ スプリング
３１ 疎巻部
３２ 第１座巻部
３３ 第２座巻部
ａ 第１座巻部の中心軸
ｂ 第２座巻部の中心軸
ｃ 疎巻部の中心軸
Claims (5)
- 中空のバレル部を有する導電性の第１プランジャと、
前記バレル部内を摺動自在で、前記バレル部の開口した端部から突出する導電性の第２プランジャと、
前記バレル部の内側に設けられ、前記第１プランジャと前記第２プランジャとを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記スプリングは、疎巻部と、前記疎巻部の一端側に位置して前記第１プランジャに当接する第１座巻部と、前記疎巻部の他端側に位置して前記第２プランジャに当接する第２座巻部と、を有し、前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部とは異なる径であり、
前記第１座巻部及び第２座巻部の中心軸は、前記疎巻部の中心軸に対して同一方向にオフセットしている、プローブ。 - 前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部よりも大径である、請求項１に記載のプローブ。
- 前記第１座巻部及び前記第２座巻部は前記疎巻部よりも小径である、請求項１に記載のプローブ。
- 前記疎巻部の外周端と、前記第１座巻部及び前記第２座巻部の外周端とは、前記疎巻部の中心軸に対する前記オフセット方向の反対側の外側で揃っている、請求項１から３のいずれか一項に記載のプローブ。
- 前記第１座巻部が嵌まる凹部が前記バレル部の内側底面に形成されている、請求項１から３のいずれか一項に記載のプローブ。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2023228846A1 true WO2023228846A1 (ja) | 2023-11-30 |
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|---|---|---|---|
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2022
- 2022-05-26 JP JP2022085829A patent/JP2023173519A/ja active Pending
-
2023
- 2023-05-18 TW TW112118558A patent/TW202405450A/zh unknown
- 2023-05-18 WO PCT/JP2023/018527 patent/WO2023228846A1/ja unknown
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